JP2000119005A - オゾン発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 窒素酸化物の発生を抑えた上でオゾン発生効
率を向上させることができるようにする。 【解決手段】 対向電極を、放電電極３と、この放電電
極３を挟んで互いに対向した内部誘導電極４および外部
誘導電極５とで構成し、放電電極３と内部誘導電極４お
よび外部誘導電極５との間には、内部誘電体６および外
部誘電体７を介設し、しかも、内部誘電体６を、放電電
極３および内部誘導電極４の双方に当接した状態で両者
間に介設するとともに、外部誘電体７を、外部誘導電極
５に当接し、かつ、放電電極３に対して離間した状態で
両者間に介設している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コロナ放電を利用
して空気中の酸素からオゾンを生成するオゾン発生装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は、従来知られたオゾン発生装置の
原理を説明するための一部切欠き斜視図であり、（イ）
は、沿面放電型といわれるもの、（ロ）は、空間放電型
（無声放電型）といわれるものである。

【０００３】まず、図６の（イ）に示す沿面放電型のオ
ゾン発生装置１００は、軸状の誘導電極１０１と、この
誘導電極１０１に外嵌されたガラスやセラミック等の絶
縁材料からなる柱状誘電体１０３と、この柱状誘電体１
０３の周面に螺旋状に巻き付けられた線状の放電電極１
０２と、内周面がこの放電電極１０２に当接しない状態
で上記柱状誘電体１０３に遊嵌された保護管１０４とか
らなる基本構成を有している。柱状誘電体１０３の外周
面と保護管１０４の内周面との間には、環状隙間１０５
が形成されている。

【０００４】そして、交流電源１２０からの動力線の一
方を誘導電極１０１に接続するとともに、同他方を放電
電極１０２に接続することにより、柱状誘電体１０３の
放電電極１０２から２次元的に放電コロナが生起する、
いわゆる沿面放電が起こる。この沿面放電の生起状態で
保護管１０４の一方の端部から白抜き矢印で示すよう
に、上記環状隙間１０５に空気を導入することにより、
上記放電に起因して空気中の酸素からオゾンが生成し、
このオゾンを含んだ空気が黒塗り矢印で示すように、保
護管１０４の他端から外部に放出されることになる。

【０００５】また、図６の（ロ）に示す空間放電型のオ
ゾン発生装置１００ａは、筒状の誘導電極１０１ａと、
この誘導電極１０１ａに嵌入された絶縁材料からなる筒
状誘電体１０３ａと、この筒状誘電体１０３ａに互いに
当接しないように遊嵌された棒状の放電電極１０２ａと
からなる基本構成を有している。放電電極１０２ａの外
周面と筒状誘電体１０３ａの内周面との間には、環状隙
間１０５が形成されている。

【０００６】そして、交流電源１２０からの動力線の一
方を誘導電極１０１ａに接続するとともに、同他方を放
電電極１０２ａに接続することにより、放電電極１０２
ａの外周面から筒状誘電体１０３ａの内周面に向けて環
状隙間１０５内で放電が生起する、いわゆる無声放電
（空間放電）が起こる。この空間放電の生起状態で筒状
誘電体１０３ａの一方の端部から白抜き矢印で示すよう
に、上記環状隙間１０５に向けて空気を導入することに
より、上記放電に起因して空気中の酸素からオゾンが生
成し、このオゾンを含んだ空気が黒塗り矢印で示すよう
に、筒状誘電体１０３ａの他端から外部に放出されるこ
とになる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の沿面
放電型のオゾン発生装置１００にあっては、放電が柱状
誘電体１０３の外周面に沿って生起されるため、環状隙
間１０５を通過する空気中の酸素の内、柱状誘電体１０
３の外周面近傍に存在するものだけが放電の作用を受け
てオゾンになるが、柱状誘電体１０３の外周面から離間
した位置を流れる空気中の酸素は放電の作用を受け難
く、空気中のオゾンの分布が偏ったものになるという問
題点を有している。

【０００８】これに対して上記の空間放電型のオゾン発
生装置１００ａにあっては、放電電極１０２ａから誘導
電極１０１ａに向かう放電は、環状隙間１０５内で３次
元的に広がって生起するため、環状隙間１０５を通過す
る空気は、流通位置に拘らず放電の作用を均等に受ける
ことができるが、周波数一定の条件下では放電密度が小
さくなり、これによってオゾン発生効率が劣るという問
題点を有している。

【０００９】かかる問題点を解消するために各電極に印
加する電圧を高くすることが考えられるが、電圧を高く
すると、暗電流に起因したジュール熱が発生して装置が
加熱され、これによって一旦得られたオゾンが分解し、
活性酸素が生成するという新たな問題点が提起される。
すなわち、活性酸素は空気中の窒素と反応して有害な窒
素酸化物を生成するのである。

【００１０】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたものであり、窒素酸化物の発生を抑えた
上でオゾン発生効率を向上させることができるオゾン発
生装置を提供することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
オゾン発生装置は、高電圧を印加することによって対向
電極間に生起する放電で当該対向電極間に供給された気
体中の酸素からオゾンを生成するオゾン発生装置であっ
て、上記対向電極は、放電電極と、この放電電極を挟ん
で互いに対向した第１誘導電極および第２誘導電極とで
構成され、上記放電電極と上記第１誘導電極および第２
誘導電極との間には、第１誘電体および第２誘電体が介
設され、上記第１誘電体は、放電電極および第１誘導電
極の双方に当接された状態で両者間に介設されていると
ともに、上記第２誘電体は、第２誘導電極に当接し、か
つ、放電電極に対して離間した状態で両者間に介設され
ていることを特徴とするものである。

【００１２】本発明の請求項２記載のオゾン発生装置
は、請求項１記載のオゾン発生装置において、上記対向
電極に３相交流の電圧が印加されることを特徴とするも
のである。

【００１３】本発明の請求項３記載のオゾン発生装置
は、請求項１または２記載のオゾン発生装置において、
上記放電電極は、絶縁材料によってコーティングされた
コーティング層を有していることを特徴とするものであ
る。

【００１４】本発明の請求項４記載のオゾン発生装置
は、請求項１乃至３のいずれかに記載のオゾン発生装置
において、上記第１および第２誘導電極の少なくとも一
方には放熱部材が設けられていることを特徴とするもの
である。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係るオゾン発生
装置の一実施形態を示す一部切欠き斜視図であり、図２
はそのＡ−Ａ線断面図、図３はそのＢ−Ｂ線断面図であ
る。これらの図に示すように、オゾン発生装置１は、オ
ゾン発生部２と、このオゾン発生部２に高圧電力を供給
する変圧部９とを備えた基本構成を有している。上記変
圧部９は、外部の商用電源からの３相交流の電力を受け
入れるΔ結線部９２と、このΔ結線部９２に対向したＹ
結線部９３とからなる３相トランス９１を有し、この３
相トランス９１で昇圧された電圧がＹ結線部９３のＲ端
子、Ｓ端子およびＴ端子から取り出され、３本の動力線
９４（Ｒ動力線９４ｒ、Ｓ動力線９４ｓ、Ｔ動力線９４
ｔ）を介してオゾン発生部２に供給されるようになって
いる。

【００１６】上記オゾン発生部２は、変圧部９からの動
力線９４が接続される螺旋状に形成された放電電極３
と、この放電電極３に内側で対向した内部誘導電極（第
１誘導電極）４と、同外側で対向した外部誘導電極（第
２誘導電極）５と、放電電極３および内部誘導電極４間
に介設された筒状の内部誘電体（第１誘電体）６と、放
電電極３および外部誘導電極５間に介設された外部誘電
体（第２誘電体）７とからなっている。

【００１７】上記放電電極３は、チタンやステンレスス
チール等の耐酸性および耐オゾン性を備えた金属で形成
され、Ｒ動力線９４ｒが接続されるＲ放電電極３ｒと、
Ｓ動力線９４ｓが接続されるＳ放電電極３ｓ、Ｔ動力線
９４ｔが接続されるＴ放電電極３ｔとの３本が備えられ
ている。各動力線９４ｒ，９４ｓ，９４ｔからの１２０
°の位相ずれで送られてきた高圧電力は、それぞれ対応
した各放電電極３ｒ，３ｓ，３ｔに印加されるようにな
っている。一方、上記内部誘電体６は、耐熱性および耐
オゾン性を有するガラスやセラミック等の絶縁体を円筒
状に成形したものが用いられ、上記各放電電極３ｒ，３
ｓ，３ｔは、この内部誘電体６の外周面に順次１２０°
の位相ずれで螺旋状に巻き付けられている。

【００１８】上記内部誘導電極４は、本実施形態におい
ては、内部誘電体６の内周面に導電性物質をコーティン
グしたコーティング層、または導電性物質をメッキした
メッキ層によって形成されているが、本発明は、内部誘
導電極４がコーティング層やメッキ層であることに限定
されるものではなく、銅や鉄等の導電性物質によって形
成された棒状体または螺旋体を採用してもよい。この場
合、棒状体等の外径寸法を上記内部誘電体６の内径寸法
と略同一に寸法設定し、この棒状体等を内部誘電体６の
中心孔に圧入することによって内部誘導電極を内部誘電
体６に装着することができる。かかる内部誘導電極４
は、３相トランス９１のＹ結線部９３の中位点Ｏから導
出された中位点側導線９５に接続され、動力線９４から
の高電圧が放電電極３に印加されることによって内部誘
電体６の周面であって、放電電極３に当接した部分およ
びその近傍に沿面放電が生起されるようになっている。

【００１９】上記外部誘電体７は、上記内部誘電体６と
同様の材料によって円筒状に形成されている。この外部
誘電体７は、内径寸法が放電電極３の装着された内部誘
電体６の外形寸法より大きく寸法設定され、これによっ
て内部誘電体６が外部誘電体７内に同心で内装された状
態で、内部誘電体６の外周面と外部誘電体７の内周面と
の間に白抜き矢印で示す原料空気Ｘを通過させるための
環状通路２１が形成されている。因に、内部誘電体６
は、図略の所定の支持部材によって外部誘電体７内に内
装された状態が維持されるようになっている。また、原
料空気Ｘは、図略の空気吸引手段を駆動することによっ
て環状通路２１内に導入されるようになっている。

【００２０】上記外部誘導電極５は、本実施形態におい
ては、上記放電電極３と同様の材料によって外部誘電体
７の外周面にコーティング処理またはメッキ処理が施さ
れることによって形成されているが、本発明は、外部誘
導電極５がコーティング処理またはメッキ処理によって
形成されることに限定されるものではなく、金属製の筒
状体を外部誘電体７に外嵌して外部誘導電極を形成させ
てもよい。かかる外部誘導電極５には上記中位点側導線
９５が接続され、動力線９４からの高圧電力が放電電極
３に印加されることによって、環状通路２１内で放電電
極３から外部誘電体７の内周面に向けて空間放電が生起
されるようになっている。

【００２１】また、上記放電電極３は、周面がガラスあ
るいはシリコンやポリテトラフルオロエチレン等の誘電
材料によってコーティングされたコーティング層２２
（図１に点描で表示）を有している。因にガラスでコー
ティングする場合には、放電電極３を内部誘電体６の外
周面に巻き付けた後、ガラスを放電電極３が隠れるよう
に内部誘電体６の周面にコートし、ついでこの内部誘電
体６を所定の均熱炉で焼成処理する方法が採用される。
シリコン等の合成樹脂でコーティングする場合には、放
電電極３に溶融した合成樹脂中を潜らせる等の通常の導
線等の被覆方法が採用される。

【００２２】本発明のオゾン発生装置１は以上のように
構成されているので、外部の電源からの電力を３相トラ
ンス９１を介して３本の放電電極３（Ｒ放電電極３ｒ、
Ｓ放電電極３ｓおよびＴ放電電極３ｔ）に供給すること
により、これら放電電極３と内部誘導電極４との間では
内部誘電体６を介して高電位差が生じるとともに、放電
電極３と外部誘導電極５との間では環状通路２１の空気
層および外部誘電体７を介して高電位差が生じ、これに
よって放電電極３が当接している内部誘電体６の外周面
には沿面放電が生起されるとともに、環状通路２１には
空間放電が生起される。そして、かかる放電が生起して
いる状態の環状通路２１内に一方の端部から原料空気Ｘ
を導入することにより、上記放電によって原料空気Ｘ中
の酸素の一部からオゾンが生成され、オゾン含有空気Ｙ
となって他方の端部から外部に導出される。

【００２３】そして、本発明のオゾン発生装置１は、対
向電極を、放電電極３と、この放電電極３を挟んで互い
に対向した内部誘導電極４および外部誘導電極５とで構
成し、放電電極３と内部誘導電極４および外部誘導電極
５との間には、内部誘電体６および外部誘電体７を介設
し、しかも、内部誘電体６を、放電電極３および内部誘
導電極４の双方に当接した状態で両者間に介設するとと
もに、外部誘電体７を、外部誘導電極５に当接し、か
つ、放電電極３に対して離間した状態で両者間に介設し
たものであるため、放電電極３と内部誘導電極４および
外部誘導電極５との間に高電圧が印加されることによ
り、放電電極３に当接した内部誘電体６の当接位置近傍
に沿面放電が生起されるとともに、放電電極３と、この
放電電極３と離間した外部誘電体７との間に空間放電が
生起され、これら２次元的な沿面放電と３次元的な空間
放電との重畳作用で、沿面放電のみの場合には気体中の
オゾン分布が偏ったものになるという不都合、および空
間放電のみの場合には良好なオゾン発生効率を得ること
ができないという不都合が解消され、高濃度のオゾンが
均一に分布した気体を効率よく得ることができる。

【００２４】また、３相トランス９１からの３相交流の
電圧が、放電電極３、内部誘導電極４および外部誘導電
極５に印加されるため、単相交流を用いた場合に比べて
各電極に対する電圧の印加が効率的に行われ、オゾンの
良好な発生効率を得ることができる。また、３相交流で
電界が回転するため、この回転に誘引されて放電電極３
付近に存在するごみや埃が静電気的に移動し、これによ
って放電電極３へのごみや埃の付着を防止することがで
きる。

【００２５】さらに、放電電極３は、絶縁材料によって
コーティングされたコーティング層２２を有しているた
め、このコーティング層２２の存在で、放電電極３から
放出される電子の速度が緩和されて遅くなり、これによ
って窒素とオゾンとから窒素酸化物（例えば亜硝酸）が
生成される化学反応における反応速度が抑えられ、窒素
酸化物の生成を抑制することができる。

【００２６】図４は、オゾン発生装置の他の実施形態を
示す斜視図である。この実施形態のオゾン発生装置１ａ
においては、内部誘電体６の中心孔に多数の放熱フィン
８１を備えた一対の放熱部材８が嵌装されている。この
放熱部材８は、アルミニウム合金等の熱伝導率の良好な
金属材料で形成されている。その他の構成は先の実施形
態のものと同様である。

【００２７】この実施形態のオゾン発生装置１ａによれ
ば、内部誘導電極４内で発生した、暗電流に起因するジ
ュール熱による発熱が、放熱部材８に伝熱されて表面積
の大きい放熱フィン８１から外部に放熱されるため、オ
ゾン発生部２の内部が高温になることが有効に防止され
る。また、導電性接着剤を介して放熱部材８を内部誘電
体６に密着させることにより、放熱部材８を内部誘導電
極として利用することができるため、内部誘電体６の内
周面にコーティング処理やメッキ処理を施す必要がなく
なる。

【００２８】なお、第１および第２実施形態において、
外部誘導電極５に冷却用のフィンを設けてもよい。この
冷却用フィンとしては、径方向に外部誘導電極５と同心
で突出した環状フィンを外部誘導電極５の長手方向に向
けて複数個並設してもよいし、長手方向に延びるように
外部誘導電極５の周面に突設した方形フィンの複数個を
周方向に配してもよい。

【００２９】図５は、オゾン発生装置のさらに他の実施
形態を示す斜視図である。この実施形態のオゾン発生装
置１ｂにおいては外部誘導電極５ａは、金属材料で環状
に形成された電極５１と、この電極５１の外周面に同心
で形成された複数の環状の放熱フィン５２とを備えて構
成されている。電極５１は、外部誘電体７の外周面に密
着されている。かかる電極５１は、導電性接着剤を介し
て外部誘電体７に嵌装することによって形成することが
できるし、コーティング層によって形成することもでき
る。また、内部誘電体６の中心孔には長尺の平板を螺旋
状に巻いて形成した放熱部材８ａが内装されている。こ
の放熱部材８ａは、その端部が切り込まれて形成された
複数の放熱フィン８１を有しており、この放熱フィン８
１によって内部誘電体６内で発生した熱が放熱されるよ
うになっている。

【００３０】本発明は上記の実施形態に限定されるもの
ではなく、以下の内容をも包含するものである。

【００３１】（１）上記の実施形態においては、オゾン
発生部２に３相交流の商用電源の電力が周波数変換され
ずにオゾン発生部２に供給されるようにしているが、こ
うする代わりに変圧部９の前に周波数変換機構を設け、
商用電源の周波数より高い周波数の電力をオゾン発生部
２に供給するようにしてもよい。こうすることによっ
て、オゾンの収率を向上させることができるとともに、
装置のコンパクト化が実現する。

【００３２】（２）上記の実施形態においては、電極の
冷却を空冷式で実施しているが、本発明は、電極の冷却
が空冷式であることに限定されるものではなく、内部誘
電体６の中心孔に冷却水を導入して冷却する、いわゆる
水冷式の冷却方式を採用してもよい。

【００３３】

【実施例】内部誘電体６の表面にコーティング層２２を
形成した場合とコーティング層２２を形成しない場合と
で、得られたオゾン含有空気Ｙ中の窒素酸化物の濃度が
相違するか否かを確認するために試験を実施した。

【００３４】試験用には、本発明に係るオゾン発生装置
１を採用したが、コーティング層２２の有無による差を
際だたせるため、放電電極３と外部誘電電極５との間に
は電圧を印加せず、放電電極３と内部誘電電極４との間
にだけ電圧を印加した。印加電圧は８ＫＶｐ−ｐであ
り、その周波数は１２ＫＨｚであった。

【００３５】また、原料空気Ｘとして自然空気を採用
し、これを送風機で外部誘電体７内に導入した。かかる
原料空気Ｘの外部誘電体７内での風料は２０００ｍｌ／
ｍｉｎに設定されている。そして、放電電極３によって
内部誘電体６の外周面に沿面放電を生起させた状態で、
原料空気Ｘを外部誘電体７内に導入して、１〜５分の間
に１分間隔で外部誘電体７出口のオゾン含有空気Ｙを採
取し、所定の測定機器で一酸化窒素（ＮＯ）および二酸
化窒素（ＮＯ₂）の濃度を測定した。窒素酸化物（ＮＯ
ｘ）としては、ＮＯとＮＯ₂との合計量を採用した。試
験結果を表１に示す。

【００３６】

【表１】

【００３７】表１に示すとおり、内部誘電体６の外周面
にコーティング層２２を形成しなかった場合、１分後の
ＮＯｘ濃度が０．０４３ｐｐｍであったものが、５分後
には２９．２１６ｐｐｍと、１分後の値より大幅に増加
しているのに対し、内部誘電体６の外周面にコーティン
グ層２２を形成して放電電極３をコーティング層２２で
覆った場合、１分後のＮＯｘ濃度は０．６３１ｐｐｍで
あったが、５分後でも０．７９５ｐｐｍと、当初に比べ
て０．１６４ｐｐｍしか濃度が増加しておらず、これに
よって放電電極３をコーティング層２２で覆うことによ
り、ＮＯｘの発生量を抑制できることが確認された。

【００３８】

【発明の効果】本発明の請求項１記載のオゾン発生装置
によれば、対向電極を、放電電極と、この放電電極を挟
んで互いに対向した第１誘導電極および第２誘導電極と
で構成し、放電電極と第１誘導電極および第２誘導電極
との間には、第１誘電体および第２誘電体を介設し、第
１誘電体を、放電電極および第１誘導電極の双方に当接
した状態で両者間に介設するとともに、第２誘電体を、
第２誘導電極に当接し、かつ、放電電極に対して離間し
た状態で両者間に介設したため、放電電極と第１誘導電
極および第２誘導電極との間に高電圧が印加されること
により、放電電極に当接した第１誘電体の当接位置近傍
に沿面放電が生起されるとともに、放電電極と、この放
電電極と離間した第２誘電体との間に空間放電が生起さ
れ、これら２次元的な沿面放電と３次元的な空間放電と
の重畳作用で、沿面放電のみの場合には気体中のオゾン
分布が偏ったものになるという不都合、および空間放電
のみの場合には良好なオゾン発生効率を得ることができ
ないという不都合を解消することができ、従来のオゾン
発生装置に比べて高濃度のオゾンが均一に分布した気体
を効率よく得ることができる。

【００３９】本発明の請求項２記載のオゾン発生装置に
よれば、対向電極に３相交流の電圧を印加するようにし
たため、単相交流を用いた場合に比べて各電極に対する
電圧の印加が効率的に行われ、オゾンを良好な発生効率
で得ることができる。また、電界が回転するため、放電
電極付近へのごみや埃の付着を静電気的に防止すること
ができる。また、周波数を高くするための発振部を設け
る必要がなくなり、その分装置の構造がシンプルにな
り、故障が起こり難くなるとともに、装置コストの低減
化を実現することができる。

【００４０】本発明の請求項３記載のオゾン発生装置に
よれば、放電電極に絶縁材料によって形成されたコーテ
ィング層を設けたため、このコーティング層の存在で、
放電電極から放出される電子の速度が緩和されて遅くな
り、これによって窒素と酸素とから窒素酸化物が生成さ
れる化学反応における反応速度が抑えられ、窒素酸化物
の生成を有効に抑制することができる。

【００４１】本発明の請求項４記載のオゾン発生装置に
よれば、第１および第２誘導電極の少なくとも一方に放
熱部材を設けたため、誘導電極内に発生した暗電流に起
因するジュール熱が、放熱部材を通して外部に放熱さ
れ、これによって放電電極と誘導電極とによって形成さ
れた放電領域が過加熱するという不都合を回避すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るオゾン発生装置の一実施形態を示
す一部切欠き斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】図１のＢ−Ｂ線断面図である。

【図４】オゾン発生装置の他の実施形態を示す斜視図で
ある。

【図５】オゾン発生装置のさらに他の実施形態を示す斜
視図である。

【図６】従来知られたオゾン発生装置の原理を説明する
ための一部切欠き斜視図であり、（イ）は沿面放電型
を、（ロ）は空間放電型をそれぞれ示している。

【符号の説明】

１，１ａ オゾン発生装置 ２ オゾン発生部 ２１ 環状通路 ２２ コーティング層 ３ 放電電極 ３ｒ Ｒ放電電極 ３ｓ Ｓ放電電極 ３ｔ Ｔ放電電極 ４ 内部誘導電極 ５ 外部誘導電極 ６ 内部誘電体 ７ 外部誘電体 ８ 放熱部材 ８１ 放熱フィン ９ 変圧部 ９１ ３相トランス ９２ Δ結線部 ９３ Ｙ結線部 ９４ 動力線 ９４ｒ Ｒ動力線 ９４ｓ Ｓ動力線 ９４ｔ Ｔ動力線 ９５ 中位点側導線 Ｘ 原料空気 Ｙ オゾン含有空気

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高電圧を印加することによって対向電極
   間に生起する放電で当該対向電極間に供給された気体中
   の酸素からオゾンを生成するオゾン発生装置であって、
   上記対向電極は、放電電極と、この放電電極を挟んで互
   いに対向した第１誘導電極および第２誘導電極とで構成
   され、上記放電電極と上記第１誘導電極および第２誘導
   電極との間には、第１誘電体および第２誘電体が介設さ
   れ、上記第１誘電体は、放電電極および第１誘導電極の
   双方に当接された状態で両者間に介設されているととも
   に、上記第２誘電体は、第２誘導電極に当接し、かつ、
   放電電極に対して離間した状態で両者間に介設されてい
   ることを特徴とするオゾン発生装置。
2. 【請求項２】 上記対向電極に３相交流の電圧が印加さ
   れることを特徴とする請求項１記載のオゾン発生装置。
3. 【請求項３】 上記放電電極は、絶縁材料によってコー
   ティングされたコーティング層を有していることを特徴
   とする請求項１または２記載のオゾン発生装置。
4. 【請求項４】 上記第１および第２誘導電極の少なくと
   も一方には放熱部材が設けられていることを特徴とする
   請求項１乃至３のいずれかに記載のオゾン発生装置。