JP2000068354A - キャリアの位置決め機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャリアが相違しても、正確に位置決めする
ことができ、かつ、優れたメンテナンス性を発揮するよ
うにする。 【解決手段】 互いに所定間隔だけ離隔して設けられた
第１係合部材４１および第２係合部材４２で複数の基板
Ｂを収納する基板収納部を支えるキャリア１を、テーブ
ル１０１上で位置決めする機構であって、上記テーブル
１０１上に載置されたキャリア１の第１および第２足部
１１１ｃ，１１０ｃ間に挟まれるように配置され、その
一方が上記左足部１１０ｃに対向するとともに、右足部
１１１ｃが他方に対向する２つの係合部材４２，４１
と、上記２つの係合部材４１，４２の間隔を広げ、各係
合部材４１，４２をそれぞれ対応する足部に係合させて
上記キャリア１を位置決めするクランパー５とを備えて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示デバイス
（ＬＣＤ）、プラズマ表示デバイス（ＰＤＰ）、半導体
デバイスおよび各種電子部品などの製造プロセスにおい
て、ＬＣＤまたはＰＤＰ用ガラス基板、半導体基板およ
びプリント基板などの各種基板（以下、単に「基板」と
いう）を複数枚収納するキャリアを、テーブル上で位置
決めするキャリアの位置決め機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６はこの発明の技術背景となるキャリ
アの構成を示す部分切欠斜視図である。この図に示すよ
う、キャリア１は、幅方向一対の長尺の側板１１と、各
側板１１の端縁間に差し渡された一対の端板１２とによ
って形成された平面視で矩形状の桝状体によって形成さ
れている。キャリア１の上部には基板Ｂを挿脱するため
の上部開口１３が形成されているとともに、同下部には
下部開口１４が設けられている。

【０００３】各側板１１は、高さ方向の略中間位置から
上方が平板部１１ａで形成され、これより下方部分が互
いに接近する方向に湾曲された断面視で円弧状の円弧部
１１ｂになっている。このような円弧部１１ｂの下部位
置には、所定の上下幅寸法で下方に向かって延設された
幅方向一対の足部１１ｃ（左足部１１０ｃおよび右足部
１１１ｃ）を有している。各円弧部１１ｂの曲率半径
は、基板Ｂの半径と略同一に寸法設定され、これによっ
てキャリア１内に周面を円弧部１１ｂ内面に沿わせて基
板Ｂを装填しても、基板Ｂが下部開口１４から抜け出さ
ないようになっている。

【０００４】また、各側板１１は、平板部１１ａの上縁
部に互いに反対側に向かって突出した端板１２と直交す
る方向に延びる一対のウイング１５を有しており、キャ
リア１は、これらウイング１５の下面側に移載ロボット
のアームが差し入れられた状態でこのロボットを駆動す
ることにより移送されるようになっている。

【０００５】また、各側板１１の内壁面には、互いに対
向した上下方向に延びる複数対の基板装着溝１６が凹設
され、これら基板装着溝１６のそれぞれに基板Ｂを嵌め
込むことによって所定枚数の基板Ｂがキャリア１に装填
されるようになっている。

【０００６】そして、このようなキャリア１に収納され
ている基板Ｂは、種々の基板処理装置の間を搬送され、
各基板処理装置において該装置に対応する基板処理を受
ける。具体的には、複数の基板Ｂを収納するキャリア１
が自動搬送装置によって基板処理装置の基板搬入部のテ
ーブル１０１（図７）上に載置されると、基板Ｂをテー
ブル１０１に対して位置決めするとともに、当該キャリ
ア１内に収納されている基板Ｂを整列させた後、キャリ
ア１から基板Ｂを取り出し、種々の処理部、例えば処理
液を貯留する処理槽に基板Ｂを浸漬することでエッチン
グ処理などを施すエッチング部などに搬送して処理す
る。そして、処理が完了すると、再び処理済みの基板Ｂ
をキャリア１に戻す。

【０００７】ここで、従来より、テーブル１０１に対す
るキャリア１の位置決め機構として、例えば図７に示す
ような位置決め機構が採用されていた。すなわち、図７
に示すように、上記テーブル１０１には、キャリア１の
延びる方向（図７の紙面に直交する方向）に長い長孔１
０４が設けられている。キャリア１の各足部１１０ｃ，
１１１ｃが長孔１０４左右のテーブル１０１表面に載せ
られることによって、キャリア１が長孔１０４を跨いだ
状態でテーブル１０１上にセッティングされるようにな
っている。

【０００８】上記テーブル１０１の下方には、長孔１０
４に対向した部分に、基板整列手段であるウエハアライ
ナー２００が設けられ、各基板Ｂは、キャリア１が長孔
１０４を跨いだ状態で下部開口１４から下方に露出した
周縁部分がウエハアライナー２００の一対のローラ２０
１に当接され、各ローラ２０１の同期回転によって回転
させられ、基板処理装置内で処理される前にオリエンテ
ーションフラットＢ１が調整されるようになっている。
そして、従来の位置決め機構１００は、長孔１０４の一
方の縁部のテーブル１０１上に設けられた押圧部材１０
２と、テーブル１０１上で長孔１０４を挟んでこの押圧
部材１０２に対向配置されたキャリアガイド１０３とを
備えて構成されているのである。

【０００９】上記押圧部材１０２は、テーブル１０１上
に装備されたシリンダ１０２ａと、このシリンダ１０２
ａに出没自在に設けられたピストンロッドの先端側の押
圧ロッド１０２ｂとからなっている。そして、キャリア
１がテーブル１０１上に長孔１０４を跨いだ状態で載置
された後、シリンダ１０２ａの駆動で押圧ロッド１０２
ｂを突出させることにより、その先端がキャリア１の左
足部１１０ｃを押圧し、これによるキャリア１の右への
移動で右足部１１１ｃがキャリアガイド１０３に当止す
ることによってテーブル１０１上でキャリア１の位置決
めが行われるようになっている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なキャリア１の足部１１０ｃ，１１１ｃを外部から挟み
込んで位置決めする位置決め機構１００においては、つ
ぎのような問題点が存在した。例えば、基板サイズが同
一である限りにおいて、キャリア１の一対の足部１１０
ｃ，１１１ｃ間の内寸法は所定の基準に合わせて寸法誤
差が少ないように精度よく寸法設定されているのに対
し、同外寸法は足部の肉厚のバラツキ等により内寸法ほ
どには精度よく寸法設定されていないことから、足部１
１０ｃ，１１１ｃの外側基準で位置決めすると、使用す
るキャリア１の種類によってウエハアライナー２００と
キャリア１内の基板Ｂとの間で相対位置関係に狂いが生
じ、これによってローラ２０１が基板Ｂの周面に正常に
当接しなくなってローラ２０１の回転がスムーズに基板
Ｂに伝わらなくなるのである。

【００１１】また、位置決め機構１００がウエハアライ
ナー２００等の基板整列手段と別体として並設されてい
る場合には、メンテナンス操作時等にテーブル１０１か
らウエハアライナー２００が分離されると、再組付けを
行った状態でテーブル１０１とウエハアライナー２００
との間の相対位置関係が微妙に狂い、これによってキャ
リア１の位置決めを正確に行うことができなくなる場合
があり、これを回避するためにウエハアライナー２００
の位置調節をしなければならず、この調整は非常に面倒
であり、メンテナンス操作を円滑に行う上でのネックに
なっていた。

【００１２】また、キャリア１は、上下方向に延びる中
心線に対して左右対称に形成されているため、この中心
線の位置を基準にしてキャリア１の位置決めを行うのが
理想であるが、キャリア１に寸法誤差があると、あるい
は寸法が異なる別のキャリアを混在使用するような場合
には、キャリア１の中心線がウエハアライナー２００の
一対のローラ２０１間の中点位置からずれた状態で位置
決めされてしまい、これによって基板Ｂの周面が一対の
ローラ２０１に均等に支持されなくなり、基板Ｂのスム
ーズな回転が阻害されるという問題点を有している。

【００１３】また、このような問題はキャリアの位置決
め機構が基板整列手段と並設されている場合の特有の問
題ではなく、キャリア中の基板に対してアクセスして所
定の処理、例えば基板をキャリアから上方に突き上げる
基板処理手段が当該位置決め機構と並設されている場合
にも生じる問題である。

【００１４】この発明は、上記のような問題に鑑みてな
されたものであり、キャリアが相違しても、正確に位置
決めすることができるキャリアの位置決め機構を提供す
ることを第１の目的とする。

【００１５】この発明は、上記第１の目的を達成した上
で、さらにキャリア中の基板に対してアクセスして所定
の処理を施す基板処理手段が位置決め機構と並設されて
いる場合においても、優れたメンテナンス性を発揮する
キャリアの位置決め機構を提供することを第２の目的と
する。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
キャリアの位置決め機構は、互いに所定間隔だけ離隔し
て設けられた第１および第２の足部で複数の基板を収納
する基板収納部を支えるキャリアを、テーブル上で位置
決めする機構であって、上記テーブル上に載置されたキ
ャリアの第１および第２の足部の間に挟まれるように配
置され、その一方が上記第１の足部に対向するととも
に、その他方が上記第２の足部に対向する２つの係合部
材と、上記２つの係合部材の間隔を広げ、各係合部材を
それぞれ対応する足部に係合させて上記キャリアを位置
決めするクランプ駆動手段とを備えたことを特徴とする
ものである。

【００１７】このキャリアの位置決め機構によれば、第
１および第２の足部で一対の係合部材を挟むようにして
キャリアをテーブル上の所定位置に載置した状態で、ク
ランプ駆動手段の駆動によって一対の係合部材の一方ま
たは双方を互いに離反する方向に移動させることにより
各係合部材が対応する足部を外側に押圧しながら当接
し、キャリアを所定位置に位置決めする。このように、
一対の係合部材によって第１および第２の足部を内側か
ら押圧することによってキャリアを位置決めするように
しているため、従来のように足部の外側を押圧して位置
決めを行う方式の場合、足部の肉厚によって位置決めが
正確に行われ難いという不都合が解消される。

【００１８】本発明の請求項２記載のキャリアの位置決
め機構は、請求項１記載のキャリアの位置決め機構にお
いて、上記２つの係合部材のうち上記第１の足部に対向
する第１の係合部材が上記テーブルに対して所定の位置
関係を有するように固定配置される一方、残りの第２の
係合部材が上記第２の足部に対して接離自在に設けられ
るとともに、上記クランプ駆動手段は上記第２の係合部
材を上記第２の足部に向けて移動可能に構成されている
ことを特徴とするものである。

【００１９】このキャリアの位置決め機構によれば、第
１および第２の足部で一対の係合部材を挟むようにして
キャリアをテーブル上の所定位置に載置した状態で、ク
ランプ駆動手段の駆動によって第２の係合部材を第２の
足部に移動させることによりキャリアは所定位置に位置
決めされる。このように、第２の係合部材のみを移動さ
せることによりキャリアの位置決めが実現し、クランプ
駆動手段の構造が簡単になる。

【００２０】本発明の請求項３記載のキャリアの位置決
め機構は、請求項１記載のキャリアの位置決め機構にお
いて、上記２つの係合部材は、上記テーブルに対して所
定の位置関係を有する移動基準位置を中心として相互に
接近・離反自在に設けられるとともに、上記クランプ駆
動手段は上記移動基準位置から上記係合部材を互いに正
反対の方向で、しかもほぼ同一距離だけ移動させるよう
に構成されていることを特徴とするものである。

【００２１】このキャリアの位置決め機構によれば、第
１および第２係合部材の双方が互いに離反方向に略同一
距離だけ移動してキャリアの位置決めを行うようにして
いるため、キャリアが位置決めされた状態で一対の係合
部材の中点位置と、キャリアの上下方向に延びる中心線
とを一致させることが可能になり、これによってたとえ
一対の足部間の内寸法にばらつきが存在しても、また、
一対の足部間の内寸法が異なる別のキャリアを使用して
も、キャリアを高精度で位置決めし得るようになる。

【００２２】本発明の請求項４記載のキャリアの位置決
め機構は、請求項１乃至３のいずれかに記載のキャリア
の位置決め機構において、上記キャリアに収納されてい
る基板にアクセスして所定の処理を施す基板処理手段が
上記テーブルに対して所定の位置関係で配置されてお
り、上記２つの係合部材は当該基板処理手段に取り付け
られたことを特徴とするものである。

【００２３】このキャリアの位置決め機構によれば、テ
ーブルに対して所定の位置関係で配設された基板処理手
段に係合部材が設けられることにより、この基板処理手
段に対する基板の着脱操作を所定の位置決め状態で行う
ことが可能になり、基板の処理をむらなく良好に行う上
で有効である。

【００２４】本発明の請求項５記載のキャリアの位置決
め機構は、請求項４記載のキャリアの位置決め機構にお
いて、上記基板処理手段は上記キャリアに収納されてい
る基板を整列基準位置に整列させる基板整列手段である
ことを特徴とするものである。

【００２５】このキャリアの位置決め機構によれば、キ
ャリア内の基板は、基板整列手段の駆動によって位相が
基板整列位置に揃えられた整列状態になる。

【００２６】本発明の請求項６記載のキャリアの位置決
め機構は、請求項５記載のキャリアの位置決め機構にお
いて、上記整列基準位置と上記移動基準位置とが一致す
るように、上記基板整列手段と上記２つの係合部材とが
配置されていることを特徴とするものである。

【００２７】このキャリアの位置決め機構によれば、基
板整列手段と係合部材とを共通の支持部材に支持させた
ユニットを形成することが可能になり、別体とした場合
に比べて装置コストを低減化し得るとともに、キャリア
の位置決め操作後に基板整列手段の基板に対する位置合
わせ操作を別途行うことなく直ちに基板の整列操作に移
ることが可能になり、基板のハンドリング効率が向上す
る。

【００２８】

【発明の実施の形態】まず、本発明のキャリア位置決め
機構が適用される基板洗浄処理装置について説明する。
図１は、基板洗浄処理装置の一実施形態を示す側面視の
説明図である。この図に示すように、基板洗浄処理装置
９は、複数枚の基板Ｂが整列収納されたキャリア１を搬
入・搬出する部分である搬入搬出部９１と、キャリア１
から基板Ｂを取り出したりキャリア１に基板Ｂを装填し
たりする基板移載部９２と、上記搬入搬出部９１および
基板移載部９２間でキャリア１を移動させる移載ロボッ
ト９３と、整列装填された複数枚の基板Ｂに洗浄処理を
施す基板洗浄処理部９４と、洗浄後の基板Ｂを液切りし
引き続き乾燥する基板乾燥部９５と、基板移載部９２、
基板洗浄処理部９４および基板乾燥部９５間で移動して
これらに対して基板Ｂを挿脱して搬送する搬送ロボット
９６とを備えた基本構成を有している。

【００２９】上記移載ロボット９３は、昇降および回転
自在に構成され、搬入搬出部９１に系外から搬入され
た、未処理の基板Ｂの装填されたキャリア１を所定のア
ームで保持して基板移載部９２に移したり、基板乾燥部
９５からの処理済みの基板Ｂが装填されたキャリア１を
基板移載部９２から搬入搬出部９１に移す役割を担った
ものである。

【００３０】上記搬送ロボット９６は、基板移載部９
２、基板乾燥部９５および基板洗浄処理部９４の上部で
図１の左右に延びるように配設されたガイドレール９７
に案内されつつ水平動可能に設けられた一対の基板挟持
アーム９６ａを備えて構成され、基板移載部９２では、
リフター９２ａによってキャリア１内から上方に押し上
げられた複数枚の基板Ｂを一対の基板挟持アーム９６ａ
で挟持して基板洗浄処理部９４に向けて運び、基板洗浄
処理部９４では、基板移載部９２からの基板Ｂを処理槽
９４ａに装填し、洗浄終了後の処理槽９４ａ内の基板Ｂ
を挟持して基板乾燥部９５に移し、ここで乾燥処理の行
われた基板Ｂを基板移載部９２に運んでキャリア１内に
戻す動作を行うものである。

【００３１】従って、系外から基板洗浄処理装置９に運
び込まれた、基板Ｂ入りのキャリア１は、まず、搬入搬
出部９１に載置され、移載ロボット９３の駆動で基板移
載部９２に移される。そして、キャリア１内の基板Ｂは
ここでリフター９２ａによってキャリア１から押し上げ
られた後、搬送ロボット９６の基板挟持アーム９６ａに
挟持されて基板洗浄処理部９４に運ばれ、処理槽９４ａ
内で所定の処理が施されてから取り出され、再度搬送ロ
ボット９６によって運ばれて基板乾燥部９５に装填さ
れ、ここでの乾燥処理の完了後にさらに搬送ロボット９
６によって基板移載部９２に戻され、ここで再びキャリ
ア１に装填される。そして、この処理墨の基板Ｂの装填
されたキャリア１は、移載ロボット９３の駆動で搬入搬
出部９１に戻され、ここから所定の搬送手段を用いて系
外に送り出される。

【００３２】そして、本発明のキャリア位置決め機構
は、例えば、上記のような基板洗浄処理装置９の搬入搬
出部９１に適用されるものである。図２は、本発明にか
かるキャリア位置決め機構の第１実施形態を示す正面視
の説明図である。この図に示すように、キャリア位置決
め機構２は、基板Ｂを基準位相に整列させるウエハアラ
イナー３（基板整列手段）の近傍位置に配置されてお
り、このウエハアライナー３の両側部に突設された左右
一対の係合部材４と、一方の係合部材４を他方の係合部
材４に対して接近・離反する方向に移動させるクランパ
ー５と、このクランパー５を動作させるクランプ駆動手
段６とを備えた基本構成を有している。

【００３３】上記ウエハアライナー３は、テーブル１０
１の長孔１０４に沿って前後方向（図１の紙面に垂直の
方向）に延びる長尺箱型のケーシング３１と、このケー
シング３１内の上部で前後方向に延びる水平軸回りに回
転自在に軸支され、かつ、略上半分をケーシング３１か
ら上方に突出した幅方向（図２の紙面の左右方向）一対
の整列用ローラ３３とからなっている。上記ケーシング
３１は、平面寸法が長孔１０４の平面寸法より若干小さ
く寸法設定され、その上方部分がテーブル１０１の下部
から所定寸法だけ長孔１０４に遊嵌された状態で図略の
フレームに固定されている。そして、ウエハアライナー
３は、その上下方向に延びる中心線と長孔１０４の幅方
向の中点位置とが一致するように設置位置が設定され、
これによってウエハアライナー３の左右の側面と長孔１
０４の左右の縁部との間の隙間寸法がそれぞれ等しくな
るようにしている。

【００３４】上記一対の整列用ローラ３３は、キャリア
１が長孔１０４を跨ぐようにテーブル１０１上に載置さ
れ、かつ、位置決めされた状態で、キャリア１内に装着
された基板Ｂの周面にそれぞれ当接するように寸法設定
され、図略の駆動モータの駆動による各整列用ローラ３
３の回転によって基板Ｂがキャリア１内で回転するよう
にしている。そして、基板Ｂの周方向の所定位置には、
整列位相の基準になるオリエンテーションフラットＢ１
が形成されている。従って、整列用ローラ３３の回転に
よる基板Ｂの回転は、オリエンテーションフラットＢ１
が整列用ローラ３３に対向することによる相互の当接解
除によって停止されるため、キャリア１内に装填された
複数枚の基板Ｂは、少なくとも基板Ｂが１回転以上回転
するように整列用ローラ３３を回転駆動させることによ
って、キャリア１内でオリエンテーションフラットＢ１
を下方に向けた基準位相で整列されるようになってい
る。

【００３５】上記係合部材４は、ケーシング３１の右方
上部位置から外方に向かって突設された第１係合部材４
１と、同左方上部位置から外方に向かって突設された第
２係合部材４２とからなっている。第１係合部材４１
は、ケーシング３１の右方上部にテーブル１０１と略同
一高さレベルで外方に向かって突設された支持部材３２
の右端上面に固定されている。かかる第１係合部材４１
は、前後方向に延びた角棒状の部材本体の上部から先細
りで右方に突設された当接爪部４１ａを有しており、こ
の当接爪部４１ａがキャリア１の右足部１１１ｃの内壁
面に対向するように位置設定されている。

【００３６】一方、上記第２係合部材４２は、クランパ
ー５の上端側に取り付けられている。すなわち、クラン
パー５は、上下方向に延びる前後方向一対のバー本体５
１と、各バー本体５１の上下方向の略中間位置に右方に
向けて突設されたブラケット５２と、各バー本体５１の
上端部間に架橋された上部架橋材５３と、同下端部間に
架橋された下部架橋材５４とからなっており、第２係合
部材４２は、かかるクランパー５の上部架橋材５３の左
面側に取り付けられている。

【００３７】そして、一対のブラケット５２は、ケーシ
ング３１の左側部を挟持した状態でケーシング３１から
前後に突設された水平軸３４回りに回動自在に軸支さ
れ、これによってクランパー５は水平軸３４回りに正逆
回動して第２係合部材４２がキャリア１の左足部１１０
に対して離接し得るようになっている。上記第２係合部
材４２は、第１係合部材４１と同一高さ位置に位置設定
されている。

【００３８】上記クランプ駆動手段６は、ケーシング３
１の底板に配設されたシリンダ６１と、このシリンダ６
１に左方に向かって出没自在に設けられたピストンロッ
ド６２とからなっている。シリンダ６１は、上記底板の
前後方向の略中央位置に設けられているとともに、ピス
トンロッド６２は、その左端部がクランパー５の下部架
橋材５４に接続され、シリンダ６１の駆動によるピスト
ンロッド６２の出没によっクランパー５が水平軸３４回
りに正逆回動するようになっている。

【００３９】また、バー本体５１のブラケット５２より
下部位置には、引張りコイルばね７の一端部が装着され
ている。この引張りコイルばね７は、伸長状態で他端部
がケーシング３１に固定され、引張りコイルばね７の付
勢力によってクランパー５には水平軸３４回りに反時計
方向に向かう付勢力が付与されている。

【００４０】図３は、第１実施形態のキャリア位置決め
機構２の作用を説明するための説明図であり、（Ａ）
は、キャリア１が位置決めされる前の状態、（Ｂ）は、
キャリア１が位置決めされた状態をそれぞれ示してい
る。まず、図３の（Ａ）に示すように、キャリア１が位
置決めされていない状態では、ピストンロッド６２がシ
リンダ６１から突出されることにより、クランパー５が
引張りコイルばね７の付勢力に抗して水平軸３４回りに
時計方向に回動し、これによってキャリア１の一対の足
部１１ｃがテーブル１０１の長孔１０４を跨いだ状態
で、一対の係合部材４１，４２が足部１１０ｃ，１１１
ｃ間に遊嵌された状態になっている。

【００４１】この状態で、クランプ駆動手段６を駆動さ
せてピストンロッド６２をシリンダ６１内に没入させる
ことにより、クランパー５は、引張りコイルばね７の付
勢力によって水平軸３４回りに反時計方向に回動し、第
２係合部材４２が第１係合部材４１から離れる方向に移
動し、両係合部材４１，４２の間隔が広がる。これによ
ってバー本体５１の上端部に付設された第２係合部材４
２が左足部１１０ｃの内壁面を外側に押圧するため、キ
ャリア１は、位置ずれしている場合にはこの押圧によっ
て右足部１１１ｃの内壁面が第１係合部材４１の当接爪
部４１ａに当接するまで移動し、これによって、図３の
（Ｂ）に示すように、各係合部材４１，４２が各足部１
１０ｃ，１１１ｃを突っ張った位置決め状態になる。

【００４２】この位置決め状態を解除するには、シリン
ダ６１の駆動でピストンロッド６２を突出させればよ
い。こうすることによって、ピストンロッド６２がバー
本体５１の下部架橋材５４を押圧してクランパー５が水
平軸３４回りに時計方向に回動し、第２係合部材４２が
左足部１１０ｃから離反してキャリア１のテーブル１０
１上での位置決め状態が解除される。

【００４３】このように、第１実施形態のキャリア位置
決め機構２によれば、２つの係合部材４１，４２のうち
右足部１１１ｃに対向する第１係合部材４１がテーブル
１０１に対して所定の位置関係を有するように固定配置
される一方、第２係合部材４２が左足部１１０（第２の
足部）に対して接離自在に設けられるとともに、クラン
プ駆動手段６は第２係合部材４２を左足部１１０ｃに向
けて移動可能に構成されているため、各足部１１０ｃ，
１１１ｃで一対の係合部材４１，４２を挟むようにして
キャリア１をテーブル１０１上の所定位置に載置した状
態で、第２係合部材４２を左足部１１０（第２の足部）
に移動させることによりキャリア１を所定位置に位置決
めすることができる。このように、第２係合部材４２の
みを移動させることによりキャリア１の位置決めが実現
し、クランプ駆動手段２の構造を簡単なものにすること
ができる。

【００４４】図４は、本発明にかかるキャリア位置決め
機構の第２実施形態を示す正面視の説明図である。この
図に示すように、第２実施形態においては、キャリア位
置決め機構２ａは、第１係合部材４１および第２係合部
材４２の双方が互いに反対方向に移動し得るように構成
されている。すなわち、クランパーとしては、駆動側ク
ランパー５ａと、従動側クランパー５ｂとの一対のクラ
ンパーが採用され、上記第１係合部材４１は従動側クラ
ンパー５ｂに付設されているとともに、上記第２係合部
材４２は第１実施形態と同様の状態で駆動側クランパー
５ａに付設されている。

【００４５】そして、駆動側クランパー５ａのブラケッ
ト５２には、水平軸３４からさらにケーシング３１の中
央部に向けて延設された駆動側連結アーム５５が設けら
れており、この駆動側連結アーム５５の右端部には支持
軸５５ａ回りに回転自在に軸支されたカムフォロア５６
が付設されている。また、駆動側連結アーム５５の中間
位置には、駆動側係止突片５５ｂが下方に向けて突設さ
れている。

【００４６】一方、上記従動側クランパー５ｂは、上端
部に第１係合部材４１を付設されたバー本体５７と、こ
のブラケット５２の下端部からケーシング３１の中央部
に向けて延設された従動側連結アーム５８とからなって
いる。上記従動側連結アーム５８は、水平軸３４と左右
対称位置のケーシング３１上に設けられた第２水平軸３
４ａ回りに回動自在に軸支されている。かかる従動側連
結アーム５８の左端部には、上記カムフォロア５６に摺
接状態で外嵌される二股部５９が設けられているととも
に、従動側連結アーム５８の中間位置には、従動側係止
突片５８ａが下方に向かって突設されている。そして、
駆動側クランパー５ａの水平軸３４より上の部分と、従
動側クランパー５ｂの第２水平軸３４ａより上の部分と
はケーシング３１の上下方向に延びる中心線（移動基準
位置）に対して左右対称に形状設定され、これによって
各係合部材４１，４２の移動量が同一になるようにして
いる。

【００４７】上記従動側係止突片５８ａと上記駆動側係
止突片５５ｂとの間には伸長状態の引張りコイルばね７
が張設され、これによってピストンロッド６２がシリン
ダ６１内に没入した状態では、引張りコイルばね７の付
勢力によって駆動側連結アーム５５が水平軸３４回りに
反時計方向に回動するとともに、この回動によって二股
部５９がカムフォロア５６に外嵌している従動側連結ア
ーム５８が第２水平軸３４ａ回りに時計方向に回動し、
これによる駆動側クランパー５ａおよび従動側クランパ
ー５ｂの互いに反対方向への回動によって各係合部材４
１，４２が相互に離反方向に移動した位置決め状態にな
る一方、クランプ駆動手段６の駆動でピストンロッド６
２をシリンダ６１から外部に突出させることにより、各
クランパー５ａ，５ｂがそれぞれ上記と逆方向に回動
し、これによって各係合部材４１，４２が互いに接近す
る方向に移動するようになっている。

【００４８】図５は、第２実施形態のキャリア位置決め
機構２ａの作用を説明するための説明図であり、（Ａ）
は、キャリア１が位置決めされる前の状態、（Ｂ）は、
キャリア１が位置決めされた状態をそれぞれ示してい
る。まず、図５の（Ａ）に示すように、キャリア１が位
置決めされていない状態では、クランプ駆動手段６の駆
動でピストンロッド６２がシリンダ６１から突出される
ことにより、駆動側クランパー５ａが引張りコイルばね
７の付勢力に抗して水平軸３４回りに時計方向に回動
し、これによる駆動側連結アーム５５の回動でカムフォ
ロア５６に二股部５９を介して連結されている従動側連
結アーム５８および従動側連結アーム５８と一体のバー
本体５７が第２水平軸３４ａ回りに反時計方向に回動す
ることによって、キャリア１の一対の足部１１ｃがテー
ブル１０１の長孔１０４を跨いだ状態で、一対の係合部
材４１，４２が足部１１１ｃ，１１０ｃ間に遊嵌された
状態になっている。

【００４９】この状態で、クランプ駆動手段６を駆動さ
せてピストンロッド６２をシリンダ６１内に没入させる
ことにより、各クランパー５ａ，５ｂは、引張りコイル
ばね７の付勢力によって水平軸３４，３２ａ回りに互い
に反対方向に回動し、両係合部材４１，４２は、相互に
離れる方向に移動し、両係合部材４１，４２の間隔は広
がる。これによって第１係合部材４１が右足部１１１ｃ
の内壁面を外側に向けて押圧するとともに、第２係合部
材４２が左足部１１０ｃの内壁面を外側に向けて押圧す
るため、キャリア１は、図５の（Ｂ）に示すように、各
係合部材４１，４２が各足部１１１ｃ，１１０ｃを突っ
張った位置決め状態になる。

【００５０】この位置決め状態を解除するには、シリン
ダ６１の駆動でピストンロッド６２を突出させればよ
い。こうすることによって、ピストンロッド６２が駆動
側クランパー５ａの下端部を押圧して駆動側クランパー
５ａが水平軸３４回りに時計方向に回動するとともに、
これに連動する従動側クランパー５ｂが第２水平軸３４
ａ回りに反時計方向に回動し、各係合部材４１，４２の
足部１１ｃからの離反によってキャリア１のテーブル１
０１上での位置決め状態が解除される。

【００５１】このように第２実施形態のキャリア位置決
め機構２ａによれば、各係合部材４１，４２がケーシン
グ３１に対して互いに反対方向に同一距離だけ移動する
ため、たとえ足部１１０ｃ，１１１ｃ間の内寸法にばら
つきが存在しても、キャリア１が位置決めされた状態で
キャリア１の上下方向に延びる中心線（離接基準位置）
と、ウエハアライナー３の上下方向に延びる中心線（整
列基準位置）とが常に一致するため、ロボットによるキ
ャリア１のハンドリング操作を常に確実に行うことが可
能になる。

【００５２】なお、上記実施形態では、キャリア位置決
め機構２，２ａをウエハアライナー３に取り付けた場合
について説明したが、キャリア位置決め機構２，２ａを
ウエハアライナー３に取り付けることが必須の構成要件
ではなく、例えばウエハアライナー３から分離してテー
ブル１０１の下面側に配設したり、独立配設してもよ
い。

【００５３】また、上記実施形態では、キャリア位置決
め機構２，２ａをウエハアライナー３と組み合わせてい
るが、キャリア位置決め機構２，２ａを単独で用いても
よい。また、別の基板処理部、例えば基板を突き上げ保
持するリフター９２ａと組み合わせてもよい。すなわ
ち、基板移載部９２の図略のテーブルにキャリア１が載
置された際に、キャリア位置決め機構によってキャリア
を位置決めすることで、キャリアとリフター９２ａとの
位置関係を常に一定にすることができ、これによってリ
フター９２ａによるキャリアからの基板取出しおよび基
板収納を確実に行うことができる。

【００５４】

【発明の効果】本発明の請求項１記載のキャリアの位置
決め機構によれば、テーブル上に載置されたキャリアの
第１および第２の足部の間に挟まれるように配置され、
その一方が第１の足部に対向するとともに、その他方が
第２の足部に対向する２つの係合部材と、２つの係合部
材の間隔を広げ、各係合部材をそれぞれ対応する足部に
係合させてキャリアを位置決めするクランプ駆動手段と
で位置決め機構を構成したため、従来のように足部の外
側を押圧して位置決めを行う方式の場合、足部の肉厚に
よって位置決めが正確に行われ難いという不都合が解消
され、キャリアが相違しても常にキャリアを予め設定さ
れた所定の位置に位置決めすることが可能になり、基板
処理装置を常に安定した状態で運転することができる。

【００５５】本発明の請求項２記載のキャリアの位置決
め機構によれば、２つの係合部材のうち第１の足部に対
向する第１の係合部材がテーブルに対して所定の位置関
係を有するように固定配置される一方、残りの第２の係
合部材が第２の足部に対して接離自在に設けられるとと
もに、クランプ駆動手段は第２の係合部材を第２の足部
に向けて移動可能に構成されているため、第１および第
２の足部で一対の係合部材を挟むようにしてキャリアを
テーブル上の所定位置に載置した状態で、クランプ駆動
手段の駆動によって第２の係合部材を第２の足部に移動
させることによりキャリアを所定位置に位置決めするこ
とができる。このように、第２の係合部材のみを移動さ
せることによりキャリアの位置決めが実現し、クランプ
駆動手段の構造を簡単なものにすることができる。

【００５６】本発明の請求項３記載のキャリアの位置決
め機によれば、２つの係合部材は、テーブルに対して所
定の位置関係を有する移動基準位置を中心として相互に
接近・離反自在に設けられるとともに、クランプ駆動手
段は移動基準位置から係合部材を互いに正反対の方向
で、しかもほぼ同一距離だけ移動させるように構成され
ているため、キャリアが位置決めされた状態で一対の係
合部材の中点位置と、キャリアの上下方向に延びる中心
線とを一致させることが可能になり、これによってたと
え一対の足部間の内寸法にばらつきが存在しても、また
一対の足部間の内寸法が異なる別のキャリアを使用して
も、キャリアを高精度で位置決めすることができる。

【００５７】本発明の請求項４記載のキャリアの位置決
め機構によれば、キャリアに収納されている基板にアク
セスして所定の処理を施す基板処理手段をテーブルに対
して所定の位置関係で配置し、２つの係合部材を当該基
板処理手段に取り付けたため、基板処理手段に対する基
板の着脱操作を所定の位置決め状態で行うことが可能に
なり、基板の処理をむらなく良好に行うことができる。

【００５８】本発明の請求項５記載のキャリアの位置決
め機構によれば、基板処理手段はキャリアに収納されて
いる基板を整列基準位置に整列させる基板整列手段であ
るため、キャリア内の基板を、基板整列手段の駆動によ
って位相が基板整列位置に揃えられた整列状態にするこ
とができる。

【００５９】本発明の請求項６記載のキャリアの位置決
め機構によれば、整列基準位置と移動基準位置とが一致
するように、基板整列手段と２つの係合部材とを配置し
たため、基板整列手段と係合部材とを共通の支持部材に
支持させたユニットを形成することが可能になり、別体
とした場合に比べて装置コストを低減化することができ
るとともに、キャリアの位置決め操作後に基板整列手段
の基板に対する位置合わせ操作を別途行うことなく直ち
に基板の整列操作に移ることが可能になり、基板のハン
ドリング効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるキャリアの位置決め機構が適用
可能な基板洗浄処理装置の一実施形態を示す側面視の説
明図である。

【図２】本発明にかかるキャリア位置決め機構の第１実
施形態を示す正面視の説明図である。

【図３】第１実施形態のキャリア位置決め機構の作用を
説明するための説明図であり、（Ａ）はキャリアが位置
決めされる前の状態、（Ｂ）はキャリアが位置決めされ
た状態をそれぞれ示している。

【図４】本発明にかかるキャリア位置決め機構の第２実
施形態を示す正面視の説明図である。

【図５】第２実施形態のキャリア位置決め機構の作用を
説明するための説明図であり、（Ａ）はキャリアが位置
決めされる前の状態、（Ｂ）はキャリアが位置決めされ
た状態をそれぞれ示している。

【図６】キャリアの構成を示す部分切欠斜視図である。

【図７】従来のキャリアのキャリア位置決め機構を例示
する正面視の説明図である。

【符号の説明】

１ キャリア １１ｃ 足部 １１０ｃ 左足部（第２の足部） １１１ｃ 右足部（第１の足部） ２，２ａ キャリア位置決め機構 ３ ウエハアライナー ３１ ケーシング ３２ 支持部材 ３３ 整列用ローラ ３４ 水平軸 ３４ａ 第２水平軸 ４ 係合部材 ４１ 第１係合部材 ４１ａ 当接爪部 ４２ 第２係合部材 ５ クランパー ５ａ 駆動側クランパー ５ｂ 従動側クランパー ５１，５７ バー本体 ５２ ブラケット ５３ 上部架橋材 ５４ 下部架橋材 ５５ 駆動側連結アーム ５５ａ 支持軸 ５６ カムフォロア ６ クランプ駆動手段 ６１ シリンダ ６２ ピストンロッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F022 AA08 BB09 CC02 DD01 DD06 EE05 FF26 GG01 KK18 KK20 MM11 NN12 5F031 BB01 CC01 CC20 CC63 EE01 EE03 HH05 HH09 KK02 MM10

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに所定間隔だけ離隔して設けられた
   第１および第２の足部で複数の基板を収納する基板収納
   部を支えるキャリアを、テーブル上で位置決めする機構
   であって、 上記テーブル上に載置されたキャリアの第１および第２
   の足部の間に挟まれるように配置され、その一方が上記
   第１の足部に対向するとともに、その他方が上記第２の
   足部に対向する２つの係合部材と、 上記２つの係合部材の間隔を広げ、各係合部材をそれぞ
   れ対応する足部に係合させて上記キャリアを位置決めす
   るクランプ駆動手段とを備えたことを特徴とするキャリ
   アの位置決め機構。
2. 【請求項２】 上記２つの係合部材のうち上記第１の足
   部に対向する第１の係合部材が上記テーブルに対して所
   定の位置関係を有するように固定配置される一方、残り
   の第２の係合部材が上記第２の足部に対して接離自在に
   設けられるとともに、 上記クランプ駆動手段は上記第２の係合部材を上記第２
   の足部に向けて移動可能に構成されている請求項１記載
   のキャリアの位置決め機構。
3. 【請求項３】 上記２つの係合部材は、上記テーブルに
   対して所定の位置関係を有する移動基準位置を中心とし
   て相互に接近・離反自在に設けられるとともに、 上記クランプ駆動手段は上記移動基準位置から上記係合
   部材を互いに正反対の方向で、しかもほぼ同一距離だけ
   移動させるように構成されている請求項１記載のキャリ
   アの位置決め機構。
4. 【請求項４】 上記キャリアに収納されている基板にア
   クセスして所定の処理を施す基板処理手段が上記テーブ
   ルに対して所定の位置関係で配置されており、上記２つ
   の係合部材は当該基板処理手段に取り付けられた請求項
   １乃至３のいずれかに記載のキャリアの位置決め機構。
5. 【請求項５】 上記基板処理手段は上記キャリアに収納
   されている基板を整列基準位置に整列させる基板整列手
   段である請求項４記載のキャリアの位置決め機構。
6. 【請求項６】 上記整列基準位置と上記移動基準位置と
   が一致するように、上記基板整列手段と上記２つの係合
   部材とが配置されている請求項５記載のキャリアの位置
   決め機構。