JP2000081138A - メタル中空リング - Google Patents
メタル中空リングInfo
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- JP2000081138A JP2000081138A JP10252422A JP25242298A JP2000081138A JP 2000081138 A JP2000081138 A JP 2000081138A JP 10252422 A JP10252422 A JP 10252422A JP 25242298 A JP25242298 A JP 25242298A JP 2000081138 A JP2000081138 A JP 2000081138A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】シール面を構成するフランジ部等に、溝高さｔ
に対して溝幅ｗが狭い装着溝が形成された場合において
も、断面Ｃ状または断面Ｏ状のメタル中空リングが流体
流路にはみ出したりせず、また所定の締代を確保するこ
とができるとともに、シールに必要な反発力を有し、こ
れにより所定のシール性能を発揮することのできるメタ
ル中空リングを提供すること。 【解決手段】断面略ＯまたはＣ字状をなす金属製外被に
おける締付方向の厚さａを、径方向の幅ｂに対して大き
くし、その断面形状を締付方向に長い長円形に形成した
ことを特徴としている。
に対して溝幅ｗが狭い装着溝が形成された場合において
も、断面Ｃ状または断面Ｏ状のメタル中空リングが流体
流路にはみ出したりせず、また所定の締代を確保するこ
とができるとともに、シールに必要な反発力を有し、こ
れにより所定のシール性能を発揮することのできるメタ
ル中空リングを提供すること。 【解決手段】断面略ＯまたはＣ字状をなす金属製外被に
おける締付方向の厚さａを、径方向の幅ｂに対して大き
くし、その断面形状を締付方向に長い長円形に形成した
ことを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば超高真空機器、
半導体製造装置の管継手部などで使用されるメタル中空
リングに関する。
半導体製造装置の管継手部などで使用されるメタル中空
リングに関する。
【０００２】
【従来の技術】超高真空や毒性ガスを取り扱う装置ある
いは半導体製造装置などの配管では、高い気密性が要求
されている。しかも、ガスを取り扱う場合は腐食性ガス
であることが多いことから、ガス透過性があったり耐蝕
性の低いゴムや樹脂などを用いることができず、金属ガ
スケットが用いられている。なかでも、反発力に富み、
低い締付力で高い気密性能を有するバネ入りのメタル中
空Ｃリングや、メタル中空Ｏリングなどのメタル中空リ
ングが有効である。
いは半導体製造装置などの配管では、高い気密性が要求
されている。しかも、ガスを取り扱う場合は腐食性ガス
であることが多いことから、ガス透過性があったり耐蝕
性の低いゴムや樹脂などを用いることができず、金属ガ
スケットが用いられている。なかでも、反発力に富み、
低い締付力で高い気密性能を有するバネ入りのメタル中
空Ｃリングや、メタル中空Ｏリングなどのメタル中空リ
ングが有効である。
【０００３】このようなメタル中空リングは、断面が略
真円状または真円を一部切り欠いたＣ字形状であり、締
代を０．３〜１．２ｍｍ程度とするのが一般的である。
図６はメタル中空Ｏリングの使用状態を例示したもので
ある。ここで、フランジ１に形成された装着溝２内に
は、メタル中空Ｏリング３が装着され、一方のフランジ
１と他方のフランジ４との間のシール面が、所定の圧力
で締めつけられることにより、フランジ１、４間が緊密
にシールされる。
真円状または真円を一部切り欠いたＣ字形状であり、締
代を０．３〜１．２ｍｍ程度とするのが一般的である。
図６はメタル中空Ｏリングの使用状態を例示したもので
ある。ここで、フランジ１に形成された装着溝２内に
は、メタル中空Ｏリング３が装着され、一方のフランジ
１と他方のフランジ４との間のシール面が、所定の圧力
で締めつけられることにより、フランジ１、４間が緊密
にシールされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の装着溝２の幅ｗは、溝高さｔに対して長く形成さ
れているのが一般的である。
従来の装着溝２の幅ｗは、溝高さｔに対して長く形成さ
れているのが一般的である。
【０００５】しかしながら、半導体製造装置のガス集積
装置では、装置のコンパクト化等を目的として、図７に
示したように、溝高さｔに対し、溝幅ｗを狭くした装着
溝２’が形成される場合がある。
装置では、装置のコンパクト化等を目的として、図７に
示したように、溝高さｔに対し、溝幅ｗを狭くした装着
溝２’が形成される場合がある。
【０００６】このように溝幅ｗを狭くしたフランジ１の
装着溝２’内に、断面Ｏ字状のメタル中空Ｏリング３を
使用した場合、メタル中空Ｏリング３を装着溝２’内に
装着することができなかったり、所定の締代を確保しよ
うとした場合に、図８に示したように、メタル中空Ｏリ
ング３の一部が流路５に突出してしまうことがある。こ
のようにメタル中空Ｏリング３の一部が流路５内にはみ
出してしまうと、流体の流れが不整になったり、流路５
内にガス溜などが形成されてしまうという、不具合が生
じる。また、図９に示したように、溝幅ｗに対し、メタ
ル中空Ｏリング３の断面径ｄを同じ寸法にした場合は、
装着溝２’における溝高さｔに対してメタル中空Ｏリン
グ３の高さ（断面径ｄ）が不足し、所定の締代が確保で
きなくなり、その結果、シール不良を生じてしまうこと
があった。
装着溝２’内に、断面Ｏ字状のメタル中空Ｏリング３を
使用した場合、メタル中空Ｏリング３を装着溝２’内に
装着することができなかったり、所定の締代を確保しよ
うとした場合に、図８に示したように、メタル中空Ｏリ
ング３の一部が流路５に突出してしまうことがある。こ
のようにメタル中空Ｏリング３の一部が流路５内にはみ
出してしまうと、流体の流れが不整になったり、流路５
内にガス溜などが形成されてしまうという、不具合が生
じる。また、図９に示したように、溝幅ｗに対し、メタ
ル中空Ｏリング３の断面径ｄを同じ寸法にした場合は、
装着溝２’における溝高さｔに対してメタル中空Ｏリン
グ３の高さ（断面径ｄ）が不足し、所定の締代が確保で
きなくなり、その結果、シール不良を生じてしまうこと
があった。
【０００７】一方、溝幅ｗの狭い装着溝２’に対して
は、図１０に示したように、メタル中空Ｏリング３の高
さ方向の断面径ｄを大きくした断面長円形（トラック
状）のメタル中空Ｃリングが考えられるが、この場合、
圧縮方向が長径方向となるため、単に圧縮方向に長くし
たものでは、座屈を起こし易く、シールに必要な反発力
が得られないといったことが考えられる。また、コイル
スプリング６を内蔵したバネ入りのメタル中空Ｃリング
については、断面トラック形状のバネ製作が困難であ
る。
は、図１０に示したように、メタル中空Ｏリング３の高
さ方向の断面径ｄを大きくした断面長円形（トラック
状）のメタル中空Ｃリングが考えられるが、この場合、
圧縮方向が長径方向となるため、単に圧縮方向に長くし
たものでは、座屈を起こし易く、シールに必要な反発力
が得られないといったことが考えられる。また、コイル
スプリング６を内蔵したバネ入りのメタル中空Ｃリング
については、断面トラック形状のバネ製作が困難であ
る。
【０００８】本発明は上記実情に鑑み、シール面を構成
するフランジ部等に、溝高さｔに対して溝幅ｗが狭い装
着溝が形成された場合においても、断面Ｃ状または断面
Ｏ状のメタル中空リングが流体流路にはみ出したりせ
ず、また所定の締代を確保することができるとともに、
シールに必要な反発力を有し、これにより所定のシール
性能を発揮することのできるメタル中空リングを提供す
ることを目的としている。
するフランジ部等に、溝高さｔに対して溝幅ｗが狭い装
着溝が形成された場合においても、断面Ｃ状または断面
Ｏ状のメタル中空リングが流体流路にはみ出したりせ
ず、また所定の締代を確保することができるとともに、
シールに必要な反発力を有し、これにより所定のシール
性能を発揮することのできるメタル中空リングを提供す
ることを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、断面略Ｏ字状をなす金属製外被における締
付方向の厚さａを、径方向の幅ｂに対して大きくし、そ
の断面形状を締付方向に長い長円形に形成したことを特
徴としている。
の本発明は、断面略Ｏ字状をなす金属製外被における締
付方向の厚さａを、径方向の幅ｂに対して大きくし、そ
の断面形状を締付方向に長い長円形に形成したことを特
徴としている。
【００１０】また、本発明は、断面略Ｃ字状をなす金属
製外被における締付方向の厚さａを、径方向の幅ｂに対
して大きくし、その断面形状を締付方向に長いＣ字状に
形成したことを特徴としている。
製外被における締付方向の厚さａを、径方向の幅ｂに対
して大きくし、その断面形状を締付方向に長いＣ字状に
形成したことを特徴としている。
【００１１】また、本発明は、断面略Ｃ字状をなす金属
製外被と、この金属製外被の内側に収容される真円状の
コイルスプリングと、このコイルスプリングと前記金属
製外被との間に分離して配置される分割体からなる金属
製内被とから構成されるメタル中空リングであって、前
記金属製外被の締付方向の厚さａを径方向の幅ｂに対し
て大きくし、これにより断面形状が締付方向に長いＣ字
状に形成された金属製外被と、前記コイルスプリングと
の間の間隙に、前記分割体からなる金属製内被が介装さ
れることを特徴としている。
製外被と、この金属製外被の内側に収容される真円状の
コイルスプリングと、このコイルスプリングと前記金属
製外被との間に分離して配置される分割体からなる金属
製内被とから構成されるメタル中空リングであって、前
記金属製外被の締付方向の厚さａを径方向の幅ｂに対し
て大きくし、これにより断面形状が締付方向に長いＣ字
状に形成された金属製外被と、前記コイルスプリングと
の間の間隙に、前記分割体からなる金属製内被が介装さ
れることを特徴としている。
【００１２】また、本発明は、断面略Ｃ字状をなす金属
製外被と、この金属製外被の内側に収容されるコイルス
プリングとから構成されるメタル中空リングであって、
前記金属製外被の形状が締付方向に長いＣ字状に形成さ
れているととともに、前記コイルスプリングの形状が締
付方向に長い長円形に形成されていることを特徴として
いる。
製外被と、この金属製外被の内側に収容されるコイルス
プリングとから構成されるメタル中空リングであって、
前記金属製外被の形状が締付方向に長いＣ字状に形成さ
れているととともに、前記コイルスプリングの形状が締
付方向に長い長円形に形成されていることを特徴として
いる。
【００１３】このような構成による本発明に係るメタル
中空リングによれば、溝が幅方向に狭く小型化された場
合であっても、所定のシール性能を発揮することができ
る。
中空リングによれば、溝が幅方向に狭く小型化された場
合であっても、所定のシール性能を発揮することができ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に、図面に示した実施例を参
照しながら本発明を説明する。図１は、第１の実施例を
示すもので、本実施例に係るメタル中空リング１０は、
メタル中空Ｃリングであり、リング状のコイルスプリン
グ１１と、コイルスプリング１１の外側に離間して配置
された金属製内被１３、１３と、さらに、これら金属製
内被１３、１３の外側に配置された金属製外被１２とか
ら構成されている。
照しながら本発明を説明する。図１は、第１の実施例を
示すもので、本実施例に係るメタル中空リング１０は、
メタル中空Ｃリングであり、リング状のコイルスプリン
グ１１と、コイルスプリング１１の外側に離間して配置
された金属製内被１３、１３と、さらに、これら金属製
内被１３、１３の外側に配置された金属製外被１２とか
ら構成されている。
【００１５】金属製外被１２は、横断面が略Ｃ字状に形
成されているが、締め付け前の自然状態において、締付
方向の厚さａは径方向の幅ｂに対して長く形成されてい
る。すなわち、全体が真円状に形成されてはおらず、略
長円形（トラック状）に形成されている。
成されているが、締め付け前の自然状態において、締付
方向の厚さａは径方向の幅ｂに対して長く形成されてい
る。すなわち、全体が真円状に形成されてはおらず、略
長円形（トラック状）に形成されている。
【００１６】また、締付前における金属製外被１２の締
付方向の厚さをａ、径方向の幅をｂとしたとき、ａとｂ
との割合は、１．１＜ａ／ｂ≦２．０であり、好ましく
は、１．２＜ａ／ｂ≦１．７であり、さらに好ましくは
１．３＜ａ／ｂ≦１．４である。
付方向の厚さをａ、径方向の幅をｂとしたとき、ａとｂ
との割合は、１．１＜ａ／ｂ≦２．０であり、好ましく
は、１．２＜ａ／ｂ≦１．７であり、さらに好ましくは
１．３＜ａ／ｂ≦１．４である。
【００１７】一方、内方のコイルスプリング１１は、ス
プリング部材の両端部を互いに連結することで形成され
ているが、全体が略真円状に形成されている。また、本
実施例では、金属製外皮１２とコイルスプリング１１と
の間に、金属製内被１３、１３が介在されている。この
金属製内被１３、１３の厚さを変えることで、ａをコン
トロールすることができる。また、この金属製内被１
３、１３は、コイルスプリング１１の外周面に当接する
ように、円弧状に形成されているが、断面が閉環状に形
成された金属部材の一部分を構成するものである。これ
ら分割体からなる金属製内被１３、１３をコイルスプリ
ング１１の外周側（図１における上下側）に互いに離間
させて配置することによって、この金属製内被１３、１
３は、金属製外被１２とコイルスプリング１１とにより
挟持されている。
プリング部材の両端部を互いに連結することで形成され
ているが、全体が略真円状に形成されている。また、本
実施例では、金属製外皮１２とコイルスプリング１１と
の間に、金属製内被１３、１３が介在されている。この
金属製内被１３、１３の厚さを変えることで、ａをコン
トロールすることができる。また、この金属製内被１
３、１３は、コイルスプリング１１の外周面に当接する
ように、円弧状に形成されているが、断面が閉環状に形
成された金属部材の一部分を構成するものである。これ
ら分割体からなる金属製内被１３、１３をコイルスプリ
ング１１の外周側（図１における上下側）に互いに離間
させて配置することによって、この金属製内被１３、１
３は、金属製外被１２とコイルスプリング１１とにより
挟持されている。
【００１８】このような金属製内被１３が設置されたも
のは、シール面間でコイルスプリング１１が復元すると
きに金属製内被１３、１３は、コイルスプリング１１に
追従して動き良好な復元力を保証できるとともに、この
メタル中空リング１０がシール面間で狭持された状態で
シール面間が横方向にずれたときであっても、両側の金
属製内被１３は分離されているから、金属製外皮１２の
移動方向に追随して金属製内被１３が動きシール性能を
保持することができる。
のは、シール面間でコイルスプリング１１が復元すると
きに金属製内被１３、１３は、コイルスプリング１１に
追従して動き良好な復元力を保証できるとともに、この
メタル中空リング１０がシール面間で狭持された状態で
シール面間が横方向にずれたときであっても、両側の金
属製内被１３は分離されているから、金属製外皮１２の
移動方向に追随して金属製内被１３が動きシール性能を
保持することができる。
【００１９】ここで、外側の金属製外皮１２の材料とし
ては、アルミニウム、銅、銀、ニッケル、ステンレス鋼
などの金属材が用いられている。また、内側の金属製内
被１３は、コイルスプリング１１が喰い込まないように
硬い材料、例えば、ステンレス鋼、インコネル材で構成
され、これら円弧長さは必要に応じて適宜設定すること
ができるが、この場合も図１と同様に、締付方向の両端
部外周側に介在されることにより、性能安定性をもたら
す。
ては、アルミニウム、銅、銀、ニッケル、ステンレス鋼
などの金属材が用いられている。また、内側の金属製内
被１３は、コイルスプリング１１が喰い込まないように
硬い材料、例えば、ステンレス鋼、インコネル材で構成
され、これら円弧長さは必要に応じて適宜設定すること
ができるが、この場合も図１と同様に、締付方向の両端
部外周側に介在されることにより、性能安定性をもたら
す。
【００２０】本実施例によるメタル中空Ｃリング１０
は、上述のように形成されているが、例えば原子力機器
の継手部や半導体製造装置の継手部などに好ましく用い
ることができる。
は、上述のように形成されているが、例えば原子力機器
の継手部や半導体製造装置の継手部などに好ましく用い
ることができる。
【００２１】図２は、メタル中空Ｃリング１０の使用状
態の一例を示したものである。この例では、一方のフラ
ンジ１５に装着溝１６が形成されているが、この装着溝
１６は、溝幅ｗが溝高さｔに対し小さく形成されてい
る。このように溝幅ｗを溝高さｔに対して小さくするこ
とにより、半導体製造装置のガス集積装置などにおいて
は、装置のコンパクト化が図られる。
態の一例を示したものである。この例では、一方のフラ
ンジ１５に装着溝１６が形成されているが、この装着溝
１６は、溝幅ｗが溝高さｔに対し小さく形成されてい
る。このように溝幅ｗを溝高さｔに対して小さくするこ
とにより、半導体製造装置のガス集積装置などにおいて
は、装置のコンパクト化が図られる。
【００２２】このような装着溝１６内にメタル中空Ｃリ
ング１０を装着し、一対のフランジ１５、１７間を所定
の圧力で締めつけることにより、メタル中空Ｃリング１
０は、適宜な反発力を有して変形し、シール効果を発揮
することができる。
ング１０を装着し、一対のフランジ１５、１７間を所定
の圧力で締めつけることにより、メタル中空Ｃリング１
０は、適宜な反発力を有して変形し、シール効果を発揮
することができる。
【００２３】表１は、本発明によるトラック状のメタル
中空Ｃリング１０と、従来品である断面円形状のメタル
中空Ｏリングとを用いた場合の実験結果を示したもので
ある。
中空Ｃリング１０と、従来品である断面円形状のメタル
中空Ｏリングとを用いた場合の実験結果を示したもので
ある。
【００２４】
【表１】
【００２５】なお、この実験では、本案品（Ａ）の金属
製外被１２はＳＵＳ３１６Ｌ，金属製内被１３はＳＵＳ
３０４、コイルスプリング１１はＳＵＳ３０４を採用し
た。寸法は、図１に示したように、内径Ｘ：４．７ｍ
ｍ、幅ｂ：１．２８ｍｍ、高さａ：１．７ｍｍである。
製外被１２はＳＵＳ３１６Ｌ，金属製内被１３はＳＵＳ
３０４、コイルスプリング１１はＳＵＳ３０４を採用し
た。寸法は、図１に示したように、内径Ｘ：４．７ｍ
ｍ、幅ｂ：１．２８ｍｍ、高さａ：１．７ｍｍである。
【００２６】また、従来品（Ｂ）の金属製外被としてＳ
ＵＳ３１６Ｌ、コイルスプリングとしてＳＵＳ３０４を
採用した。寸法は、内径４．７ｍｍ、断面径１．７ｍｍ
である。
ＵＳ３１６Ｌ、コイルスプリングとしてＳＵＳ３０４を
採用した。寸法は、内径４．７ｍｍ、断面径１．７ｍｍ
である。
【００２７】表１から明らかなように、同等の圧縮量を
与えたときの漏洩量は略同等であり、本発明のメタル中
空Ｃリングが断面円形状の一般的なメタル中空Ｃリング
と同等の性能を有していることが確認できた。
与えたときの漏洩量は略同等であり、本発明のメタル中
空Ｃリングが断面円形状の一般的なメタル中空Ｃリング
と同等の性能を有していることが確認できた。
【００２８】なお、この評価試験においては、外被に硬
度の高いＳＵＳ３１６Ｌを使用しており、１０-8Ｐａ・
ｍ3／ｓオーダーの漏洩が生じているが、断面円形状の
従来品ＡにおいてＡｌやＡｇなどの軟質金属を外被に用
いたものはヘリウムリークディテクター感度以下（１０
-11 Ｐａ・ｍ3／ｓ以下）のシール性能が得られてお
り、本案品Ａも同様であると考えられる。
度の高いＳＵＳ３１６Ｌを使用しており、１０-8Ｐａ・
ｍ3／ｓオーダーの漏洩が生じているが、断面円形状の
従来品ＡにおいてＡｌやＡｇなどの軟質金属を外被に用
いたものはヘリウムリークディテクター感度以下（１０
-11 Ｐａ・ｍ3／ｓ以下）のシール性能が得られてお
り、本案品Ａも同様であると考えられる。
【００２９】以上、本発明をメタル中空Ｃリングを例に
して説明したが、本発明は、内部のスプリングの有無に
よらず、単に金属製外被が締付方向に長い断面Ｃ字状の
メタル中空リングに適用できる。またメタル中空Ｃリン
グに限定されず、図３に示したように、メタル中空Ｏリ
ング２０にも適用可能である。
して説明したが、本発明は、内部のスプリングの有無に
よらず、単に金属製外被が締付方向に長い断面Ｃ字状の
メタル中空リングに適用できる。またメタル中空Ｃリン
グに限定されず、図３に示したように、メタル中空Ｏリ
ング２０にも適用可能である。
【００３０】その場合、金属製外被２１が以下の割合で
締付方向に長い長円形に形成される。すなわち、基本形
状がメタル中空Ｏリングである場合、金属製外被２１に
おける締付方向の厚さをａ、径方向の幅をｂとしたと
き、ａとｂの割合は、１．１＜ａ／ｂ≦２．０、好まし
くは１．３＜ａ／ｂ≦１．７であることが望ましい。こ
のような範囲であれば、座屈を起こさずに、良好なシー
ル性能を得ることができる。
締付方向に長い長円形に形成される。すなわち、基本形
状がメタル中空Ｏリングである場合、金属製外被２１に
おける締付方向の厚さをａ、径方向の幅をｂとしたと
き、ａとｂの割合は、１．１＜ａ／ｂ≦２．０、好まし
くは１．３＜ａ／ｂ≦１．７であることが望ましい。こ
のような範囲であれば、座屈を起こさずに、良好なシー
ル性能を得ることができる。
【００３１】また、図４に示したメタル中空Ｃリング３
０のように、長円形のコイルスプリング２２を内蔵した
ものであって、このコイルスプリング２２と金属製外被
２３とを、締付方向に長い長円形に形成することもでき
る。
０のように、長円形のコイルスプリング２２を内蔵した
ものであって、このコイルスプリング２２と金属製外被
２３とを、締付方向に長い長円形に形成することもでき
る。
【００３２】このような場合には、締付方向の厚さを
ａ、径方向の幅をｂとしたとき、ａとｂの割合は、２．
１＜ａ／ｂ≦２．０であることが好ましい。このような
範囲であれば、座屈を起こさずに、良好なシール性能を
得ることができる。
ａ、径方向の幅をｂとしたとき、ａとｂの割合は、２．
１＜ａ／ｂ≦２．０であることが好ましい。このような
範囲であれば、座屈を起こさずに、良好なシール性能を
得ることができる。
【００３３】図５は、フランジ１５とフランジ１７との
間に、リテーナ２０を介装した場合にも適用可能であ
る。リテーナ２０を介装した場合の締代は、０．３〜
１．２ｍｍ程度とするのが一般的である。
間に、リテーナ２０を介装した場合にも適用可能であ
る。リテーナ２０を介装した場合の締代は、０．３〜
１．２ｍｍ程度とするのが一般的である。
【００３４】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係るメ
タル中空リングによれば、幅が狭い装着溝内にメタル中
空リングを装着する場合であっても、適宜な締付力と適
宜な反発力を得ることができるとともに、座屈を起こし
て流体流路にはみ出してしまうこともない。したがっ
て、幅の狭い装着溝内に装着される場合であっても、所
定のシール性能を発揮することができ、半導体製造装置
のガス集積装置などに効果的に用いることができる。
タル中空リングによれば、幅が狭い装着溝内にメタル中
空リングを装着する場合であっても、適宜な締付力と適
宜な反発力を得ることができるとともに、座屈を起こし
て流体流路にはみ出してしまうこともない。したがっ
て、幅の狭い装着溝内に装着される場合であっても、所
定のシール性能を発揮することができ、半導体製造装置
のガス集積装置などに効果的に用いることができる。
【図１】図１は本発明の第１の実施例に係るメタル中空
リングを示す断面図である。
リングを示す断面図である。
【図２】図２は同実施例によるメタル中空リングをシー
ル部に装着した姿勢を示す半断面図である。
ル部に装着した姿勢を示す半断面図である。
【図３】図３は本発明の第２の実施例を示す半断面図で
ある。
ある。
【図４】図４は本発明の第３の実施例を示す半断面図で
ある。
ある。
【図５】図５は第１の実施例によるメタル中空リングを
リテーナを介して装着した例を示す半断面図である。
リテーナを介して装着した例を示す半断面図である。
【図６】図６従来のメタル中空リングを装着した姿勢を
示す半断面図である。
示す半断面図である。
【図７】図７は従来のメタル中空リングを装着した他の
姿勢を示す半断面図である。
姿勢を示す半断面図である。
【図８】図８は従来のメタル中空リングを装着したさら
に他の姿勢を示す半断面図である。
に他の姿勢を示す半断面図である。
【図９】図９は従来のメタル中空リングを装着したさら
に他の姿勢を示す半断面図である。
に他の姿勢を示す半断面図である。
【図１０】図１０は従来の他のメタル中空リングを示す
半断面図である。
半断面図である。
１０、２０、３０ メタル中空リ
ング １１、２２ コイルスプリ
ング １２、２１、２３ 金属製外皮 １３ 金属製内被
ング １１、２２ コイルスプリ
ング １２、２１、２３ 金属製外皮 １３ 金属製内被
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Claims (7)
- 【請求項１】 断面略Ｏ字状をなす金属製外被における
締付方向の厚さａを、径方向の幅ｂに対して大きくし、
その断面形状を締付方向に長い長円形に形成したことを
特徴とするメタル中空リング。 - 【請求項２】 前記ａとｂとの割合は、 １．１＜ａ／ｂ≦２．０の範囲であることを特徴とする
請求項１に記載のメタル中空リング。 - 【請求項３】 断面略Ｃ字状をなす金属製外被における
締付方向の厚さａを、径方向の幅ｂに対して大きくし、
その断面形状を締付方向に長いＣ字状に形成したことを
特徴とするメタル中空リング。 - 【請求項４】 前記ａとｂとの割合は、 １．１＜ａ／ｂ≦２．０の範囲であることを特徴とする
請求項３に記載のメタル中空リング。 - 【請求項５】 断面略Ｃ字状をなす金属製外被と、この
金属製外被の内側に収容される真円状のコイルスプリン
グと、このコイルスプリングと前記金属製外被との間に
分離して配置される分割体からなる金属製内被とから構
成されるメタル中空リングであって、 前記金属製外被の締付方向の厚さａを径方向の幅ｂに対
して大きくし、これにより断面形状が締付方向に長いＣ
字状に形成された金属製外被と、前記コイルスプリング
との間の間隙に、前記分割体からなる金属製内被が介装
されることを特徴とするメタル中空リング。 - 【請求項６】 前記ａとｂとの割合は、 １．１＜ａ／ｂ≦２．０の範囲であることを特徴とする
請求項５に記載のメタル中空リング。 - 【請求項７】 断面略Ｃ字状をなす金属製外被と、この
金属製外被の内側に収容されるコイルスプリングとから
構成されるメタル中空リングであって、 前記金属製外被の形状が締付方向に長いＣ字状に形成さ
れているととともに、前記コイルスプリングの形状が締
付方向に長い長円形に形成されており、 前記金属製外被の締付方向の厚さをａ、径方向の幅をｂ
としたとき、 前記ａとｂとの割合は、１．１＜ａ／ｂ≦１．５の範囲
であることを特徴とするメタル中空リング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10252422A JP2000081138A (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | メタル中空リング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10252422A JP2000081138A (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | メタル中空リング |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000081138A true JP2000081138A (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=17237149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10252422A Pending JP2000081138A (ja) | 1998-09-07 | 1998-09-07 | メタル中空リング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000081138A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102606823A (zh) * | 2012-03-16 | 2012-07-25 | 苏州宝骅机械技术有限公司 | 恒应力恒位移线密封组件 |
| CN103174836A (zh) * | 2013-03-14 | 2013-06-26 | 自贡鑫剑密封科技有限公司 | 一种石墨填料圈及其密封组件 |
| CN113847491A (zh) * | 2021-09-29 | 2021-12-28 | 常州三众弹性技术有限公司 | 一种法兰密封结构及其用途、及密封性能检测方法 |
-
1998
- 1998-09-07 JP JP10252422A patent/JP2000081138A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102606823A (zh) * | 2012-03-16 | 2012-07-25 | 苏州宝骅机械技术有限公司 | 恒应力恒位移线密封组件 |
| CN103174836A (zh) * | 2013-03-14 | 2013-06-26 | 自贡鑫剑密封科技有限公司 | 一种石墨填料圈及其密封组件 |
| CN113847491A (zh) * | 2021-09-29 | 2021-12-28 | 常州三众弹性技术有限公司 | 一种法兰密封结构及其用途、及密封性能检测方法 |
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