JP2000112399A

JP2000112399A - 平面型表示パネルの製造方法

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Publication number: JP2000112399A
Application number: JP28578698A
Authority: JP
Inventors: Manabu Futaboshi; 学二星; Hiroyuki Shimoyama; 浩幸下山; Masaaki Hirai; 正明平井
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1998-10-08
Filing date: 1998-10-08
Publication date: 2000-04-21
Anticipated expiration: 2018-10-08
Also published as: JP3550027B2

Abstract

(57)【要約】【課題】エッチング工程におけるマスキングが良好に
行える平面型表示パネルの製造方法を提供することを目
的とする。【解決手段】平面型表示パネルの特定領域を化学的に
エッチングする工程において、耐エッチング性を有する
樹脂フィルムを用いて平面型表示パネルの特定領域以外
の全ての表面をマスキングする。これにより、特に平面
型表示パネルの端部側面についても確実に覆うことがで
きる。また、最初に、平面型表示パネルの表面全体を樹
脂フィルムで完全に覆った後で、エッチングの必要な特
定領域のみ樹脂フィルムを切り取ることにより、容易に
エッチング必要箇所のパターニングが可能となり、その
位置決めも容易に行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平面型表示装置
（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙｄｅｖｉｃ
ｅ）の製造方法に関し、とりわけ、平面型表示装置を形
成するための平面型表示パネルの製造方法及び平面型表
示パネルに用いられるガラス基板の加工方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、平面型表示パネルとして用いら
れるものに、エレクトロルミネセント（Ｅｌｅｃｔｒｏ
Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ：以降、「ＥＬ」と略称す
る）表示装置、液晶表示装置、プラズマディスプレイパ
ネル（ＰｌａｓｍａＤｉｓｐｌａｙＰａｎｅｌ：以
降、「ＰＤＰ」と略称する）、プラズマアドレス液晶表
示装置（ＰｌａｓｍａＡｄｄｒｅｓｓｅｄＬｉｑｕ
ｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ：以降、「ＰＡ
ＬＣ」と略称する）等が上げられる。

【０００３】これらの平面型表示パネルは、表示面等を
構成する部材としてガラス基板を用いることが多い。そ
して、平面型表示パネルのそれぞれの特性に合わせてそ
れらガラス基板を加工することが望まれている。

【０００４】例えば、単色表示のＥＬ表示装置のガラス
基板に、カラーフィルタを付加してカラーＥＬ表示装置
を得る場合に、可能な限りガラス基板の厚さを薄くする
ことにより、カラーフィルタと薄膜ＥＬ素子を近接する
ことが望まれている。

【０００５】ＥＬ表示装置は、自発光表示装置であり、
視認性が良く、視野角が広く、コントラストが高い等の
優れた特性を有している。このため、ＯＡ機器、ＦＡ機
器などの表示装置として広く用いられている。

【０００６】従来のＥＬ表示装置の製造方法及び構造
を、図５に基づいて概略的に説明する。まず、ＩＴＯ
（インジュウム錫酸化物）薄膜からなる複数の帯状の下
部透明電極３が、ガラス基板２の一方面上に形成され
る。次に、下部絶縁層４と発光層５と上部絶縁層６と
が、全ての下部電極３の上に、この順で順次的に積層さ
れる。前記上部絶縁膜６及び前記下部絶縁膜４は、Ａｌ
₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂若しくはＴｉＯ₂などの酸化膜、又は、Ｓ
ｉ₃Ｎ₄などの窒化物からなる。そして、前記発光層５は
ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＳｒＳなどからなる母材に発光中心
としてＭｎなどを微量に添加した組成を有する。

【０００７】続いて、Ａｌなどの金属膜からなる帯状の
複数の上部電極７が、上部絶縁膜６上に形成される。各
下部透明電極３の長手方向とは、ガラス基板２の一方面
８の法線方向１３から見た場合、直交する。法線方向１
３から見て、各下部透明電極３と各上部電極７とが交差
する部分が、それぞれ薄膜ＥＬ素子になる。なお、発光
層５の結晶性改善のために、発光層５が形成された後、
または上部絶縁膜６が形成された後に、真空中または不
活性ガス中でのアニールが行われる。これにより、ＥＬ
素子が完成する。

【０００８】続いて、ガラス基板２の前記一方面８と封
止ガラス基板９とを間隔をあけて対向させて、エポキシ
樹脂１０によって接着する。最後に、保護物質層１１を
形成するために、ガラス基板２と封止ガラス基板９との
間の間隔に、気体状または液体状の保護物質が封入され
る。エポキシ樹脂１０とシリカゲル等の保護物質層１１
とが、シール部１２を構成する。以上の工程によって、
ＥＬ表示パネル１が完成する。

【０００９】さらに、ＥＬ表示パネル１を駆動するため
の周辺回路等を付加して、従来のＥＬ表示装置を完成す
る。

【００１０】しかし、これまで広く実用化された従来の
ＥＬ表示装置の表示色は単色であり、カラー化が他の表
示装置に比べて遅れているのが現状であった。このた
め、近年、ＥＬ表示装置のカラー化に関する研究が広く
行われている。そして、ＥＬ表示装置のカラー化を実現
する最も有効な方法の一つとして、上述した単色表示の
ＥＬ表示装置にカラーフィルタを付加して多色表示を実
現することが提案されている。

【００１１】ところが、ＥＬ表示装置の製造方法は、上
述したようにアニールを伴い高温になる。このため、耐
熱性を持たないカラーフィルタは、アニールを伴うＥＬ
発光層の形成後に付加する必要がある。

【００１２】また、ＥＬ発光層の形成後にカラーフィル
タを付加する場所としては、薄膜ＥＬ素子の直上は、薄
膜ＥＬ素子のピンホール等の微小欠陥により生じる微小
放電が影響してカラーフィルタを変質させることがあり
好ましくない。そして、封止ガラス基板９の主面につい
ても、シリカゲル等の保護物質がカラーフィルタ部と薄
膜ＥＬ素子の間に介在することになるため表示にボケや
歪みが生じることになり好ましくない。従って、カラー
フィルタ部を付加する場所としては、薄膜ＥＬ素子が形
成されたガラス基板２の裏面が望ましいとされている。

【００１３】しかし、上記構成に従ってカラーフィルタ
部を付加すると、カラーフィルタ部と薄膜ＥＬ素子の間
はガラス基板の厚さだけ離間することになる。通常、ガ
ラス基板の厚みは０．７〜１．１ｍｍ程度であるため、
薄膜ＥＬ素子とカラーフィルタ部の間は前記ガラス基板
の厚みだけ離間することになる。この結果、薄膜ＥＬ素
子の発光する光がカラーフィルタを通して視認できる有
効視野角が狭くなる。即ち、良好な色彩が得られる視角
範囲が狭くなる。従って、自発光表示装置の特徴である
広視野角の利点が損なわれることになる。

【００１４】このため、単色表示のＥＬ表示装置にカラ
ーフィルタを付加する場合、可能な限りガラス基板の厚
さを薄くすることにより、カラーフィルタと薄膜ＥＬ素
子を近接させることが望まれている。

【００１５】一方、液晶表示装置、とりわけ反射型液晶
表示装置において、裏面側ガラス基板の厚さをできるだ
け薄くすることが提案されている。

【００１６】反射型液晶表示装置は、一対の対向するガ
ラス基板の間に液晶層を介在してなる液晶表示パネルの
裏面に反射板を配置したものである。この反射型液晶表
示装置は、時計、電卓、電子手帳等、各種電子機器の表
示装置に広く利用されている。

【００１７】上記反射型液晶表示装置は、その表面側偏
光板を通って入射し、両基板間の液晶層を通った後、裏
面側偏光板により透過・遮断されて像光となった光を、
この裏面側偏光板の外面に配置した上記反射板で反射さ
せて表示するものである。

【００１８】しかし、上記反射型液晶表示装置は、反射
板で反射された像光を素子の表面側から観察するもので
あるため、表示を斜め方向から見ると、表示像が、明部
と暗部の境界がぼけた像となってしまうという問題をも
っている。

【００１９】これは裏面側基板での光の屈折によるもの
で、反射型液晶表示装置の表示を表示面（表面側偏光
面）に対して垂直な方向から見た場合は裏面側基板での
光の屈折はなく、したがって反射板で反射された反射光
は入射時の経路と同じ経路を通って出射するが、表示面
に対して斜め方向から表示を見ると、裏面側基板での光
の屈折によって、反射光の経路が入射時の経路からず
れ、その結果、表示像の輪郭がボケてしまう。

【００２０】このため、上記反射型液晶表示装置では、
その両基板のうち、少なくとも裏面側ガラス基板の厚さ
をできるだけ薄くすることが提案されている。

【００２１】上述した、反射型液晶表示装置の裏面側ガ
ラス基板の厚さを薄くする手段としては、特開平５−２
４９４２３号公報に開示されている。ここでは、反射型
液晶表示装置を形成するための液晶表示パネルの裏面側
ガラス基板の周縁部を除いた表面領域について、フッ酸
をベースとしたエッチング液を用いてエッチングするこ
とが開示されている。尚、この開示では、エッチングを
行わない液晶表示パネルの表面領域はレジストマスクを
用いるマスキング方法により保護していた。また、前記
裏面側ガラス基板の周縁部をエッチングしないのは、エ
ッチング後のガラス基板の強度をある程度保つためであ
る。

【００２２】その他に、近年、ＰＤＰやＰＡＬＣを製造
する場合において、ガラス基板の一方の主面をエッチン
グすることにより、ストライプ状の窪み形状のプラズマ
室を形成することが提案されている。この場合、ガラス
基板のプラズマ室を形成する領域以外にレジストマスク
によるマスキングを施し、その後、前記ガラス基板をフ
ッ酸をベースとしたエッチング液に一定時間浸すことに
よりエッチングして、プラズマ室を形成する領域のガラ
ス基板の主面に窪みを設けることにより、プラズマ室を
得ることが提案されている。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】上述した、単色表示の
ＥＬ表示装置にカラーフィルタを付加してカラーＥＬ表
示装置を実現する場合に、図５に示した単色のＥＬ表示
パネルのガラス基板２をフッ酸を主成分としたエッチャ
ントによりエッチングし、そこにカラーフィルタ部を付
加する方法が、特願平１０−０１６０８６号に提案され
ている。

【００２４】この提案では、完成したＥＬ表示パネル１
のガラス基板２の主面の周縁部を除いた領域について選
択的にエッチングを行う。ガラス基板２のエッチングが
ＥＬ表示パネルの製造工程の完了した後に行われるの
は、ガラス基板２を薄くエッチングした部分が、ＥＬ表
示パネルの製造工程中に破損する可能性があるためであ
る。また、ガラス基板２の主面の周縁部をエッチングし
ないのは、エッチング後のガラス基板２の強度をある程
度確保する必要があるためである。

【００２５】このため、この提案では、レジストマスク
を用いてＥＬ表示パネルのエッチングを行わない領域を
マスキングしてエッチングを行っていた。しかし、一般
に、レジストは焼成を経るまでは流体であるため、水平
面上には表面張力を用いて形成することができるが、側
面などの垂直な面には形成されにくい。このため、ＥＬ
表示パネルの主面にはレジストを良好に形成できるもの
の、ＥＬ表示パネルの端部側面にはレジストを十分形成
できない。この結果、ＥＬ表示パネルの端部側面で不用
意なエッチングが行われて、端部側面のガラス基板部分
が薄くなり、破損しやすくなる等の要因になった。従っ
て、レジストマスクを用いるマスキング方法によれば、
ＥＬ表示パネルの表面全体に十分なマスキングができな
いという問題点があった。

【００２６】また、フッ酸をベースとしたエッチング液
を用いてエッチングする場合、レジストマスクを用いる
マスキング方法によれば、現状のレジストマスクのフッ
酸に対する耐久性が不十分であることから、ＥＬ表示パ
ネルの表面全体に十分なマスキングができないという問
題点があった。

【００２７】さらに、レジストマスクを用いるマスキン
グ方法の場合、基板上にレジストを塗布し、プリベーク
（前焼成）、マスク露光、ポストベーク（後焼成），現
像、エッチング、レジスト剥離という複数の工程が必要
になり、特に、パターニングを行うマスク露光、現像の
工程においては、高価な露光装置、マスク用の化学材
料、現像用の化学薬品を必要とするため、製造工程が高
価で複雑になるという問題点があった。

【００２８】また、上述した特開平５−２４９４２３号
公報に開示された反射型液晶表示装置を形成するための
液晶表示パネルの裏面側ガラス基板のエッチング工程に
おいても、レジストマスクを用いるマスキング方法を用
いていた。従って、上記と同様の問題点を持っていた。

【００２９】また、ＰＤＰやＰＡＬＣの製造工程におい
ても、ガラス基板の主面をエッチングしてプラズマ室を
形成する場合に、レジストマスクを用いるマスキング方
法が提案されていた。従って、上記と同様の問題点を持
っていた。

【００３０】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みてなされたものであり、エッチング工程におけるマス
キングが良好に行える平面型表示パネルの製造方法を提
供することを目的としている。

【００３１】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
平面型表示パネルの製造方法は、少なくとも一方の主面
がガラス基板からなる平面型表示パネルの製造方法であ
って、前記平面型表示パネルのガラス基板からなる主面
の特定領域の厚さを基準厚さに加工する平面型表示パネ
ルの製造方法において、耐エッチング性を有する樹脂フ
ィルムにより、平面型表示パネルの前記特定領域を除い
た表面領域の全体を覆い、前記特定領域をウエットエッ
チングする工程を含むことを特徴としている。

【００３２】請求項２記載の平面型表示パネルの製造方
法は、少なくとも一方の主面がガラス基板からなる平面
型表示パネルの製造方法であって、前記平面型表示パネ
ルのガラス基板からなる主面の特定領域の厚さを基準厚
さに加工する平面型表示パネルの製造方法において、耐
エッチング性を有する材料で構成された支持台により、
前記平面型表示パネルの前記特定領域を含まない表面領
域の一部を覆うように、前記平面型表示パネルを支持
し、耐エッチング性を有する樹脂フィルムにより、前記
平面型表示パネルの前記特定領域を除いた前記支持台に
覆われていない表面領域の全体を覆い、前記特定領域を
ウエットエッチングする工程を含むことを特徴としてい
る。

【００３３】請求項３記載の平面型表示パネルの製造方
法は、請求項１または２記載の平面型表示パネルの製造
方法において、前記樹脂フィルムにより、前記平面型表
示パネルの前記特定領域を含む表面領域を覆った後、前
記特定領域上を覆う前記樹脂フィルムを切り取ることに
より、前記特定領域を露出させる工程を含むことを特徴
としている。

【００３４】請求項４記載の平面型表示パネルの製造方
法は、請求項１乃至３記載の平面型表示パネルの製造方
法において、前記樹脂フィルムは、フェノール系樹脂、
塩化ビニル系樹脂、ポリフェニレンオキシド、ポリプロ
ピレン、フッ素樹脂からなるグループより選ばれた一つ
であることを特徴としている。

【００３５】請求項５記載の平面型表示パネルの製造方
法は、請求項１乃至４記載の平面型表示パネルの製造方
法において、前記樹脂フィルムと前記平面型表示パネル
の間にエッチング液が侵入することを防止するように、
前記樹脂フィルムと前記平面型表示パネルをプレス、熱
圧着、熱溶着により密着させる工程を含むことを特徴と
している。

【００３６】以下、上記構成による作用を説明する。本
発明によれば、平面型表示パネルの特定領域を除いた表
面領域の全体を、耐エッチング性を有する樹脂フィルム
により覆うので、特に、平面型表示パネルの端部側面に
ついて確実に覆うことができる。このため、平面型表示
パネルの端部側面に不用意なエッチングが行われないの
で、ガラス基板が薄くなったり破損したりすることはな
い。従って、十分なマスキングが平面型表示パネルの表
面全体に行える。

【００３７】また、耐エッチング性を有する材料で構成
された支持台と耐エッチング性を有する樹脂フィルムの
両方を、平面型表示パネルを覆うためのマスクとして用
いることから、平面型表示パネルが支持台により覆われ
ている表面領域については、樹脂フィルムによるマスキ
ングが必要ない。このため、樹脂フィルムは平面型表示
パネルの表面領域の全体を覆わなくてよい。従って、樹
脂フィルムの貼付けが容易に行うことができ、また、樹
脂フィルムの使用量を少なくすることができる。結果と
して、十分なマスキングが平面型表示パネルの表面全体
に行える。

【００３８】さらに、平面型表示パネルの表面領域を樹
脂フィルムで完全に覆った後、エッチングの必要な特定
領域の樹脂フィルムを切り取ることにより、エッチング
の必要な表面領域のパターニングを行うことができる。
このため、従来のレジストマスクによるパターニングと
比較して、安価に容易にパターニングを行うことができ
る。

【００３９】さらに、樹脂フィルムとして、フェノール
系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリフェニレンオキシド、
ポリプロピレン、フッ素樹脂を用いることにより、ガラ
スをエッチングするためのフッ酸等のエッチング液に対
して十分な耐久性を得ることができる。従って、十分な
マスキングが平面型表示パネルの表面全体に行える。

【００４０】さらに、樹脂フィルムと平面型表示パネル
との間にエッチング液が侵入することを阻止する場合
に、樹脂フィルムをプレス、熱圧着、熱溶着により両者
を密着させて侵入を阻止する。このため、十分なマスキ
ングが平面型表示パネルの表面全体に行える。

【００４１】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について以下
に説明する。本発明の実施の形態では、特に、カラーＥ
Ｌ表示装置の製造工程において、カラーフィルタ部を付
加するＥＬ表示パネルのガラス基板をエッチングする工
程について説明する。

【００４２】（実施の形態１）本実施の形態で用いられ
るＥＬ表示パネルは、従来の技術において説明し、図５
に示したＥＬ表示パネル１と基本的に同じ構成のものを
用いる。

【００４３】但し、ガラス基板２としては、ノンアルカ
リガラスで、厚さ１．１ｍｍのガラス基板１６を用い
た。

【００４４】本実施の形態について図１（ａ）、図１
（ｂ）を用いて説明する。尚、図１（ａ）、図１（ｂ）
において、ＥＬ表示パネル１４は、エッチングの施され
るガラス基板１６と、薄膜ＥＬ素子部、シール部、封止
ガラスを含む裏面部１８により示されている。

【００４５】本実施の形態では、図１（ａ）に示すよう
に、ＥＬ表示パネル１４を、耐エッチング性の高い樹脂
フィルム１５で表面全体を覆うように保護した。樹脂フ
ィルム１５としては、塩化ビニル系の樹脂フィルムを用
いた。樹脂フィルム１５の材料としては、前記したもの
の他、フェノール系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリフェ
ニレンオキシド、ポリプロピレン、フッ素樹脂等を用い
ることができる。

【００４６】この場合、樹脂フィルム１５により、ＥＬ
表示パネル１４のガラス基板１６の各辺から裏面部１８
を覆うように折り込んだ。このため、ＥＬ表示パネル１
４を密封するためには、この折り込んだ部分を互いに貼
りあわせる必要がある。そして、その貼り合わせた部分
からエッチング液が浸入しないように、貼り合わせ部付
近の樹脂フィルム１５をプレス、熱溶着、熱圧着により
互いに接着し、ＥＬ表示パネル１４を密封した。

【００４７】また、さらに好ましくは、樹脂フィルム１
５とＥＬ表示パネル１４との間に気泡が入らないように
樹脂フィルム１５とＥＬ表示パネル１４との接する面の
全てをプレス、熱溶着、熱圧着して両者を密着させるこ
とができる。これは、樹脂フィルム１５とＥＬ表示パネ
ル１４との間に気泡が残っていた場合、エッチングによ
り発生するエネルギーから温度が５０℃〜６０℃程度に
なることから、残っていた気泡が膨張して樹脂フィルム
１５を破損するためである。

【００４８】次に、図１（ｂ）に示されるように、エッ
チングされるガラス基板１６の特定領域に合わせて樹脂
フィルム１５を切り抜いてパターニングし、ガラス基板
１６の露出部分を形成する。この切り取り手段として
は、パターニングの位置合わせ精度の要求に応じて選定
することが出来る。本実施の形態の場合は、ＥＬ表示パ
ネル１４の表示領域より若干広めに特定領域を設定すれ
ば、カラーフィルタ部を埋め込むことが可能であるた
め、カッターにより手作業でミリ単位精度の切り取りを
行った。

【００４９】本実施の形態の場合、上記パターニングは
樹脂フィルム１５を切り取る工程だけであった。このた
め、レジストマスクを用いるマスクキング方法のよう
に、大かがりなパターニング装置の使用や、複数の工程
の実施を行わなくてよい。また、樹脂フィルム１５が透
明又は半透明であれば、ガラス基板上に予め記された特
定領域を目測することができるので、切り取り作業をさ
らに容易に行うことができる。

【００５０】また、よりに高い精度で特定領域の切り取
り作業を行う必要がある場合は、樹脂フィルム１５を切
り取るカッター等を高い精度で制御する産業用ロボット
等を用いることが出来る。

【００５１】さらに、切り取り作業終了後、切り取られ
た特定領域の境界付近の樹脂フィルムについてプレス、
熱溶着、熱圧着を施し、樹脂フィルム１５のエッジから
のエッチング液が浸入することを防止した。尚、切り取
り作業前の樹脂フィルムのプレス、熱溶着、熱圧着が十
分に行われていれば、切り取り作業終了後のプレス、熱
溶着、熱圧着は省略することもできる。

【００５２】このように樹脂フィルム１５により端部側
面を含めて確実にマスキングしたＥＬ表示パネル１４
を、フッ酸を主成分としたエッチング液に５〜１５時間
程度浸して、化学的にガラス基板１６のエッチングを進
めた。この結果、ガラス基板１６は、エッチング開始前
に厚み１．１ｍｍであったが、エッチング終了時点で
は、特定領域で厚さ１００μｍ以下までエッチングさ
れ、そして、特定領域以外で厚さ１．１ｍｍを保ってい
た。

【００５３】最後に、エッチングが終了した後、マスク
として用いた樹脂フィルム１５は、ＥＬ表示パネル１４
から容易に取り外すことができた。

【００５４】（実施の形態２）本実施の形態で用いられ
るＥＬ表示パネルは、実施の形態１と同様のＥＬ表示パ
ネル１４を用いる。

【００５５】本実施の形態について図２（ａ）、図２
（ｂ）を用いて説明する。尚、図２（ａ）、図２（ｂ）
において、ＥＬ表示パネル１４は、エッチングの施され
るガラス基板１６と、薄膜ＥＬ素子部、シール部、封止
ガラスを含む裏面部１８により示されている。

【００５６】本実施の形態では、図２（ａ）に示すよう
に、ＥＬ表示パネル１４を、耐エッチング性の高い樹脂
製の支持台１７の上に固定した。支持台１７は、ＥＬ表
示パネル１４の裏面と側面をほぼ覆うことができるよう
にトレー状に加工されている。支持台１７に用いる樹脂
材料としては塩化ビニル系を用いた。

【００５７】次に、図２（ｂ）に示すように、前記樹脂
フィルム１５を、支持台１７とガラス基板１６の一部の
領域上にプレス、熱圧着、熱溶着により貼り付けた。こ
の場合、ガラス基板１６の特定領域のみが露出され、か
つ、ガラス基板１６と支持台１７との隙間を跨ぐように
貼り付けた。

【００５８】本実施の形態によれば、樹脂フィルム１５
がガラス基板１６の側面部及びＥＬ表示パネル１４の裏
面部１８まで覆わないため、樹脂フィルム１５を折り込
む必要がなくなる。このため、ガラス基板１６のエッジ
が十分に面取りされていない場合等に、そのエッジに対
して樹脂フィルム１５を折り込んで、樹脂フィルム１５
を破損することを防止できる。即ち、本実施の形態は、
樹脂フィルム１５を支持台１７とＥＬ表示パネル１４の
表面上に貼り付けるだけで、安全、確実にマスキングを
行うことが出来る。

【００５９】また、図２（ｂ）に示すように、特定領域
を含むガラス基板１６の主面と、支持台１７の端面を同
一平面にしているので、樹脂フィルム１５のマスキング
をさらに良好に行うことができた。

【００６０】また、図３に示すように、ガラス基板１６
のエッチングを行う特定領域１９が、ガラス基板１６の
周縁部を除いた四角形状の領域である場合、樹脂フィル
ム１５をテープ状にして、エッチングされる特定領域１
９の各辺に対して位置合わせを行いながら樹脂フィルム
１５のテープを、図３のようにガラス基板１６の周縁部
と支持台１７の一部の領域に貼り付けてマスキングを行
うことができる。この方法によれば、より簡単に迅速に
マスキングを完了することができる。また、樹脂フィル
ムの使用量についても少なく抑えることができる。

【００６１】上述したように、耐エッチング保護された
ＥＬ表示パネル１４を、実施の形態１と同様にフッ酸を
主成分としたエッチング液に５〜１５時間程度浸してエ
ッチングを実施した。この結果、ガラス基板１６は、エ
ッチング開始前に厚み１．１ｍｍであったが、エッチン
グ終了時点では、特定領域で厚さ１００μｍ以下までエ
ッチングされ、そして、特定領域以外で厚さ１．１ｍｍ
を保っていた。

【００６２】最後に、エッチングが終了した後、マスク
として用いた樹脂フィルム１５及び支持台１７は、ＥＬ
表示パネル１４から容易に取り外すことができた。

【００６３】また、本実施の形態で挙げる支持台１７に
ついては、図２（ａ）、図２（ｂ）に示したものの他
に、図４に示すように複数のＥＬ表示パネル１４をセッ
トすることができる支持台１７を用いることもできる。
これにより、一回のエッチングに供するＥＬ表示パネル
１４の枚数を多くすることが出来るため、スループット
を飛躍的に高くすることが出来る。尚、図４について
は、図２（ａ）、図２（ｂ）と同一の部材について、同
一の符号を付しているので説明を省略する。

【００６４】また、本発明は、上述したカラーＥＬ表示
装置の製造方法にのみ適用されるものではなく、例え
ば、反射型液晶表示装置の裏面側ガラス基板を薄板化す
るためにエッチングする場合にも、本発明の製造方法を
適用することができる。

【００６５】さらに、本発明は、ＰＤＰやＰＡＬＣを製
造する場合において、ガラス基板の主面の一部をエッチ
ングすることにより、プラズマ室を形成する場合におい
ても適用することができる。本発明を適用すれば、プラ
ズマ室を形成する領域以外のガラス基板の表面領域をエ
ッチング液から確実に保護することができる。但し、こ
の場合、パターニングは、ガラス基板の主面に形成され
るプラズマ室がＰＤＰやＰＡＬＣの絵素領域の大きさで
あるため、μ単位の精度を必要とする。即ち、上述した
発明の実施の形態１、２についてのパターニング工程よ
り厳しい基準によりパターニングを行う必要がある。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の平面型表
示パネルの製造方法によれば、平面型表示パネルの端部
側面も含めて表面全体を確実にマスキングできるので、
効果的な選択エッチングを実現できる。このため、エッ
チングの必要ない箇所にダメージを与えることがないと
いう効果を奏する。

【００６７】さらに、本発明の平面型表示パネルの製造
方法によれば、樹脂フィルムを切り取ることによりエッ
チングの必要な領域のパターニングを行うため、従来の
レジストマスクによるパターニングと比較して、容易に
パターニングを行うことができ、パターニングの位置決
めも簡単に行えるという効果を奏する。

【００６８】さらに、ＰＤＰやＰＡＬＣに用いられるガ
ラス基板についてプラズマ室等を作成するために加工す
る場合においても、ガラス基板のエッチングが必要ない
箇所にダメージを与えることがないという効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１によるＥＬ表示パネルの
マスキング工程を示す断面図である。

【図２】本発明の実施の形態２によるＥＬ表示パネルの
マスキング工程を示す断面図である。

【図３】本発明の実施の形態２によるＥＬ表示パネルの
マスキングの形態を示す平面図である。

【図４】本発明の実施の形態２によるＥＬ表示パネルの
別のマスキングの形態を示す断面図である。

【図５】従来のＥＬ表示パネルの断面図である。

【符号の説明】

１ＥＬ表示装置２ガラス基板３下部透明電極４下部絶縁膜５発光層６上部絶縁膜７上部電極８ガラス基板の一方面９封止ガラス基板１０保護物質層１１エポキシ樹脂１２シール部１３一方面の法線方向１４ＥＬ表示パネル１５耐エッチング性を有する樹脂フィルム１６ガラス基板１７耐エッチング性を有する支持台１８ＥＬ表示パネルの裏面部１９ガラス基板の特定領域

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者平井正明大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内Ｆターム(参考） 2H090 JA02 JC03 JD01 LA20 5C094 AA43 EB02 FB01 GB01 HA08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも一方の主面がガラス基板から
なる平面型表示パネルの製造方法であって、前記平面型
表示パネルのガラス基板からなる主面の特定領域の厚さ
を基準厚さに加工する平面型表示パネルの製造方法にお
いて、耐エッチング性を有する樹脂フィルムにより、平面型表
示パネルの前記特定領域を除いた表面領域の全体を覆
い、前記特定領域をウエットエッチングする工程を含む
ことを特徴とする平面型表示パネルの製造方法。
【請求項２】少なくとも一方の主面がガラス基板から
なる平面型表示パネルの製造方法であって、前記平面型
表示パネルのガラス基板からなる主面の特定領域の厚さ
を基準厚さに加工する平面型表示パネルの製造方法にお
いて、耐エッチング性を有する材料で構成された支持台によ
り、前記平面型表示パネルの前記特定領域を含まない表
面領域の一部を覆うように、前記平面型表示パネルを支
持し、耐エッチング性を有する樹脂フィルムにより、前
記平面型表示パネルの前記特定領域を除いた前記支持台
に覆われていない表面領域の全体を覆い、前記特定領域
をウエットエッチングする工程を含むことを特徴とする
平面型表示パネルの製造方法。
【請求項３】前記樹脂フィルムにより、前記平面型表
示パネルの前記特定領域を含む表面領域を覆った後、前
記特定領域上を覆う前記樹脂フィルムを切り取ることに
より、前記特定領域を露出させる工程を含むことを特徴
とする請求項１または２記載の平面型表示パネルの製造
方法。
【請求項４】前記樹脂フィルムは、フェノール系樹
脂、塩化ビニル系樹脂、ポリフェニレンオキシド、ポリ
プロピレン、フッ素樹脂からなるグループより選ばれた
一つであることを特徴とする請求項１乃至３記載の平面
型表示パネルの製造方法。
【請求項５】前記樹脂フィルムと前記平面型表示パネ
ルの間にエッチング液が侵入することを防止するよう
に、前記樹脂フィルムと前記平面型表示パネルをプレ
ス、熱圧着、熱溶着により密着させる工程を含むことを
特徴とする請求項１乃至４記載の平面型表示パネルの製
造方法。