JP2000127022A - 石英ガラスロッドの溝研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】研磨面の面荒れがなく、作業時間が短くて済
み、コストも低廉で、幅が狭く、深さのある溝の機械研
磨が可能となり、全ゆる溝の寸法形状に全て対応し、容
易に研磨加工が行え、多種多様な研磨治具を製作するこ
となく、低コストで溝部分の研磨を行うことができ、石
英ガラスロッドをダイヤモンドブレードで切断溝加工し
た後に、機械研磨を行うことによって切断加工溝面を鏡
面にすることができ、その上ダイヤモンドブレードで切
断溝加工した後に残留する金属不純物の除去も同時に行
うことができるようにした石英ガラスロッドの溝研磨装
置を提供する。 【解決手段】溝付き石英ガラスロッドを載置固定する石
英ガラスロッド固定手段と、該石英ガラスロッド固定手
段に対向して設置されかつ該石英ガラスロッドの溝部分
を研磨する研磨用回転ブラシ手段と、該研磨用回転ブラ
シ手段によって該石英ガラスロッドの溝部分が研磨され
るように該石英ガラスロッド固定手段と研磨用回転ブラ
シ手段のいずれか一方又は双方を移動させる手段とを有
するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣや超ＬＳＩ等
を製造するためのシリコンウェハーの熱処理に使用され
る石英製のウェハーボートに用いられる石英ガラスロッ
ドの溝研磨用に用いられる装置に関する。

【０００２】

【関連技術】従来、ウェハーボートに用いられる溝付き
石英ガラスロッドの溝加工は、無垢の石英ガラスロッド
をダイヤモンドブレードで切断溝加工することによって
行われていた。しかし、ダイヤモンドブレードによる切
断溝加工時に、ブレードに含まれる微量な金属不純物が
石英ガラスロッドの溝部分に残留してしまい、ウェハー
の熱処理中に、ウェハーを汚染してしまうという欠点を
有していた。

【０００３】又、ダイヤモンドブレードによる切断溝加
工面がそのままの状態で使用されると、ウェハーの熱処
理中に、溝部分からパーティクルが発生し、ウェハーに
悪影響を及ぼしていた。

【０００４】それらの欠点を防止するために、まず第一
の手段としては、ダイヤモンドブレードで切断溝加工さ
れた石英ガラスロッドの洗浄を強化することが行われて
いた。

【０００５】第二の手段としては、溝部分からのパーテ
ィクル発生防止のためには、溝部分を火炎研磨するとい
う方法が行われていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た第一の手段の石英ガラスロッドの洗浄強化では、洗浄
液にＨＦ液が使用されるが、ＨＦによる洗浄を強化する
と、切断面の面荒れがひどくなってしまうと同時に洗浄
に要する時間が長くなってしまうという欠点があった。

【０００７】第二の手段の溝部分を火炎研磨する場合に
は、溝加工が施された石英ガラスロッドが曲がってしま
うという不具合や火炎研磨の程度にばらつきが生じると
いう不具合が生じてしまう。又、火炎研磨によるロッド
の曲がりを防ぐ為に、火炎を弱くし時間をかけて行う必
要があった。更に、火炎研磨で生じた曲がりを修正する
ために、アニール処理を行うなど、作業時間が大幅に長
くなり、コストが高くなってしまっている。

【０００８】しかも、幅が狭く、深さのある溝を機械研
磨することは、従来はほとんど不可能であり、もし可能
であったとしても、溝の幅、深さ、ピッチに合う特殊な
研磨治具を作成しなければならず、その上、ボートの形
状に合わせた治具を何種類も準備しなければならないた
め、治具作成のコストが大きくなってしまっていた。

【０００９】本発明は、上記した問題点に鑑みなされた
もので、研磨面の面荒れがなく、作業時間が短くて済
み、コストも低廉で、幅が狭く、深さのある溝の機械研
磨が可能となり、全ゆる溝の寸法形状に全て対応し、容
易に研磨加工が行え、多種多様な研磨治具を製作するこ
となく、低コストで溝部分の研磨を行うことができ、石
英ガラスロッドをダイヤモンドブレードで切断溝加工し
た後に、機械研磨を行うことによって切断加工溝面を鏡
面にすることができ、その上ダイヤモンドブレードで切
断溝加工した後に残留する金属不純物の除去も同時に行
うことができるようにした石英ガラスロッドの溝研磨装
置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、本発明の第１の石英ガラスロッドの溝研磨装置
は、溝付き石英ガラスロッドを載置固定する石英ガラス
ロッド固定手段と、該石英ガラスロッド固定手段に対向
して設置されかつ該石英ガラスロッドの溝部分を研磨す
る研磨用ブラシ手段と、該研磨用ブラシ手段によって該
石英ガラスロッドの溝部分が研磨されるように該石英ガ
ラスロッド固定手段と研磨用ブラシ手段のいずれか一方
又は双方を移動させる手段とを有することを特徴とす
る。研磨治具として研磨用ブラシ手段を使用することに
よって、溝付き石英ガラスロッドの溝部分を鏡面研磨す
ることが可能となる。

【００１１】上記石英ガラスロッドと研磨用ブラシ手段
とを所定の角度をもって対向せしめるように構成するこ
とによって、石英ガラスロッドの溝に対して研磨用ブラ
シ手段が角度を持って研磨処理を行い、溝の側面部分の
研磨が良好に行われる。なお、石英ガラスロッドと研磨
用ブラシ手段が平行であると、石英ガラスロッドの溝部
分の底面部分は研磨されるが、側面部分が研磨されにく
いという不具合が存在する。

【００１２】本発明の第２の石英ガラスロッドの溝研磨
装置は、ベースプレートと、該ベースプレートの両側端
部に設けられた一対のブラシ移動用レールと、該ブラシ
移動用レール上を摺動自在に移動する移動ブロックと、
該移動ブロックに両端部がそれぞれ取り付けられた研磨
用ブラシ手段と、該ベースプレートの中央部に設けられ
上面に溝付き石英ガラスロッドを載置固定しかつ角度調
整機構を具備した石英ガラスロッド固定台とを有するこ
とを特徴とする。

【００１３】本発明の第３の石英ガラスロッドの溝研磨
装置は、ベースプレートと、該ベースプレートの両側端
部に設けられた一対のブラシ移動用レールと、一方のブ
ラシ移動用レールを側方に移動自在に載置するレール移
動用レールと、該一対のブラシ移動用レール上をそれぞ
れ摺動自在に移動する移動プレートと、該移動プレート
上にそれぞれ回転可能に取り付けられた移動ブロック
と、該移動ブロックに両端部がそれぞれ取り付けられた
研磨用ブラシ手段と、該ベースプレートの中央部に設け
られ上面に溝付き石英ガラスロッドを載置固定する石英
ガラスロッド固定台とを有することを特徴とする。

【００１４】本発明の第３の石英ガラスロッドの溝研磨
装置において、石英ガラスロッド固定台にさらに角度調
整機構を具備させれば、種々の態様の角度調整を行うこ
とができる。

【００１５】上記した本発明の第２及び第３の石英ガラ
スロッドの溝研磨装置によれば研磨に使用する研磨用ブ
ラシ手段と被研磨物である石英ガラスロッドとの角度を
任意に設定可能とされているので、石英ガラスロッドの
溝部側面の研磨を良好に実施できるものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に本発明の１つの実施の形態
を添付図面中、図１〜図５に基づいて説明するが、本発
明がこれらの実施の形態に限定して解釈されるものでな
いことはいうまでもない。

【００１７】図１は本発明の石英ガラスロッドの溝研磨
装置の一つの実施の形態を示す平面図である。図２は図
１の側面図である。図３は図１の正面図である。図４は
研磨用ブラシによって石英ガラスロッドの溝部分を研磨
している状態を示す摘示説明図である。図５は研磨用ブ
ラシの摘示側面説明図である。

【００１８】図中、１２は本発明に係る石英ガラスロッ
ドの溝研磨装置で、ベースプレート１４を有している。
該ベースプレート１４の左右両側端部にはブラシ移動用
レール１６ａ，１６ｂが支持脚１７ａ，１７ｂを介して
相対向して設置されている。該ブラシ移動用レール１６
ａ，１６ｂには移動ブロック１８ａ，１８ｂを固定手段
４４ａ，４４ｂによって上面に固着した移動プレート１
９ａ，１９ｂが摺動自在に取りつけられている。

【００１９】２０はブラシ用シャフトで、その両端部は
該移動ブロック１８ａ，１８ｂの内面側に回転自在に挿
着されている。該ブラシ用シャフト２０の外周面にはブ
ラシ毛２２ａが植設されている。２２は研磨用ブラシ手
段又は研磨用ブラシであり、該ブラシ用シャフト２０及
びブラシ毛２２ａから構成されている。２４は該移動ブ
ロック１８ａの外面側に取りつけられたブラシ回転用モ
ータで、上記したブラシ用シャフト２０に接続されてい
る。該ブラシ回転用モータ２４のオン・オフによって該
ブラシ用シャフト２０及び研磨用ブラシ２２の回転（正
回転又は逆回転）・停止が行われる。

【００２０】２６はボールネジで、該ブラシ移動用レー
ル１６ｂの外側に並設されている。該ボールネジ２６
は、移動ブロック１８ｂの外面側に設けられたボールネ
ジ受け部２８に螺動自在に挿着されている。該ボールネ
ジ２６の一端部はギアボックス２９を介してブラシ移動
用モータ３０に接続されている。

【００２１】該ブラシ移動用モータ３０をオンとする
と、ギアボックス２８を介して該ボールネジ２６が回転
し、この回転によってボールネジ受け部２８が該ボール
ネジ２６上を移動し、それとともに移動ブロック１８ｂ
がブラシ移動用レール１６ｂ上を移動し、同時に移動ブ
ロック１８ａがブラシ移動用レール１６ａ上を移動す
る。

【００２２】これによって、ブラシ用シャフト２０及び
研磨用ブラシ２２が移動する。３２ａ，３２ｂは該ブラ
シ移動用レール１６ｂに設けられた上下のストッパー
で、該ブラシ移動用レール１６ｂ上を移動する移動ブロ
ック１８ｂの移動範囲を制限する働きを行う。

【００２３】３４は石英ガラスロッド固定台で、複数の
溝付き石英ガラスロッド３６を載置固定する。該石英ガ
ラスロッド固定台３４の下面には研磨用ブラシ２２に対
する角度を自在に変更できる角度調整機構３８が付設さ
れている。

【００２４】なお、石英ガラスロッド３６の溝部分３６
ａを実際に研磨するにあたっては、研磨剤として酸化セ
リウムやコロイダルシリカなどを添加して研磨するのが
好適である。

【００２５】図１において４６は研磨剤供給管であり、
酸化セリウムやコロイダルシリカを水に溶いて液状とし
た研磨剤４８を研磨剤供給管４６の先端スプレー部４６
ａから噴霧して溝研磨される石英ガラスロッド３６上に
供給する。

【００２６】上記した構成によりその作用を説明する。
まず、角度調整機構３８によって石英ガラスロッド固定
台３４を研磨ブラシ２２に対して所定の角度だけ傾けた
状態に設定する。石英ガラスロッド固定台３４に研磨す
べき石英ガラスロッド３６を載置固定する。

【００２７】次に、ブラシ回転用モータ２４及びブラシ
移動用モータ３０を正回転させて、研磨用ブラシ２２を
正回転させるとともにブラシ移動用レール１６ａ，１６
ｂ上の該研磨用ブラシ２２の移動（図１の状態から下方
へ）を開始させる。研磨用ブラシ２２が石英ガラスロッ
ド固定台３４に載置固定された溝付き石英ガラスロッド
３６と接すると、研磨ブラシ２２の先端ブラシ部分が石
英ガラスロッド３６の溝部分３６ａ内に侵入して溝部分
３６ａの隅々まで研磨する（図４）。

【００２８】該研磨用ブラシ２２の下方への移動が下部
ストッパー３２ｂに達して停止すると、続いてブラシ回
転用モータ２４及びブラシ移動用モータ３０を逆回転さ
せて、研磨用ブラシを逆回転させるとともにブラシ移動
用レール１６ａ，１６ｂ上の該研磨用ブラシ２２の上方
への移動を開始させる。

【００２９】同様に、研磨用ブラシ２２が石英ガラスロ
ッド固定台３４上の溝付き石英ガラスロッド３６に接す
ると、研磨用ブラシ２２の先端ブラシ部分が石英ガラス
ロッド３６の溝部分３６ａ内に侵入して溝部分３６ａを
隅々まで研磨する（図４）。

【００３０】該研磨用ブラシ２２の上方への移動が上部
ストッパー３２ａに達して停止すると、続いてブラシ回
転用モータ２４及びブラシ移動用モータ３０を再び正回
転させて、研磨用ブラシ２２を正回転させるとともにブ
ラシ移動用レール１６ａ，１６ｂ上の該研磨用ブラシ２
２の下方への移動を再び行って、石英ガラスロッド３６
の溝部分３６ａの研磨を行う。

【００３１】このようにして、研磨用ブラシ２２の上下
動を繰り返すことによって石英ガラスロッド３６の溝部
分３６ａの研磨を行い、石英ガラスロッド３６の溝部分
３６ａが所定の研磨状態に達した段階で、ブラシ回転用
モータ２４及びブラシ移動用モータ３０を停止させる。

【００３２】上述したように、溝付き石英ガラスロッド
３６を研磨ブラシ２２に対して所定角度だけ傾斜させた
状態で研磨することによって、石英ガラスロッド３６の
溝部３６ａの側壁部分が良好に研磨される。この石英ガ
ラスロッド３６、即ち石英ガラスロッド固定台３４の研
磨ブラシ２２に対する傾斜の付け方としては、種々の方
策が考えられるものである。

【００３３】図１〜図３に示したように石英ガラスロッ
ド固定台３４に角度調整機能３８を取りつけてその角度
を変えて研磨ブラシ２２に対して傾斜を付ける手法の他
に、石英ガラスロッド固定台３４の角度は不変として、
研磨ブラシ２２を傾斜させる構成とすることも可能であ
る。

【００３４】図６に基づいて研磨ブラシ２２を傾斜可能
とする構成についての例を説明する。図６は本発明の他
の実施の形態を示す平面図である。図６において、図１
〜図５と同一又は類似部材は同一の符号を用いる。

【００３５】図６において、ウェーハボートの溝研磨装
置１２は、ベースプレート１４、ブラシ移動用レール１
６ａ，１６ｂ、支持脚１７ａ，１７ｂ、移動ブロック１
８ａ，１８ｂ、移動プレート１９ａ，１９ｂ、ブラシ用
シャフト２０、研磨ブラシ２２、ブラシ回転用モータ２
４、ボールネジ２６、ボールネジ受け部２８、ギアボッ
クス２９、ブラシ移動用モータ３０、上下部のストッパ
ー３２ａ，３２ｂ、固定手段４４ａ，４４ｂ、石英ガラ
スロッド固定台３４及び石英ガラスロッド３６の構成及
び配置は、支持脚１７ａ，１７ｂがベースプレート１４
に固定されておらず、移動自在とされ、移動ブロック１
８ａ，１８ｂが移動プレート１７ａ１７ｂ上に固定され
ておらず回動可能とされ、かつ該石英ガラスロッド固定
台３４がベースプレート１４上に固定されている点を除
いて、図１〜図３の構成と同様の構成を有している。

【００３６】４０ａ，４０ｂはブラシ移動用レール１６
ａ，１６ｂに直交するように該ベースプレート１４の上
面でかつ該ブラシ移動用レール１６ａ，１６ｂの上下端
部の下側に設けられたレール移動用レールである。該レ
ール移動用レール４０ａ，４０ｂの両端部は支持脚１７
ｃ，１７ｄを介してベースプレート１４の上面に固定さ
れている。

【００３７】該ブラシ移動用レール１６ａの両端部の下
面にはガイドプレート４２ａ，４２ｂが固着されてい
る。該ガイドプレート４２ａ，４２ｂは該レール移動用
レール４０ａ，４０ｂに摺動自在に取りつけられてい
る。したがって、該ブラシ移動用レール１６ａは、該レ
ール移動用レール４０ａ，４０ｂ上を該ガイドプレート
４２ａ，４２ｂを介して移動可能とされ、該ブラシ移動
用レール１６ａを移動させることによって該石英ガラス
ロッド固定台３４に対する研磨用ブラシ２２の傾斜角度
θを自在に設定することができる。

【００３８】４４ａ，４４ｂは移動ブロック１８ａ，１
８ｂを移動プレート１９ａ，１９ｂに固定するための固
定手段であり、研磨用ブラシ２２の傾斜角度θが所定の
角度となった場合に、該固定手段４４ａ，４４ｂを用い
て該移動ブロック１８ａ，１８ｂを該移動プレート１９
ａ，１９ｂに固定することによって、その所定の傾斜角
度θを維持することが可能となる。

【００３９】この構成によれば、まずブラシ移動用レー
ル１６ａをレール移動用レール４０ａ，４０ｂ上を移動
させることによって石英ガラスロッド固定台３４に対す
る研磨用ブラシ２２の傾斜角度θを所望角度に設定し、
固定手段４４ａ，４４ｂを用いて移動ブロック１８ａを
移動プレート１９ａに固定して当該傾斜角度θを固定維
持せしめる。石英ガラスロッド固定台３４に研磨すべき
石英ガラスロッド３６を載置固定する。

【００４０】次に、ブラシ回転用モータ２４及びブラシ
移動用モータ３０を正回転させて研磨ブラシ２２を正回
転させるとともにブラシ移動用レール１６ａ，１６ｂ上
の移動（図６の状態から下方へ）を開始させる。研磨用
ブラシ２２が石英ガラスロッド固定台３４に載置固定さ
れた石英ガラスロッド３６と接すると、研磨用ブラシ２
２の先端ブラシ部分が石英ガラスロッド３６の溝部分３
６ａ内に侵入して溝部分３６ａの隅々まで研磨する。

【００４１】研磨用ブラシ２２の下方への移動が下部ス
トッパー３２ｂに達して停止すると、続いてブラシ回転
用モータ２４及びブラシ移動用モータ３０を逆回転させ
て、研磨用ブラシ２２を逆回転させるとともにブラシ移
動用レール１６ａ，１６ｂ上の上方への移動を開始させ
る。同様に、研磨用ブラシ２２が石英ガラスロッド固定
台３４上の石英ガラスロッド３６に接すると、研磨用ブ
ラシ２２の先端ブラシ部分が石英ガラスロッド３６の溝
部分３６ａ内に侵入して溝部分３６ａを隅々まで研磨す
る。

【００４２】研磨用ブラシ２２の上方への移動が上部ス
トッパー３２ａに達して停止すると、続いてブラシ回転
用モータ２４及びブラシ移動用モータ３０を再び正回転
させて、研磨用ブラシ２２を正回転させるとともにブラ
シ移動用レール１６ａ，１６ｂ上の下方への移動を再び
行って、石英ガラスロッド３６の溝部分３６ａの研磨を
行う。このように、研磨用ブラシ２２の上下動を繰り返
すことによって石英ガラスロッド３６の溝部分３６ａの
研磨を行い、石英ガラスロッド３６の溝部分３６ａが所
定の研磨状態に達した段階で、ブラシ回転用モータ２４
及びブラシ移動用モータ３０を停止させる。

【００４３】図６の例では、石英ガラスロッド固定台３
４をベースプレート１４上に固定した場合を例示した
が、図３に示したように角度調整機構３８を設けること
も可能である。この場合は、石英ガラスロッド固定台３
４及び研磨用ブラシ２２のそれぞれの角度を調整するこ
とによって種々の研磨態様を採用することが可能とな
る。

【００４４】図１及び図６に示した例においては、石英
ガラスロッド固定台３４は移動せず、研磨用ブラシ２２
が移動して石英ガラスロッド３６の溝部分３６ａの研磨
を行う場合を例示したが、この反対に研磨ブラシ２２を
移動せず、石英ガラスロッド固定台３４を移動して石英
ガラスロッド３６の溝部分３６ａの研磨を行うこともで
き、また、研磨ブラシ２２及び石英ガラスロッド固定台
３４の双方を互いに移動させるようにすることも可能で
ある。

【００４５】

【実施例】以下に、本発明を実施例を用いて説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
く、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が
可能であることは勿論である。

【００４６】（実施例１）外径が１６ｍｍ、長さ１００
０ｍｍの石英ガラスロッドの端部３０ｍｍから溝幅３．
５ｍｍ、溝深さ８ｍｍ、ピッチ５．５ｍｍで溝数１７０
の溝をダイヤモンドブレードで切断溝加工した。切断溝
加工された石英ガラスロッド４本を溝部分を上に向けて
並べ、ロッドの両端を研磨装置に固定した。

【００４７】毛の太さ０．２ｍｍ、毛足２０ｍｍのナイ
ロンブラシを直径３０ｍｍ、長さ１５００ｍｍの金属製
シャフトに巻き付けたロール状のブラシを図１に示した
研磨装置に装着した。ブラシとロッドの角度を３０°に
調整した後、回転数１２００ｒｐｍでブラシを回転さ
せ、移動速度５０ｍｍ／sec.の往復運動をさせて、研磨
剤として酸化セリウムを水に溶いて溝部分にかけなが
ら、溝部分の研磨を行った。３０分経過した後、ブラシ
の角度を反対側に３０°に設定し直し、３０分研磨をし
た。

【００４８】研磨の終了したロッドを超音波洗浄層内で
純水で洗浄した後、溝部分を目視で観察した。各溝はば
らつきなく、鏡面に研磨されていた。その後、走査電子
顕微鏡で溝部分を観察したが、ダイヤモンドブレードか
ら混入する金属不純物は、観察されなかった。

【００４９】

【発明の効果】以上述べたごとく、本発明の石英ガラス
ロッドの溝研磨装置は、研磨面の面荒れがなく、作業時
間が短くて済み、コストも低廉で、幅が狭く、深さのあ
る溝の機械研磨が可能となり、全ゆる溝の寸法形状に全
て対応し、容易に研磨加工が行え、多種多様な研磨治具
を製作することなく、低コストで溝部分の研磨を行うこ
とができ、石英ガラスロッドをダイヤモンドブレードで
切断加工した後に、機械研磨を行うことによって切断加
工溝面を鏡面にすることができ、その上ダイヤモンドブ
レードで切断加工した後に残留する金属不純物の除去も
同時に行うことができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の石英ガラスロッドの溝研磨装置の一
つの実施の形態を示す平面図である。

【図２】 図１の側面図である。

【図３】 図１の正面図である。

【図４】 研磨用ブラシによって石英ガラスロッドの溝
部を研磨している状態を示す摘示説明図である。

【図５】 研磨用ブラシの摘示側面説明図である。

【図６】 本発明の石英ガラスロッドの溝研磨装置の他
の実施の形態を示す平面図である。

【符号の説明】 １２：石英ガラスロッドの溝研磨装置、１４：ベースプ
レート、１６ａ，１６ｂ：ブラシ移動用レール、１７
ａ，１７ｂ：支持脚、１８ａ，１８ｂ：移動ブロック、
１９ａ，１９ｂ：移動プレート、２０：ブラシ用シャフ
ト、２２：研磨用ブラシ、２４：ブラシ回転用モータ、
２６：ボールネジ、２８：ボールネジ受け部、２９：ギ
アボックス、３０：ブラシ移動用モータ、３２ａ，３２
ｂ：ストッパー、３４：石英ガラスロッド固定台、３
６：石英ガラスロッド、３８：角度調整機構、４０ａ，
４０ｂ：レール移動用レール、４２ａ，４２ｂ：ガイド
プレート、４４ａ，４４ｂ：固定手段、４６：研磨剤供
給管、４８：研磨剤。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 須釜 明彦 福島県郡山市田村町金屋字川久保88番地 信越石英株式会社郡山工場内 (72)発明者 松谷 利勝 山形県天童市大字清地字藤段1357番地３ 株式会社山形信越石英内 (72)発明者 水野 徹 福島県岩瀬郡鏡石町大字鏡田字鏡173 株 式会社アトック福島工場内 Ｆターム(参考） 3C058 AA06 AA14 AA16 AB04 AB06 AB08 AC04 BA07 CA01 CA06 CB01 CB05 CB07 4G015 FA02 FB03 FC08 FC10 4G059 AA11 AC01

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 溝付き石英ガラスロッドを載置固定する
   石英ガラスロッド固定手段と、該石英ガラスロッド固定
   手段に対向して設置されかつ該石英ガラスロッドの溝部
   分を研磨する研磨用ブラシ手段と、該研磨用ブラシ手段
   によって該石英ガラスロッドの溝部分が研磨されるよう
   に該石英ガラスロッド固定手段と研磨用ブラシ手段のい
   ずれか一方又は双方を移動させる手段とを有することを
   特徴とする石英ガラスロッドの溝研磨装置。
2. 【請求項２】 前記石英ガラスロッドと研磨用ブラシ手
   段とを所定の角度をもって対向せしめるようにしたこと
   を特徴とする請求項１記載の石英ガラスロッドの溝研磨
   装置。
3. 【請求項３】 ベースプレートと、該ベースプレートの
   両側端部に設けられた一対のブラシ移動用レールと、該
   ブラシ移動用レール上を摺動自在に移動する移動ブロッ
   クと、該移動ブロックに両端部がそれぞれ取り付けられ
   た研磨用ブラシ手段と、該ベースプレートの中央部に設
   けられ上面に溝付き石英ガラスロッドを載置固定しかつ
   角度調整機構を具備した石英ガラスロッド固定台とを有
   することを特徴とする石英ガラスロッドの溝研磨装置。
4. 【請求項４】 ベースプレートと、該ベースプレートの
   両側端部に設けられた一対のブラシ移動用レールと、一
   方のブラシ移動用レールを側方に移動自在に載置するレ
   ール移動用レールと、該一対のブラシ移動用レール上を
   それぞれ摺動自在に移動する移動プレートと、該移動プ
   レート上にそれぞれ回転可能に取り付けられた移動ブロ
   ックと、該移動ブロックに両端部がそれぞれ取り付けら
   れた研磨用ブラシ手段と、該ベースプレートの中央部に
   設けられ上面に溝付き石英ガラスロッドを載置固定する
   石英ガラスロッド固定台とを有することを特徴とする石
   英ガラスロッドの溝研磨装置。
5. 【請求項５】 前記石英ガラスロッド固定台が角度調整
   機構を具備していることを特徴とする請求項４記載の石
   英ガラスロッドの溝研磨装置。