JP2000086270A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 段取り時間が短く、安定した特性が得られ、
しかも装置のかさ上げの不要な光ファイバ母材の製造方
法を提供する。 【解決手段】 ガラス棒把持部２を上方に移動させる際
に上蓋開口部の多孔質ガラス体１１の外周面と上蓋開口
部との間のギャップを虹採絞り１４で調整すると共にチ
ャンバ６、７の排気系統への外気導入量を調整すること
により、チャンバ６、７内への室内空気の混入が防止さ
れ、チャンバ６が短くてすむので装置のかさ上げが不要
となり、ガラス棒４のガラス棒把持部２への取付けや光
ファイバ母材のガラス棒把持部２からの取り外しや清掃
時間等が短縮される。
しかも装置のかさ上げの不要な光ファイバ母材の製造方
法を提供する。 【解決手段】 ガラス棒把持部２を上方に移動させる際
に上蓋開口部の多孔質ガラス体１１の外周面と上蓋開口
部との間のギャップを虹採絞り１４で調整すると共にチ
ャンバ６、７の排気系統への外気導入量を調整すること
により、チャンバ６、７内への室内空気の混入が防止さ
れ、チャンバ６が短くてすむので装置のかさ上げが不要
となり、ガラス棒４のガラス棒把持部２への取付けや光
ファイバ母材のガラス棒把持部２からの取り外しや清掃
時間等が短縮される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材の
製造方法に関する。
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】バーナよりＳｉＣｌ4 等の原料ガスを酸
水素火炎と共に吹き出し、火炎中の加水分解により、タ
ーゲットにガラス微粒子を堆積させるＶＡＤ法（Ｖａｐ
ｏｒ−ｐｈａｓｅ ａｘｉａｌ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ：内付け化学的気相析出法）で得られる多孔質ガラス
体は、脱水・透明ガラス化し、線引工程を経て光ファイ
バとなる。
水素火炎と共に吹き出し、火炎中の加水分解により、タ
ーゲットにガラス微粒子を堆積させるＶＡＤ法（Ｖａｐ
ｏｒ−ｐｈａｓｅ ａｘｉａｌ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ：内付け化学的気相析出法）で得られる多孔質ガラス
体は、脱水・透明ガラス化し、線引工程を経て光ファイ
バとなる。
【０００３】ＶＡＤ法による多孔質ガラス体の堆積工程
は、室内空気の混入を避けるため、図２に示す装置を用
いて上蓋３より高純度不活性ガスを導入し、さらに上側
チャンバ６及び下側チャンバ７で覆うことにより室内空
気から遮断している。
は、室内空気の混入を避けるため、図２に示す装置を用
いて上蓋３より高純度不活性ガスを導入し、さらに上側
チャンバ６及び下側チャンバ７で覆うことにより室内空
気から遮断している。
【０００４】図２は従来の光ファイバ母材の製造方法を
適用した製造装置の断面図である。
適用した製造装置の断面図である。
【０００５】ここで、多孔質ガラス体１１は、回転機構
（図示せず）によりターゲット５をその中心軸の回りに
矢印Ａ方向に回転させながらターゲット５の下端にバー
ナ８の火炎を用いてガラス微粒子を堆積させ、堆積の状
況に応じて移動機構（図示せず）により上方（矢印Ｂ方
向）へ移動を行うことで製造される。
（図示せず）によりターゲット５をその中心軸の回りに
矢印Ａ方向に回転させながらターゲット５の下端にバー
ナ８の火炎を用いてガラス微粒子を堆積させ、堆積の状
況に応じて移動機構（図示せず）により上方（矢印Ｂ方
向）へ移動を行うことで製造される。
【０００６】多孔質ガラス体１１の製造の際、下側チャ
ンバ７の内圧を一定に保つため、内圧コントローラ１０
の開口面積を変えることにより対処している。よって、
室内空気の混入を避けるため、上蓋３の開口部面積を一
定とし、この開口部を通過する物はガラス棒把持部２の
みとなる。
ンバ７の内圧を一定に保つため、内圧コントローラ１０
の開口面積を変えることにより対処している。よって、
室内空気の混入を避けるため、上蓋３の開口部面積を一
定とし、この開口部を通過する物はガラス棒把持部２の
みとなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図２に
示した製造装置を用いた製造方法では、多孔質ガラス体
１１の長尺化を図る場合、上側チャンバ６及びガラス棒
把持部２の長尺化、装置本体のかさ上げが必要となる。
示した製造装置を用いた製造方法では、多孔質ガラス体
１１の長尺化を図る場合、上側チャンバ６及びガラス棒
把持部２の長尺化、装置本体のかさ上げが必要となる。
【０００８】上側チャンバ６の長尺化に伴い、ガラス棒
の取付けや光ファイバ母材の取り外しや清掃等の段取り
時間が増し、さらに下側チャンバ７上へ積み上げるた
め、不安定状態となり、地震等が発生した場合、倒壊す
るおそれがある。
の取付けや光ファイバ母材の取り外しや清掃等の段取り
時間が増し、さらに下側チャンバ７上へ積み上げるた
め、不安定状態となり、地震等が発生した場合、倒壊す
るおそれがある。
【０００９】また、ガラス棒把持部２の長尺化に伴い、
ガラス棒把持部２、ガラス棒４及びターゲット５のトー
タル長が増し、ガラス微粒子の堆積部にブレが生じ、光
ファイバの特性に悪影響を及ぼす。さらに装置本体のか
さ上げを行うと、建物の制約を受けるという問題があっ
た。
ガラス棒把持部２、ガラス棒４及びターゲット５のトー
タル長が増し、ガラス微粒子の堆積部にブレが生じ、光
ファイバの特性に悪影響を及ぼす。さらに装置本体のか
さ上げを行うと、建物の制約を受けるという問題があっ
た。
【００１０】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、段取り時間が短く、安定した特性が得られ、しかも
装置のかさ上げの不要な光ファイバ母材の製造方法を提
供することにある。
し、段取り時間が短く、安定した特性が得られ、しかも
装置のかさ上げの不要な光ファイバ母材の製造方法を提
供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の光ファイバ母材の製造方法は、チャンバ内で
ガラス棒が鉛直になるようにガラス棒の上端部をガラス
棒把持部で把持し、ガラス棒をその中心軸の回りに回転
させると共に上方に移動させながら、バーナでガラス棒
の外周にガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス体を形
成する光ファイバ母材の製造方法において、多孔質ガラ
ス体がチャンバ外へ出る上蓋開口部の上記多孔質ガラス
体の外周面と上蓋開口部との間のギャップの大きさを調
整すると共にチャンバの排気系統への外気導入量を調整
するものである。
に本発明の光ファイバ母材の製造方法は、チャンバ内で
ガラス棒が鉛直になるようにガラス棒の上端部をガラス
棒把持部で把持し、ガラス棒をその中心軸の回りに回転
させると共に上方に移動させながら、バーナでガラス棒
の外周にガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス体を形
成する光ファイバ母材の製造方法において、多孔質ガラ
ス体がチャンバ外へ出る上蓋開口部の上記多孔質ガラス
体の外周面と上蓋開口部との間のギャップの大きさを調
整すると共にチャンバの排気系統への外気導入量を調整
するものである。
【００１２】上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の
製造方法は、虹採絞りによりチャンバの上蓋開口部の開
口径を調整するのが好ましい。
製造方法は、虹採絞りによりチャンバの上蓋開口部の開
口径を調整するのが好ましい。
【００１３】上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の
製造方法は、虹採絞りに塩化ビニルからなる虹採絞りを
用いるのが好ましい。
製造方法は、虹採絞りに塩化ビニルからなる虹採絞りを
用いるのが好ましい。
【００１４】上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の
製造方法は、チャンバに設けられたセンサと多孔質ガラ
ス体との間の距離を測定し、得られたデータに基づいて
多孔質ガラス体がチャンバから出る上蓋開口部の開口径
を決定するのが好ましい。
製造方法は、チャンバに設けられたセンサと多孔質ガラ
ス体との間の距離を測定し、得られたデータに基づいて
多孔質ガラス体がチャンバから出る上蓋開口部の開口径
を決定するのが好ましい。
【００１５】上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の
製造方法は、センサへ高純度不活性ガスを吹き付けて覆
うことによりＨＣｌ系ガス及びＳｉＯ2 を含んだガスが
センサへ到達することが無いようにするのが好ましい。
製造方法は、センサへ高純度不活性ガスを吹き付けて覆
うことによりＨＣｌ系ガス及びＳｉＯ2 を含んだガスが
センサへ到達することが無いようにするのが好ましい。
【００１６】上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の
製造方法は、チャンバに塩化ビニルからなるチャンバを
用いるのが好ましい。
製造方法は、チャンバに塩化ビニルからなるチャンバを
用いるのが好ましい。
【００１７】上記構成に加え本発明の光ファイバ母材の
製造方法は、高純度不活性ガスの量を毎分約６００リッ
ターとし、チャンバの高さを約６６０ｍｍとするのが好
ましい。
製造方法は、高純度不活性ガスの量を毎分約６００リッ
ターとし、チャンバの高さを約６６０ｍｍとするのが好
ましい。
【００１８】本発明によれば、ガラス把持部を上方に移
動させる際に上蓋開口部の多孔質ガラス体の外周面と上
蓋開口部との間のギャップを調整すると共にチャンバの
排気系統への外気導入量を調整することにより、チャン
バ内への室内空気の混入が防止され、チャンバが短くて
すむので装置のかさ上げが不要となり、ガラス棒のガラ
ス棒把持部への取付けや光ファイバ母材のガラス棒把持
部からの取り外しや清掃時間等が短縮される。
動させる際に上蓋開口部の多孔質ガラス体の外周面と上
蓋開口部との間のギャップを調整すると共にチャンバの
排気系統への外気導入量を調整することにより、チャン
バ内への室内空気の混入が防止され、チャンバが短くて
すむので装置のかさ上げが不要となり、ガラス棒のガラ
ス棒把持部への取付けや光ファイバ母材のガラス棒把持
部からの取り外しや清掃時間等が短縮される。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００２０】図１は本発明の光ファイバ母材の製造方法
を適用した製造装置の一実施の形態を示す断面図であ
る。
を適用した製造装置の一実施の形態を示す断面図であ
る。
【００２１】側面にバーナ８が設けられ略漏斗状に形成
された下側チャンバ７の上側に、略円筒状に形成された
上側チャンバ６が連結されている（但し、図では下側チ
ャンバ７の下側は省略されているが下端は閉じられてお
り、後述するターゲット５が降下した時にその下端が接
触しない程度の長さを有している）。上側チャンバ６と
下側チャンバ７との連結部付近には余分なガスや熱を排
気するための排気管９が取付けられている。排気管９に
は両チャンバ６、７内の圧力を制御するための内圧コン
トローラ１０が取付けられている。上側チャンバ６の上
側にはシール上蓋１２が取付けられており、シール上蓋
１２の上側には虹採絞り１４が取付けられている。虹採
絞り１４は例えばモータで開閉できるように構成されて
おり、その最大口径は後述する多孔質ガラス体１１が通
過できる大きさになるように設定されている。シール上
蓋１２の側壁の内側には多孔質ガラス体１１の外径を測
定するための反射式レーザセンサ１３が取付けられてい
る。反射式レーザセンサ１３の近傍には、高純度不活性
ガスを反射式レーザセンサ１３に吹き付けて覆うための
不活性ガス導入口が設けられている。この高純度不活性
ガスは排気管９により排気される。虹採絞り１４の上方
には、上端がスクロールチャック１に取付けられたガラ
ス棒把持部２が配置され、ガラス棒把持部２の下端には
ガラス棒４が鉛直に取付けられている。ガラス棒４の下
端には多孔質ガラス体１１が形成されるターゲット５が
鉛直に取付けられている。ガラス棒４及びターゲット５
は虹採絞り１４を貫通して上側チャンバ６内に鉛直に挿
入されている。図はガラス棒４に多孔質ガラス体１１が
形成された状態を示している。
された下側チャンバ７の上側に、略円筒状に形成された
上側チャンバ６が連結されている（但し、図では下側チ
ャンバ７の下側は省略されているが下端は閉じられてお
り、後述するターゲット５が降下した時にその下端が接
触しない程度の長さを有している）。上側チャンバ６と
下側チャンバ７との連結部付近には余分なガスや熱を排
気するための排気管９が取付けられている。排気管９に
は両チャンバ６、７内の圧力を制御するための内圧コン
トローラ１０が取付けられている。上側チャンバ６の上
側にはシール上蓋１２が取付けられており、シール上蓋
１２の上側には虹採絞り１４が取付けられている。虹採
絞り１４は例えばモータで開閉できるように構成されて
おり、その最大口径は後述する多孔質ガラス体１１が通
過できる大きさになるように設定されている。シール上
蓋１２の側壁の内側には多孔質ガラス体１１の外径を測
定するための反射式レーザセンサ１３が取付けられてい
る。反射式レーザセンサ１３の近傍には、高純度不活性
ガスを反射式レーザセンサ１３に吹き付けて覆うための
不活性ガス導入口が設けられている。この高純度不活性
ガスは排気管９により排気される。虹採絞り１４の上方
には、上端がスクロールチャック１に取付けられたガラ
ス棒把持部２が配置され、ガラス棒把持部２の下端には
ガラス棒４が鉛直に取付けられている。ガラス棒４の下
端には多孔質ガラス体１１が形成されるターゲット５が
鉛直に取付けられている。ガラス棒４及びターゲット５
は虹採絞り１４を貫通して上側チャンバ６内に鉛直に挿
入されている。図はガラス棒４に多孔質ガラス体１１が
形成された状態を示している。
【００２２】次に本製造装置による光ファイバ母材の製
造方法について述べる。
造方法について述べる。
【００２３】まず虹採絞り１４を異径部が通過する際の
動作について説明する。
動作について説明する。
【００２４】装置稼働開始位置と、シール上蓋１２の位
置とを常に一致させるため、ガラス棒把持部２とガラス
棒４との接続部段差位置は毎回同じであるため、移動量
計測用カウンタ値にて虹採絞り１４の開口径変更位置を
決定する（反射式レーザセンサ１３による多孔質ガラス
体１１の外径読取り開始位置は、ガラス微粒子堆積部上
端とし、カウンタ位置で決定してもよい）。反射式レー
ザセンサ１３による測定データは、多孔質ガラス体１１
までの距離を算出するのに用いられ、多孔質ガラス体１
１の外径に換算される。この測定データは、シーケンサ
内部で保持され、反射式レーザセンサ１３の位置と、虹
採絞り１４の位置との間の距離分だけ遅延して出力され
る。シール上蓋１２及び虹採絞り１４の羽根の材質は塩
化ビニルのため、腐食性ガスに強く安価である。
置とを常に一致させるため、ガラス棒把持部２とガラス
棒４との接続部段差位置は毎回同じであるため、移動量
計測用カウンタ値にて虹採絞り１４の開口径変更位置を
決定する（反射式レーザセンサ１３による多孔質ガラス
体１１の外径読取り開始位置は、ガラス微粒子堆積部上
端とし、カウンタ位置で決定してもよい）。反射式レー
ザセンサ１３による測定データは、多孔質ガラス体１１
までの距離を算出するのに用いられ、多孔質ガラス体１
１の外径に換算される。この測定データは、シーケンサ
内部で保持され、反射式レーザセンサ１３の位置と、虹
採絞り１４の位置との間の距離分だけ遅延して出力され
る。シール上蓋１２及び虹採絞り１４の羽根の材質は塩
化ビニルのため、腐食性ガスに強く安価である。
【００２５】シール上蓋１２の冷却及び排ガスの室内流
出を防止するため、高純度不活性ガスを毎分約６００リ
ッター導入する。この条件下で、上側チャンバ６の長さ
は下側チャンバ７内のバーナ８の火炎に影響を及ぼさな
い最小の長さ６６０ｍｍとする。
出を防止するため、高純度不活性ガスを毎分約６００リ
ッター導入する。この条件下で、上側チャンバ６の長さ
は下側チャンバ７内のバーナ８の火炎に影響を及ぼさな
い最小の長さ６６０ｍｍとする。
【００２６】次に光ファイバ母材の製造方法について述
べる。
べる。
【００２７】ガラス棒４の上端部をガラス棒把持部２に
接続し、このガラス棒把持部２を回転（矢印Ｃ方向）さ
せると共に、上方に移動（矢印Ｄ方向）させながら、タ
ーゲット５の外周にガラス微粒子を堆積させて多孔質ガ
ラス体１１を形成する際に、上側チャンバ６を一段重ね
とし、光ファイバ母材の製造中に虹採絞り１４の通過物
に対応し、開口径を変化させながら、下側チャンバ７内
の反応を良好な状態に保つ。
接続し、このガラス棒把持部２を回転（矢印Ｃ方向）さ
せると共に、上方に移動（矢印Ｄ方向）させながら、タ
ーゲット５の外周にガラス微粒子を堆積させて多孔質ガ
ラス体１１を形成する際に、上側チャンバ６を一段重ね
とし、光ファイバ母材の製造中に虹採絞り１４の通過物
に対応し、開口径を変化させながら、下側チャンバ７内
の反応を良好な状態に保つ。
【００２８】虹採絞り１４のガラス棒把持部２及びガラ
ス棒４の通過位置と開口径とは、カウンタ値にて出力位
置を決定し、多孔質ガラス体１１は外径読取り位置及び
外径吐き出し位置までの遅延距離をカウンタ値にて決定
する。その際、外径データはシーケンサ内部で保持され
る。下側チャンバ７内はシール上蓋１２の冷却及び排ガ
スの逆流を防止するための高純度不活性ガスの導入と排
気の状態とにより、内圧コントローラ１０の開度調整に
て一定の内圧を確保する。多孔質ガラス体１１の外径
は、反射式レーザセンサ１３の測定距離から換算され
る。換算式は数１式で与えられる。
ス棒４の通過位置と開口径とは、カウンタ値にて出力位
置を決定し、多孔質ガラス体１１は外径読取り位置及び
外径吐き出し位置までの遅延距離をカウンタ値にて決定
する。その際、外径データはシーケンサ内部で保持され
る。下側チャンバ７内はシール上蓋１２の冷却及び排ガ
スの逆流を防止するための高純度不活性ガスの導入と排
気の状態とにより、内圧コントローラ１０の開度調整に
て一定の内圧を確保する。多孔質ガラス体１１の外径
は、反射式レーザセンサ１３の測定距離から換算され
る。換算式は数１式で与えられる。
【００２９】
【数１】Ａ＝（Ｂ−Ｃ）×２ 但し、Ａは換算した多孔質ガラス体の外径、Ｂは反射式
レーザセンサからシール上蓋中心軸までの距離（事前に
測定した値）、Ｃは反射式レーザセンサから多孔質ガラ
ス体までの実測距離である。
レーザセンサからシール上蓋中心軸までの距離（事前に
測定した値）、Ｃは反射式レーザセンサから多孔質ガラ
ス体までの実測距離である。
【００３０】虹採絞り１４の開口径は、モータ駆動によ
り変化され、図にはないエンコーダで把握される。
り変化され、図にはないエンコーダで把握される。
【００３１】完成した多孔質ガラス体の外径変動（バー
ナ火炎の振れ）が最も安定し、かつ、虹採絞りの部品の
変形点以下の温度に保つことが可能な条件にて上側チャ
ンバの長さを短く、かつ、高純度不活性ガス導入量を最
小に抑えるための最適な条件は、上側チャンバ長さが約
６６０ｍｍであり、高純度不活性ガス導入量が毎分約６
００リッターである。
ナ火炎の振れ）が最も安定し、かつ、虹採絞りの部品の
変形点以下の温度に保つことが可能な条件にて上側チャ
ンバの長さを短く、かつ、高純度不活性ガス導入量を最
小に抑えるための最適な条件は、上側チャンバ長さが約
６６０ｍｍであり、高純度不活性ガス導入量が毎分約６
００リッターである。
【００３２】以上において、従来は上側チャンバが二段
積みであったのが、一段積みとなり、部品点数が減り、
清掃を含む段取り時間の短縮を図ることができる。ま
た、上側チャンバ最高位置が低くなり、安全面で有利と
なる。さらにガラス棒把持部の長さが短くなるため、製
造中のガラス微粒子堆積部のブレが小さくなり、特性の
安定した光ファイバ母材が得られる。
積みであったのが、一段積みとなり、部品点数が減り、
清掃を含む段取り時間の短縮を図ることができる。ま
た、上側チャンバ最高位置が低くなり、安全面で有利と
なる。さらにガラス棒把持部の長さが短くなるため、製
造中のガラス微粒子堆積部のブレが小さくなり、特性の
安定した光ファイバ母材が得られる。
【００３３】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３４】段取り時間が短く、安定した特性が得ら
れ、しかも装置のかさ上げの不要な光ファイバ母材の製
造方法の提供を実現することができる。
れ、しかも装置のかさ上げの不要な光ファイバ母材の製
造方法の提供を実現することができる。
【図１】本発明の光ファイバ母材の製造方法を適用した
製造装置の一実施の形態を示す断面図である。
製造装置の一実施の形態を示す断面図である。
【図２】従来の光ファイバ母材の製造方法を適用した製
造装置の断面図である。
造装置の断面図である。
２ ガラス棒把持部 ４ ガラス棒 ５ ターゲット ６ 上側チャンバ ７ 下側チャンバ ８ バーナ １１ 多孔質ガラス体 １３ 反射式レーザセンサ １４ 虹採絞り
フロントページの続き (72)発明者 得田 力 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社日高工場内 (72)発明者 廣瀬 哲也 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社日高工場内 Ｆターム(参考） 4G021 EA03 EB21 EB26
Claims (7)
- 【請求項１】 チャンバ内でガラス棒が鉛直になるよう
にガラス棒の上端部をガラス棒把持部で把持し、上記ガ
ラス棒をその中心軸の回りに回転させると共に上方に移
動させながら、バーナで上記ガラス棒の外周にガラス微
粒子を堆積させて多孔質ガラス体を形成する光ファイバ
母材の製造方法において、上記多孔質ガラス体が上記チ
ャンバ外へ出る上蓋開口部の上記多孔質ガラス体の外周
面と上記上蓋開口部との間のギャップの大きさを調整す
ると共に上記チャンバの排気系統への外気導入量を調整
することを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項２】 虹採絞りにより上記上蓋開口部の開口径
を調整する請求項１に記載の光ファイバ母材の製造方
法。 - 【請求項３】 上記虹採絞りに塩化ビニルからなる虹採
絞りを用いた請求項２に記載の光ファイバ母材の製造方
法。 - 【請求項４】 上記チャンバに設けられたセンサと上記
多孔質ガラス体との間の距離を測定し、得られたデータ
に基づいて上記多孔質ガラス体が上記チャンバから出る
上蓋開口部の開口径を決定する請求項３に記載の光ファ
イバ母材の製造方法。 - 【請求項５】 上記センサへ高純度不活性ガスを吹き付
けて覆うことによりＨＣｌ系ガス及びＳｉＯ2 を含んだ
ガスが上記センサへ到達することが無いようにする請求
項４に記載の光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項６】 上記チャンバに塩化ビニルからなるチャ
ンバを用いた請求項１から５のいずれかに記載の光ファ
イバ母材の製造方法。 - 【請求項７】 上記高純度不活性ガスの量を毎分約６０
０リッターとし、チャンバの高さを約６６０ｍｍとする
請求項１から６のいずれかに記載の光ファイバ母材の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10259937A JP2000086270A (ja) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10259937A JP2000086270A (ja) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000086270A true JP2000086270A (ja) | 2000-03-28 |
Family
ID=17341006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10259937A Pending JP2000086270A (ja) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000086270A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3153478A1 (en) * | 2015-10-05 | 2017-04-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Apparatus for producing porous glass preform |
-
1998
- 1998-09-14 JP JP10259937A patent/JP2000086270A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3153478A1 (en) * | 2015-10-05 | 2017-04-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Apparatus for producing porous glass preform |
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