JP2000136910A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
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- JP2000136910A JP2000136910A JP11311107A JP31110799A JP2000136910A JP 2000136910 A JP2000136910 A JP 2000136910A JP 11311107 A JP11311107 A JP 11311107A JP 31110799 A JP31110799 A JP 31110799A JP 2000136910 A JP2000136910 A JP 2000136910A
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- Japan
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- magnification
- objective lens
- optical system
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】２本の対物レンズによって低倍から高倍への変
換をより高精度に行うことができる基板検査装置を提供
すること。 【解決手段】基台上に搭載され基板９を載置するステー
ジ１０と、９を跨ぐように基台に設けられた門型アーム
１２と、１２とステージ１０を基板９に対してＹ方向に
相対移動させるボールネジ１０ａとステッピングモータ
１０ｂと、門型アーム１２のＸアームに沿って基板９に
対して平行移動可能に設けられた鏡筒部１１と、鏡筒部
１１内に光軸を一定の距離Ｌだけ離して一体に組込まれ
た低倍対物レンズ７を備えた低倍用光学系及び高倍対物
レンズ８を備えた高倍用光学系と、低倍用光学系で捜し
た測定点に前記高倍用光学系の光軸を一致させるように
鏡筒部１１をアーム１２に沿って移動制御可能なボール
ネジ１２ａとステッピングモータ１２ｂとを備えた基板
検査装置。
換をより高精度に行うことができる基板検査装置を提供
すること。 【解決手段】基台上に搭載され基板９を載置するステー
ジ１０と、９を跨ぐように基台に設けられた門型アーム
１２と、１２とステージ１０を基板９に対してＹ方向に
相対移動させるボールネジ１０ａとステッピングモータ
１０ｂと、門型アーム１２のＸアームに沿って基板９に
対して平行移動可能に設けられた鏡筒部１１と、鏡筒部
１１内に光軸を一定の距離Ｌだけ離して一体に組込まれ
た低倍対物レンズ７を備えた低倍用光学系及び高倍対物
レンズ８を備えた高倍用光学系と、低倍用光学系で捜し
た測定点に前記高倍用光学系の光軸を一致させるように
鏡筒部１１をアーム１２に沿って移動制御可能なボール
ネジ１２ａとステッピングモータ１２ｂとを備えた基板
検査装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工業用顕微鏡の分
野において、液晶基板等の外観検査及び、線幅等の測定
に利用される基板検査装置に関する。
野において、液晶基板等の外観検査及び、線幅等の測定
に利用される基板検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種の基板検査装置としての
工業用顕微鏡においては例えば液晶基板の線幅等の測定
では、１本の対物レンズで変倍して測定を行う。このと
き、レボルバを回転することにより対物レンズの倍率を
換える。
工業用顕微鏡においては例えば液晶基板の線幅等の測定
では、１本の対物レンズで変倍して測定を行う。このと
き、レボルバを回転することにより対物レンズの倍率を
換える。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の基板検査装置で
は、低倍から高倍への変換は、レボルバで行われてい
た。このとき、対物レンズの光軸ずれや同焦の補正が必
要となるという問題を生じていた。これは、レボルバが
ボールクリックによって位置決めされており、ボールク
リックによっては、位置的に精度が出なくなってしまう
ためである。
は、低倍から高倍への変換は、レボルバで行われてい
た。このとき、対物レンズの光軸ずれや同焦の補正が必
要となるという問題を生じていた。これは、レボルバが
ボールクリックによって位置決めされており、ボールク
リックによっては、位置的に精度が出なくなってしまう
ためである。
【０００４】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたもので、２本の対物レンズによって低倍から高倍
への変換をより高精度に行うことができる基板検査装置
を提供することを目的とする。
されたもので、２本の対物レンズによって低倍から高倍
への変換をより高精度に行うことができる基板検査装置
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１に対応する発明は、基台上に搭載され基板
を載置するステージと、前記基板を跨ぐように前記基台
に設けられた門型アームと、この門型アームと前記ステ
ージを前記基板に対してＹ方向に相対移動させるＹ方向
駆動手段と、前記門型アームのＸアームに沿って前記基
板に対して平行移動可能に設けられた鏡筒部と、この鏡
筒部内に光軸を一定の距離Ｌだけ離して一体に組込まれ
た低倍対物レンズを備えた低倍用光学系及び高倍対物レ
ンズを備えた高倍用光学系と、前記低倍用光学系で捜し
た測定点に前記高倍用光学系の光軸を一致させるように
前記鏡筒部を前記アームに沿って移動制御可能なＸ方向
駆動手段とを備えた基板検査装置である。
め、請求項１に対応する発明は、基台上に搭載され基板
を載置するステージと、前記基板を跨ぐように前記基台
に設けられた門型アームと、この門型アームと前記ステ
ージを前記基板に対してＹ方向に相対移動させるＹ方向
駆動手段と、前記門型アームのＸアームに沿って前記基
板に対して平行移動可能に設けられた鏡筒部と、この鏡
筒部内に光軸を一定の距離Ｌだけ離して一体に組込まれ
た低倍対物レンズを備えた低倍用光学系及び高倍対物レ
ンズを備えた高倍用光学系と、前記低倍用光学系で捜し
た測定点に前記高倍用光学系の光軸を一致させるように
前記鏡筒部を前記アームに沿って移動制御可能なＸ方向
駆動手段とを備えた基板検査装置である。
【０００６】前記目的を達成するため、請求項２に対応
する発明は、前記請求項１記載の低倍用光学系として、
無限遠の焦点距離をもつ低倍対物レンズの光軸上に結像
レンズ及び撮像素子を配置してなり、また前記高倍用光
学系は、無限遠の焦点をもつ高倍対物レンズの光軸上に
結像レンズ及び撮像素子を配置してなる基板検査装置で
ある。
する発明は、前記請求項１記載の低倍用光学系として、
無限遠の焦点距離をもつ低倍対物レンズの光軸上に結像
レンズ及び撮像素子を配置してなり、また前記高倍用光
学系は、無限遠の焦点をもつ高倍対物レンズの光軸上に
結像レンズ及び撮像素子を配置してなる基板検査装置で
ある。
【０００７】前記目的を達成するため、請求項３に対応
する発明は、前記請求項２記載の高倍用光学系として、
無限遠の焦点をもつ高倍対物レンズの光軸上に倍率の異
なる複数の交換可能な結像レンズを配置した基板検査装
置である。
する発明は、前記請求項２記載の高倍用光学系として、
無限遠の焦点をもつ高倍対物レンズの光軸上に倍率の異
なる複数の交換可能な結像レンズを配置した基板検査装
置である。
【０００８】請求項１〜請求項３のいずれかに対応する
発明によれば、低倍用光学系及び高倍用光学系を同一の
鏡筒部に一体に組込むことにより、低倍から高倍への変
換を高精度に行なうことができる。
発明によれば、低倍用光学系及び高倍用光学系を同一の
鏡筒部に一体に組込むことにより、低倍から高倍への変
換を高精度に行なうことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００１０】図１は本発明による第１実施形態の概略構
成図であり、図２はその要部のみを示す図である。基板
である標本９は、基台に搭載されたＹステージ１０に載
せられＹステージ１０に取り付けられたボールネジ１０
ａとそれを動かすステッピングモータ１０ｂによってＹ
方向に移動する。また標本９の測定点を捜し、測定する
鏡筒部１１はｘアーム１２に保持され、門型のｘアーム
１２に取り付けられたボールネジ１２ａとそれを動かす
ステッピングモータ１２ｂによってＸ方向に移動する。
即ち、測定点はｘアーム１２及びＹステージ１０によっ
て決定される。
成図であり、図２はその要部のみを示す図である。基板
である標本９は、基台に搭載されたＹステージ１０に載
せられＹステージ１０に取り付けられたボールネジ１０
ａとそれを動かすステッピングモータ１０ｂによってＹ
方向に移動する。また標本９の測定点を捜し、測定する
鏡筒部１１はｘアーム１２に保持され、門型のｘアーム
１２に取り付けられたボールネジ１２ａとそれを動かす
ステッピングモータ１２ｂによってＸ方向に移動する。
即ち、測定点はｘアーム１２及びＹステージ１０によっ
て決定される。
【００１１】鏡筒部１１は、２つの光学系を備え、その
一方は無限遠の焦点距離をもつ高倍対物レンズ（５０
×）８と、回転ターレット（図示せず）上に設けられ、
いずれか１つが対物レンズ（５０×）８の光軸と一致し
ている結像レンズ（０．５×）３、結像レンズ（１×）
４、結像レンズ（２×）５とを有し、標本９上の測定点
を対物レンズ（５０×）８の光軸上に位置するＣＣＤカ
メラ１により測定するための測定用光学系（高倍）１３
であり、他方は、無限遠の焦点距離をもつ低倍対物レン
ズ（５×）７と、その同軸上に設けられた結像レンズ
（１×）６及び測定位置を映すＣＣＤカメラからなる測
定点を捜し出すためのサーチ用光学系（低倍）１４であ
る。
一方は無限遠の焦点距離をもつ高倍対物レンズ（５０
×）８と、回転ターレット（図示せず）上に設けられ、
いずれか１つが対物レンズ（５０×）８の光軸と一致し
ている結像レンズ（０．５×）３、結像レンズ（１×）
４、結像レンズ（２×）５とを有し、標本９上の測定点
を対物レンズ（５０×）８の光軸上に位置するＣＣＤカ
メラ１により測定するための測定用光学系（高倍）１３
であり、他方は、無限遠の焦点距離をもつ低倍対物レン
ズ（５×）７と、その同軸上に設けられた結像レンズ
（１×）６及び測定位置を映すＣＣＤカメラからなる測
定点を捜し出すためのサーチ用光学系（低倍）１４であ
る。
【００１２】このとき対物レンズ（５０×）８を含む測
定用光学系（高倍）１３と対物レンズ（５×）７を含む
サーチ用光学系（低倍）１４とは一定間隔Ｌだけ離れて
いる。さらに標本９への焦準は、焦準装置（図示せず）
で行う。
定用光学系（高倍）１３と対物レンズ（５×）７を含む
サーチ用光学系（低倍）１４とは一定間隔Ｌだけ離れて
いる。さらに標本９への焦準は、焦準装置（図示せず）
で行う。
【００１３】標本９上の測定位置を決定するすときには
無限遠の焦点距離をもった低倍対物レンズ（５×）７に
切換え標本９に焦準が合った状態で、ステッピングモー
タ１２ｂの高分解能の回転をｘアーム１２に取り付けら
れたボールネジ１２ａを介して鏡筒部１１のＸ方向の送
りに変えられ、ｘアーム１２に保持された鏡筒部１１
は、ステッピングモータ１２ｂの回転に対応した位置移
動をすることによってＸ方向の測定位置を決定する。
無限遠の焦点距離をもった低倍対物レンズ（５×）７に
切換え標本９に焦準が合った状態で、ステッピングモー
タ１２ｂの高分解能の回転をｘアーム１２に取り付けら
れたボールネジ１２ａを介して鏡筒部１１のＸ方向の送
りに変えられ、ｘアーム１２に保持された鏡筒部１１
は、ステッピングモータ１２ｂの回転に対応した位置移
動をすることによってＸ方向の測定位置を決定する。
【００１４】また、同時にステッピングモータ１０ｂの
回転をＹステージ１０に取り付けられたボールネジ１０
ａによってＹ方向の送りに変え、Ｙステージ１０上の標
本９はサーチ用光学系（低倍）１４により観察され、そ
の標本９の測定位置に移動される。このとき対物レンズ
（５×）７で観察された像は結像レンズ（１×）６によ
ってＣＣＤカメラ２の撮像面に像を結ぶ画面上に映し出
される。
回転をＹステージ１０に取り付けられたボールネジ１０
ａによってＹ方向の送りに変え、Ｙステージ１０上の標
本９はサーチ用光学系（低倍）１４により観察され、そ
の標本９の測定位置に移動される。このとき対物レンズ
（５×）７で観察された像は結像レンズ（１×）６によ
ってＣＣＤカメラ２の撮像面に像を結ぶ画面上に映し出
される。
【００１５】測定位置のサーチが終了すると測定点の線
幅測定を行う。鏡筒部１１は線幅測定を行うために対物
レンズ（５×）７で捜した測定点に対物レンズ（５０
×）８を移動する。このとき対物レンズ（５×）７と対
物レンズ（５０×）８との光軸間隔はＬだけ離れている
ため、ステッピングモータ１２ｂの回転によってボール
ネジ１２ａをＬだけ送る。
幅測定を行う。鏡筒部１１は線幅測定を行うために対物
レンズ（５×）７で捜した測定点に対物レンズ（５０
×）８を移動する。このとき対物レンズ（５×）７と対
物レンズ（５０×）８との光軸間隔はＬだけ離れている
ため、ステッピングモータ１２ｂの回転によってボール
ネジ１２ａをＬだけ送る。
【００１６】これにより、ｘアーム１２に保持されてい
る鏡筒部１１は、ｘアーム１２上をＬだけ移動し、対物
レンズ（５×）７から対物レンズ（５０×）８への移動
が行われる。
る鏡筒部１１は、ｘアーム１２上をＬだけ移動し、対物
レンズ（５×）７から対物レンズ（５０×）８への移動
が行われる。
【００１７】次に、測定用対物レンズ（５０×）８を測
定部分に焦準し、これによって観察された像を結像レン
ズ（０．５×）３、結像レンズ（１×）４、結像レンズ
（２×）５をもった変倍装置で倍率をかえながらＣＣＤ
カメラ１の撮像面に結像させる。
定部分に焦準し、これによって観察された像を結像レン
ズ（０．５×）３、結像レンズ（１×）４、結像レンズ
（２×）５をもった変倍装置で倍率をかえながらＣＣＤ
カメラ１の撮像面に結像させる。
【００１８】このとき対物レンズ（５０×）８は無限遠
の焦点距離をもつため、１本の対物レンズで倍率を複数
種類に変換することが可能となる。線幅測定はＣＣＤカ
メラ１に取り込まれた画像に基づいてコンピューター上
で計測される。
の焦点距離をもつため、１本の対物レンズで倍率を複数
種類に変換することが可能となる。線幅測定はＣＣＤカ
メラ１に取り込まれた画像に基づいてコンピューター上
で計測される。
【００１９】以上述べた実施形態によれば、測定用対物
レンズ（５０×）８とサーチ用対物レンズ（５×）７の
間隔が一定であり、この２本の対物レンズ７，８の切り
換えを、ステッピングモータ１２ｂの回転をボールネジ
１２ａでＸ方向の送りによって精度よく行うことが可能
となり、また、同様に測定点の移動がステッピングモー
タ１０ｂの回転をボールネジ１０ａによってＹ方向の送
りにかえられ、精度よく移動できるようになる。
レンズ（５０×）８とサーチ用対物レンズ（５×）７の
間隔が一定であり、この２本の対物レンズ７，８の切り
換えを、ステッピングモータ１２ｂの回転をボールネジ
１２ａでＸ方向の送りによって精度よく行うことが可能
となり、また、同様に測定点の移動がステッピングモー
タ１０ｂの回転をボールネジ１０ａによってＹ方向の送
りにかえられ、精度よく移動できるようになる。
【００２０】また、対物レンズ７，８が２本共に無限遠
の焦点距離をもつため、複数の倍率をもった結像レンズ
と組合わせることにより１本の対物レンズで数種の倍率
に切換えて測定が可能となる。従って、一度結像レンズ
の同焦補正及び光軸調整をしておけば各対物レンズごと
に毎回調整をする必要がない。
の焦点距離をもつため、複数の倍率をもった結像レンズ
と組合わせることにより１本の対物レンズで数種の倍率
に切換えて測定が可能となる。従って、一度結像レンズ
の同焦補正及び光軸調整をしておけば各対物レンズごと
に毎回調整をする必要がない。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、低倍用光学系及び高倍
用光学系を同一の鏡筒部に一体に組込み、一体に移動さ
せることにより、標本に対して高精度な測定が可能とな
る基板検査装置を提供できる。
用光学系を同一の鏡筒部に一体に組込み、一体に移動さ
せることにより、標本に対して高精度な測定が可能とな
る基板検査装置を提供できる。
【図１】本発明による基板検査装置の第１実施形態を示
す概略構成図。
す概略構成図。
【図２】図１の要部のみを示す図。
１…ＣＣＤカメラ ２…ＣＣＤカメラ ３…結像レンズ（０．５×） ４…結像レンズ（１×） ５…結像レンズ（２×） ６…結像レンズ（１×） ７…対物レンズ（５×） ８…対物レンズ（５０×） ９…標本 １０…Ｙステージ １０ａ…ボールネジ １０ｂ…ステッピングモータ １１…鏡筒部 １２…ｘアーム １２ａ…ボールネジ １２ｂ…ステッピングモータ １３…測定用光学系（高倍） １４…サーチ用光学系（低倍）
Claims (3)
- 【請求項１】 基台上に搭載され基板を載置するステー
ジと、 前記基板を跨ぐように前記基台に設けられた門型アーム
と、 この門型アームと前記ステージを前記基板に対してＹ方
向に相対移動させるＹ方向駆動手段と、 前記門型アームのＸアームに沿って前記基板に対して平
行移動可能に設けられた鏡筒部と、 この鏡筒部内に光軸を一定の距離Ｌだけ離して一体に組
込まれた低倍対物レンズを備えた低倍用光学系及び高倍
対物レンズを備えた高倍用光学系と、 前記低倍用光学系で捜した測定点に前記高倍用光学系の
光軸を一致させるように前記鏡筒部を前記アームに沿っ
て移動制御可能なＸ方向駆動手段と、 を備えたことを特徴とする基板検査装置。 - 【請求項２】 前記低倍用光学系は、無限遠の焦点距離
をもつ低倍対物レンズの光軸上に結像レンズ及び撮像素
子を配置してなり、また前記高倍用光学系は、無限遠の
焦点をもつ高倍対物レンズの光軸上に結像レンズ及び撮
像素子を配置してなることを特徴とする請求項１記載の
基板検査装置。 - 【請求項３】 前記高倍用光学系は、無限遠の焦点をも
つ高倍対物レンズの光軸上に倍率の異なる複数の交換可
能な結像レンズを配置したことを特徴とする請求項２記
載の基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11311107A JP2000136910A (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11311107A JP2000136910A (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000136910A true JP2000136910A (ja) | 2000-05-16 |
Family
ID=18013237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11311107A Pending JP2000136910A (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000136910A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009025303A (ja) * | 2002-09-30 | 2009-02-05 | Applied Materials Israel Ltd | 斜めのビュー角度をもつ検査システム |
-
1999
- 1999-11-01 JP JP11311107A patent/JP2000136910A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009025303A (ja) * | 2002-09-30 | 2009-02-05 | Applied Materials Israel Ltd | 斜めのビュー角度をもつ検査システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020806 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050719 |