JP2000074536A

JP2000074536A - 沸騰冷却装置

Info

Publication number: JP2000074536A
Application number: JP10245483A
Authority: JP
Inventors: Koji Tanaka; 公司田中; Kazuo Kobayashi; 和雄小林; Masayoshi Terao; 公良寺尾; Tatsuto Matsumoto; 達人松本; Seiji Kawaguchi; 清司川口
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1998-08-31
Filing date: 1998-08-31
Publication date: 2000-03-14
Anticipated expiration: 2018-08-31
Also published as: JP3900702B2

Abstract

(57)【要約】【課題】沸騰冷却装置の冷却能力を向上させる目的で
放熱壁８に凝縮フィン８ａを多数設けることが一般に行
われるが、多数設けられたフィン間に液冷媒がブリッジ
し、熱抵抗が増大して冷却能力が向上しない。【解決手段】凝縮フィン８ａの間隔がラプラス長さ以
上に設けられることにより、作動温度域においてフィン
間に液冷媒がブリッジする不具合が生じない。これによ
り、凝縮フィン８ａの熱抵抗が低く抑えられ、凝縮フィ
ン８ａで効率的に放熱でき、結果的に沸騰冷却装置の冷
却能力を高めることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、容器内において冷
媒の蒸発と凝縮の循環ループを形成して発熱体を冷却す
る沸騰冷却装置に関するもので、ＣＰＵなどの半導体集
積回路の冷却に用いて好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】本出願人は、ＣＰＵの冷却装置として好
適な小型の沸騰冷却装置を出願した（特願平９−９９５
０号、特願平９−２９９８７号および特願平９−２４６
２９７号）。この沸騰冷却装置は、偏平な箱型を成す密
閉容器の対向する一方の壁面（受熱壁）に発熱体（ＣＰ
Ｕ）が固定され、他方の壁面（放熱壁）に放熱フィンが
取り付けられ、容器の内部に所定量の冷媒が封入される
ものである。ＣＰＵの熱は受熱壁を介して内部の冷媒に
伝達されて冷媒を沸騰させ、沸騰した蒸気冷媒が放熱面
に凝縮する際に凝縮潜熱として放出され、その凝縮潜熱
が放熱壁より放熱フィンを介して大気に放出される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】沸騰冷却装置の更なる
性能アップが望まれる。冷却能力を向上する１つの手段
として、凝縮壁の熱放出量を増大させ、凝縮壁の過冷度
を低下させることが考えられる。凝縮壁の面積を増大さ
せると容器が大型化して適切でないため、凝縮壁に凝縮
フィンを設けて放熱能力を増大させることが一般に行わ
れる。しかし、本願発明者らは、凝縮フィンを多く設け
ても、作動中に凝縮フィンと隣接する凝縮フィンとの間
に凝縮液がブリッジして放熱能力が低下し、十分な性能
アップ効果が得られないことを見出した。

【０００４】

【発明の目的】本発明は、上記の事情に基づいて成され
たもので、その目的は、最適な凝縮フィンの間隔設定を
可能にすることによって、高い冷却性能を得ることので
きる沸騰冷却装置の提供にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】〔請求項１の手段〕凝縮
フィンの間隔がラプラス長さ（冷媒が沸騰気化して容器
の内壁から脱離する際の気化直径）以上に設けられてい
るため、沸騰冷却装置の作動中に凝縮フィンと隣接する
凝縮フィンとの間に凝縮液がブリッジする不具合がな
い。このため、ブリッジした凝縮液によって凝縮フィン
の放熱能力が低下する不具合が生じず、凝縮フィンによ
って効率的に放熱させることができ、結果的に沸騰冷却
装置の冷却能力を高めることができる。

【０００６】〔請求項２の手段〕凝縮フィンのフィン長
を蒸気通路に向かって短く設けることで、発熱体の熱を
受けて蒸気通路内で発生した蒸気を容器内に広く行き渡
らせることができる。

【０００７】〔請求項３の手段〕凝縮フィンが分割して
設けられたことにより、凝縮フィンに付着した液滴ある
いは液膜の成長が抑えられるとともに、凝縮フィンの端
の高さが連続的に低くなることによって、凝縮フィンに
付着した凝縮液が円滑に排水される。このように、凝縮
フィンに付着した液冷媒の排水が促進されるため、凝縮
フィンの熱抵抗が減少し、沸騰冷却装置の冷却能力を高
めることができる。

【０００８】〔請求項４の手段〕凝縮フィンが分割して
設けられたことにより、凝縮フィンに付着した液滴ある
いは液膜の成長が抑えられるとともに、分割された凝縮
フィンと凝縮フィンとの間が連続的に高さ変化すること
によって、凝縮フィンに付着した凝縮液が円滑に下方の
凝縮フィンへ排水される。このように、凝縮フィンに付
着した液冷媒の排水が促進されるため、凝縮フィンの熱
抵抗が減少し、沸騰冷却装置の冷却能力を高めることが
できる。

【０００９】〔請求項５の手段〕凝縮フィンが分割して
設けられたことにより、凝縮フィンに付着した液滴ある
いは液膜の成長が抑えられるとともに、フィン端がテー
パ状に設けられたことによって、さらに凝縮フィンに付
着した液滴あるいは液膜の成長が抑えられる。このよう
に、凝縮フィンに付着した液冷媒の排水が促進されるた
め、凝縮フィンの熱抵抗が減少し、沸騰冷却装置の冷却
能力を高めることができる。

【００１０】〔請求項６の手段〕凝縮フィンが分割して
設けられたことにより、凝縮フィンに付着した液滴ある
いは液膜の成長が抑えられるとともに、凝縮フィンの側
面に傾斜面を設けたことによって、さらに凝縮フィンに
付着した液滴あるいは液膜の成長が抑えられる。このよ
うに、凝縮フィンに付着した液冷媒の排水が促進される
ため、凝縮フィンの熱抵抗が減少し、沸騰冷却装置の冷
却能力を高めることができる。

【００１１】〔請求項７、８の手段〕放熱壁もしくは凝
縮フィンに付着した液冷媒の排水が、補助ウイックによ
って促進されるため、放熱壁もしくは凝縮フィンの熱抵
抗が減少し、沸騰冷却装置の冷却能力を高めることがで
きる。

【００１２】〔請求項９の手段〕放熱壁もしくは凝縮フ
ィンで液化した液冷媒が補助ウイックから主ウイックに
直接供給される。つまり、凝縮した液冷媒は、容器の下
部で溜まることなく再び受熱壁に導かれる。このよう
に、液冷媒の流れ経路が短くなることによって液冷媒の
循環効率が向上し、沸騰冷却装置の冷却能力を高めるこ
とができる。

【００１３】〔請求項１０、１１の手段〕放熱壁もしく
は凝縮フィンの表面に施された微細溝加工あるいは親水
処理加工によって、表面に付着した液冷媒の排水が促進
されるため、放熱壁もしくは凝縮フィンの熱抵抗が減少
し、沸騰冷却装置の冷却能力を高めることができる。

【００１４】〔請求項１２の手段〕請求項１２を採用す
ることによって、制御通路により蒸気冷媒を効率的に拡
散できる。つまり、制御通路によって効率的に凝縮フィ
ンや放熱壁を使用でき、沸騰冷却装置の冷却能力を高め
ることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】〔第１実施形態〕第１実施形態を
図１〜図４を用いて説明する。なお、図１は凝縮フィン
の配置を示す放熱壁の内面図、図２は沸騰冷却装置の正
面図と断面図、図３は沸騰冷却装置の使用例を示す斜視
図、図４は作動温度に対するラプラス長さ、表面張力、
液・蒸気密度の関係を示すグラフである。

【００１６】沸騰冷却装置１は、図３に示すように、例
えばコンピュータに搭載されたＣＰＵ２（発熱体の一
例）を冷却するものであり、基板３に取り付けられたＣ
ＰＵ２と放熱フィン４との間に介在されて使用される。
沸騰冷却装置１は、ＣＰＵ２が取り付けられる発熱体取
付部７ａを備えた容器５と、この容器５内に配置された
主ウイック６と、容器５内に所定量封入された冷媒（図
示しない）とからなる。

【００１７】容器５は、熱伝導性に優れる金属（例え
ば、銅、ニッケル、アルミニウム等）により製造され、
図２に示すように、横寸法ａおよび縦寸法ｂに対して厚
さ寸法ｈが小さい偏平な箱型に形成されている。また、
容器５は、図３に示すように、基板３に配置されたスロ
ット３ａ等によって容器５の配置に制約を受けるため、
受熱壁７の中央部にＣＰＵ２を配置できない。そこで、
発熱体取付部７ａは、受熱壁７の中心からオフセットし
て設けられている。なお、受熱壁７の中心とは、受熱壁
７の重心、即ち受熱壁７の対角線の交差付近である。

【００１８】容器５内に封入される冷媒は、ＣＰＵ２の
熱によって蒸発し、空冷によって凝縮するもので、水、
アルコール、アセトン、その他の有機溶剤などから、作
動温度域や、沸騰冷却装置１の構成材料との適合性等に
基づいて選定される。なお、一般的には、銅−水系の冷
媒が用いられる。

【００１９】沸騰冷却装置１は、あらゆる姿勢での使用
に対応するものであり、主ウイック６は、どのような姿
勢においても容器５内の下部に溜まった液冷媒を発熱体
取付部近傍６ａ（発熱体取付部７ａから受熱して冷媒を
蒸発させる部分）に輸送するものである。主ウイック６
は、下部に溜まった液冷媒を毛細管現象によって発熱体
取付部近傍６ａに運搬するもので、本実施形態では有孔
金属焼結体を採用している。この有孔金属焼結体は、熱
伝導性に優れる金属（例えば、銅、ニッケル、アルミニ
ウム等）により製造された多孔質材料で、沸騰冷却装置
１の熱抵抗を低減するために、容器５と接合することが
望ましく、例えばろう付け、ハンダ付け等の接合技術で
容器５に接合される。なお、本実施形態では主ウイック
６として有孔金属焼結体を採用しているが、金網や金属
繊維、金属以外の繊維（例えば、カーボンファイバー、
グラスファイバー等）など、他のウイックを用いても良
い。

【００２０】受熱壁７に対向する放熱壁８の内面には、
図１に示す凝縮フィン８ａが設けられている。なお、図
１（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ異なった放熱壁８の内面を
示すものであり、フィン列端部の位置を略山型配置した
例、中央の蒸気通路に向けてフィン長を短く設けた例を
種々示すものである。図１（ａ）は、各列の凝縮フィン
８ａを分割しない例である。図１（ｂ）、（ｃ）は、各
列の凝縮フィン８ａを分割するとともに、中央の蒸気通
路に向けてフィン長を短く設けた例である。図１（ｄ）
は、発熱体取付部近傍６ａの凝縮フィン８ａの分割数を
増した例である。図１（ｅ）は、凝縮フィン８ａを斜め
に配置した例である。図１（ｆ）は、凝縮フィン８ａの
間隔を不等ピッチに配置した例である。

【００２１】凝縮フィン８ａは、放熱壁８と熱的に結合
するもので、凝縮フィン８ａのフィン間隔は、過冷度低
減のための必要凝縮面積を確保し、かつ作動温度域で凝
縮フィン８ａと隣接する凝縮フィン８ａとの間に凝縮液
がブリッジしないラプラス長さ以上に設けられている。
水冷媒を用いた場合の作動温度に対するラプラス長さ、
表面張力、液・蒸気密度の関係を、図４のグラフに示
す。

【００２２】ラプラス長さは、次式で定義されるもので
ある。

【数１】なお、上記式中、ａ：冷媒によって異なる係数（水冷媒
の場合ａ＝０．８〜１．５、フロン系冷媒の場合ａ＝
０．５〜１．０）、σ：液冷媒の表面張力、ρ1：液冷
媒の密度、ρ2 ：蒸気冷媒の密度、ｇ：重力加速度を示
す。

【００２３】沸騰冷却装置１の作動を説明する。ＣＰＵ
２の熱は、発熱体取付部７ａから容器５内の発熱体取付
部近傍６ａに伝達され、その発熱体取付部近傍６ａに運
搬された液冷媒を沸騰させる。発生した蒸気冷媒は、放
熱フィン４によって温度が低く抑えられる放熱壁８およ
び凝縮フィン８ａに凝縮潜熱を放出して凝縮液化し、液
滴となって下部に溜まる液冷媒に還流する。放熱壁８に
放出された熱は、放熱壁８に取り付けられた放熱フィン
４を介して大気に放出される。

【００２４】〔実施形態の効果〕沸騰冷却装置１は、凝
縮フィン８ａの間隔がラプラス長さ以上に設けられてい
るため、沸騰冷却装置１の作動中に凝縮フィン８ａと隣
接する凝縮フィン８ａとの間に凝縮液がブリッジする不
具合がない。このため、ブリッジした凝縮液によって凝
縮フィン８ａの放熱能力が低下する不具合が生じず、凝
縮フィン８ａによって効率的に放熱させることができ、
結果的に沸騰冷却装置１の冷却能力を高めることができ
る。

【００２５】本実施形態における沸騰冷却装置１は、容
器５の下部に溜まった冷媒が、主ウイック６の毛細管現
象によって発熱体取付部近傍６ａに運搬されるため、発
熱体取付部７ａが受熱壁７の中心からオフセットされ、
且つ、図２に示すようなサイドヒート時においても、容
器５内の冷媒を確実に発熱体取付部近傍６ａに導くこと
ができる。そして、発熱体取付部近傍６ａという広い範
囲において冷媒を沸騰させることができるため、沸騰量
が増えて、発熱体取付部７ａの過熱度を低減できる。

【００２６】容器５の下部に溜まった冷媒が毛細管現象
によって発熱体取付部近傍６ａに運搬するため、容器５
内の冷媒量が少なくて済む。このため、容器５を立てて
使用するサイドヒート時において、冷媒に漬かる放熱壁
８の面積が少なくなり、実際的に蒸気冷媒を凝縮させる
凝縮面積が多くなる。この結果、凝縮量が増えて過冷度
も低減できる。このように、発熱体取付部７ａの過熱度
を低減し、放熱壁８の過冷度も低減でき、結果的に沸騰
冷却装置１の冷却性能を向上できる。

【００２７】沸騰冷却装置１は、容器５、主ウイック６
および冷媒のみで構成される。つまり、沸騰冷却装置１
は、大変シンプルで済み、沸騰冷却装置１の生産性が向
上し、コストを低く抑えることができる。

【００２８】〔第２実施形態〕第２実施形態を図５を用
いて説明する。なお、図５（ａ）は放熱壁８の内面を示
し、（ｂ）はＡ−Ａ線に沿う断面図を示す。この第２実
施形態は、凝縮フィン８ａのフィン端の高さを連続的に
低く設けるとともに、複数に分割されたフィン分割部分
においてもフィンの高さを連続的に変化させたものであ
り、この実施形態ではフィン端の高さを図５（ｂ）に示
すように円弧状に変化させた例を示す。凝縮フィン８ａ
が分割して設けられたことにより、凝縮フィン８ａに付
着した液滴あるいは液膜の成長が抑えられるとともに、
凝縮フィン８ａの端の高さが連続的に変化することによ
って、凝縮フィン８ａに付着した凝縮液が円滑に排水さ
れる。このように、凝縮フィン８ａに付着した液冷媒の
排水が促進されるため、凝縮フィン８ａの熱抵抗が減少
し、沸騰冷却装置１の冷却能力を高めることができる。

【００２９】〔第３実施形態〕第３実施形態を図６を用
いて説明する。なお、図６（ａ）は放熱壁８の内面を示
し、（ｂ）はＡ−Ａ線に沿う断面図を示す。この第３実
施形態は、分割された各凝縮フィン８ａの側面に、凝縮
フィン８ａから放熱壁８にかかる傾斜面を設けたので、
この実施形態では傾斜面を図６（ｂ）に示すように円弧
状に設けた例を示す。この実施形態は、押出し成形、引
抜き成形、冷間鍛造等の成形技術を用いて放熱壁８と凝
縮フィン８ａを一体成形することで容易に実施できる。
凝縮フィン８ａが分割して設けられたことにより、凝縮
フィン８ａに付着した液滴あるいは液膜の成長が抑えら
れるとともに、凝縮フィン８ａの側面に放熱壁８にかか
る傾斜面を設けたことによって、さらに凝縮フィン８ａ
に付着した液滴あるいは液膜の成長が抑えられる。この
ように、凝縮フィン８ａに付着した液冷媒の排水が促進
されるため、凝縮フィン８ａの熱抵抗が減少し、沸騰冷
却装置１の冷却能力を高めることができる。

【００３０】〔第４実施形態〕第４実施形態を図７を用
いて説明する。なお、図７は放熱壁８の内面を示す。こ
の第４実施形態は、分割された各凝縮フィン８ａのフィ
ン端の厚さをテーパ状に薄くして尖らせた例を示す。凝
縮フィン８ａが分割して設けられたことにより、凝縮フ
ィン８ａに付着した液滴あるいは液膜の成長が抑えられ
るとともに、フィン端を尖らせたことによって、さらに
凝縮フィン８ａに付着した液滴あるいは液膜の成長が抑
えられる。このように、凝縮フィン８ａに付着した液冷
媒の排水が促進されるため、凝縮フィン８ａの熱抵抗が
減少し、沸騰冷却装置１の冷却能力を高めることができ
る。

【００３１】〔第５実施形態〕第５実施形態を図８を用
いて説明する。なお、図８（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ
異なった沸騰冷却装置１の断面図を示す。この第５実施
形態は、放熱壁８もしくは凝縮フィン８ａの少なくとも
一方に液冷媒の伝達性に優れた補助ウイック９を設け、
凝縮した液滴の排水を促進させて放熱壁８の過冷度を低
減させるものである。

【００３２】図８（ａ）は、補助ウィック９として多孔
質材料を用いたもので、例えば有孔焼結金属を用いたも
のである。図８（ｂ）は、補助ウィック９として金属繊
維や金網を用いたものである。図８（ｃ）は、補助ウィ
ック９としてカーボンファイバ、グラスファイバ等の繊
維を用いたものである。図８（ｄ）は、補助ウィック９
として金属ワイヤを用いたものである。

【００３３】なお、補助ウイック９を主ウイック６に接
触させることにより、補助ウイック９で運搬される液冷
媒が直接主ウイック９に供給されるため、液冷媒の流れ
経路が短くなる。これによって液冷媒の循環効率が向上
し、沸騰冷却装置１の冷却能力を高めることができる。

【００３４】〔第６実施形態〕第６実施形態を図９を用
いて説明する。なお、図９（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ
異なった放熱壁８の内面を示す。この第６実施形態は、
凝縮フィン８ａの形状を一部変更し、蒸気冷媒の流れを
制御する制御通路１０を設けたものである。この制御通
路１０によって、蒸気冷媒の流れを沸騰冷却装置１内
（つまり、主ウイック６と放熱壁８の間の空間）全体に
蒸気を拡散して凝縮フィン８ａや放熱壁８を有効に使う
ことで、放熱壁８の過冷度を低減させるものである。

【００３５】図９（ａ）は、発熱体取付部近傍６ａで発
生した蒸気を制御通路１０によって下方へ導くものであ
る。図９（ｂ）は、発熱体取付部近傍６ａで発生した蒸
気を制御通路１０によって一端下方へ導き、その後両側
へ拡散させるものである。図９（ｃ）は、発熱体取付部
近傍６ａの上部で発生した蒸気を両側から下方へ導くと
ともに、発熱体取付部近傍６ａの下部で発生した蒸気を
下方へ導くものである。図９（ｄ）は、凝縮フィン８ａ
と制御通路１０とを組み合わせたものである。

【００３６】〔他の実施形態〕放熱壁８もしくは凝縮フ
ィン８ａの少なくとも一方の表面に親水性皮膜を形成す
るなどの親水処理を施したり、放熱壁８もしくは凝縮フ
ィン８ａの少なくとも一方の表面に微細溝を形成するな
どの微細溝加工を施しても良い。なお、微細溝の溝幅は
２００μｍ以下が望ましく、溝幅に対する深さの比は１
以上であることが望ましい。放熱壁８もしくは凝縮フィ
ン８ａの表面に施された親水性皮膜や微細溝によって、
表面に付着した液冷媒の排水が促進される。このため、
放熱壁８もしくは凝縮フィン８ａの熱抵抗が減少し、沸
騰冷却装置１の冷却能力を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】凝縮フィンの配置を示す放熱壁の内面図である
（第１実施形態）。

【図２】（ａ）は沸騰冷却装置の正面図、（ｂ）はＡ−
Ａ線に沿う断面図である（第１実施形態）。

【図３】沸騰冷却装置の使用例を示す斜視図である（第
１実施形態）。

【図４】水冷媒を用いた場合における作動温度に対する
ラプラス長さ（ａ＝１）、表面張力、液・蒸気密度の関
係を示すグラフである（第１実施形態）。

【図５】（ａ）は放熱壁の内面図、（ｂ）はＡ−Ａ線に
沿う断面図である（第２実施形態）。

【図６】（ａ）は放熱壁の内面図、（ｂ）はＡ−Ａ線に
沿う断面図である（第３実施形態）。

【図７】放熱壁の内面図である（第４実施形態）。

【図８】（ａ）〜（ｄ）は沸騰冷却装置の断面図である
（第５実施形態）。

【図９】（ａ）〜（ｄ）は放熱壁の内面図である（第６
実施形態）。

【符号の説明】

１沸騰冷却装置２ＣＰＵ（発熱体）５容器６主ウイック７受熱壁８放熱壁８ａ凝縮フィン９補助ウイック１０制御通路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者寺尾公良愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内 (72)発明者松本達人愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内 (72)発明者川口清司愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内Ｆターム(参考） 3L044 AA04 BA06 CA13 EA02 KA01 KA04 5E322 AA01 AA11 AB11 DB01 DB06 FA01 FA04 5H111 KK04 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】受熱壁および放熱壁を備えた容器内に冷媒
が封入された沸騰冷却装置であって、前記容器の内部には、少なくとも前記放熱壁と熱的に結
合する凝縮フィンが設けられるとともに、この凝縮フィ
ンの間隔が、必要な凝縮面積が確保できる最大の凝縮フ
ィンの間隔以下で、かつ、冷媒が沸騰気化して前記容器
の内壁を脱離する際の気化直径の平均値以上に設けられ
たことを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項２】請求項１の沸騰冷却装置において、前記容器内には、蒸気冷媒が流れる蒸気通路を備え、前記凝縮フィンは、前記蒸気通路に向かってフィン長が
短く設けられたことを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項３】請求項１の沸騰冷却装置において、前記凝縮フィンは、長手方向に複数に分割して設けら
れ、フィン端はフィンの高さが連続的に低く設けられた
ことを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項４】請求項１の沸騰冷却装置において、前記凝縮フィンは、長手方向に複数に分割して設けら
れ、その分割部分はフィンの高さが連続的に変化して設
けられたことを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項５】請求項１の沸騰冷却装置において、前記凝縮フィンは、長手方向に複数に分割して設けら
れ、フィン端はフィンの厚さがテーパ状に薄く設けられ
たことを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項６】請求項１の沸騰冷却装置において、前記凝縮フィンの側面には、前記凝縮フィンから前記放
熱壁にかかる傾斜面が設けられたことを特徴とする沸騰
冷却装置。
【請求項７】請求項１の沸騰冷却装置において、前記放熱壁もしくは前記凝縮フィンの少なくとも一方に
は、前記容器内で液化した液冷媒の排水を促進させる補
助ウイックが配置されたことを特徴とする沸騰冷却装
置。
【請求項８】請求項７の沸騰冷却装置において、前記補助ウイックは、多孔焼結金属体、金属繊維、金
網、あるいは金属以外の繊維であることを特徴とする沸
騰冷却装置。
【請求項９】請求項７の沸騰冷却装置において、前記補助ウイックは、前記容器内下部の液冷媒を前記受
熱壁へ運搬する主ウイックに接触することを特徴とする
沸騰冷却装置。
【請求項１０】請求項１の沸騰冷却装置において、前記放熱壁もしくは前記凝縮フィンの少なくとも一方
は、表面に微細溝加工が施されたことを特徴とする沸騰
冷却装置。
【請求項１１】請求項１の沸騰冷却装置において、前記放熱壁もしくは前記凝縮フィンの少なくとも一方
は、表面に親水処理加工が施されたことを特徴とする沸
騰冷却装置。
【請求項１２】請求項１の沸騰冷却装置において、前記容器の内部には、蒸気冷媒の流れを制御する制御通
路が設けられたことを特徴とする沸騰冷却装置。