JP2000103064A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法Info
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- JP2000103064A JP2000103064A JP27547198A JP27547198A JP2000103064A JP 2000103064 A JP2000103064 A JP 2000103064A JP 27547198 A JP27547198 A JP 27547198A JP 27547198 A JP27547198 A JP 27547198A JP 2000103064 A JP2000103064 A JP 2000103064A
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- jet recording
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法
における液路壁構成材料や、液室分割仕切板に関する諸
制約や、液室部のパターニング精度等の諸問題を解消す
るためのインクジェット記録ヘッド及びその製造方法を
提供する。 【解決手段】 このため、吐出圧発生素子７と、少なく
とも液路となる部分を占有する固体層３とが設けられた
基体１上に硬化性樹脂３を塗布後、この樹脂を硬化し液
路となる固体層を除去する工程と、前記固体層除去前に
少なくとも共通液室部を切削又は研削加工とによって作
成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
一つの記録ヘッド内に複数の液室１０を分離形成する方
法として、前記液室１０を、前記固体層２を利用し硬化
性樹脂３により成る溝及び板材１２より仕切を設ける製
造方法を採用した。
における液路壁構成材料や、液室分割仕切板に関する諸
制約や、液室部のパターニング精度等の諸問題を解消す
るためのインクジェット記録ヘッド及びその製造方法を
提供する。 【解決手段】 このため、吐出圧発生素子７と、少なく
とも液路となる部分を占有する固体層３とが設けられた
基体１上に硬化性樹脂３を塗布後、この樹脂を硬化し液
路となる固体層を除去する工程と、前記固体層除去前に
少なくとも共通液室部を切削又は研削加工とによって作
成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
一つの記録ヘッド内に複数の液室１０を分離形成する方
法として、前記液室１０を、前記固体層２を利用し硬化
性樹脂３により成る溝及び板材１２より仕切を設ける製
造方法を採用した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録方式に用いる記録液滴を発生するためのインクジェッ
ト記録ヘッド及びその製造方法に関する。
録方式に用いる記録液滴を発生するためのインクジェッ
ト記録ヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、インクジェット記録装置は、急速
に発展し、特に、ブラック、イエロー、マゼンタ、シア
ンの各色を有したカラーインクジェット記録装置は、こ
こ数年、その性能と価格とから爆発的に普及した。
に発展し、特に、ブラック、イエロー、マゼンタ、シア
ンの各色を有したカラーインクジェット記録装置は、こ
こ数年、その性能と価格とから爆発的に普及した。
【０００３】この様なカラーインクジェット記録装置に
は、複数のインクジェット記録ヘッドを４色並設する方
法と、一つのインクジェット記録ヘッドを４色に分割す
る方法とがあるが、部品点数及び小型化、価格的には、
当然、後者の方が有利である。
は、複数のインクジェット記録ヘッドを４色並設する方
法と、一つのインクジェット記録ヘッドを４色に分割す
る方法とがあるが、部品点数及び小型化、価格的には、
当然、後者の方が有利である。
【０００４】従来、この種のインクジェット記録ヘッド
の製造方法として、例えば特開昭６２−２５３４５７号
公報には、基体上に液路となる固体層を形成し、しかる
後、活性エネルギー線硬化性材料層及び第２の基体とを
積層し、その後、液室予定部位以外の領域に活性エネル
ギー線を照射した後、この液室予定部位の未硬化の活性
エネルギー線硬化材料層を除去して液室を形成し、その
後、前記液室予定部位に形成された固体層を除去する方
法が提案されている。
の製造方法として、例えば特開昭６２−２５３４５７号
公報には、基体上に液路となる固体層を形成し、しかる
後、活性エネルギー線硬化性材料層及び第２の基体とを
積層し、その後、液室予定部位以外の領域に活性エネル
ギー線を照射した後、この液室予定部位の未硬化の活性
エネルギー線硬化材料層を除去して液室を形成し、その
後、前記液室予定部位に形成された固体層を除去する方
法が提案されている。
【０００５】この様な方法で液室の分離を行う場合、活
性硬化線によるパターニングで行うことができる。
性硬化線によるパターニングで行うことができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような製造方法の場合、１つのインクジェットヘッドの
分割を行おうとすると、以下のような問題点があった。
すなわち、 １、液路の壁を構成する材料は、液室部がパターニング
可能な活性エネルギー線硬化材料のみになり、構造及び
性能上で大きな制約があった。また、液室の分割に仕切
板を併用する場合なども、接着面積を十分に取れない、
接着剤がはみ出す等の制約があった。
ような製造方法の場合、１つのインクジェットヘッドの
分割を行おうとすると、以下のような問題点があった。
すなわち、 １、液路の壁を構成する材料は、液室部がパターニング
可能な活性エネルギー線硬化材料のみになり、構造及び
性能上で大きな制約があった。また、液室の分割に仕切
板を併用する場合なども、接着面積を十分に取れない、
接着剤がはみ出す等の制約があった。
【０００７】２、インクジェット記録ヘッドのインク滴
の吐出性能上、共通液室の高さを大きく取りたい場合、
前記活性エネルギー線硬化材料層が厚くなるため、液室
部をパターニングする際に精度が悪化したり、高価な露
光装置を使用するためにコストアップの要因となってい
た。
の吐出性能上、共通液室の高さを大きく取りたい場合、
前記活性エネルギー線硬化材料層が厚くなるため、液室
部をパターニングする際に精度が悪化したり、高価な露
光装置を使用するためにコストアップの要因となってい
た。
【０００８】本発明は、以上のような局面にかんがみて
なされたもので、こられの問題点を解消すめためのイン
クジェット記録ヘッド及びその製造方法の提供を目的と
している。
なされたもので、こられの問題点を解消すめためのイン
クジェット記録ヘッド及びその製造方法の提供を目的と
している。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このため本発明において
は、以下のインクジェット記録ヘッド及びその製造方法
を提供することにより、前記目的を達成しようとするも
のである。
は、以下のインクジェット記録ヘッド及びその製造方法
を提供することにより、前記目的を達成しようとするも
のである。
【００１０】吐出圧発生素子と、少くとも液路となる部
分を占有する固体層とが設けられた基体上に、硬化性樹
脂を塗布後、この樹脂を硬化し液路となる固体層を除去
し、前記固体層除去前に少くとも共通液室部を切削また
は研削加工により作成されたインクジェット記録ヘッド
であって、前記液室を、前記固体層を利用し前記硬化性
樹脂より成る溝及び板材より仕切を設けることにより、
一つのヘッド内に複数の液室を分離形成したことを特徴
とするインクジェット記録ヘッド。
分を占有する固体層とが設けられた基体上に、硬化性樹
脂を塗布後、この樹脂を硬化し液路となる固体層を除去
し、前記固体層除去前に少くとも共通液室部を切削また
は研削加工により作成されたインクジェット記録ヘッド
であって、前記液室を、前記固体層を利用し前記硬化性
樹脂より成る溝及び板材より仕切を設けることにより、
一つのヘッド内に複数の液室を分離形成したことを特徴
とするインクジェット記録ヘッド。
【００１１】吐出圧発生素子と、少くとも液路となる部
分を占有する固体層とが設けられた基体上に、硬化性樹
脂を塗布後、この樹脂を硬化し液路となる固体層を除去
する工程と、前記固体層除去前に、少くとも共通液室部
を切削または研削加工により作成するインクジェット記
録ヘッドの製造方法において、一つの記録ヘッド内に複
数の液室を分離形成する方法として、前記液室を、前記
固体層を利用し前記硬化性樹脂より成る溝及び板材より
仕切を設けることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド製造方法。
分を占有する固体層とが設けられた基体上に、硬化性樹
脂を塗布後、この樹脂を硬化し液路となる固体層を除去
する工程と、前記固体層除去前に、少くとも共通液室部
を切削または研削加工により作成するインクジェット記
録ヘッドの製造方法において、一つの記録ヘッド内に複
数の液室を分離形成する方法として、前記液室を、前記
固体層を利用し前記硬化性樹脂より成る溝及び板材より
仕切を設けることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド製造方法。
【００１２】
【作用】以上のような本発明のインクジェット記録ヘッ
ド及びその製造方法により、次のような作用／効果が得
られる： １、この種のインクジェット記録装置の製造工程、材料
を増やすことなく、仕切板接着のための溝を形成でき
る。
ド及びその製造方法により、次のような作用／効果が得
られる： １、この種のインクジェット記録装置の製造工程、材料
を増やすことなく、仕切板接着のための溝を形成でき
る。
【００１３】２、活性エネルギー線硬化性樹脂を必ずし
も用いる必要がなく、露光、現像等の工程が不要なた
め、安価で高精度のインクジェット記録ヘッドが得られ
る。
も用いる必要がなく、露光、現像等の工程が不要なた
め、安価で高精度のインクジェット記録ヘッドが得られ
る。
【００１４】３、接着溝が有るため、硬化性樹脂の粘
度、濡れ等に左右されず、また感光性等も不要のため自
由に硬化性樹脂を選択でき、耐インク性、耐熱性等に優
れた高信頼性のヘッドが得られる。
度、濡れ等に左右されず、また感光性等も不要のため自
由に硬化性樹脂を選択でき、耐インク性、耐熱性等に優
れた高信頼性のヘッドが得られる。
【００１５】４、溝に挿入して接着するため、仕切板の
接着面積が多く取れ、強度が強くなり、各液室間の分離
の信頼性も大きく向上する。
接着面積が多く取れ、強度が強くなり、各液室間の分離
の信頼性も大きく向上する。
【００１６】５、基板上の接着面積を少なくできるた
め、インクのリフィール特性を悪化させることのない高
信頼性で高速応答可能なヘッドを高歩留りで得ることが
できる。
め、インクのリフィール特性を悪化させることのない高
信頼性で高速応答可能なヘッドを高歩留りで得ることが
できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を、好
適な実施例に基づき、図面を参照して詳細に説明する。
適な実施例に基づき、図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
【実施例】図１〜３は、本発明の実施例の説明図であ
り、これを基に本発明であるインクジェット記録ヘッド
の製造方法の実施例を工程に従って説明する。図１はそ
の工程説明断面図、図２は同斜視図、図３は、図２
（３）の断面図である。
り、これを基に本発明であるインクジェット記録ヘッド
の製造方法の実施例を工程に従って説明する。図１はそ
の工程説明断面図、図２は同斜視図、図３は、図２
（３）の断面図である。
【００１９】まず、図１（１）において、吐出圧発生素
子７が設けられたアルミ基板（第１の基体１）の上に液
路形成部位及びそれと連通する液室形成予定部位に、ポ
ジ型レジストＰＭＥＲ Ｐ−ＭＦ−５８（商品名、東京
応化（株）製）のパターニングにより、第１の固体層２
を形成する。この固体層２は、後述する各工程を経た後
に除去され、残された空間部分が少なくとも液路とな
る。
子７が設けられたアルミ基板（第１の基体１）の上に液
路形成部位及びそれと連通する液室形成予定部位に、ポ
ジ型レジストＰＭＥＲ Ｐ−ＭＦ−５８（商品名、東京
応化（株）製）のパターニングにより、第１の固体層２
を形成する。この固体層２は、後述する各工程を経た後
に除去され、残された空間部分が少なくとも液路とな
る。
【００２０】次に、図１（２）において、厚さ約１００
ミクロンのダイシングテープによるスぺーサ６を、切断
分離後、不要部となる部位に設け、図１（３）におい
て、インク供給口４を有し、表面に耐蝕処理を施したア
ルミ天板（第２の基体５）を接合する。
ミクロンのダイシングテープによるスぺーサ６を、切断
分離後、不要部となる部位に設け、図１（３）におい
て、インク供給口４を有し、表面に耐蝕処理を施したア
ルミ天板（第２の基体５）を接合する。
【００２１】次に、図１（４）において、第２の固体層
である常温硬化性樹脂３として以下の組成から成る樹脂
を塗布する： 重量部 エピコート８２８（商品名、油化シェルエポキシ（株）製） １００ フジキュアー６０１０（商品名、富士化成工業（株）製） ５０ そして、常温２４時間、１００℃１時間の熱キュアーを
行った。
である常温硬化性樹脂３として以下の組成から成る樹脂
を塗布する： 重量部 エピコート８２８（商品名、油化シェルエポキシ（株）製） １００ フジキュアー６０１０（商品名、富士化成工業（株）製） ５０ そして、常温２４時間、１００℃１時間の熱キュアーを
行った。
【００２２】次に、図１（５）において、ダイヤモンド
ソーにより、切断線８に沿って、インク供給口下部の硬
化性樹脂を固体層２に至るまで切削し、これにより液室
１０を形成する。
ソーにより、切断線８に沿って、インク供給口下部の硬
化性樹脂を固体層２に至るまで切削し、これにより液室
１０を形成する。
【００２３】次に図１（６）に示すように、ダイヤモン
ドソーで対向ヘッドを分離する。
ドソーで対向ヘッドを分離する。
【００２４】次に図１（７）において、固体層２を除去
液エチルセロソルブで除去し、吐出口９を得るわけであ
る。
液エチルセロソルブで除去し、吐出口９を得るわけであ
る。
【００２５】本発明実施例では、図１（１）の第１の固
体層２形成時に、同時に液室分離板用の接着溝のための
パターンを作り込むことから始まるが、詳細については
次工程で説明する。
体層２形成時に、同時に液室分離板用の接着溝のための
パターンを作り込むことから始まるが、詳細については
次工程で説明する。
【００２６】図２は、工程説明斜視図で、図１（４）、
（６）の斜視図がそれぞれ図２（１）、（３）に相当
し、図２（２）は、図２（１）の切断線８の切断後のＡ
−Ａ線方向に分離した斜視図を示す。また、図２（３）
のＢ−Ｂ線で切った断面模式図を図３（１）に示し、図
３（２）〜（４）にその加工工程を示す。
（６）の斜視図がそれぞれ図２（１）、（３）に相当
し、図２（２）は、図２（１）の切断線８の切断後のＡ
−Ａ線方向に分離した斜視図を示す。また、図２（３）
のＢ−Ｂ線で切った断面模式図を図３（１）に示し、図
３（２）〜（４）にその加工工程を示す。
【００２７】図３（１）に示すように、第１の固体層２
で形成されたパターンに第２の固体層３が入り込んだ形
状になる。
で形成されたパターンに第２の固体層３が入り込んだ形
状になる。
【００２８】次に、第１の固体層２を除去すると、図３
（２）に示すように、第２の固体層による溝が形成され
る。
（２）に示すように、第２の固体層による溝が形成され
る。
【００２９】これに、図３（３）、（４）に示すよう
に、上記熱硬化性樹脂を塗布したポリサルフォンから成
る仕切板１２を挿入する。そして常温２４時間、１５０
℃１時間の熱キュアーを行った。
に、上記熱硬化性樹脂を塗布したポリサルフォンから成
る仕切板１２を挿入する。そして常温２４時間、１５０
℃１時間の熱キュアーを行った。
【００３０】以上により、図２（４）に示すように、精
度良く簡単に液室の分離ができる。
度良く簡単に液室の分離ができる。
【００３１】また、このようにして出来上がったインク
ジェット記録ヘッドの液室１０に、それぞれ違う色のイ
ンクを試験的に入れてみたが、混色等の不良は見られな
かった。
ジェット記録ヘッドの液室１０に、それぞれ違う色のイ
ンクを試験的に入れてみたが、混色等の不良は見られな
かった。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法によれば、下記のような諸
効果が得られる： １、工程、材料を増やすことなく、仕切板接着のための
溝を形成できる。
ェット記録ヘッドの製造方法によれば、下記のような諸
効果が得られる： １、工程、材料を増やすことなく、仕切板接着のための
溝を形成できる。
【００３３】２、活性エネルギー線硬化性樹脂を必ずし
も用いる必要がなく、露光、現像等の工程が不要なた
め、安価で高精度のインクジェット記録ヘッドが得られ
る。
も用いる必要がなく、露光、現像等の工程が不要なた
め、安価で高精度のインクジェット記録ヘッドが得られ
る。
【００３４】３、接着溝が有るため、硬化性樹脂の粘
度、濡れ等に左右されず、また感光性等も不要のため自
由に硬化性樹脂を選択でき、耐インク性、耐熱性等に優
れた高信頼性のヘッドが得られる。
度、濡れ等に左右されず、また感光性等も不要のため自
由に硬化性樹脂を選択でき、耐インク性、耐熱性等に優
れた高信頼性のヘッドが得られる。
【００３５】４、溝に挿入して接着するため、仕切板の
接着面積が多く取れ、強度が強くなり、各液室間の分離
の信頼性も大きく向上する。
接着面積が多く取れ、強度が強くなり、各液室間の分離
の信頼性も大きく向上する。
【００３６】５、基板上の接着面積を少なくし得るた
め、インクのリフィール特性を悪化させることのない高
信頼性で高速応答可能なヘッドを高歩留りで得ることが
できる、など。
め、インクのリフィール特性を悪化させることのない高
信頼性で高速応答可能なヘッドを高歩留りで得ることが
できる、など。
【図１】 実施例の製造方法の工程説明断面図
【図２】 実施例の製造方法の工程説明斜視図
【図３】 実施例の製造方法の図２（３）のＢ−Ｂ断面
模式図
模式図
１ 第１の基体（基板） ２ 第１の固体層 ３ 第２の固体層（硬化性樹脂） ４ 第２の基体に設けられたインク供給口 ５ 第２の基体（天板） ６ スぺーサ ７ 吐出圧発生素子 ８ 切断線 ９ 吐出口 １０ 液室 １１ 対向ヘッド １２ 仕切板
Claims (2)
- 【請求項１】 吐出圧発生素子と、少くとも液路となる
部分を占有する固体層とが設けられた基体上に、硬化性
樹脂を塗布後、この樹脂を硬化し液路となる固体層を除
去し、前記固体層除去前に少くとも共通液室部を切削ま
たは研削加工により作成されたインクジェット記録ヘッ
ドであって、 前記液室を、前記固体層を利用し前記硬化性樹脂より成
る溝及び板材より仕切を設けることにより、一つのヘッ
ド内に複数の液室を分離形成したことを特徴とするイン
クジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 吐出圧発生素子と、少くとも液路となる
部分を占有する固体層とが設けられた基体上に、硬化性
樹脂を塗布後、この樹脂を硬化し液路となる固体層を除
去する工程と、前記固体層除去前に、少くとも共通液室
部を切削または研削加工により作成するインクジェット
記録ヘッドの製造方法において、 一つの記録ヘッド内に複数の液室を分離形成する方法と
して、前記液室を、前記固体層を利用し前記硬化性樹脂
より成る溝及び板材より仕切を設けることを特徴とする
インクジェット記録ヘッド製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27547198A JP2000103064A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27547198A JP2000103064A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000103064A true JP2000103064A (ja) | 2000-04-11 |
Family
ID=17556007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27547198A Withdrawn JP2000103064A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000103064A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103158359A (zh) * | 2011-12-14 | 2013-06-19 | 佳能株式会社 | 液体喷出头的制造方法 |
-
1998
- 1998-09-29 JP JP27547198A patent/JP2000103064A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103158359A (zh) * | 2011-12-14 | 2013-06-19 | 佳能株式会社 | 液体喷出头的制造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060110 |