JP2000117599A - 砥石研磨ヘッド及び砥石研磨方法 - Google Patents
砥石研磨ヘッド及び砥石研磨方法Info
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- JP2000117599A JP2000117599A JP10314008A JP31400898A JP2000117599A JP 2000117599 A JP2000117599 A JP 2000117599A JP 10314008 A JP10314008 A JP 10314008A JP 31400898 A JP31400898 A JP 31400898A JP 2000117599 A JP2000117599 A JP 2000117599A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 円筒体を高速回転して粗研磨しても研磨砥石
が割れる惧れがなく、円筒体にも傷が付かずビリを発生
しないで良好な円筒研磨が行える砥石研磨ヘッド。 【解決手段】 円筒形又は円環形の研磨砥石１と、該研
磨砥石１の後端面を支持する砥石フランジ２と、砥石研
磨装置の対シャンクチャック手段Ａにチャックされるシ
ャンク３を備え、前記砥石フランジ２と前記シャンク３
とが軸方向に若干寸法スライド自在かつ相対回転不能に
係合され，さらにばね４により前記シャンク３に対して
前記砥石フランジ２が離間する方向に付勢されている。
が割れる惧れがなく、円筒体にも傷が付かずビリを発生
しないで良好な円筒研磨が行える砥石研磨ヘッド。 【解決手段】 円筒形又は円環形の研磨砥石１と、該研
磨砥石１の後端面を支持する砥石フランジ２と、砥石研
磨装置の対シャンクチャック手段Ａにチャックされるシ
ャンク３を備え、前記砥石フランジ２と前記シャンク３
とが軸方向に若干寸法スライド自在かつ相対回転不能に
係合され，さらにばね４により前記シャンク３に対して
前記砥石フランジ２が離間する方向に付勢されている。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、円筒体を高速回
転して粗研磨しても研磨砥石が割れる惧れがなく、円筒
体にも傷が付かずビリを発生しないで良好な円筒研磨が
行える砥石研磨ヘッドに関する。 【０００２】 【従来の技術】従来の砥石研磨ヘッドは、図３に示すよ
うに、研磨砥石１の後端面を砥石フランジ２で支持し、
該砥石フランジ２に、シャンク３のフランジ部を固定し
ていた。そして、従来の円筒体の研磨装置は、円筒体
（例えば被製版ロール）を両端チャックして５００ｒ．
ｐ．ｍで回転し、研磨砥石を空気圧で円筒体に押し付け
て粗研磨を行っていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】被製版ロールの真円度
は、落版研磨を何度も繰り返した被製版ロールで特に低
く、偏心量は、大きいもので約５０〜７５μｍの偏心が
見られる。このため、偏心が大きい被製版ロールを３０
０ｒ．ｐ．ｍで回転し粗仕上げ円筒研磨を行うと、被製
版ロールが研磨砥石を高速で叩く減少が見られ、これに
より、研磨砥石が破損することがたびたび生じていた。
そのような場合は、被製版ロールに大きな傷が付いて使
用不可になってしまうことがあり、大変な不経済が生じ
ていた。偏心量が大きい被製版ロールを旋盤により精密
円筒加工することは、その被製版ロールを今すぐに使用
したい場合には適切な対応にならず、時間と加工費用が
かかる。また、偏心量が大きい被製版ロールを廃棄して
しまうのも不経済である。被製版ロール一本の購入費用
も高価であるので、偏心量が大きい被製版ロールであっ
ても、製版時のレーザ露光焼付や印刷に差し支えない限
りは繰り返し使用したいとの要望がある。そこで、従来
は、被製版ロールの回転数を小さくするとともに、研磨
圧力を小さくしていたので、粗研磨に多くの時間がかか
っていた。また、被製版ロールの偏心が全く無いものは
なく、殆どの印刷ロールにおいて高速粗研磨加工を行う
と、ロールの偏心に起因するビリが生じていた。 【０００４】本願発明は、円筒体を高速回転して粗研磨
しても研磨砥石が割れる惧れがなく、円筒体にも傷が付
かずビリを発生しないで良好な円筒研磨が行える砥石研
磨ヘッドを提供することを目的としている。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本願第一の発明は、円筒
形又は円環形の研磨砥石と、該研磨砥石の後端面を支持
する砥石フランジと、砥石研磨装置にチャックされるシ
ャンクを備え、前記砥石フランジと前記シャンクとが軸
方向に若干寸法スライド自在かつ相対回転不能に係合さ
れ、さらにばねにより前記シャンクに対して前記砥石フ
ランジが離間する方向に付勢されていることを特徴とす
る研磨ヘッドを提供するものである。 【０００６】本願第二の発明は、研磨ヘッドを円筒体の
両側に対向させて一対又は二対備え、円筒体の両側の面
を同時研磨することを特徴とする砥石研磨方法を提供す
るものである。 【０００７】 【発明の実施の形態】本願第一の発明の実施の形態に係
る研磨ヘッドを図１を参照して説明する。図１に示すよ
うに、この研磨ヘッドＴは、円筒形又は円環形の研磨砥
石１と、該研磨砥石１の後端面を支持する砥石フランジ
２と、砥石研磨ヘッド装置の対シャンクチャック手段Ｈ
1 にチャックされるシャンク３を備え、前記砥石フラン
ジ２と前記シャンク３とが軸方向に若干寸法スライド自
在かつ相対回転不能に係合され，さらにばね４により前
記シャンク３に対して前記砥石フランジ２が離間する方
向に付勢されている。詳述すると、この研磨ヘッドＴ
は、研磨砥石１の後端面を強力な接着剤によりアルミ製
の砥石フランジ２で支持し、該砥石フランジ２に鋼製
（焼入れする）のフローティングボス５をボルト８によ
り固定し、後半部のテーパ軸部３ａと中程の背圧用フラ
ンジ部３ｂと前半部のフローティング軸部３ｃを有して
形成したシャンク３の，フローティング軸部３ｃにボー
ルリテーナ６が被嵌され、さらにボールリテーナ６の外
側に前記フローティングボス３が被嵌されかつフローテ
ィングボス５の後端面とシャンク３の中程の背圧用フラ
ンジ３ｂの前端面との間にストローク用隙間ｃを確保し
て、フローティング軸部３ｃの先端に固定した止金７が
フローティングボス５に脱出を不能とするように当接
し、背圧用フランジ３ｂに周方向等配置に４〜８本嵌入
固定した回り止めピン９がフローティングボス５に穿設
したばね収容孔に摺動可能に嵌合してばね収容孔内のば
ね４を圧縮し、ねじ１０のねじ込みを調整することによ
りばね４を圧縮の度合いを調整でき、もって、研磨砥石
１をシャンク３から離間する方向に付勢するばね力を微
調整可能である。ボールリテーナ６は、砥石フランジ２
にラジアル方向の負荷がかかっても、砥石フランジ２と
シャンク３との軸方向の相対的にスライドを円滑に行う
役目を果たす。ばね４は、シャンク３に対して砥石フラ
ンジ２を離間する方向に付勢する役目を果たすが、この
技術的意義は、研磨砥石１の端面を被研磨体に押し付け
て研磨を行う際に、被研磨体が高速回転しておりしかも
真円ではないために振れ回り回転しても、研磨砥石１の
端面を被研磨体から離れず研磨圧力を大きく変動させる
ことなく追従できる点にある。真円ではない被研磨体の
振れ回りするせり出しと引っ込みのストロークは最大で
０．１５ｍｍであるので、ストローク用隙間ｃは１ｍｍ
確保すれば十分である。研磨砥石１の未使用のときの厚
さは一般的に１００ｍｍのようである。使用により例え
ば２０ｍｍの厚さになると、研磨砥石１は、押し付け反
力により割れ易くなるので、例えば、２０ｍｍの厚さに
なった時点で交換する必要がある。この場合、研磨砥石
１と砥石フランジ２は強力な接着剤により接着している
ので、分離できない。従って、砥石フランジ２とフロー
ティングボス５とに分離し、両者を一体にしない構成
は、２０ｍｍの厚さの研磨砥石１と砥石フランジ２を使
い捨てとすることができ、経済的である。しかし、フロ
ーティングボス５は、砥石フランジ２と一体に形成され
ていても全く同一の機能を有する。 【０００８】本願発明に係る砥石研磨ヘッドは、図１の
実施例に限定されるものではない。例えば、図１のフロ
ーティングボスの後端部とシャンクの背圧用フランジと
をスプライン係合させて、図１の圧縮ばねがシャンクの
背圧用フランジの前端面に当接した構成としても良い。
あるいは、シャンク３にフローティングボス５を一体に
有しかつフローティング軸部３ｃをシャンク３から分離
して砥石フランジ２に一体に形成し、フローティングボ
ス５の端面と砥石フランジ２の後面にそれぞれ放射状の
突起を多数設けて突起を相手の溝部に嵌合させ、かつフ
ローティングボス５と砥石フランジ２とが弱小寸法離間
・接近可能にボルトにより係合し、さらにばねで分離し
たフローティング軸部３ｃの端面を押圧した構成でも良
い。 【０００９】続いて、本願第二の発明の実施の形態に係
る砥石研磨方法を図２を参照して説明する。この砥石研
磨方法は、円筒体Ｗの両側に、円筒体Ｗに対して平行に
移動自在かつ接近離隔自在な砥石研磨ヘッド装置Ｈ、Ｈ
を備え、各砥石研磨ヘッド装置Ｈの対シャンクチャック
手段Ｈ1 により研磨ヘッドＴのシャンクをチャックし、
もって研磨ヘッドＴを円筒体Ｗの両側に対向させ、円筒
体Ｗの両側の面を同時均等な研磨力で研磨するものであ
る。円筒体Ｗの直径が例えば２００ｍｍΦ以上に大きく
なると、直径に対する肉厚が小さくなる結果、円筒体Ｗ
の剛性が小さくなり、円筒体Ｗを両端チャックして例え
ば３００ｒ．ｐ．ｍで回転し片側より粗研磨を行うと、
円筒体が共振してビビリ加工が発生する。しかし、両側
の研磨ヘッドＴの円筒体Ｗに対する研磨圧力を均衡させ
て、従来よりも大きい研磨代となるように粗研磨を行っ
ても、円筒体が共振せずビビリ加工が発生しない。そし
て、円筒体の偏心度が大きくても両側の研磨ヘッドＴが
円筒体Ｗを良好な研磨圧力を保つことができ、円筒体が
共振せずビビリ加工が発生しない。なお、本願発明は、
研磨ヘッドＴを円筒体Ｗの両側に対向させて一対でなく
二対備えていても良い。 【００１０】 【発明の効果】本願発明の砥石研磨ヘッドによれば、円
筒体を高速回転して粗研磨しても研磨砥石が割れる惧れ
がなく、円筒体にも傷が付かずビリを発生しないで良好
な円筒研磨が行える。また、本願発明の砥石研磨方法に
よれば、本願発明の砥石研磨ヘッドを使用するので、円
筒体を高速回転して粗研磨しても研磨砥石が割れる惧れ
がなく、円筒体にも傷が付かずビリを発生しないで良好
な円筒研磨が行える。そして、本願発明の砥石研磨ヘッ
ドを一対又は二対使用し円筒体を挟んで研磨するので、
従来よりも研磨代の大きい粗研磨をしても円筒体が共振
するのを抑えられ、共振によるビリの発生を抑えて良好
な円筒研磨が行える。
転して粗研磨しても研磨砥石が割れる惧れがなく、円筒
体にも傷が付かずビリを発生しないで良好な円筒研磨が
行える砥石研磨ヘッドに関する。 【０００２】 【従来の技術】従来の砥石研磨ヘッドは、図３に示すよ
うに、研磨砥石１の後端面を砥石フランジ２で支持し、
該砥石フランジ２に、シャンク３のフランジ部を固定し
ていた。そして、従来の円筒体の研磨装置は、円筒体
（例えば被製版ロール）を両端チャックして５００ｒ．
ｐ．ｍで回転し、研磨砥石を空気圧で円筒体に押し付け
て粗研磨を行っていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】被製版ロールの真円度
は、落版研磨を何度も繰り返した被製版ロールで特に低
く、偏心量は、大きいもので約５０〜７５μｍの偏心が
見られる。このため、偏心が大きい被製版ロールを３０
０ｒ．ｐ．ｍで回転し粗仕上げ円筒研磨を行うと、被製
版ロールが研磨砥石を高速で叩く減少が見られ、これに
より、研磨砥石が破損することがたびたび生じていた。
そのような場合は、被製版ロールに大きな傷が付いて使
用不可になってしまうことがあり、大変な不経済が生じ
ていた。偏心量が大きい被製版ロールを旋盤により精密
円筒加工することは、その被製版ロールを今すぐに使用
したい場合には適切な対応にならず、時間と加工費用が
かかる。また、偏心量が大きい被製版ロールを廃棄して
しまうのも不経済である。被製版ロール一本の購入費用
も高価であるので、偏心量が大きい被製版ロールであっ
ても、製版時のレーザ露光焼付や印刷に差し支えない限
りは繰り返し使用したいとの要望がある。そこで、従来
は、被製版ロールの回転数を小さくするとともに、研磨
圧力を小さくしていたので、粗研磨に多くの時間がかか
っていた。また、被製版ロールの偏心が全く無いものは
なく、殆どの印刷ロールにおいて高速粗研磨加工を行う
と、ロールの偏心に起因するビリが生じていた。 【０００４】本願発明は、円筒体を高速回転して粗研磨
しても研磨砥石が割れる惧れがなく、円筒体にも傷が付
かずビリを発生しないで良好な円筒研磨が行える砥石研
磨ヘッドを提供することを目的としている。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本願第一の発明は、円筒
形又は円環形の研磨砥石と、該研磨砥石の後端面を支持
する砥石フランジと、砥石研磨装置にチャックされるシ
ャンクを備え、前記砥石フランジと前記シャンクとが軸
方向に若干寸法スライド自在かつ相対回転不能に係合さ
れ、さらにばねにより前記シャンクに対して前記砥石フ
ランジが離間する方向に付勢されていることを特徴とす
る研磨ヘッドを提供するものである。 【０００６】本願第二の発明は、研磨ヘッドを円筒体の
両側に対向させて一対又は二対備え、円筒体の両側の面
を同時研磨することを特徴とする砥石研磨方法を提供す
るものである。 【０００７】 【発明の実施の形態】本願第一の発明の実施の形態に係
る研磨ヘッドを図１を参照して説明する。図１に示すよ
うに、この研磨ヘッドＴは、円筒形又は円環形の研磨砥
石１と、該研磨砥石１の後端面を支持する砥石フランジ
２と、砥石研磨ヘッド装置の対シャンクチャック手段Ｈ
1 にチャックされるシャンク３を備え、前記砥石フラン
ジ２と前記シャンク３とが軸方向に若干寸法スライド自
在かつ相対回転不能に係合され，さらにばね４により前
記シャンク３に対して前記砥石フランジ２が離間する方
向に付勢されている。詳述すると、この研磨ヘッドＴ
は、研磨砥石１の後端面を強力な接着剤によりアルミ製
の砥石フランジ２で支持し、該砥石フランジ２に鋼製
（焼入れする）のフローティングボス５をボルト８によ
り固定し、後半部のテーパ軸部３ａと中程の背圧用フラ
ンジ部３ｂと前半部のフローティング軸部３ｃを有して
形成したシャンク３の，フローティング軸部３ｃにボー
ルリテーナ６が被嵌され、さらにボールリテーナ６の外
側に前記フローティングボス３が被嵌されかつフローテ
ィングボス５の後端面とシャンク３の中程の背圧用フラ
ンジ３ｂの前端面との間にストローク用隙間ｃを確保し
て、フローティング軸部３ｃの先端に固定した止金７が
フローティングボス５に脱出を不能とするように当接
し、背圧用フランジ３ｂに周方向等配置に４〜８本嵌入
固定した回り止めピン９がフローティングボス５に穿設
したばね収容孔に摺動可能に嵌合してばね収容孔内のば
ね４を圧縮し、ねじ１０のねじ込みを調整することによ
りばね４を圧縮の度合いを調整でき、もって、研磨砥石
１をシャンク３から離間する方向に付勢するばね力を微
調整可能である。ボールリテーナ６は、砥石フランジ２
にラジアル方向の負荷がかかっても、砥石フランジ２と
シャンク３との軸方向の相対的にスライドを円滑に行う
役目を果たす。ばね４は、シャンク３に対して砥石フラ
ンジ２を離間する方向に付勢する役目を果たすが、この
技術的意義は、研磨砥石１の端面を被研磨体に押し付け
て研磨を行う際に、被研磨体が高速回転しておりしかも
真円ではないために振れ回り回転しても、研磨砥石１の
端面を被研磨体から離れず研磨圧力を大きく変動させる
ことなく追従できる点にある。真円ではない被研磨体の
振れ回りするせり出しと引っ込みのストロークは最大で
０．１５ｍｍであるので、ストローク用隙間ｃは１ｍｍ
確保すれば十分である。研磨砥石１の未使用のときの厚
さは一般的に１００ｍｍのようである。使用により例え
ば２０ｍｍの厚さになると、研磨砥石１は、押し付け反
力により割れ易くなるので、例えば、２０ｍｍの厚さに
なった時点で交換する必要がある。この場合、研磨砥石
１と砥石フランジ２は強力な接着剤により接着している
ので、分離できない。従って、砥石フランジ２とフロー
ティングボス５とに分離し、両者を一体にしない構成
は、２０ｍｍの厚さの研磨砥石１と砥石フランジ２を使
い捨てとすることができ、経済的である。しかし、フロ
ーティングボス５は、砥石フランジ２と一体に形成され
ていても全く同一の機能を有する。 【０００８】本願発明に係る砥石研磨ヘッドは、図１の
実施例に限定されるものではない。例えば、図１のフロ
ーティングボスの後端部とシャンクの背圧用フランジと
をスプライン係合させて、図１の圧縮ばねがシャンクの
背圧用フランジの前端面に当接した構成としても良い。
あるいは、シャンク３にフローティングボス５を一体に
有しかつフローティング軸部３ｃをシャンク３から分離
して砥石フランジ２に一体に形成し、フローティングボ
ス５の端面と砥石フランジ２の後面にそれぞれ放射状の
突起を多数設けて突起を相手の溝部に嵌合させ、かつフ
ローティングボス５と砥石フランジ２とが弱小寸法離間
・接近可能にボルトにより係合し、さらにばねで分離し
たフローティング軸部３ｃの端面を押圧した構成でも良
い。 【０００９】続いて、本願第二の発明の実施の形態に係
る砥石研磨方法を図２を参照して説明する。この砥石研
磨方法は、円筒体Ｗの両側に、円筒体Ｗに対して平行に
移動自在かつ接近離隔自在な砥石研磨ヘッド装置Ｈ、Ｈ
を備え、各砥石研磨ヘッド装置Ｈの対シャンクチャック
手段Ｈ1 により研磨ヘッドＴのシャンクをチャックし、
もって研磨ヘッドＴを円筒体Ｗの両側に対向させ、円筒
体Ｗの両側の面を同時均等な研磨力で研磨するものであ
る。円筒体Ｗの直径が例えば２００ｍｍΦ以上に大きく
なると、直径に対する肉厚が小さくなる結果、円筒体Ｗ
の剛性が小さくなり、円筒体Ｗを両端チャックして例え
ば３００ｒ．ｐ．ｍで回転し片側より粗研磨を行うと、
円筒体が共振してビビリ加工が発生する。しかし、両側
の研磨ヘッドＴの円筒体Ｗに対する研磨圧力を均衡させ
て、従来よりも大きい研磨代となるように粗研磨を行っ
ても、円筒体が共振せずビビリ加工が発生しない。そし
て、円筒体の偏心度が大きくても両側の研磨ヘッドＴが
円筒体Ｗを良好な研磨圧力を保つことができ、円筒体が
共振せずビビリ加工が発生しない。なお、本願発明は、
研磨ヘッドＴを円筒体Ｗの両側に対向させて一対でなく
二対備えていても良い。 【００１０】 【発明の効果】本願発明の砥石研磨ヘッドによれば、円
筒体を高速回転して粗研磨しても研磨砥石が割れる惧れ
がなく、円筒体にも傷が付かずビリを発生しないで良好
な円筒研磨が行える。また、本願発明の砥石研磨方法に
よれば、本願発明の砥石研磨ヘッドを使用するので、円
筒体を高速回転して粗研磨しても研磨砥石が割れる惧れ
がなく、円筒体にも傷が付かずビリを発生しないで良好
な円筒研磨が行える。そして、本願発明の砥石研磨ヘッ
ドを一対又は二対使用し円筒体を挟んで研磨するので、
従来よりも研磨代の大きい粗研磨をしても円筒体が共振
するのを抑えられ、共振によるビリの発生を抑えて良好
な円筒研磨が行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願第一発明の実施の形態にかかる砥石研磨ヘ
ッドの断面図 【図２】本願第二発明の実施の形態にかかる砥石研磨方
法を示す断面図 【図３】従来の砥石研磨ヘッドの断面図 【符号の説明】 Ｔ ・・・研磨ヘッド １ ・・・研磨砥石 ２ ・・・砥石フランジ ３ ・・・シャンク ３ａ ・・・テーパ軸部 ３ｂ ・・・背圧用フランジ部 ３ｃ ・・・フローティング軸部 ４ ・・・圧縮ばね ５ ・・・フローティングボス ６ ・・・ボールリテーナ ７ ・・・止金 ８ ・・・ボルト ９ ・・・回り止めピン １０ ・・・ねじ ｃ ・・・ストローク用隙間
ッドの断面図 【図２】本願第二発明の実施の形態にかかる砥石研磨方
法を示す断面図 【図３】従来の砥石研磨ヘッドの断面図 【符号の説明】 Ｔ ・・・研磨ヘッド １ ・・・研磨砥石 ２ ・・・砥石フランジ ３ ・・・シャンク ３ａ ・・・テーパ軸部 ３ｂ ・・・背圧用フランジ部 ３ｃ ・・・フローティング軸部 ４ ・・・圧縮ばね ５ ・・・フローティングボス ６ ・・・ボールリテーナ ７ ・・・止金 ８ ・・・ボルト ９ ・・・回り止めピン １０ ・・・ねじ ｃ ・・・ストローク用隙間
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 円筒形又は円環形の研磨砥石と、該研磨
砥石の後端面を支持する砥石フランジと、砥石研磨装置
にチャックされるシャンクを備え、前記砥石フランジと
前記シャンクとが軸方向に若干寸法スライド自在かつ相
対回転不能に係合され、さらにばねにより前記シャンク
に対して前記砥石フランジが離間する方向に付勢されて
いることを特徴とする研磨ヘッド。 【請求項２】 〔請求項１〕に記載の研磨ヘッドを円筒
体の両側に対向させて一対又は二対備え、円筒体の両側
の面を同時研磨することを特徴とする砥石研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10314008A JP2000117599A (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | 砥石研磨ヘッド及び砥石研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10314008A JP2000117599A (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | 砥石研磨ヘッド及び砥石研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000117599A true JP2000117599A (ja) | 2000-04-25 |
Family
ID=18048108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10314008A Pending JP2000117599A (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | 砥石研磨ヘッド及び砥石研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000117599A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2163662A1 (en) * | 2007-07-02 | 2010-03-17 | Tosoh Corporation | Tubular sputtering target |
| JP2011140091A (ja) * | 2010-01-07 | 2011-07-21 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | シリコンインゴットの円筒研削装置および円筒研削方法 |
| JP5565417B2 (ja) * | 2010-09-01 | 2014-08-06 | 新東工業株式会社 | 円柱部材の研磨装置 |
| CN113400110A (zh) * | 2021-06-22 | 2021-09-17 | 安徽海立精密铸造有限公司 | 一种飞轮铸件用打磨设备 |
| CN115431139A (zh) * | 2022-09-02 | 2022-12-06 | 上海联擎动力技术有限公司 | 一种多向浮动打磨方法与装置 |
-
1998
- 1998-10-16 JP JP10314008A patent/JP2000117599A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2163662A1 (en) * | 2007-07-02 | 2010-03-17 | Tosoh Corporation | Tubular sputtering target |
| US20100326823A1 (en) * | 2007-07-02 | 2010-12-30 | Tosoh Corporation | Cylindrical sputtering target |
| US8828198B2 (en) * | 2007-07-02 | 2014-09-09 | Tosoh Corporation | Cylindrical sputtering target |
| EP2163662A4 (en) * | 2007-07-02 | 2014-09-17 | Tosoh Corp | TARGET OF TUBULAR SPRAY |
| JP2011140091A (ja) * | 2010-01-07 | 2011-07-21 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | シリコンインゴットの円筒研削装置および円筒研削方法 |
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| CN113400110A (zh) * | 2021-06-22 | 2021-09-17 | 安徽海立精密铸造有限公司 | 一种飞轮铸件用打磨设备 |
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| CN115431139A (zh) * | 2022-09-02 | 2022-12-06 | 上海联擎动力技术有限公司 | 一种多向浮动打磨方法与装置 |
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