JP2000107905A - 被覆硬質工具 - Google Patents
被覆硬質工具Info
- Publication number
- JP2000107905A JP2000107905A JP10282362A JP28236298A JP2000107905A JP 2000107905 A JP2000107905 A JP 2000107905A JP 10282362 A JP10282362 A JP 10282362A JP 28236298 A JP28236298 A JP 28236298A JP 2000107905 A JP2000107905 A JP 2000107905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coated
- layer
- cutting
- alloy
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、切削中の発熱、特に刃先の温度を
低下させることができ、また皮膜の密着性の改善の結
果、高速化、乾式化、高送り化などの苛酷な切削諸元に
耐える優れた切削工具を提供することを目的とする。 【構成】 ＴｉとＡｌを主成分とする窒化物、炭窒化物
もしくは炭酸窒化物を被覆した被覆硬質合金において、
該被覆と被覆基体の間に５乃至５００ｎｍ厚さの（Ｔｉ
ＡｌＶ）合金を被覆することより構成する。
低下させることができ、また皮膜の密着性の改善の結
果、高速化、乾式化、高送り化などの苛酷な切削諸元に
耐える優れた切削工具を提供することを目的とする。 【構成】 ＴｉとＡｌを主成分とする窒化物、炭窒化物
もしくは炭酸窒化物を被覆した被覆硬質合金において、
該被覆と被覆基体の間に５乃至５００ｎｍ厚さの（Ｔｉ
ＡｌＶ）合金を被覆することより構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は特に密着性および潤滑性
に優れた硬質皮膜を有する被覆硬質工具に関するもの
で、各種切削工具、型、治工具、機械構成部品など厳し
い摩擦摩耗を受ける部材に適用し性能向上が得られるも
のである。
に優れた硬質皮膜を有する被覆硬質工具に関するもの
で、各種切削工具、型、治工具、機械構成部品など厳し
い摩擦摩耗を受ける部材に適用し性能向上が得られるも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、切削用被覆硬質工具の皮膜として
はＴｉＮ、ＴｉＣＮ皮膜が汎用的かつ一般的であった
が、使用条件の厳しさが増すにつれ耐摩耗性、耐酸化性
のより優れたＴｉＡｌＮ皮膜が多く用いられるようにな
った。しかしながら、最近は切削速度がさらに高速化す
る傾向に加え、乾式での切削が環境上重要視されるよう
になり、工具表面と被切削材の間の摩擦の低下、自己潤
滑性の向上および皮膜の剥離に対する抵抗、すなわち皮
膜の基体に対する密着性の向上が極めて重要となってき
た。
はＴｉＮ、ＴｉＣＮ皮膜が汎用的かつ一般的であった
が、使用条件の厳しさが増すにつれ耐摩耗性、耐酸化性
のより優れたＴｉＡｌＮ皮膜が多く用いられるようにな
った。しかしながら、最近は切削速度がさらに高速化す
る傾向に加え、乾式での切削が環境上重要視されるよう
になり、工具表面と被切削材の間の摩擦の低下、自己潤
滑性の向上および皮膜の剥離に対する抵抗、すなわち皮
膜の基体に対する密着性の向上が極めて重要となってき
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】現用のＴｉＡｌＮ皮膜
においては鋼との摩擦係数が０．４程度とかなり大きく
切削中の発熱が大きいため、切削の高速化、乾式化に限
界がある。従って、皮膜の潤滑性を向上させ、切削によ
る熱の発生を軽減させることが切削の高速化、乾式化を
可能にする不可欠な技術であると考えられる。また、工
具の耐摩耗性を上げ、工具寿命を増大させるには硬質皮
膜の厚さを増大することが最も好ましいが、皮膜厚さの
増大は皮膜と基体の境界面に大きな残留応力を発生し、
皮膜の剥離をもたらす。それ故、硬質皮膜と基体の間に
密着性が良く、かつ残留応力を吸収する緩衝膜をつける
と性能が一層向上すると考えられる。
においては鋼との摩擦係数が０．４程度とかなり大きく
切削中の発熱が大きいため、切削の高速化、乾式化に限
界がある。従って、皮膜の潤滑性を向上させ、切削によ
る熱の発生を軽減させることが切削の高速化、乾式化を
可能にする不可欠な技術であると考えられる。また、工
具の耐摩耗性を上げ、工具寿命を増大させるには硬質皮
膜の厚さを増大することが最も好ましいが、皮膜厚さの
増大は皮膜と基体の境界面に大きな残留応力を発生し、
皮膜の剥離をもたらす。それ故、硬質皮膜と基体の間に
密着性が良く、かつ残留応力を吸収する緩衝膜をつける
と性能が一層向上すると考えられる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】第一に基体の表層部にＶ
を含有する化合物層、あるいはＶを含有するＴｉまたは
ＴｉＡｌの化合物層を被覆することにより、潤滑性が向
上することが確認され、第二に基体と接する内層にＴｉ
ＡｌＶ合金を被覆することにより密着性のよい皮膜が得
られ、厚い皮膜を被覆しても剥離が生じがたいことであ
る。
を含有する化合物層、あるいはＶを含有するＴｉまたは
ＴｉＡｌの化合物層を被覆することにより、潤滑性が向
上することが確認され、第二に基体と接する内層にＴｉ
ＡｌＶ合金を被覆することにより密着性のよい皮膜が得
られ、厚い皮膜を被覆しても剥離が生じがたいことであ
る。
【０００５】
【作用】切削中に刃先の温度が７００℃を越えると（Ｔ
ｉＡｌＶ）（ＣＮ）硬質皮膜中のＶは皮膜表面に拡散
し、一方皮膜表面のＴｉは逆に皮膜内部に拡散すること
が確認された。つまり、切削中に皮膜表面にＶリッチ層
が形成される。これが酸化して表面にＶ酸化物層が生じ
る。Ｖの酸化物は自己潤滑性を有するとともに鋼と皮膜
の摩擦係数を著しく低下させるため切削抵抗を極めて低
下させる。その結果、切削速度の高い場合もしくは乾式
での切削においても刃先の温度はＴｉＡｌＮ皮膜の場合
よりも低く保たれ、長寿命化が可能である。
ｉＡｌＶ）（ＣＮ）硬質皮膜中のＶは皮膜表面に拡散
し、一方皮膜表面のＴｉは逆に皮膜内部に拡散すること
が確認された。つまり、切削中に皮膜表面にＶリッチ層
が形成される。これが酸化して表面にＶ酸化物層が生じ
る。Ｖの酸化物は自己潤滑性を有するとともに鋼と皮膜
の摩擦係数を著しく低下させるため切削抵抗を極めて低
下させる。その結果、切削速度の高い場合もしくは乾式
での切削においても刃先の温度はＴｉＡｌＮ皮膜の場合
よりも低く保たれ、長寿命化が可能である。
【０００６】しかし、（ＴｉＡｌＶ）（ＣＮ）膜は（Ｔ
ｉＡｌ）（ＣＮ）膜に比し硬さがやや低く耐摩耗性は劣
る。すなわち、（ＴｉＡｌＶ）（ＣＮ）はクレーター摩
耗に対して強いが、フランク摩耗に対しては（ＴｉＡ
ｌ）（ＣＮ）より劣るので、第２層に（ＴｉＡｌ）（Ｃ
Ｎ）を被覆して耐摩耗性を与え、最外層にＶを含むＶ
（ＣＮ）または（ＴｉＶ）（ＣＮ）を被覆して潤滑性を
与えることが有効である。次に、硬質薄膜の耐剥離性を
上げるためには、基体に対する皮膜の密着性を良くする
こと、および硬質皮膜の被覆によって生じる大きな圧縮
残留応力に耐え、それを吸収する第１層皮膜を基体表面
に被覆することが有効である。前者に対してはＴｉＮ膜
が有効とされている。また、硬質皮膜の内部応力が高い
ほど剥離を生じやすい。この内部応力は硬質皮膜の硬さ
が高く、厚いほど大であり、また第１層（内層）の硬さ
が低く、厚さの大きいほど小であった。しかし、硬さが
低く、かつ厚いと切削時に塑性変形により膜自体が取り
去られる傾向が強く、適当な硬さと厚さがある。このよ
うな視点から第１層材として高強度を有するＴｉＡｌＶ
合金を用い、例としてＴｉ−６％Ａｌ−４％Ｖ合金を用
いた。この合金は代表的な高強度耐熱Ｔｉ合金であり、
Ｖを含有していることにより基体との化学結合をさらに
大きくし密着性を向上させる。
ｉＡｌ）（ＣＮ）膜に比し硬さがやや低く耐摩耗性は劣
る。すなわち、（ＴｉＡｌＶ）（ＣＮ）はクレーター摩
耗に対して強いが、フランク摩耗に対しては（ＴｉＡ
ｌ）（ＣＮ）より劣るので、第２層に（ＴｉＡｌ）（Ｃ
Ｎ）を被覆して耐摩耗性を与え、最外層にＶを含むＶ
（ＣＮ）または（ＴｉＶ）（ＣＮ）を被覆して潤滑性を
与えることが有効である。次に、硬質薄膜の耐剥離性を
上げるためには、基体に対する皮膜の密着性を良くする
こと、および硬質皮膜の被覆によって生じる大きな圧縮
残留応力に耐え、それを吸収する第１層皮膜を基体表面
に被覆することが有効である。前者に対してはＴｉＮ膜
が有効とされている。また、硬質皮膜の内部応力が高い
ほど剥離を生じやすい。この内部応力は硬質皮膜の硬さ
が高く、厚いほど大であり、また第１層（内層）の硬さ
が低く、厚さの大きいほど小であった。しかし、硬さが
低く、かつ厚いと切削時に塑性変形により膜自体が取り
去られる傾向が強く、適当な硬さと厚さがある。このよ
うな視点から第１層材として高強度を有するＴｉＡｌＶ
合金を用い、例としてＴｉ−６％Ａｌ−４％Ｖ合金を用
いた。この合金は代表的な高強度耐熱Ｔｉ合金であり、
Ｖを含有していることにより基体との化学結合をさらに
大きくし密着性を向上させる。
【０００７】次に、本発明に係わる数値の限定理由につ
いて述べる。第１層のＴｉＡｌＶ合金の皮膜厚さに関
し、５ｎｍ以下では皮膜の密着性が不足し、５００ｎｍ
以上では切削時塑性流動により皮膜が取り去られるため
５〜５００ｎｍとした。請求項４におけるＶ（Ｃ
yＮ1-y）のｙについて、ｙが１に近いほど耐摩耗性は増
大するが、潤滑性は低下するのでｙ＝０〜０．８とし
た。請求項５の（ＴｉxＶ1-x）（ＣyＮ1-y）のｘ、ｙに
ついて、潤滑性を上げる本発明の効果を出すためには
（ＴｉＶ）中のＶの割合が少なくとも０．１以上あるこ
とが必要なためｘ＝０〜０．９とした。ｙについては前
述と同じ理由による。なお、第１層の（ＴｉＡｌＶ）合
金については６−４Ｔｉ合金以外に高強度、耐熱Ｔｉ合
金が種々開発されており、硬質皮膜の第１層材としてさ
らに優れた材料がある。強力Ｔｉ合金の組成かせはＡｌ
は３〜８％、Ｖは１〜１５％の範囲であり、これにＳ
ｎ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｚｒなどが有用である。本発明では６
−４Ｔｉ合金（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ）を代表とするＴｉ
ＡｌＶ合金で説明した。
いて述べる。第１層のＴｉＡｌＶ合金の皮膜厚さに関
し、５ｎｍ以下では皮膜の密着性が不足し、５００ｎｍ
以上では切削時塑性流動により皮膜が取り去られるため
５〜５００ｎｍとした。請求項４におけるＶ（Ｃ
yＮ1-y）のｙについて、ｙが１に近いほど耐摩耗性は増
大するが、潤滑性は低下するのでｙ＝０〜０．８とし
た。請求項５の（ＴｉxＶ1-x）（ＣyＮ1-y）のｘ、ｙに
ついて、潤滑性を上げる本発明の効果を出すためには
（ＴｉＶ）中のＶの割合が少なくとも０．１以上あるこ
とが必要なためｘ＝０〜０．９とした。ｙについては前
述と同じ理由による。なお、第１層の（ＴｉＡｌＶ）合
金については６−４Ｔｉ合金以外に高強度、耐熱Ｔｉ合
金が種々開発されており、硬質皮膜の第１層材としてさ
らに優れた材料がある。強力Ｔｉ合金の組成かせはＡｌ
は３〜８％、Ｖは１〜１５％の範囲であり、これにＳ
ｎ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｚｒなどが有用である。本発明では６
−４Ｔｉ合金（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ）を代表とするＴｉ
ＡｌＶ合金で説明した。
【０００８】本願の特徴の一つはこのような第１層を被
覆することにより皮膜の耐剥離性を向上したものであ
る。それ故、皮膜の厚さは約１５μｍまで厚くしても剥
離を生じにくい。また、潤滑性の高い硬質皮膜としてい
るので乾式切削においても優れた性能を発揮する。本願
の皮膜は超硬合金のほか、ＴｉＣＮ基サーメット、高速
度工具鋼にも適用出来、切削工具の外各種金型、治工
具、摩擦部品に適用できるもので、その工業的寄与は極
めて大きいものである。以下、実施例に基いて本発明を
説明する。
覆することにより皮膜の耐剥離性を向上したものであ
る。それ故、皮膜の厚さは約１５μｍまで厚くしても剥
離を生じにくい。また、潤滑性の高い硬質皮膜としてい
るので乾式切削においても優れた性能を発揮する。本願
の皮膜は超硬合金のほか、ＴｉＣＮ基サーメット、高速
度工具鋼にも適用出来、切削工具の外各種金型、治工
具、摩擦部品に適用できるもので、その工業的寄与は極
めて大きいものである。以下、実施例に基いて本発明を
説明する。
【０００９】
【実施例】小型アークイオンプレーティング装置を用い
表１に示す条件で本発明例、比較例のコーティングを行
い被覆超硬エンドミルを試作した。
表１に示す条件で本発明例、比較例のコーティングを行
い被覆超硬エンドミルを試作した。
【００１０】
【表１】
【００１１】皮膜の組成はＴｉ−Ａｌの合金ターゲット
およびＴｉ−Ｖ合金ターゲット、ならびに純Ｖターゲッ
トを用いて調整した。試作したエンドミルを用い以下の
切削条件で切削試験を行い、折損するまで切削を行っ
た。折損が発生した時点の切削長は表１に併記した。切
削諸元は、エンドミル（φ８ｍｍ、６枚刃）を用いて、
被削材ＳＫＤ１１（硬さＨＲＣ６０）、切削速度１５０
ｍ／ｍｉｎ、送り量０．０６ｍｍ／刃、切り込み量１２
ｍｍ×０．２ｍｍ、切削油なし、にて行った。
およびＴｉ−Ｖ合金ターゲット、ならびに純Ｖターゲッ
トを用いて調整した。試作したエンドミルを用い以下の
切削条件で切削試験を行い、折損するまで切削を行っ
た。折損が発生した時点の切削長は表１に併記した。切
削諸元は、エンドミル（φ８ｍｍ、６枚刃）を用いて、
被削材ＳＫＤ１１（硬さＨＲＣ６０）、切削速度１５０
ｍ／ｍｉｎ、送り量０．０６ｍｍ／刃、切り込み量１２
ｍｍ×０．２ｍｍ、切削油なし、にて行った。
【００１２】表１に示すように基体と接する内層（Ｔｉ
−６Ａｌ−４Ｖ）の厚さが５ｎｍから５００ｎｍに増加
するにしたがい刃先温度は降下し、工具寿命は増加す
る。内層のない場合（試料番号１２）あるいは１０００
ｎｍと極めて厚い場合は工具寿命が著しく低下する。中
間層にＴｉＡｌＮを被覆した試料番号１３、１４では本
発明例に比し刃先温度が上昇し工具寿命を低くする。最
外層にＶ（ＣＮ）、（ＴｉＶ）（ＣＮ）を被覆すると刃
先温度はさらに低下し工具寿命を増加する。しかし、Ｎ
を含まないＶＣ、（ＴｉＶ）Ｃ、ＶＣの被覆では効果が
少ない。以上のごとく、内層に（ＴｉＡｌＶ）合金を５
〜５００ｎｍ被覆し、被削材と接する外層にＶを含むＴ
ｉまたは（ＴｉＡｌ）合金の炭窒化物を被覆することに
より、皮膜の剥離がなく、潤滑性と耐摩耗性に富んだ外
層によって優れた工具寿命が得られるのである。
−６Ａｌ−４Ｖ）の厚さが５ｎｍから５００ｎｍに増加
するにしたがい刃先温度は降下し、工具寿命は増加す
る。内層のない場合（試料番号１２）あるいは１０００
ｎｍと極めて厚い場合は工具寿命が著しく低下する。中
間層にＴｉＡｌＮを被覆した試料番号１３、１４では本
発明例に比し刃先温度が上昇し工具寿命を低くする。最
外層にＶ（ＣＮ）、（ＴｉＶ）（ＣＮ）を被覆すると刃
先温度はさらに低下し工具寿命を増加する。しかし、Ｎ
を含まないＶＣ、（ＴｉＶ）Ｃ、ＶＣの被覆では効果が
少ない。以上のごとく、内層に（ＴｉＡｌＶ）合金を５
〜５００ｎｍ被覆し、被削材と接する外層にＶを含むＴ
ｉまたは（ＴｉＡｌ）合金の炭窒化物を被覆することに
より、皮膜の剥離がなく、潤滑性と耐摩耗性に富んだ外
層によって優れた工具寿命が得られるのである。
【００１３】次にドリルで実証するために前記例と同一
の製法により超硬合金製ドリルを製作した。表２にその
結果を示す。ドリルの切削諸元は刃径φ８ｍｍのドリル
を用い、深さ２４ｍｍの穴明け加工を被削材ＳＣＭ４４
０、切削速度８０ｍ／ｍｉｎ、送り０．２ｍｍ／ｒｅ
ｖ、水溶性切削油を用いて行った。切削性能は折損まで
の穴明け数によって比較した。
の製法により超硬合金製ドリルを製作した。表２にその
結果を示す。ドリルの切削諸元は刃径φ８ｍｍのドリル
を用い、深さ２４ｍｍの穴明け加工を被削材ＳＣＭ４４
０、切削速度８０ｍ／ｍｉｎ、送り０．２ｍｍ／ｒｅ
ｖ、水溶性切削油を用いて行った。切削性能は折損まで
の穴明け数によって比較した。
【００１４】
【表２】
【００１５】表２に示すように外層にＶを含有する膜を
用いることにより切削初期のトルクを極めて減少させる
ことが出来、その効果は炭化物のみよりも炭窒化物の方
が大きい。また、基体に接する内層に（ＴｉＡｌＶ）合
金層を設けることにより、皮膜の密着性を高め、刃先温
度の上昇を抑え、結果として切削トルクを低くし、工具
寿命が増大することが分かる。
用いることにより切削初期のトルクを極めて減少させる
ことが出来、その効果は炭化物のみよりも炭窒化物の方
が大きい。また、基体に接する内層に（ＴｉＡｌＶ）合
金層を設けることにより、皮膜の密着性を高め、刃先温
度の上昇を抑え、結果として切削トルクを低くし、工具
寿命が増大することが分かる。
【００１６】
【発明の効果】本発明を適用することにより、切削中の
発熱、特に刃先の温度を低下させることができ、また皮
膜の密着性の改善の結果、高速化、乾式化、高送り化な
どの苛酷な切削諸元に耐える優れた切削工具を提供する
ことができた。
発熱、特に刃先の温度を低下させることができ、また皮
膜の密着性の改善の結果、高速化、乾式化、高送り化な
どの苛酷な切削諸元に耐える優れた切削工具を提供する
ことができた。
Claims (6)
- 【請求項１】 ＴｉとＡｌを主成分とする窒化物、炭窒
化物もしくは炭酸窒化物の硬質膜を被覆した被覆硬質合
金において、該被覆と被覆基体の間に５乃至５００ｎｍ
厚さの（ＴｉＡｌＶ）合金を被覆したことを特徴とする
被覆硬質工具。 - 【請求項２】 請求項１記載のの被覆硬質工具におい
て、前記硬質皮膜として（ＴｉＡｌＶ）合金の窒化物あ
るいは炭窒化物を被覆したことを特徴とする被覆硬質工
具。 - 【請求項３】 請求項１乃至２記載の被覆硬質工具にお
いて、前記硬質皮膜として（ＴｉＡｌ）合金の窒化物を
被覆し、さらにその上に最外層としてＶの炭窒化物、あ
るいは（ＴｉＶ）合金の炭窒化物を被覆したことを特徴
とする被覆硬質工具。 - 【請求項４】 請求項３記載の被覆硬質工具において、
前記最外層のＶの炭窒化物Ｖ（ＣyＮ1-y）におけるｙの
値を０乃至０．８としたことを特徴とする被覆硬質工
具。 - 【請求項５】 請求項３記載の被覆硬質工具において、
前記最外層の（ＴｉＶ）合金の炭窒化物（ＴｉxＶ1-x）
（ＣyＮ1-y）におけるｘ、ｙの値をｘ＝０〜０．９、ｙ
＝０〜０．８としたことを特徴とする被覆硬質工具。 - 【請求項６】 請求項１乃至３記載の被覆硬質工具にお
いて、基体として高速度工具鋼、超硬合金およびＴｉＣ
Ｎ基サーメットを用いたことを特徴とする被覆硬質工
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10282362A JP2000107905A (ja) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | 被覆硬質工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10282362A JP2000107905A (ja) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | 被覆硬質工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000107905A true JP2000107905A (ja) | 2000-04-18 |
Family
ID=17651430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10282362A Pending JP2000107905A (ja) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | 被覆硬質工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000107905A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011190539A (ja) * | 2011-04-19 | 2011-09-29 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜、硬質皮膜被覆材および冷間塑性加工用金型 |
| US20120115760A1 (en) * | 2007-09-11 | 2012-05-10 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Hard coating film, material coated with hard coating film, and die for cold plastic working |
-
1998
- 1998-10-05 JP JP10282362A patent/JP2000107905A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120115760A1 (en) * | 2007-09-11 | 2012-05-10 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Hard coating film, material coated with hard coating film, and die for cold plastic working |
| US8568525B2 (en) * | 2007-09-11 | 2013-10-29 | Kobe Steel, Ltd. | Hard coating film, material coated with hard coating film, and die for cold plastic working |
| JP2011190539A (ja) * | 2011-04-19 | 2011-09-29 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜、硬質皮膜被覆材および冷間塑性加工用金型 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2793773B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材 | |
| US4554201A (en) | Multilayer coatings of metal-cutting tools | |
| JP4132931B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具およびその製造方法 | |
| JP2005193376A (ja) | 長い有効寿命を有するコーティング工具 | |
| US20050129565A1 (en) | Tungsten alloy high temperature tool materials | |
| JPH07237010A (ja) | 耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具 | |
| TW542761B (en) | Gear shaper cutting method and apparatus | |
| JP2000107905A (ja) | 被覆硬質工具 | |
| JP2840541B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材 | |
| JP2001328016A (ja) | ツイスト用ドリル | |
| JP3891520B2 (ja) | 固体潤滑性および非親和性を有する複合耐摩耗性硬質皮膜、並びに皮膜付き物品 | |
| JP4350822B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 | |
| JP4094746B2 (ja) | 被覆硬質工具 | |
| JP3645295B2 (ja) | 潤滑硬質膜被覆ドリル | |
| JP3190009B2 (ja) | 被覆硬質合金 | |
| JP2961106B2 (ja) | ギヤシェーパ加工方法及びギヤシェーパ | |
| JP3615728B2 (ja) | 耐クレータ摩耗性に優れる物理蒸着硬質皮膜被覆工具 | |
| JP2004202592A (ja) | 珪素含有非晶質炭素膜を有する工具部材とその製造方法 | |
| JP3699004B2 (ja) | 耐摩耗皮膜被覆工具 | |
| JP3679078B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
| JP4020003B2 (ja) | ワイヤ放電加工用電極線及びそれを用いた放電加工方法 | |
| JP3679076B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
| JP3347247B2 (ja) | 高靭性被膜被覆体 | |
| JPWO2004096473A1 (ja) | 高速加工工具 | |
| JPS62278267A (ja) | 表面被覆ＴｉＣＮ系サ−メツト |