JP2000097906A - 滅菌装置における滅菌ガス濃度制御装置 - Google Patents
滅菌装置における滅菌ガス濃度制御装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】滅菌装置における滅菌ガス濃度の検出手段とし
てイオン導電体を用いたガス濃度検出方法を採用すると
ともに、その正確な滅菌ガス濃度の検出が安定的かつリ
アルタイムで得られるように工夫することにより、滅菌
室内における滅菌ガス濃度を所求の条件に確実かつ速や
かに制御し得る滅菌装置の滅菌ガス濃度制御装置を提供
する。 【解決手段】滅菌室にイオン導電体を用いたガス濃度セ
ンサ及び適宜の湿度センサを設置し、前記ガス濃度セン
サの検出値から湿度センサの検出値に応じて湿度相当分
を差引くことにより滅菌ガス濃度を求め、その滅菌ガス
濃度に基づいて前記滅菌室への滅菌ガスの供給を制御す
る。前記ガス濃度センサを構成するそれぞれの電極を櫛
状に形成し、それらの櫛状の歯の部分が互いに並置され
るように配設する。
てイオン導電体を用いたガス濃度検出方法を採用すると
ともに、その正確な滅菌ガス濃度の検出が安定的かつリ
アルタイムで得られるように工夫することにより、滅菌
室内における滅菌ガス濃度を所求の条件に確実かつ速や
かに制御し得る滅菌装置の滅菌ガス濃度制御装置を提供
する。 【解決手段】滅菌室にイオン導電体を用いたガス濃度セ
ンサ及び適宜の湿度センサを設置し、前記ガス濃度セン
サの検出値から湿度センサの検出値に応じて湿度相当分
を差引くことにより滅菌ガス濃度を求め、その滅菌ガス
濃度に基づいて前記滅菌室への滅菌ガスの供給を制御す
る。前記ガス濃度センサを構成するそれぞれの電極を櫛
状に形成し、それらの櫛状の歯の部分が互いに並置され
るように配設する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製剤容器や包装済
み製剤製品あるいは医療用具などに対して滅菌処理を実
施するための滅菌装置に関する。より詳しくは、その滅
菌装置の滅菌室内における滅菌ガス濃度を所求の濃度に
正確かつ安定して制御するための滅菌ガス濃度制御装置
に関する。
み製剤製品あるいは医療用具などに対して滅菌処理を実
施するための滅菌装置に関する。より詳しくは、その滅
菌装置の滅菌室内における滅菌ガス濃度を所求の濃度に
正確かつ安定して制御するための滅菌ガス濃度制御装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガス濃度を検出する手段に関しては、従
来から一定量のガスを水に溶解させてその水を化学分析
することにより当該ガス濃度を求める方法（イ）や、赤
外線の吸収率の変化からガス濃度を求める方法（ロ）あ
るいは半導体をセンサとして用いる方法（ハ）などが広
く知られている。しかしながら、方法（イ）は、検出が
リアルタイムではなく、精度もあまりよくないといった
問題があった。また、方法（ロ）は、検出プローブが装
置として大きくなるため滅菌空間を細かくモニタリング
するには不適であり、コスト的にも高価になるといった
問題があった。さらに、方法（ハ）は、文献等では発表
されているものの（特開昭５９−１７６６６０号公
報）、特定種類のガス濃度の検出精度やその精度を上げ
るための構成が複雑になるといった問題があった。
来から一定量のガスを水に溶解させてその水を化学分析
することにより当該ガス濃度を求める方法（イ）や、赤
外線の吸収率の変化からガス濃度を求める方法（ロ）あ
るいは半導体をセンサとして用いる方法（ハ）などが広
く知られている。しかしながら、方法（イ）は、検出が
リアルタイムではなく、精度もあまりよくないといった
問題があった。また、方法（ロ）は、検出プローブが装
置として大きくなるため滅菌空間を細かくモニタリング
するには不適であり、コスト的にも高価になるといった
問題があった。さらに、方法（ハ）は、文献等では発表
されているものの（特開昭５９−１７６６６０号公
報）、特定種類のガス濃度の検出精度やその精度を上げ
るための構成が複雑になるといった問題があった。
【０００３】他方、イオン導電体を用い、そのガス濃度
に応じたイオン導電に基づく電流値ないし電圧値を介し
てガス濃度を検出する方法が開示されている（特開平４
−３０５２１９号公報、特公平４−７３５４９号公
報）。しかしながら、これらの公知の方法は、その検出
対象や検出感度の程度、センサの取付部位の相違などの
点から滅菌室内の滅菌ガス濃度の検出手段としては適用
が困難であったり、限界電流により各要素ガス濃度を検
出するため、その電流を変化させるための構造が複雑に
なったり、リアルタイムでは測定することができないと
いった適用上の問題があった。
に応じたイオン導電に基づく電流値ないし電圧値を介し
てガス濃度を検出する方法が開示されている（特開平４
−３０５２１９号公報、特公平４−７３５４９号公
報）。しかしながら、これらの公知の方法は、その検出
対象や検出感度の程度、センサの取付部位の相違などの
点から滅菌室内の滅菌ガス濃度の検出手段としては適用
が困難であったり、限界電流により各要素ガス濃度を検
出するため、その電流を変化させるための構造が複雑に
なったり、リアルタイムでは測定することができないと
いった適用上の問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、滅菌装置に
おける滅菌ガス濃度の検出手段としてイオン導電体を用
いたガス濃度検出方法を採用するとともに、その正確な
滅菌ガス濃度の検出が安定的かつリアルタイムで得られ
るように工夫することにより、滅菌室内における滅菌ガ
ス濃度を所求の条件に確実かつ速やかに制御し得る滅菌
装置の滅菌ガス濃度制御装置を提供することを目的とす
るものである。
おける滅菌ガス濃度の検出手段としてイオン導電体を用
いたガス濃度検出方法を採用するとともに、その正確な
滅菌ガス濃度の検出が安定的かつリアルタイムで得られ
るように工夫することにより、滅菌室内における滅菌ガ
ス濃度を所求の条件に確実かつ速やかに制御し得る滅菌
装置の滅菌ガス濃度制御装置を提供することを目的とす
るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、滅菌室にイオン導電体を用いたガス濃度セ
ンサ及び適宜の湿度センサを設置し、前記ガス濃度セン
サの検出値から湿度センサの検出値に応じて湿度相当分
を差引くことにより滅菌ガス濃度を求め、その滅菌ガス
濃度に基づいて前記滅菌室への滅菌ガスの供給を制御す
るという技術手段を採用した。本発明によれば、以上の
ように、イオン導電体を用いたガス濃度センサと適宜の
湿度センサとの組合せという簡単な構成により湿度の影
響を受けない正確な滅菌ガス濃度の検出がリアルタイム
で可能になり、滅菌室内における滅菌ガス濃度を所求の
条件に確実かつ速やかに制御することが可能になる。し
かも、前記ガス濃度センサに対する給電の仕方に関して
も定電圧の供給で足りるという利点を有する。さらに、
前記ガス濃度センサを構成するそれぞれの電極を櫛状に
形成するとともに、それらの櫛状の歯の部分が互いに並
置されるように配設すれば検出部を広くとれるので、小
形でも正確かつ安定した検出が可能になる。また、前記
滅菌室に温度センサを設置し、温度による補正を加えて
滅菌ガス濃度を求め、その濃度に基づいて滅菌ガスの供
給を制御するようにすれば、更に精度のよい制御が可能
になる。
決するため、滅菌室にイオン導電体を用いたガス濃度セ
ンサ及び適宜の湿度センサを設置し、前記ガス濃度セン
サの検出値から湿度センサの検出値に応じて湿度相当分
を差引くことにより滅菌ガス濃度を求め、その滅菌ガス
濃度に基づいて前記滅菌室への滅菌ガスの供給を制御す
るという技術手段を採用した。本発明によれば、以上の
ように、イオン導電体を用いたガス濃度センサと適宜の
湿度センサとの組合せという簡単な構成により湿度の影
響を受けない正確な滅菌ガス濃度の検出がリアルタイム
で可能になり、滅菌室内における滅菌ガス濃度を所求の
条件に確実かつ速やかに制御することが可能になる。し
かも、前記ガス濃度センサに対する給電の仕方に関して
も定電圧の供給で足りるという利点を有する。さらに、
前記ガス濃度センサを構成するそれぞれの電極を櫛状に
形成するとともに、それらの櫛状の歯の部分が互いに並
置されるように配設すれば検出部を広くとれるので、小
形でも正確かつ安定した検出が可能になる。また、前記
滅菌室に温度センサを設置し、温度による補正を加えて
滅菌ガス濃度を求め、その濃度に基づいて滅菌ガスの供
給を制御するようにすれば、更に精度のよい制御が可能
になる。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明は、滅菌ガスとして過酸化
水素や二酸化塩素、過酢酸、ホルマリン等の、イオン導
電体の陽極における電極反応によって電子を生じる単一
の気体あるいは蒸気を用いるものであれば適用すること
ができる。また、前記イオン導電体としては、水素イオ
ン導電性膜として知られているデュポン社製のナフィオ
ン（商品名）などが好適である。なお、滅菌室内の圧力
に関しては、常圧下でも減圧下においても正確な滅菌ガ
ス濃度の検出が可能であり、精度のよい制御が可能であ
る。また、前記湿度センサに関しては、適宜の形式を採
用したものを使用することが可能である。
水素や二酸化塩素、過酢酸、ホルマリン等の、イオン導
電体の陽極における電極反応によって電子を生じる単一
の気体あるいは蒸気を用いるものであれば適用すること
ができる。また、前記イオン導電体としては、水素イオ
ン導電性膜として知られているデュポン社製のナフィオ
ン（商品名）などが好適である。なお、滅菌室内の圧力
に関しては、常圧下でも減圧下においても正確な滅菌ガ
ス濃度の検出が可能であり、精度のよい制御が可能であ
る。また、前記湿度センサに関しては、適宜の形式を採
用したものを使用することが可能である。
【０００７】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例に関して
説明する。図１は本発明に係る一実施例の要部を示した
構成概念図である。図中、１は滅菌室で、その内部には
ガス濃度センサ２、湿度センサ３及び温度センサ４が配
設されている。滅菌室１には滅菌ガス発生装置５が接続
されており、その滅菌ガスの供給を制御装置６によって
制御することにより、滅菌室１内の滅菌ガス濃度を所求
の条件に制御するように構成されている。すなわち、滅
菌室１と滅菌ガス発生装置５は供給管７と戻り管８によ
り接続されており、それらの供給管７及び戻り管８を介
して循環される滅菌ガスに対して注入したり除去する滅
菌ガス量を制御装置６により前記センサの検出値に基づ
いてフィードバック制御するように構成されている。な
お、図中、９はバキュームポンプで、滅菌ガスを供給す
る前に滅菌室１を真空にするためのものである。なお、
滅菌ガス供給後の滅菌室の圧力に関しては、常圧の状態
でも減圧された状態でもよく、いずれの場合にも正確な
ガス濃度の検出が可能であり、的確な濃度制御が可能で
ある。
説明する。図１は本発明に係る一実施例の要部を示した
構成概念図である。図中、１は滅菌室で、その内部には
ガス濃度センサ２、湿度センサ３及び温度センサ４が配
設されている。滅菌室１には滅菌ガス発生装置５が接続
されており、その滅菌ガスの供給を制御装置６によって
制御することにより、滅菌室１内の滅菌ガス濃度を所求
の条件に制御するように構成されている。すなわち、滅
菌室１と滅菌ガス発生装置５は供給管７と戻り管８によ
り接続されており、それらの供給管７及び戻り管８を介
して循環される滅菌ガスに対して注入したり除去する滅
菌ガス量を制御装置６により前記センサの検出値に基づ
いてフィードバック制御するように構成されている。な
お、図中、９はバキュームポンプで、滅菌ガスを供給す
る前に滅菌室１を真空にするためのものである。なお、
滅菌ガス供給後の滅菌室の圧力に関しては、常圧の状態
でも減圧された状態でもよく、いずれの場合にも正確な
ガス濃度の検出が可能であり、的確な濃度制御が可能で
ある。
【０００８】前記制御装置６におけるフィードバック制
御は、少なくとも前記ガス濃度センサ２及び湿度センサ
３の検出値を用いて行われる。すなわち、ガス濃度セン
サ２によって検出されたガス濃度値から湿度センサ３に
より検出される湿度相当分を差引いて滅菌ガス自体の正
確な濃度値を求め、その正確な濃度値に基づいて滅菌室
１内の滅菌ガス濃度制御を実行するように構成されてい
る。なお、必要に応じて温度センサ４からの検出値に基
づく補正を加えることにより更に精度のよい制御が可能
になる。本実施例では、ガス濃度センサ２として、デュ
ポン社製のナフィオンなどの水素イオン導電性膜を使用
したものを用い、滅菌ガスとして過酸化水素を用いた場
合のガス濃度を検出するように構成した場合に関して説
明する。なお、前述のように、前記湿度センサ３に関し
ては、適宜の形式のものの採用が可能である。
御は、少なくとも前記ガス濃度センサ２及び湿度センサ
３の検出値を用いて行われる。すなわち、ガス濃度セン
サ２によって検出されたガス濃度値から湿度センサ３に
より検出される湿度相当分を差引いて滅菌ガス自体の正
確な濃度値を求め、その正確な濃度値に基づいて滅菌室
１内の滅菌ガス濃度制御を実行するように構成されてい
る。なお、必要に応じて温度センサ４からの検出値に基
づく補正を加えることにより更に精度のよい制御が可能
になる。本実施例では、ガス濃度センサ２として、デュ
ポン社製のナフィオンなどの水素イオン導電性膜を使用
したものを用い、滅菌ガスとして過酸化水素を用いた場
合のガス濃度を検出するように構成した場合に関して説
明する。なお、前述のように、前記湿度センサ３に関し
ては、適宜の形式のものの採用が可能である。
【０００９】図２及び図３は前記ガス濃度センサ２に関
する実施例を示したものであり、図２はその平面模式
図、図３は同図のＡ−Ａ断面図である。本実施例におい
ては、図示のように、アルミナ基板１０上にＡｕからな
る櫛状の電極１１，１２をそれらの櫛状の歯の部分が互
いに並置する状態に焼付け形成し、しかる後、ヘキサク
ロロ白金酸水溶液中で電解することにより陽極となる電
極１１にのみＰｔを電着させて白金黒メッキを施し、さ
らにそれらの両電極１１，１２上に保湿剤として前記ナ
フィオン溶液を塗布して乾燥することにより、櫛状の両
電極１１，１２がナフィオンからなる水素イオン導電性
膜１３によって被覆された形のガス濃度センサ２を形成
した。なお、電極１１，１２の各端部にはＰｔからなる
陽極用端子１４及び陰極用端子１５が形成されている。
しかして、陽極たる電極１１においては次の化学式
（１）に従い、また陰極たる電極１２においては化学式
（２）に従ってガス濃度に応じた電極反応が生じること
から、その電極反応に基づく導電作用に伴う電流値を計
測することによりガス濃度の検出が可能になる。
する実施例を示したものであり、図２はその平面模式
図、図３は同図のＡ−Ａ断面図である。本実施例におい
ては、図示のように、アルミナ基板１０上にＡｕからな
る櫛状の電極１１，１２をそれらの櫛状の歯の部分が互
いに並置する状態に焼付け形成し、しかる後、ヘキサク
ロロ白金酸水溶液中で電解することにより陽極となる電
極１１にのみＰｔを電着させて白金黒メッキを施し、さ
らにそれらの両電極１１，１２上に保湿剤として前記ナ
フィオン溶液を塗布して乾燥することにより、櫛状の両
電極１１，１２がナフィオンからなる水素イオン導電性
膜１３によって被覆された形のガス濃度センサ２を形成
した。なお、電極１１，１２の各端部にはＰｔからなる
陽極用端子１４及び陰極用端子１５が形成されている。
しかして、陽極たる電極１１においては次の化学式
（１）に従い、また陰極たる電極１２においては化学式
（２）に従ってガス濃度に応じた電極反応が生じること
から、その電極反応に基づく導電作用に伴う電流値を計
測することによりガス濃度の検出が可能になる。
【００１０】
【化１】
【００１１】
【化２】
【００１２】図４は液剤の注入量Ｍ（ｇ／ｍｉｎ）と前
記ガス濃度センサ２の検出電流値Ｉ（μＡ）との関係を
示した液剤注入量−検出電流特性図である。本実施例で
は滅菌ガスとして過酸化水素ガスを採用し、その過酸化
水素ガスの調製は、キャリアガスとして３４ｍ3／ｍｉ
ｎの流速で空気を前記滅菌室１へ送りながら、同時に前
記滅菌ガス発生装置５において原料としての３５％過酸
化水素水の一定量を気化させることにより行った。測定
は室温で行ったが、全測定中に滅菌室１内の温度上昇が
みられた（３１℃〜３７℃）。前記ガス濃度センサ２の
応答は、以上のように調製した滅菌ガス雰囲気中におい
て０．５Ｖの直流電圧を印加した陽極用端子１４と陰極
用端子１５との間の検出電流値Ｉをエレクトロメータを
介して測定することにより調べた。
記ガス濃度センサ２の検出電流値Ｉ（μＡ）との関係を
示した液剤注入量−検出電流特性図である。本実施例で
は滅菌ガスとして過酸化水素ガスを採用し、その過酸化
水素ガスの調製は、キャリアガスとして３４ｍ3／ｍｉ
ｎの流速で空気を前記滅菌室１へ送りながら、同時に前
記滅菌ガス発生装置５において原料としての３５％過酸
化水素水の一定量を気化させることにより行った。測定
は室温で行ったが、全測定中に滅菌室１内の温度上昇が
みられた（３１℃〜３７℃）。前記ガス濃度センサ２の
応答は、以上のように調製した滅菌ガス雰囲気中におい
て０．５Ｖの直流電圧を印加した陽極用端子１４と陰極
用端子１５との間の検出電流値Ｉをエレクトロメータを
介して測定することにより調べた。
【００１３】その結果は図４のとおりである。図中の特
性線（イ）は、前記方法による滅菌ガスの調製において
その原料としての３５％過酸化水素水の注入量Ｍを変化
させた場合の検出電流値Ｉｇをプロットして求めたもの
である。また、特性線（ロ）は、過酸化水素水に替えて
水のみを注入し、その水の注入量Ｍｗを変化させた場合
の検出電流値Ｉｗをプロットして求めたものである。こ
の特性線（イ）及び（ロ）から明らかなように、いずれ
の場合にも注入量Ｍと検出電流値Ｉとの間には直線的な
関係はみられない。すなわち、特性線（ロ）からは、こ
のガス濃度センサ２が水蒸気に対しても応答することが
判るとともに、その検出電流値Ｉｗは注入量Ｍｗの増加
に伴い非直線的に増大することが判る。また、特性線
（イ）からは、３５％過酸化水素水の注入量Ｍの増加に
伴い検出電流値Ｉｇが同様に非直線的に増加することが
判ると同時に、その検出電流値Ｉｇの増加率が水だけの
場合の特性線（ロ）に比べてかなり増大していることが
判る。これは、水蒸気量が多いほど過酸化水素に対する
センサ感度が増大することを示している。
性線（イ）は、前記方法による滅菌ガスの調製において
その原料としての３５％過酸化水素水の注入量Ｍを変化
させた場合の検出電流値Ｉｇをプロットして求めたもの
である。また、特性線（ロ）は、過酸化水素水に替えて
水のみを注入し、その水の注入量Ｍｗを変化させた場合
の検出電流値Ｉｗをプロットして求めたものである。こ
の特性線（イ）及び（ロ）から明らかなように、いずれ
の場合にも注入量Ｍと検出電流値Ｉとの間には直線的な
関係はみられない。すなわち、特性線（ロ）からは、こ
のガス濃度センサ２が水蒸気に対しても応答することが
判るとともに、その検出電流値Ｉｗは注入量Ｍｗの増加
に伴い非直線的に増大することが判る。また、特性線
（イ）からは、３５％過酸化水素水の注入量Ｍの増加に
伴い検出電流値Ｉｇが同様に非直線的に増加することが
判ると同時に、その検出電流値Ｉｇの増加率が水だけの
場合の特性線（ロ）に比べてかなり増大していることが
判る。これは、水蒸気量が多いほど過酸化水素に対する
センサ感度が増大することを示している。
【００１４】ところで、以上の測定の場合では、原料と
して３５％過酸化水素水を用いているため、特性線
（イ）と（ロ）では同じ注入量Ｍでも実際に注入される
水の量Ｍｗは異なる。そこで、水の注入量Ｍｗに着目し
て補正したものを図５に示した。この場合には、特性線
（イ）の各点における水の注入量Ｍｗと特性線（ロ）の
水の注入量Ｍｗが対応するので、図示のように特性線
（イ）と（ロ）との検出電流値の差分Ｉｄが過酸化水素
自体のガス濃度に対する応答感度に相当することにな
る。したがって、この差分Ｉｄを制御信号として用いれ
ば正確な滅菌ガス濃度に基づく制御が可能になる。な
お、図５における特性線（イ）は、過酸化水素水の比率
によって変化することはいうまでもない。図６は横軸を
過酸化水素の濃度（ｐｐｍ）とし、縦軸を前記検出電流
値の差分Ｉｄに相当するセンサ出力値Ｉｓとした場合の
特性図を示したものである。この特性図によれば、水蒸
気の量、すなわち湿度の影響を捨象することができる。
して３５％過酸化水素水を用いているため、特性線
（イ）と（ロ）では同じ注入量Ｍでも実際に注入される
水の量Ｍｗは異なる。そこで、水の注入量Ｍｗに着目し
て補正したものを図５に示した。この場合には、特性線
（イ）の各点における水の注入量Ｍｗと特性線（ロ）の
水の注入量Ｍｗが対応するので、図示のように特性線
（イ）と（ロ）との検出電流値の差分Ｉｄが過酸化水素
自体のガス濃度に対する応答感度に相当することにな
る。したがって、この差分Ｉｄを制御信号として用いれ
ば正確な滅菌ガス濃度に基づく制御が可能になる。な
お、図５における特性線（イ）は、過酸化水素水の比率
によって変化することはいうまでもない。図６は横軸を
過酸化水素の濃度（ｐｐｍ）とし、縦軸を前記検出電流
値の差分Ｉｄに相当するセンサ出力値Ｉｓとした場合の
特性図を示したものである。この特性図によれば、水蒸
気の量、すなわち湿度の影響を捨象することができる。
【００１５】本発明は、以上のように水蒸気、すなわち
湿度がガス濃度センサ２の検出値に与える影響を確認し
た上、その湿度相当分を差引いて滅菌ガスの正確な濃度
値を求め、その値に基づいて滅菌ガスの供給をフィード
バック制御することにより、滅菌室１内の滅菌ガス量を
正確に制御し得るように構成した点に特徴を有するもの
である。すなわち、図１の本発明装置の構成概念図に示
した制御装置６においては、湿度センサ３からの湿度値
から水分の量Ｍｗを求め、図４又は図５の特性線（ロ）
からその湿度値に対応する検出電流値Ｉｗを求めて、そ
の湿度相当分の検出電流値Ｉｗをガス濃度センサ２の検
出電流値Ｉｇから差引くことにより、湿度の影響を除去
した正確な滅菌ガスの濃度を演算し、その演算結果に基
づいて滅菌ガス発生装置５を制御するように構成されて
いる。因みに、前記ガス濃度センサ２に対しては定電圧
を加えるだけで、供給電流を変化させる等の処理操作の
必要がないからリアルタイムでの検出が可能である。し
たがって、滅菌室１内の滅菌ガスの濃度は、正確な滅菌
ガス濃度に基づいて所求の条件に確実かつ速やかに制御
されることになる。また、前述のように電極１１，１２
は櫛状に形成され、それらの櫛状の歯の部分を互いに並
置して検出部が広くなるように工夫されているので、小
形でも正確かつ安定した検出作用が得られる。また、温
度センサ４からの検出結果を用い、例えば各温度におけ
る滅菌ガス濃度と電流値との関係から予め作成したマト
リックステーブルに従って補正を加えれるようにすれ
ば、更に精度のよい滅菌ガス濃度の制御が可能である。
湿度がガス濃度センサ２の検出値に与える影響を確認し
た上、その湿度相当分を差引いて滅菌ガスの正確な濃度
値を求め、その値に基づいて滅菌ガスの供給をフィード
バック制御することにより、滅菌室１内の滅菌ガス量を
正確に制御し得るように構成した点に特徴を有するもの
である。すなわち、図１の本発明装置の構成概念図に示
した制御装置６においては、湿度センサ３からの湿度値
から水分の量Ｍｗを求め、図４又は図５の特性線（ロ）
からその湿度値に対応する検出電流値Ｉｗを求めて、そ
の湿度相当分の検出電流値Ｉｗをガス濃度センサ２の検
出電流値Ｉｇから差引くことにより、湿度の影響を除去
した正確な滅菌ガスの濃度を演算し、その演算結果に基
づいて滅菌ガス発生装置５を制御するように構成されて
いる。因みに、前記ガス濃度センサ２に対しては定電圧
を加えるだけで、供給電流を変化させる等の処理操作の
必要がないからリアルタイムでの検出が可能である。し
たがって、滅菌室１内の滅菌ガスの濃度は、正確な滅菌
ガス濃度に基づいて所求の条件に確実かつ速やかに制御
されることになる。また、前述のように電極１１，１２
は櫛状に形成され、それらの櫛状の歯の部分を互いに並
置して検出部が広くなるように工夫されているので、小
形でも正確かつ安定した検出作用が得られる。また、温
度センサ４からの検出結果を用い、例えば各温度におけ
る滅菌ガス濃度と電流値との関係から予め作成したマト
リックステーブルに従って補正を加えれるようにすれ
ば、更に精度のよい滅菌ガス濃度の制御が可能である。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、滅菌室にイオン導電体
を用いたガス濃度センサと適宜の湿度センサを設置する
という簡単な構成により、湿度の影響を除去した正確な
滅菌ガス濃度に基づく滅菌ガスの供給制御がリアルタイ
ムで可能となり、滅菌室内における滅菌ガス濃度を所求
の条件に確実かつ速やかに制御することが可能になる。
しかも、前記ガス濃度センサに対する給電の仕方に関し
ても、従来のように電流を変化させることなく、定電圧
を供給するだけで足りるという利点を有する。さらに、
前記ガス濃度センサを構成するそれぞれの電極を櫛状に
形成して、それらの櫛状の歯の部分が互いに並置するよ
うに配設すれば、小形でも正確かつ安定した検出が可能
になる。
を用いたガス濃度センサと適宜の湿度センサを設置する
という簡単な構成により、湿度の影響を除去した正確な
滅菌ガス濃度に基づく滅菌ガスの供給制御がリアルタイ
ムで可能となり、滅菌室内における滅菌ガス濃度を所求
の条件に確実かつ速やかに制御することが可能になる。
しかも、前記ガス濃度センサに対する給電の仕方に関し
ても、従来のように電流を変化させることなく、定電圧
を供給するだけで足りるという利点を有する。さらに、
前記ガス濃度センサを構成するそれぞれの電極を櫛状に
形成して、それらの櫛状の歯の部分が互いに並置するよ
うに配設すれば、小形でも正確かつ安定した検出が可能
になる。
【図１】 本発明の実施例の要部を示した構成概念図で
ある。
ある。
【図２】 ガス濃度センサに関する実施例を示した平面
模式図である。
模式図である。
【図３】 図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】 液剤の注入量Ｍとガス濃度センサの検出電流
値Ｉとの関係を示した液剤注入量−検出電流特性図であ
る。
値Ｉとの関係を示した液剤注入量−検出電流特性図であ
る。
【図５】 水の注入量Ｍｗに着目して補正した液剤注入
量−検出電流特性図である。
量−検出電流特性図である。
【図６】 過酸化水素の濃度とセンサ出力値Ｉｓの特性
図である。
図である。
１…滅菌室、２…ガス濃度センサ、３…湿度センサ、４
…温度センサ、５…滅菌ガス発生装置、６…制御装置、
７…供給管、８…戻り管、９…バキュームポンプ、１０
…アルミナ基板、１１，１２…電極、１３…水素イオン
導電性膜、１４…陽極用端子、１５…陰極用端子
…温度センサ、５…滅菌ガス発生装置、６…制御装置、
７…供給管、８…戻り管、９…バキュームポンプ、１０
…アルミナ基板、１１，１２…電極、１３…水素イオン
導電性膜、１４…陽極用端子、１５…陰極用端子
Claims (3)
- 【請求項１】 滅菌室にイオン導電体を用いたガス濃度
センサ及び適宜の湿度センサを設置し、前記ガス濃度セ
ンサの検出値から湿度センサの検出値に応じて湿度相当
分を差引くことにより滅菌ガス濃度を求め、その滅菌ガ
ス濃度に基づいて前記滅菌室への滅菌ガスの供給を制御
するように構成したことを特徴とする滅菌装置における
滅菌ガス濃度制御装置。 - 【請求項２】 前記ガス濃度センサを構成するそれぞれ
の電極を櫛状に形成し、それらの櫛状の歯の部分が互い
に並置されるように両電極を配設したことを特徴とする
請求項１記載の滅菌装置における滅菌ガス濃度制御装
置。 - 【請求項３】 前記滅菌室に温度センサを設置し、温度
による補正を加えて求めた滅菌ガス濃度に基づいて滅菌
ガスの供給を制御するように構成したことを特徴とする
請求項１又は２記載の滅菌装置における滅菌ガス濃度制
御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10267048A JP2000097906A (ja) | 1998-09-21 | 1998-09-21 | 滅菌装置における滅菌ガス濃度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10267048A JP2000097906A (ja) | 1998-09-21 | 1998-09-21 | 滅菌装置における滅菌ガス濃度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000097906A true JP2000097906A (ja) | 2000-04-07 |
Family
ID=17439326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10267048A Pending JP2000097906A (ja) | 1998-09-21 | 1998-09-21 | 滅菌装置における滅菌ガス濃度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000097906A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008201434A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 電子線殺菌システム |
| JP2009524811A (ja) * | 2006-01-27 | 2009-07-02 | インテリテクト ウォーター リミティド | 交互くし型マイクロ電極および交互くし型マイクロ電極を製造するプロセス |
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| US10876144B2 (en) | 2017-07-14 | 2020-12-29 | American Sterilizer Company | Process for determining viability of test microorganisms of biological indicator and sterilization detection device for determining same |
| US10889848B2 (en) | 2017-07-14 | 2021-01-12 | American Sterilizer Company | Process for determining viability of test microorganisms of biological indicator and sterilization detection device for determining same |
| US10900062B2 (en) | 2017-07-14 | 2021-01-26 | American Sterilizer Company | Process for determining viability of test microorganisms of biological indicator and sterilization detection device for determining same |
| CN114306692A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-12 | 老肯医疗科技股份有限公司 | 一种高效率灭菌的过氧化氢等离子灭菌器及灭菌方法 |
-
1998
- 1998-09-21 JP JP10267048A patent/JP2000097906A/ja active Pending
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