JP2000056231A - 測定用光学機器の誤差補正装置 - Google Patents
測定用光学機器の誤差補正装置Info
- Publication number
- JP2000056231A JP2000056231A JP10232390A JP23239098A JP2000056231A JP 2000056231 A JP2000056231 A JP 2000056231A JP 10232390 A JP10232390 A JP 10232390A JP 23239098 A JP23239098 A JP 23239098A JP 2000056231 A JP2000056231 A JP 2000056231A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- measurement
- outer diameter
- diameter portion
- common outer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 異なる倍率の対物レンズを切り換えて使用し
た際に生ずる測定誤差を解消する。 【解決手段】 各対物レンズの鏡筒５に共通外径箇所を
設けると共に、切り換えられた対物レンズの共通外径箇
所の光学機器本体１に対する位置を検出する手段を設け
ることにより、対物レンズの切り換え時における光軸の
ずれ量を検知し、このずれ量を記憶して測定時における
実測値を補正する。
た際に生ずる測定誤差を解消する。 【解決手段】 各対物レンズの鏡筒５に共通外径箇所を
設けると共に、切り換えられた対物レンズの共通外径箇
所の光学機器本体１に対する位置を検出する手段を設け
ることにより、対物レンズの切り換え時における光軸の
ずれ量を検知し、このずれ量を記憶して測定時における
実測値を補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は測定用光学機器に
関し、より詳細には異なる倍率の対物レンズを切り換え
て使用した際に生ずる測定誤差を解消する補正装置に関
する。
関し、より詳細には異なる倍率の対物レンズを切り換え
て使用した際に生ずる測定誤差を解消する補正装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、測定用顕微鏡や非接触式三次元
測定機等の測定用光学機器が、プリント基板、加工部
品、鋳物等の寸法を測定するために使用されている。一
方、測定用光学機器においては異なる倍率の対物レンズ
を複数個備え、これらをレボルバにより切り換えて使用
することが公知である。この場合、顕微鏡を例にとれ
ば、顕微鏡で試料を測定する場合、先ず低倍率の対物レ
ンズで試料を広く捉えて測定点を探し、その後高倍率の
対物レンズに切り換えて拡大して精度よく測定するとい
う方法を用いている。
測定機等の測定用光学機器が、プリント基板、加工部
品、鋳物等の寸法を測定するために使用されている。一
方、測定用光学機器においては異なる倍率の対物レンズ
を複数個備え、これらをレボルバにより切り換えて使用
することが公知である。この場合、顕微鏡を例にとれ
ば、顕微鏡で試料を測定する場合、先ず低倍率の対物レ
ンズで試料を広く捉えて測定点を探し、その後高倍率の
対物レンズに切り換えて拡大して精度よく測定するとい
う方法を用いている。
【０００３】一方、一つの試料の中で大きさの違うもの
同士の寸法を測定する場合に、上記の方法を応用して、
倍率の違う複数の対物レンズを交換して大小の測定点を
計測することは有用である。しかしながら、対物レンズ
はレボルバ等の機械的手段により切り換えられるので、
加工精度の問題からレンズを切り換えた際の光軸のずれ
を零にすることは事実上不可能であり、微小なずれが生
じ、これが数ミクロンから十数ミクロンの単位で測定値
に上乗せされ測定誤差となった。
同士の寸法を測定する場合に、上記の方法を応用して、
倍率の違う複数の対物レンズを交換して大小の測定点を
計測することは有用である。しかしながら、対物レンズ
はレボルバ等の機械的手段により切り換えられるので、
加工精度の問題からレンズを切り換えた際の光軸のずれ
を零にすることは事実上不可能であり、微小なずれが生
じ、これが数ミクロンから十数ミクロンの単位で測定値
に上乗せされ測定誤差となった。
【０００４】そこで、高精度で測定する場合は、従来は
高倍率の対物レンズだけを用いて測定するか、対物レン
ズを固定して中間に変倍機能をもった光学系を用いて測
定していた。
高倍率の対物レンズだけを用いて測定するか、対物レン
ズを固定して中間に変倍機能をもった光学系を用いて測
定していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
前者の手段においては測定点を探しにくいという問題を
生じた。又、後者の手段においては測定誤差は生じない
ものの、光学系の構造上総合倍率が×５〜×１０に限ら
れ、測定倍率を大きくとることができないという問題を
生じた。
前者の手段においては測定点を探しにくいという問題を
生じた。又、後者の手段においては測定誤差は生じない
ものの、光学系の構造上総合倍率が×５〜×１０に限ら
れ、測定倍率を大きくとることができないという問題を
生じた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は以上の如き従
来技術の問題点を解消する誤差補正装置を提供すること
を目的としたものであり、異なる倍率の対物レンズを切
り換えて使用する測定用光学機器において、各対物レン
ズの鏡筒に共通外径箇所を設けると共に、切り換えられ
た対物レンズの共通外径箇所の光学機器本体に対する位
置を検出する手段を設けることにより、対物レンズの切
り換え時における光軸のずれ量を検知し、このずれ量を
記憶して測定時における実測値を補正することを特徴と
する。
来技術の問題点を解消する誤差補正装置を提供すること
を目的としたものであり、異なる倍率の対物レンズを切
り換えて使用する測定用光学機器において、各対物レン
ズの鏡筒に共通外径箇所を設けると共に、切り換えられ
た対物レンズの共通外径箇所の光学機器本体に対する位
置を検出する手段を設けることにより、対物レンズの切
り換え時における光軸のずれ量を検知し、このずれ量を
記憶して測定時における実測値を補正することを特徴と
する。
【０００７】ところで、対物レンズの倍率が異なる場合
はその鏡筒の外径も通常異なる。従って、外径が異なる
以上、切り換えられた対物レンズの光学機器本体に対す
る位置を検出するだけでは、対物レンズの切り換え時に
おける光軸のずれ量を検知することができない。この場
合、対物レンズの１本、１本にそれぞれ事前にキャリブ
レーションを行い、その時の計測値をサンプリングして
おき、対物レンズの切り換え時の計測量との比較を行う
ことでずれ量を検知できるが、切り換えた対物レンズの
認識が必要となり、制御や取り扱いも煩雑となり現実的
でない。この発明においては、各対物レンズの鏡筒の全
部又は一部分同士を共通外径とすることによりこの問題
を解消している。
はその鏡筒の外径も通常異なる。従って、外径が異なる
以上、切り換えられた対物レンズの光学機器本体に対す
る位置を検出するだけでは、対物レンズの切り換え時に
おける光軸のずれ量を検知することができない。この場
合、対物レンズの１本、１本にそれぞれ事前にキャリブ
レーションを行い、その時の計測値をサンプリングして
おき、対物レンズの切り換え時の計測量との比較を行う
ことでずれ量を検知できるが、切り換えた対物レンズの
認識が必要となり、制御や取り扱いも煩雑となり現実的
でない。この発明においては、各対物レンズの鏡筒の全
部又は一部分同士を共通外径とすることによりこの問題
を解消している。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の具体的実施例を
添付図面に基づいて説明する。図１乃至図５はこの発明
の誤差補正装置を測定顕微鏡に実施した例を示すもので
ある。図中符号１は顕微鏡の本体であり、この本体には
ＸＹＺの３方向に移動可能な移動テーブル６が設けら
れ、この移動テーブルはＺ（上下）方向に昇降するＺテ
ーブル７と、このＺテーブルに載置されＸＹ（平面）方
向に移動するＸＹテーブル８Ａ、８Ｂから構成される。
図中符号９、１０は焦点調節のためにＺテーブル７を上
下動させる粗動ダイヤル及び微動ダイヤルである。
添付図面に基づいて説明する。図１乃至図５はこの発明
の誤差補正装置を測定顕微鏡に実施した例を示すもので
ある。図中符号１は顕微鏡の本体であり、この本体には
ＸＹＺの３方向に移動可能な移動テーブル６が設けら
れ、この移動テーブルはＺ（上下）方向に昇降するＺテ
ーブル７と、このＺテーブルに載置されＸＹ（平面）方
向に移動するＸＹテーブル８Ａ、８Ｂから構成される。
図中符号９、１０は焦点調節のためにＺテーブル７を上
下動させる粗動ダイヤル及び微動ダイヤルである。
【０００９】計測作業においては、先ず移動テーブル６
の上部に試料を置き、ＸＹテーブル８Ａ、８Ｂを移動し
て測定点を定め、次にＺテーブルを上下動して焦点を合
わせ、更にＸＹテーブル８Ａ、８Ｂを微動調整して測定
始点をセットする。そして、測定終点までＸＹテーブル
８Ａ、８Ｂを移動させてセットすることにより、始点と
終点間の移動距離をＸＹテーブルと連動したスケールに
よって算出する。
の上部に試料を置き、ＸＹテーブル８Ａ、８Ｂを移動し
て測定点を定め、次にＺテーブルを上下動して焦点を合
わせ、更にＸＹテーブル８Ａ、８Ｂを微動調整して測定
始点をセットする。そして、測定終点までＸＹテーブル
８Ａ、８Ｂを移動させてセットすることにより、始点と
終点間の移動距離をＸＹテーブルと連動したスケールに
よって算出する。
【００１０】図中符号４はレボルバであり、対物レンズ
１３を内蔵した対物レンズの鏡筒５が倍率に応じて複数
個設けられる。このレボルバ４を回転駆動することによ
り顕微鏡の光軸上に対物レンズを順次位置させ、所望の
倍率の対物レンズを選択して観察する。
１３を内蔵した対物レンズの鏡筒５が倍率に応じて複数
個設けられる。このレボルバ４を回転駆動することによ
り顕微鏡の光軸上に対物レンズを順次位置させ、所望の
倍率の対物レンズを選択して観察する。
【００１１】図中符号２は接眼鏡筒、同じく３はテレビ
鏡筒であり、それぞれ接眼レンズ１１、ＣＣＤ１２が内
蔵される。テレビ鏡筒３においては、対物レンズの結像
面に配したＣＣＤ１２により画像を電気信号に変換し、
画像処理工程を経てモニター（図示せず）に像を再表示
している。測定点の位置出しのための移動テーブル６の
移動は、接眼鏡筒２又はモニターを観察しながら行われ
る。移動テーブル６には手動型と電動型のものがあり、
電動型の場合はモニターを用いて位置確認を行う。
鏡筒であり、それぞれ接眼レンズ１１、ＣＣＤ１２が内
蔵される。テレビ鏡筒３においては、対物レンズの結像
面に配したＣＣＤ１２により画像を電気信号に変換し、
画像処理工程を経てモニター（図示せず）に像を再表示
している。測定点の位置出しのための移動テーブル６の
移動は、接眼鏡筒２又はモニターを観察しながら行われ
る。移動テーブル６には手動型と電動型のものがあり、
電動型の場合はモニターを用いて位置確認を行う。
【００１２】以上の顕微鏡において、顕微鏡本体に対す
る対物レンズの鏡筒の位置を検出する手段が設けられる
ものであり、この実施例においてはレボルバ４の各対物
レンズの鏡筒５の切り換え位置（顕微鏡の光軸上）にお
いて、それを検出する静電容量検出器１４をステー１３
により対物レンズの鏡筒５を囲むように配している（図
１及び図３参照）。そして、制御回路（図示せず）にお
いてこの位置と既に調整管理された基準位置を比較する
ことにより対物レンズの光軸のずれ量を検知し、これを
記憶する。
る対物レンズの鏡筒の位置を検出する手段が設けられる
ものであり、この実施例においてはレボルバ４の各対物
レンズの鏡筒５の切り換え位置（顕微鏡の光軸上）にお
いて、それを検出する静電容量検出器１４をステー１３
により対物レンズの鏡筒５を囲むように配している（図
１及び図３参照）。そして、制御回路（図示せず）にお
いてこの位置と既に調整管理された基準位置を比較する
ことにより対物レンズの光軸のずれ量を検知し、これを
記憶する。
【００１３】この場合、対物レンズの鏡筒５は共通外径
箇所を有しなくてはならないが、この実施例においては
図５に示すように各対物レンズの鏡筒５に共通の外径か
ら膨径部を設けることにより共通外径箇所５Ａとしてい
る。尚、膨径部に代え縮径部（図示せず）を設けてもよ
いことは勿論である。
箇所を有しなくてはならないが、この実施例においては
図５に示すように各対物レンズの鏡筒５に共通の外径か
ら膨径部を設けることにより共通外径箇所５Ａとしてい
る。尚、膨径部に代え縮径部（図示せず）を設けてもよ
いことは勿論である。
【００１４】図４は、対物レンズの鏡筒の位置を検出す
る手段の異なる実施例を示すものであり、ここではレボ
ルバ４の各対物レンズの鏡筒５の切り換え位置（顕微鏡
の光軸上）において、それを検出する電気マイクロメー
タ２４をステー（図示せず）により対物レンズの鏡筒５
に接触するように配している。
る手段の異なる実施例を示すものであり、ここではレボ
ルバ４の各対物レンズの鏡筒５の切り換え位置（顕微鏡
の光軸上）において、それを検出する電気マイクロメー
タ２４をステー（図示せず）により対物レンズの鏡筒５
に接触するように配している。
【００１５】以下、この発明の誤差補正装置の作用を図
６のフローチャートに基づいて説明する。ここでは、基
準位置に調整された対物レンズで測定始点を計測し、次
に対物レンズを異なる倍率のものに交換して測定終点を
計測する場合の手順を説明することとする。
６のフローチャートに基づいて説明する。ここでは、基
準位置に調整された対物レンズで測定始点を計測し、次
に対物レンズを異なる倍率のものに交換して測定終点を
計測する場合の手順を説明することとする。
【００１６】（手順Ｓ１）先ず、電源を投入して顕微鏡
の照明ランプを点灯する。
の照明ランプを点灯する。
【００１７】（手順Ｓ２）像を見ながら粗微動ダイヤル
を回して、レンズの焦点を合わせる。
を回して、レンズの焦点を合わせる。
【００１８】（手順Ｓ３）試料を移動テーブルに載せ測
定始点に移動させる。
定始点に移動させる。
【００１９】（手順Ｓ４）移動テーブルのＸＹの微調整
により測定始点の位置出しを行い、始点座標（ｘ
0,ｙ0 ）を計測し、この値を記憶する。
により測定始点の位置出しを行い、始点座標（ｘ
0,ｙ0 ）を計測し、この値を記憶する。
【００２０】（手順Ｓ５）レボルバを回転して所望の倍
率の対物レンズを顕微鏡の光軸に位置させる。
率の対物レンズを顕微鏡の光軸に位置させる。
【００２１】（手順Ｓ６）手順Ｓ５において対物レンズ
を交換することにより、新たに顕微鏡の光軸に位置する
対物レンズの位置検出用の光源が点灯し、これを受光し
た位置センサにより入射位置のアドレスが検知される。
を交換することにより、新たに顕微鏡の光軸に位置する
対物レンズの位置検出用の光源が点灯し、これを受光し
た位置センサにより入射位置のアドレスが検知される。
【００２２】（手順Ｓ７）手順Ｓ６において検知された
アドレスと原点（基準位置）からのずれ量を割り出し、
これを誤差量（△ｘ，△ｙ）とする。
アドレスと原点（基準位置）からのずれ量を割り出し、
これを誤差量（△ｘ，△ｙ）とする。
【００２３】（手順Ｓ８）手順Ｓ７において割り出した
誤差量を補正メモリに記憶し、この時点で前歴メモリは
消去される。
誤差量を補正メモリに記憶し、この時点で前歴メモリは
消去される。
【００２４】（手順Ｓ９）キャリブレーションが完了す
る。
る。
【００２５】（手順Ｓ１０）計測動作を進行させ次の測
定点まで試料を移動させ、焦点を合わせ移動テーブルの
ＸＹの微調整により測定終点の位置出しを行い、終点座
標（ｘ1,ｙ1 ）を計測し、この値を記憶する。
定点まで試料を移動させ、焦点を合わせ移動テーブルの
ＸＹの微調整により測定終点の位置出しを行い、終点座
標（ｘ1,ｙ1 ）を計測し、この値を記憶する。
【００２６】（手順Ｓ１１）実測データ（｜ｘ1 −ｘ0
｜，｜ｙ1 −ｙ0 ｜）から前記誤差量（△ｘ，△ｙ）を
引き、真の値（｜ｘ1 −ｘ0 −△ｘ｜，｜ｙ1 −ｙ0 −
△ｙ｜）を得る（図７参照）。
｜，｜ｙ1 −ｙ0 ｜）から前記誤差量（△ｘ，△ｙ）を
引き、真の値（｜ｘ1 −ｘ0 −△ｘ｜，｜ｙ1 −ｙ0 −
△ｙ｜）を得る（図７参照）。
【００２７】
【発明の効果】以上の構成よりなるこの発明の誤差補正
装置によれば、対物レンズの交換の度に位置出しの校正
を行うので、対物レンズ交換により生ずる測定誤差が解
消され、計測作業中に何回でも対物レンズの交換が可能
となる。
装置によれば、対物レンズの交換の度に位置出しの校正
を行うので、対物レンズ交換により生ずる測定誤差が解
消され、計測作業中に何回でも対物レンズの交換が可能
となる。
【００２８】従って、測定点のサイズに最適な拡大率の
選択ができ、測定点の位置出し作業が精度良くできるこ
ととなり、微小体を含んだ物体等の今まで以上の精密測
定が可能となる効果を奏する。
選択ができ、測定点の位置出し作業が精度良くできるこ
ととなり、微小体を含んだ物体等の今まで以上の精密測
定が可能となる効果を奏する。
【００２９】又、各対物レンズの鏡筒に共通外径箇所を
設けると共に、切り換えられた対物レンズの共通外径箇
所の光学機器本体に対する位置を検出する手段を設ける
ことにより、対物レンズの切り換え時における光軸のず
れ量を検知するので、切り換えた対物レンズの認識が不
要であり、制御や取り扱いも容易となり、簡易な手段に
より上記の効果を奏することが可能となる。
設けると共に、切り換えられた対物レンズの共通外径箇
所の光学機器本体に対する位置を検出する手段を設ける
ことにより、対物レンズの切り換え時における光軸のず
れ量を検知するので、切り換えた対物レンズの認識が不
要であり、制御や取り扱いも容易となり、簡易な手段に
より上記の効果を奏することが可能となる。
【図１】この発明の誤差補正装置を実施した測定顕微鏡
の側面図。
の側面図。
【図２】同上、光学系を示す切り欠き側面図。
【図３】同上、レボルバ部分の底面図。
【図４】同上、レボルバ部分の異なる実施例の底面図。
【図５】同上、対物レンズの鏡筒部分の実施例の側面
図。
図。
【図６】この発明の誤差補正装置の作用を示すフローチ
ャート。
ャート。
【図７】この発明の誤差補正装置の作用を示す原理図。
【符号の説明】 １ 測定機器の本体 ４ レボルバ ５ 対物レンズの鏡筒 ５Ａ （対物レンズの鏡筒の）共通外径箇所 １４ 静電容量検出器 ２４ 電気マイクロメータ
Claims (4)
- 【請求項１】 異なる倍率の対物レンズを切り換えて使
用する測定用光学機器において、各対物レンズの鏡筒に
共通外径箇所を設けると共に、切り換えられた対物レン
ズの共通外径箇所の光学機器本体に対する位置を検出す
る手段を設けることにより、対物レンズの切り換え時に
おける光軸のずれ量を検知し、このずれ量を記憶して測
定時における実測値を補正することを特徴とする測定用
光学機器の誤差補正装置。 - 【請求項２】 静電容量検出器により対物レンズの鏡筒
の共通外径箇所の位置を検出する請求項１記載の測定用
光学機器の誤差補正装置。 - 【請求項３】 電気マイクロメータにより対物レンズの
鏡筒の共通外径箇所の位置を検出する請求項１記載の測
定用光学機器の誤差補正装置。 - 【請求項４】 各対物レンズの鏡筒の一部に共通の外径
を有する膨径又は縮径部を設けることにより共通外径箇
所とした請求項１から３の何れかに記載の測定用光学機
器の誤差補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10232390A JP2000056231A (ja) | 1998-08-05 | 1998-08-05 | 測定用光学機器の誤差補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10232390A JP2000056231A (ja) | 1998-08-05 | 1998-08-05 | 測定用光学機器の誤差補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000056231A true JP2000056231A (ja) | 2000-02-25 |
Family
ID=16938500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10232390A Pending JP2000056231A (ja) | 1998-08-05 | 1998-08-05 | 測定用光学機器の誤差補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000056231A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002031764A (ja) * | 2000-07-17 | 2002-01-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡の焦準装置 |
| JP2008299027A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Olympus Corp | 顕微鏡装置、該制御プログラム、及び該制御方法 |
| JP2009025488A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | National Institute Of Information & Communication Technology | 顕微鏡及びその観測方法 |
| CN113176661A (zh) * | 2021-05-10 | 2021-07-27 | 吴莹 | 一种显微镜镜头倍率切换装置 |
-
1998
- 1998-08-05 JP JP10232390A patent/JP2000056231A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002031764A (ja) * | 2000-07-17 | 2002-01-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡の焦準装置 |
| JP4717185B2 (ja) * | 2000-07-17 | 2011-07-06 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡の焦準装置 |
| JP2008299027A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Olympus Corp | 顕微鏡装置、該制御プログラム、及び該制御方法 |
| JP2009025488A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | National Institute Of Information & Communication Technology | 顕微鏡及びその観測方法 |
| CN113176661A (zh) * | 2021-05-10 | 2021-07-27 | 吴莹 | 一种显微镜镜头倍率切换装置 |
| CN113176661B (zh) * | 2021-05-10 | 2023-11-28 | 东莞市旺民光学仪器有限公司 | 一种显微镜镜头倍率切换装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101068078B1 (ko) | 촬상장치, 촬상렌즈, 촬상렌즈에의 데이터 기록방법 | |
| US5276550A (en) | Optical microscope with variable magnification | |
| JP6510502B2 (ja) | 旋回スタンドを備えたデジタル顕微鏡、そのようなデジタル顕微鏡のための較正方法ならびに焦点および画像中心の自動追跡方法 | |
| JP5479950B2 (ja) | 顕微鏡装置及び観察位置再現方法 | |
| JP2010032471A (ja) | 画像計測装置及びコンピュータプログラム | |
| JPS58181005A (ja) | 自動焦点位置合せ及び測定装置並びに方法 | |
| JP2001221749A (ja) | 観察装置及び観察方法 | |
| JP2006023285A (ja) | 複合型走査プローブ顕微鏡及び複合型走査プローブ顕微鏡のカンチレバー位置表示方法 | |
| JP2012078330A (ja) | レンズ検査機のカメラユニット移動調整方法及びフォーカスチェック治具 | |
| JP2000056231A (ja) | 測定用光学機器の誤差補正装置 | |
| JP3899623B2 (ja) | 画像検査・測定装置 | |
| CN110220981B (zh) | 一种用于超声扫描显微镜的定位仪 | |
| JP2007103787A (ja) | 固体撮像素子の検査装置 | |
| JP2000055623A (ja) | 測定用光学機器の誤差補正装置 | |
| JPH05196561A (ja) | 硬度測定装置および硬度測定方法 | |
| JP2002057197A (ja) | プローブ方法及びプローブ装置 | |
| JP3750259B2 (ja) | 画像検査・測定装置 | |
| US8027528B2 (en) | Method for calculating height of chuck top and program storage medium for storing same method | |
| KR20070015310A (ko) | 반도체 소자의 오버레이 측정장치 | |
| JP4384446B2 (ja) | オートフォーカス方法及びその装置 | |
| JP2009192296A (ja) | 形状測定装置 | |
| CN113916507B (zh) | 小空间高集成度红外共孔径光学系统测试装置及方法 | |
| JPH02163601A (ja) | 走査型トンネル顕微鏡 | |
| JP2000136910A (ja) | 基板検査装置 | |
| JPH0829129A (ja) | 長さ測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |