JP2000066218A - 液晶パネル製造装置 - Google Patents
液晶パネル製造装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス基板の全面を均一に加熱できると共
に、該ガラス基板の加圧も均一な分布荷重として作用さ
せることができ、更に加熱処理後定盤を素早く冷却でき
る液晶パネル製造装置を提供することにある。 【解決手段】 位置合わせし、且つ仮止めされた２枚一
組のガラス基板を挾着する一方の固定定盤と、その固定
定盤と対向して該定盤との間隔を広狭可変すると共に、
加圧手段で加圧される可動定盤とから成り、前記固定定
盤は２層構造としてガラス基板に近い側の上層部材に冷
却手段を埋設し、遠い側の下層部材に加熱手段を装備
し、更に前記上・下層部材の接触状態を切り離す分離機
構を設け、且つ可動定盤は加熱手段を装備した中空構造
とすると共にガラス基板と当接する加圧面は可撓性を有
する部材で構成する。
に、該ガラス基板の加圧も均一な分布荷重として作用さ
せることができ、更に加熱処理後定盤を素早く冷却でき
る液晶パネル製造装置を提供することにある。 【解決手段】 位置合わせし、且つ仮止めされた２枚一
組のガラス基板を挾着する一方の固定定盤と、その固定
定盤と対向して該定盤との間隔を広狭可変すると共に、
加圧手段で加圧される可動定盤とから成り、前記固定定
盤は２層構造としてガラス基板に近い側の上層部材に冷
却手段を埋設し、遠い側の下層部材に加熱手段を装備
し、更に前記上・下層部材の接触状態を切り離す分離機
構を設け、且つ可動定盤は加熱手段を装備した中空構造
とすると共にガラス基板と当接する加圧面は可撓性を有
する部材で構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶パネルの製造装
置に係り、詳しくは熱硬化性樹脂のシール材を挟装した
上下のガラス基板を加熱・加圧して該シール材を硬化さ
せ、所定の間隙を確保した液晶パネルを形成する製造装
置に関する。
置に係り、詳しくは熱硬化性樹脂のシール材を挟装した
上下のガラス基板を加熱・加圧して該シール材を硬化さ
せ、所定の間隙を確保した液晶パネルを形成する製造装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネル（ＬＣＤ）は、透明導電性電
極をコートした２枚のガラス基板間に数μｍのスペーサ
を挟装して両ガラス基板間を所定の間隔に保ち、両ガラ
ス基板間の周囲をシール材で区画した内側の空間内に液
晶を封入したもので、その２枚のガラス基板は位置合わ
せマークによって狂いなく貼り合わせられている。
極をコートした２枚のガラス基板間に数μｍのスペーサ
を挟装して両ガラス基板間を所定の間隔に保ち、両ガラ
ス基板間の周囲をシール材で区画した内側の空間内に液
晶を封入したもので、その２枚のガラス基板は位置合わ
せマークによって狂いなく貼り合わせられている。
【０００３】ところで、液晶パネルを構成する２枚のガ
ラス基板は、その一方のガラス基板の上にスペーサを散
在し、他方のガラス基板の内面（一方のガラス基板と対
向する面）には熱硬化性樹脂のシール材が取付けられ、
そうした上下のガラス基板が貼り合わせ装置によってマ
ーク合わせを行って貼り合わせられると共に、上下のガ
ラス基板が分離しないように仮止めされる。そして、貼
り合わせ仮止めされた２枚１組のガラス基板は加熱、加
圧処理して上下のガラス基板間のギャップをスペーサの
粒径までシール材を加圧して該シール材を硬化させる。
ラス基板は、その一方のガラス基板の上にスペーサを散
在し、他方のガラス基板の内面（一方のガラス基板と対
向する面）には熱硬化性樹脂のシール材が取付けられ、
そうした上下のガラス基板が貼り合わせ装置によってマ
ーク合わせを行って貼り合わせられると共に、上下のガ
ラス基板が分離しないように仮止めされる。そして、貼
り合わせ仮止めされた２枚１組のガラス基板は加熱、加
圧処理して上下のガラス基板間のギャップをスペーサの
粒径までシール材を加圧して該シール材を硬化させる。
【０００４】その従来のシール材を硬化させる装置は、
貼り合わせ仮止めした２枚１組のガラス基板の少なくと
も一方の基板を可撓性材料で覆うようにし、パネルを収
めた容器内を減圧にし、あるいは容器を外部から加圧し
た状態で基板の固着を行うようにしている。以上のよう
な構成にすることで、基板に均一に圧力を加えることが
出来る。そして、可撓性材料で基板を加圧する装置で
は、剛性の高い定盤を使用する装置に比べて加圧の均一
性はかなり改善され、ギャップ不良に伴う表示むらは減
少する。
貼り合わせ仮止めした２枚１組のガラス基板の少なくと
も一方の基板を可撓性材料で覆うようにし、パネルを収
めた容器内を減圧にし、あるいは容器を外部から加圧し
た状態で基板の固着を行うようにしている。以上のよう
な構成にすることで、基板に均一に圧力を加えることが
出来る。そして、可撓性材料で基板を加圧する装置で
は、剛性の高い定盤を使用する装置に比べて加圧の均一
性はかなり改善され、ギャップ不良に伴う表示むらは減
少する。
【０００５】又、加熱方法としては、パネル全面を加熱
できるように２枚１組の基板を挟む上・下定盤に加熱手
段を配置したものが特開平５−２３２４２０号として提
案されているが、この構成によれば炉中のヒータを用い
てパネル側面を加熱する方法に比べて高速加熱性、及び
均熱性は改善された。
できるように２枚１組の基板を挟む上・下定盤に加熱手
段を配置したものが特開平５−２３２４２０号として提
案されているが、この構成によれば炉中のヒータを用い
てパネル側面を加熱する方法に比べて高速加熱性、及び
均熱性は改善された。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、定盤の一方を
可撓性部材とすることで上・下基板間のギャップ不良は
ある程度防止することが出来るが、上・下基板の横方向
のズレや、基板の反りの発生を防止することはできなか
った。特に、生産性向上のために１つの容器の中に２組
のパネルを並べて配置した場合は、横方向のズレが大き
くなることが分かった。
可撓性部材とすることで上・下基板間のギャップ不良は
ある程度防止することが出来るが、上・下基板の横方向
のズレや、基板の反りの発生を防止することはできなか
った。特に、生産性向上のために１つの容器の中に２組
のパネルを並べて配置した場合は、横方向のズレが大き
くなることが分かった。
【０００７】又、上・下定盤に加熱手段を配置した装置
においては上下から熱が伝わるため、反りは少なくなる
が、上・下のガラス基板の数μｍ程度のズレを防止する
ことができず、この位置精度が液晶の性能向上とともに
厳しくなるにつれて、基板のズレは許容できない値とな
ってきた。更に、従来構造において、２枚１組のガラス
基板を定盤の中心に配置した場合に比べ、中心からずら
した場合や、小さな基板を複数並置した場合にズレが大
きくなることが実験によって明らかとなった。これらの
結果から、上下定盤の熱膨張係数の差や上下定盤及び定
盤の位置による定盤と基板間の摩擦係数の差によって、
定盤−基板間、基板−基板間にせん断力が発生し、特に
周縁部のみがシール材で接着される上・下基板間で最も
力が解放され易くなり、上・下基板間でズレが発生する
ということが実験によって明らかとなった。更に、上記
従来装置においては均熱性を確保するには上下の加熱手
段の熱容量を大きくすることが有効であるが、加熱・冷
却速度が犠牲にされるという問題を有している。特に、
量産装置を考えた場合は、装置がラインのタクトタイム
に見合う数用意されることになる。又、プロセス上の理
由からパネルは、装置にセットされる時少なくとも基板
に接触する部分は、ある温度以下に冷却されている必要
がある。
においては上下から熱が伝わるため、反りは少なくなる
が、上・下のガラス基板の数μｍ程度のズレを防止する
ことができず、この位置精度が液晶の性能向上とともに
厳しくなるにつれて、基板のズレは許容できない値とな
ってきた。更に、従来構造において、２枚１組のガラス
基板を定盤の中心に配置した場合に比べ、中心からずら
した場合や、小さな基板を複数並置した場合にズレが大
きくなることが実験によって明らかとなった。これらの
結果から、上下定盤の熱膨張係数の差や上下定盤及び定
盤の位置による定盤と基板間の摩擦係数の差によって、
定盤−基板間、基板−基板間にせん断力が発生し、特に
周縁部のみがシール材で接着される上・下基板間で最も
力が解放され易くなり、上・下基板間でズレが発生する
ということが実験によって明らかとなった。更に、上記
従来装置においては均熱性を確保するには上下の加熱手
段の熱容量を大きくすることが有効であるが、加熱・冷
却速度が犠牲にされるという問題を有している。特に、
量産装置を考えた場合は、装置がラインのタクトタイム
に見合う数用意されることになる。又、プロセス上の理
由からパネルは、装置にセットされる時少なくとも基板
に接触する部分は、ある温度以下に冷却されている必要
がある。
【０００８】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするとこ
ろは、ガラス基板の全面を均一に加熱できると共に、該
ガラス基板の加圧も均一な分布荷重として作用させるこ
とができ、更に加熱処理後定盤を素早く冷却できる液晶
パネル製造装置を提供することにある。
る問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするとこ
ろは、ガラス基板の全面を均一に加熱できると共に、該
ガラス基板の加圧も均一な分布荷重として作用させるこ
とができ、更に加熱処理後定盤を素早く冷却できる液晶
パネル製造装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明が講じた技術的手段は、２枚のガラス基板をス
ペーサを介在させて向き合わせ、重ね合わせた状態で加
熱・加圧し、上記２枚の基板間に配した熱硬化性樹脂か
らなるシール材を硬化させる液晶パネル製造装置におい
て、位置合わせし、且つ仮止めされた２枚一組のガラス
基板を挾着する一方の固定定盤と、その固定定盤と対向
して該定盤との間隔を広狭可変すると共に、加圧手段で
加圧される可動定盤とから成り、前記固定定盤は２層構
造としてガラス基板に近い側の上層部材に冷却手段を埋
設し、遠い側の下層部材に加熱手段を装備し、更に前記
上・下層部材の接触状態を切り離す分離機構を設け、且
つ可動定盤は加熱手段を装備した中空構造とすると共に
ガラス基板と当接する加圧面は可撓性を有する部材で構
成したことを特徴とする。
に本発明が講じた技術的手段は、２枚のガラス基板をス
ペーサを介在させて向き合わせ、重ね合わせた状態で加
熱・加圧し、上記２枚の基板間に配した熱硬化性樹脂か
らなるシール材を硬化させる液晶パネル製造装置におい
て、位置合わせし、且つ仮止めされた２枚一組のガラス
基板を挾着する一方の固定定盤と、その固定定盤と対向
して該定盤との間隔を広狭可変すると共に、加圧手段で
加圧される可動定盤とから成り、前記固定定盤は２層構
造としてガラス基板に近い側の上層部材に冷却手段を埋
設し、遠い側の下層部材に加熱手段を装備し、更に前記
上・下層部材の接触状態を切り離す分離機構を設け、且
つ可動定盤は加熱手段を装備した中空構造とすると共に
ガラス基板と当接する加圧面は可撓性を有する部材で構
成したことを特徴とする。
【００１０】上記固定定盤としては、剛性が高く熱伝導
率の良い部材、例えば金属板或いは黒鉛板等を用いるこ
とができる。但し、ガラス基板に直接接触する部材はガ
ラス基板に近い熱膨張係数を有する部材に限られる。そ
して、この上下２層に分割した固定定盤は、ガラス基板
に近い側の上層部材に冷却手段を埋設する。その冷却手
段としては水冷式がよく、従って上層部材には冷却用パ
イプを配管するための通路を形成する。又、ガラス基板
から遠い側の下層部材に加熱手段を装備することで、熱
伝導によって均熱加熱が可能となる。
率の良い部材、例えば金属板或いは黒鉛板等を用いるこ
とができる。但し、ガラス基板に直接接触する部材はガ
ラス基板に近い熱膨張係数を有する部材に限られる。そ
して、この上下２層に分割した固定定盤は、ガラス基板
に近い側の上層部材に冷却手段を埋設する。その冷却手
段としては水冷式がよく、従って上層部材には冷却用パ
イプを配管するための通路を形成する。又、ガラス基板
から遠い側の下層部材に加熱手段を装備することで、熱
伝導によって均熱加熱が可能となる。
【００１１】上記可動定盤は、平面形状が矩形状をした
断熱機能を持った枠体の一側に剛性の低い可撓性部材を
張設したもので、その可撓性部材と枠体とで区画された
中空部に加熱手段を内蔵することで可撓性部材を間接的
に加熱し、装置全体の温度分布を少なくして、ガラス基
板の均熱性を向上させる。可動定盤を構成する可撓性部
材としては、剛性の低い黒鉛板、あるいはガラス基板の
熱膨張係数と同程度の熱膨張係数を有するフィルム、例
えばポリテトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）含浸ガラス
繊維布、またはカーボン入りポリテトラフロロエチレン
（ＰＴＦＥ）含浸ガラス繊維布等が挙げられる。
断熱機能を持った枠体の一側に剛性の低い可撓性部材を
張設したもので、その可撓性部材と枠体とで区画された
中空部に加熱手段を内蔵することで可撓性部材を間接的
に加熱し、装置全体の温度分布を少なくして、ガラス基
板の均熱性を向上させる。可動定盤を構成する可撓性部
材としては、剛性の低い黒鉛板、あるいはガラス基板の
熱膨張係数と同程度の熱膨張係数を有するフィルム、例
えばポリテトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）含浸ガラス
繊維布、またはカーボン入りポリテトラフロロエチレン
（ＰＴＦＥ）含浸ガラス繊維布等が挙げられる。
【００１２】又、上記加熱手段は補助ヒータであるた
め、従来例のように上下のヒータの温度を同一に制御す
る必要はなく、固定定盤に装着した加熱手段に近い温度
に設定しておけばよい。更に、その加熱手段としては、
熱容量の小さいラバーヒータ付反射板が望ましい。反射
板は、固定定盤に装着した加熱手段の温度の上げ方いか
んでは、固定定盤からの熱を反射板で反射させること
で、ラバーヒータの出力を最低限に絞れ、省エネルギー
に貢献できる。其の反射板としては、アルミ板、或いは
金，銀のコーティングを施した金属ミラーコーティング
等が挙げられる。
め、従来例のように上下のヒータの温度を同一に制御す
る必要はなく、固定定盤に装着した加熱手段に近い温度
に設定しておけばよい。更に、その加熱手段としては、
熱容量の小さいラバーヒータ付反射板が望ましい。反射
板は、固定定盤に装着した加熱手段の温度の上げ方いか
んでは、固定定盤からの熱を反射板で反射させること
で、ラバーヒータの出力を最低限に絞れ、省エネルギー
に貢献できる。其の反射板としては、アルミ板、或いは
金，銀のコーティングを施した金属ミラーコーティング
等が挙げられる。
【００１３】更にまた、固定定盤における下層部材と上
層部材との接合面を分離する分離機構としては、偏心カ
ムを利用した機構、或いは油圧、空気圧を利用したシリ
ンダーによる機構などが挙げられる。
層部材との接合面を分離する分離機構としては、偏心カ
ムを利用した機構、或いは油圧、空気圧を利用したシリ
ンダーによる機構などが挙げられる。
【００１４】上記した手段によれば、可動定盤を中空構
造としてガラス基板と接触する加圧面を固定定盤より剛
性の低い可撓性部材で構成し、固定定盤と可動定盤の加
圧面に剛性差をつけたことで、可動定盤の剛性の低い可
撓性部材がガラス基板に密着して均一な分布荷重が与え
られ、上下のガラス基板間のギャップは均一に形成され
る。そして、固定定盤は上・下層部材の二層構造とし、
基板に近い側の上層部材に冷却手段を、基板から遠い側
の下層部材に加熱手段を装備したことで、急速冷却、急
速加熱が可能となる。しかも、上記二層構造の固定定盤
は分離機構によって接離自在に構成されていることで、
加熱・加圧成形後、上・下層部材を切り離して上層部材
を冷却すれば、冷却効率がよくなり、次のパネルをセッ
トして熱履歴を与える際、パネル上での温度分布に悪影
響を与えない。
造としてガラス基板と接触する加圧面を固定定盤より剛
性の低い可撓性部材で構成し、固定定盤と可動定盤の加
圧面に剛性差をつけたことで、可動定盤の剛性の低い可
撓性部材がガラス基板に密着して均一な分布荷重が与え
られ、上下のガラス基板間のギャップは均一に形成され
る。そして、固定定盤は上・下層部材の二層構造とし、
基板に近い側の上層部材に冷却手段を、基板から遠い側
の下層部材に加熱手段を装備したことで、急速冷却、急
速加熱が可能となる。しかも、上記二層構造の固定定盤
は分離機構によって接離自在に構成されていることで、
加熱・加圧成形後、上・下層部材を切り離して上層部材
を冷却すれば、冷却効率がよくなり、次のパネルをセッ
トして熱履歴を与える際、パネル上での温度分布に悪影
響を与えない。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の一例
を図面に基づいて説明する。図１は液晶パネル製造装置
の概略を示し、位置合わせし、且つ仮止めされた２枚一
組のガラス基板を挾着して、加熱・加圧し、ガラス基板
間に装着されたシール材を所定のギャップまで加圧し、
硬化させるもので、図中、１は上・下層部材の二層構造
からなる固定定盤、２は前記固定定盤１の上方に対向し
て配置した可動定盤、３は固定定盤１を構成する上・下
層部材１ａ，１ｂの接合状態を上下方向に切り離す分離
機構である。
を図面に基づいて説明する。図１は液晶パネル製造装置
の概略を示し、位置合わせし、且つ仮止めされた２枚一
組のガラス基板を挾着して、加熱・加圧し、ガラス基板
間に装着されたシール材を所定のギャップまで加圧し、
硬化させるもので、図中、１は上・下層部材の二層構造
からなる固定定盤、２は前記固定定盤１の上方に対向し
て配置した可動定盤、３は固定定盤１を構成する上・下
層部材１ａ，１ｂの接合状態を上下方向に切り離す分離
機構である。
【００１６】上記固定定盤１は、液晶パネルを構成する
２枚一組のガラス基板を載承するもので、剛性の高い黒
鉛板で構成した平面形状が矩形状の上層部材１ａと下層
部材１ｂとからなり、ガラス基板と接触する上層部材１
ａには冷却手段４の冷却水配管を挿入設置し、下層部材
１ｂには加熱手段５のヒータを挿入配置する。そして、
上記上・下層部材１ａ，１ｂはガラス基板を加熱・加圧
する時、対向する面（接合面）は接触状態に保持して下
層部材１ｂに挿入配置した加熱手段５の熱が上層部材１
ａに伝達されてガラス基板の加熱を効果的に行うことが
出来るように構成されている。
２枚一組のガラス基板を載承するもので、剛性の高い黒
鉛板で構成した平面形状が矩形状の上層部材１ａと下層
部材１ｂとからなり、ガラス基板と接触する上層部材１
ａには冷却手段４の冷却水配管を挿入設置し、下層部材
１ｂには加熱手段５のヒータを挿入配置する。そして、
上記上・下層部材１ａ，１ｂはガラス基板を加熱・加圧
する時、対向する面（接合面）は接触状態に保持して下
層部材１ｂに挿入配置した加熱手段５の熱が上層部材１
ａに伝達されてガラス基板の加熱を効果的に行うことが
出来るように構成されている。
【００１７】又、上記上・下層部材１ａ，１ｂの接合面
はそれぞれ平坦面に形成して全面が接触するように構成
しても、或いは上・下層部材１ａ，１ｂのいずれか一方
の接合面にその周囲を除いて凹所を形成し、その凹所の
空気層を介して下層部材１ｂの熱が上層部材１ａに熱伝
達されるように構成してもよい。この凹所を形成した場
合は固定定盤１の均熱性及び平坦性を改善することが出
来る。尚、上・下層部材１ａ，１ｂの接触は、平坦度を
良くしても接触抵抗は大きく、熱バランスをとって均熱
性を高めることも難しい。其の為に、平坦度を高める代
わりに、クッション性があって、且つ熱伝導率の良いフ
ィルム、例えば黒鉛繊維フィルムを上層部材１ａと下層
部材１ｂとの間に介在する。そして、上・下層部材１
ａ，１ｂは常に安定した接触状態を維持するように上層
部材１ａと下層部材１ｂの周囲の数箇所にスプリング６
を張設する。このスプリング６の作用で上・下層部材１
ａ，１ｂの間に挟んだ黒鉛繊維フィルムが圧縮され、上
・下層部材１ａ，１ｂの間の隙間が埋められ、均熱性が
得られる。
はそれぞれ平坦面に形成して全面が接触するように構成
しても、或いは上・下層部材１ａ，１ｂのいずれか一方
の接合面にその周囲を除いて凹所を形成し、その凹所の
空気層を介して下層部材１ｂの熱が上層部材１ａに熱伝
達されるように構成してもよい。この凹所を形成した場
合は固定定盤１の均熱性及び平坦性を改善することが出
来る。尚、上・下層部材１ａ，１ｂの接触は、平坦度を
良くしても接触抵抗は大きく、熱バランスをとって均熱
性を高めることも難しい。其の為に、平坦度を高める代
わりに、クッション性があって、且つ熱伝導率の良いフ
ィルム、例えば黒鉛繊維フィルムを上層部材１ａと下層
部材１ｂとの間に介在する。そして、上・下層部材１
ａ，１ｂは常に安定した接触状態を維持するように上層
部材１ａと下層部材１ｂの周囲の数箇所にスプリング６
を張設する。このスプリング６の作用で上・下層部材１
ａ，１ｂの間に挟んだ黒鉛繊維フィルムが圧縮され、上
・下層部材１ａ，１ｂの間の隙間が埋められ、均熱性が
得られる。
【００１８】又、固定定盤１におけるガラス基板と接触
する上層部材１ａの上面周囲には該固定定盤１の上面に
載置される２枚一組のガラス基板ａ，ｂの周囲を取り囲
むように枠７を配置固定する。この枠７は、ガラス基板
ａ，ｂの総厚さと同じ厚さとし、その枠７の外側にはＯ
リング８が取付けられ、後述する可動定盤２を下降させ
てガラス基板に当接させた時、固定定盤１と可動定盤２
及びＯリング８とで閉空間が区画され、その内部空間は
通路９を通じて真空排気し得るように構成されている。
する上層部材１ａの上面周囲には該固定定盤１の上面に
載置される２枚一組のガラス基板ａ，ｂの周囲を取り囲
むように枠７を配置固定する。この枠７は、ガラス基板
ａ，ｂの総厚さと同じ厚さとし、その枠７の外側にはＯ
リング８が取付けられ、後述する可動定盤２を下降させ
てガラス基板に当接させた時、固定定盤１と可動定盤２
及びＯリング８とで閉空間が区画され、その内部空間は
通路９を通じて真空排気し得るように構成されている。
【００１９】固定定盤１の上方に配置される可動定盤２
は、前記した固定定盤１より数回り大きい断熱機能を有
する矩形状の枠体２ａの一側開口面（下面）に可撓性部
材からなる加圧板２ｂを張設して構成する。その加圧板
２ｂとしては、ガラス基板と同程度の熱膨張率を有し、
且つ可撓性を有するシートで、例えば、ポリテトラフロ
ロエチレン（ＰＴＦＥ）含浸ガラスクロスを使用する。
そして、静電気が問題になる場合は、カーボン入りポリ
テトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）含浸ガラスクロスを
使用するとよい。上記加圧板２ｂの取付けは、加圧板２
ｂを構成するシートの縁を枠体２ａの外側面に沿って立
ち上げ、その立ち上げた縁部をシート固定金具１１で押
え、シート固定金具１１をビス１２で固定する。尚、加
圧板２ｂの張設は中央部が下方に向けて多少垂れ下がる
くらいに弛ませて固定する。
は、前記した固定定盤１より数回り大きい断熱機能を有
する矩形状の枠体２ａの一側開口面（下面）に可撓性部
材からなる加圧板２ｂを張設して構成する。その加圧板
２ｂとしては、ガラス基板と同程度の熱膨張率を有し、
且つ可撓性を有するシートで、例えば、ポリテトラフロ
ロエチレン（ＰＴＦＥ）含浸ガラスクロスを使用する。
そして、静電気が問題になる場合は、カーボン入りポリ
テトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）含浸ガラスクロスを
使用するとよい。上記加圧板２ｂの取付けは、加圧板２
ｂを構成するシートの縁を枠体２ａの外側面に沿って立
ち上げ、その立ち上げた縁部をシート固定金具１１で押
え、シート固定金具１１をビス１２で固定する。尚、加
圧板２ｂの張設は中央部が下方に向けて多少垂れ下がる
くらいに弛ませて固定する。
【００２０】又、上記可動定盤２の内部、即ち枠体２ａ
の内側で加圧板２ｂより上方位置には加熱手段１０が収
容配置されている。この可動定盤２に求められる性能
は、平面均熱性と固定定盤１との上下の温度関係であ
る。従って、加圧板２ｂに温度むらが発生しにくい加熱
手段１０の装備が望まれる。其の構造としては、図２に
示すように、平面均熱性が高く、熱容量の小さいラバー
ヒーター付反射板を加圧板の上方に吊下げ支持する。こ
のラバーヒーター付反射板１０は、シリコンラバーヒー
ター１０ａの下面に反射板１０ｂを取付けたもので、固
定定盤１の上層部材１ｂからの熱を反射板１０ｂで反射
させることで、ラバーヒーター１０ａの出力を最低限に
絞れ、省エネルギーに貢献することができる。また、反
射板１０ｂとしては、アルミ板、或いは金属ミラーコー
ティングを施した平板等が挙げられる。
の内側で加圧板２ｂより上方位置には加熱手段１０が収
容配置されている。この可動定盤２に求められる性能
は、平面均熱性と固定定盤１との上下の温度関係であ
る。従って、加圧板２ｂに温度むらが発生しにくい加熱
手段１０の装備が望まれる。其の構造としては、図２に
示すように、平面均熱性が高く、熱容量の小さいラバー
ヒーター付反射板を加圧板の上方に吊下げ支持する。こ
のラバーヒーター付反射板１０は、シリコンラバーヒー
ター１０ａの下面に反射板１０ｂを取付けたもので、固
定定盤１の上層部材１ｂからの熱を反射板１０ｂで反射
させることで、ラバーヒーター１０ａの出力を最低限に
絞れ、省エネルギーに貢献することができる。また、反
射板１０ｂとしては、アルミ板、或いは金属ミラーコー
ティングを施した平板等が挙げられる。
【００２１】以上の如く構成した可動定盤２は支持部材
１３に吊下げ支持し、支持部材１３を下方に移動させる
ことで加圧板２ｂを固定定盤１のＯリング
１３に吊下げ支持し、支持部材１３を下方に移動させる
ことで加圧板２ｂを固定定盤１のＯリング
【００２２】固定定盤１を構成する上・下層部材１ａ，
１ｂを接触状態から切り離す分離機構３は、偏心シャフ
ト１４を利用したもので、固定定盤１の左右両側にそれ
ぞれ２台を中心から前後方向に等距離の間隔をおいて設
置し、それら分離機構を同時に作動させることで上層部
材１ａを下層部材１ｂとの接触から切り離して上方に持
ち上げる。その分離機構３は、ハウジング１５に偏心シ
ャフト１４をベアリング１６を介して回転可能に支持
し、その偏心シャフト１４の先端側、即ち上層部材１ａ
の下面を支持する箇所にはベアリング１６’が取付けら
れ、偏心シャフト１４の基端側はロータリーシリンダー
１７の出力軸にカップリング１８で連結され、ロータリ
ーシリンダー１７の回転で偏心シャフト１４が回転する
ように構成されている。そして、その偏心シャフト１４
の回転によりベアリング１６’を介して上層部材１ａが
寸法Ｌだけ持ち上げられ、下層部材１ｂとの接触が切り
離される。尚、分離機構３における偏心シャフト１４を
回転させる駆動源としては上述したロータリーシリンダ
ー（空気式アクチュエーター）に限定されるものではな
く、電動モータでもよいものである。又、上・下層部材
１ａ，１ｂは上述した分離機構３の動作時、両者の相対
的な位置関係がズレないように案内支柱等で支持してあ
る。
１ｂを接触状態から切り離す分離機構３は、偏心シャフ
ト１４を利用したもので、固定定盤１の左右両側にそれ
ぞれ２台を中心から前後方向に等距離の間隔をおいて設
置し、それら分離機構を同時に作動させることで上層部
材１ａを下層部材１ｂとの接触から切り離して上方に持
ち上げる。その分離機構３は、ハウジング１５に偏心シ
ャフト１４をベアリング１６を介して回転可能に支持
し、その偏心シャフト１４の先端側、即ち上層部材１ａ
の下面を支持する箇所にはベアリング１６’が取付けら
れ、偏心シャフト１４の基端側はロータリーシリンダー
１７の出力軸にカップリング１８で連結され、ロータリ
ーシリンダー１７の回転で偏心シャフト１４が回転する
ように構成されている。そして、その偏心シャフト１４
の回転によりベアリング１６’を介して上層部材１ａが
寸法Ｌだけ持ち上げられ、下層部材１ｂとの接触が切り
離される。尚、分離機構３における偏心シャフト１４を
回転させる駆動源としては上述したロータリーシリンダ
ー（空気式アクチュエーター）に限定されるものではな
く、電動モータでもよいものである。又、上・下層部材
１ａ，１ｂは上述した分離機構３の動作時、両者の相対
的な位置関係がズレないように案内支柱等で支持してあ
る。
【００２３】次に上述した製造装置の動作について説明
すると、固定定盤１に対して可動定盤２を上方に引き上
げた開いた状態で、位置合わせし且つ仮止めされた２枚
一組のガラス基板ａ，ｂを固定定盤１の上層部材１ａの
上面に載置する。次に、可動定盤２を下方に下げて該定
盤の加圧板２ｂをＯリング８に接触させ、加圧板２ｂと
Ｏリング８と上層部材１ｂとで閉空間を形成し、固定定
盤１の通路９を通して前記閉空間の内部を真空排気す
る。それにより、可動定盤２の加圧板２ｂはガラス基板
ａに沿うように、変形して密着し、ガラス基板ａ，ｂは
加圧される。そして、其の状態で固定定盤１の加熱手段
５と、可動定盤２の加熱手段１０を作動させると固定定
盤１は下層部材１ｂから熱伝導で上層部材１ｂが加熱さ
れ、熱伝達によってガラス基板ａ，ｂを加熱し、従来と
同様にしてガラス基板ａ，ｂ間のシール材を所定のギャ
ップまで圧縮して固着する。この時、加熱と共にガラス
基板ａ，ｂ及び固定定盤１、可動定盤２の加圧板２ｂも
熱膨張するが、固定定盤１及び加圧板２ｂは熱膨張係数
がガラス基板と略同一であるためズレは抑制できる。
尚、前記加熱は可動定盤２の加熱手段１０がヒーター付
反射板である場合は、固定定盤１からの熱が反射板１０
ｂで反射されてガラス基板ａの加熱に貢献するため加熱
手段１０自体のヒーターの出力を最低限に絞ることが出
来る。
すると、固定定盤１に対して可動定盤２を上方に引き上
げた開いた状態で、位置合わせし且つ仮止めされた２枚
一組のガラス基板ａ，ｂを固定定盤１の上層部材１ａの
上面に載置する。次に、可動定盤２を下方に下げて該定
盤の加圧板２ｂをＯリング８に接触させ、加圧板２ｂと
Ｏリング８と上層部材１ｂとで閉空間を形成し、固定定
盤１の通路９を通して前記閉空間の内部を真空排気す
る。それにより、可動定盤２の加圧板２ｂはガラス基板
ａに沿うように、変形して密着し、ガラス基板ａ，ｂは
加圧される。そして、其の状態で固定定盤１の加熱手段
５と、可動定盤２の加熱手段１０を作動させると固定定
盤１は下層部材１ｂから熱伝導で上層部材１ｂが加熱さ
れ、熱伝達によってガラス基板ａ，ｂを加熱し、従来と
同様にしてガラス基板ａ，ｂ間のシール材を所定のギャ
ップまで圧縮して固着する。この時、加熱と共にガラス
基板ａ，ｂ及び固定定盤１、可動定盤２の加圧板２ｂも
熱膨張するが、固定定盤１及び加圧板２ｂは熱膨張係数
がガラス基板と略同一であるためズレは抑制できる。
尚、前記加熱は可動定盤２の加熱手段１０がヒーター付
反射板である場合は、固定定盤１からの熱が反射板１０
ｂで反射されてガラス基板ａの加熱に貢献するため加熱
手段１０自体のヒーターの出力を最低限に絞ることが出
来る。
【００２４】上記の加熱・加圧による成形後、固定定盤
１の加熱手段５と可動定盤２の加熱手段１０のヒーター
を切り、前記閉空間を大気圧に戻し、可動定盤２を上方
に移動させて固定定盤１上の成形品（貼り合わせガラス
基板）を取り出す。そして、取り出した後固定定盤１の
上層部材１ａの冷却手段４を作動させて該固定定盤１を
冷却するが、冷却手段４を備えた上層部材１ａが加熱さ
れた下層部材１ｂと接触した状態のまま冷却した場合、
所定の温度まで冷却するのに要する時間が長くかかると
共に、熱のロスが非常に大きくなり冷却効率が悪く、生
産性に大きく影響することになる。其の為、本製造装置
は上下二層構造の固定定盤を分離機構で切り離し自在と
することで、加熱成形後の冷却時は上層部材１ａと下層
部材１ｂを切り離し、下層部材１ｂの熱影響を無くした
状態で上層部材１ａを冷却することができる。そして、
上記操作により次のガラス基板が載せられる上層部材１
ａの表面温度を所定の温度以下に素早く冷却でき、次の
ガラス基板をセットして熱履歴を与えるに際して、基板
上での温度分布にバラツキがでるのを防止できる。一
方、加熱時、上層部材１ａと下層部材１ｂを接触させ、
上層部材１ａの冷却能力でガラス基板の温度プロフィー
ルをフレキシブルに設定する運転も可能となる。
１の加熱手段５と可動定盤２の加熱手段１０のヒーター
を切り、前記閉空間を大気圧に戻し、可動定盤２を上方
に移動させて固定定盤１上の成形品（貼り合わせガラス
基板）を取り出す。そして、取り出した後固定定盤１の
上層部材１ａの冷却手段４を作動させて該固定定盤１を
冷却するが、冷却手段４を備えた上層部材１ａが加熱さ
れた下層部材１ｂと接触した状態のまま冷却した場合、
所定の温度まで冷却するのに要する時間が長くかかると
共に、熱のロスが非常に大きくなり冷却効率が悪く、生
産性に大きく影響することになる。其の為、本製造装置
は上下二層構造の固定定盤を分離機構で切り離し自在と
することで、加熱成形後の冷却時は上層部材１ａと下層
部材１ｂを切り離し、下層部材１ｂの熱影響を無くした
状態で上層部材１ａを冷却することができる。そして、
上記操作により次のガラス基板が載せられる上層部材１
ａの表面温度を所定の温度以下に素早く冷却でき、次の
ガラス基板をセットして熱履歴を与えるに際して、基板
上での温度分布にバラツキがでるのを防止できる。一
方、加熱時、上層部材１ａと下層部材１ｂを接触させ、
上層部材１ａの冷却能力でガラス基板の温度プロフィー
ルをフレキシブルに設定する運転も可能となる。
【００２５】
【発明の効果】本発明の液晶パネル製造装置は請求項１
に記載の構成により、ガラス基板の全面を均一に加熱で
きると共に、該ガラス基板の加圧も均一な分布荷重とし
て加圧でき、更に加熱処理後、ガラス基板が載置される
側の定盤表面を所定の温度以下に素早く冷却することが
できる。又、請求項２に記載の構成により、ガラス基板
を上下の加熱手段で加熱する際、下側の熱を反射板で反
射させてガラス基板に効果的に作用させることができる
ため、可動定盤側に装備するヒーターは熱容量の小さい
もので良く、省エネルギーに貢献できる装置を提供でき
る。更に、請求項３に記載の構成により、加熱時の熱膨
張によるズレを抑制できる。
に記載の構成により、ガラス基板の全面を均一に加熱で
きると共に、該ガラス基板の加圧も均一な分布荷重とし
て加圧でき、更に加熱処理後、ガラス基板が載置される
側の定盤表面を所定の温度以下に素早く冷却することが
できる。又、請求項２に記載の構成により、ガラス基板
を上下の加熱手段で加熱する際、下側の熱を反射板で反
射させてガラス基板に効果的に作用させることができる
ため、可動定盤側に装備するヒーターは熱容量の小さい
もので良く、省エネルギーに貢献できる装置を提供でき
る。更に、請求項３に記載の構成により、加熱時の熱膨
張によるズレを抑制できる。
【図１】 本発明の製造装置の実施の形態の一例を示す
一部切欠正面図である。
一部切欠正面図である。
【図２】 可動定盤の構造を示す拡大断面図である。
【図３】 固定定盤の上・下層部材を切り離す分離機構
の配置を示す平面図である。
の配置を示す平面図である。
【図４】 偏心シャフトによる分離機構の動作を示す説
明図で、（ａ）は上層部材が下層部材と接触している状
態、（ｂ）は上層部材が分離機構で上方へ移動された状
態を示す。
明図で、（ａ）は上層部材が下層部材と接触している状
態、（ｂ）は上層部材が分離機構で上方へ移動された状
態を示す。
１…固定定盤 １ａ…上層部材 １ｂ…下層部材 ２…可動定盤 ３…分離機構 ４…冷却手段 ５…加熱手段 １０…加熱手段（可動定盤側） ａ，ｂ…ガラス基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古閑 泰行 東京都千代田区神田錦町２丁目９番地 信 越エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 片桐 清男 東京都千代田区神田錦町２丁目９番地 信 越エンジニアリング株式会社内 Ｆターム(参考） 2H089 KA01 NA37 NA60 QA16
Claims (3)
- 【請求項１】 ２枚のガラス基板をスペーサを介在させ
て向き合わせ、重ね合わせた状態で加熱・加圧し、上記
２枚の基板間に配した熱硬化性樹脂からなるシール材を
硬化させる液晶パネル製造装置において、位置合わせ
し、且つ仮止めされた２枚一組のガラス基板を挾着する
一方の固定定盤と、その固定定盤と対向して該定盤との
間隔を広狭可変すると共に、加圧手段で加圧される可動
定盤とから成り、前記固定定盤は２層構造としてガラス
基板に近い側の上層部材に冷却手段を埋設し、遠い側の
下層部材に加熱手段を装備し、更に前記上・下層部材の
接触状態を切り離す分離機構を設け、且つ可動定盤は加
熱手段を装備した中空構造とすると共にガラス基板と当
接する加圧面は可撓性を有する部材で構成したことを特
徴とする液晶パネル製造装置。 - 【請求項２】 上記可動定盤が、中空部にヒーター付反
射板を内蔵したものである請求項１記載の液晶パネル製
造装置。 - 【請求項３】 上記可動定盤における可撓性の加圧部材
が、ガラス基板と同程度の熱膨張率を有する可撓性のフ
ィルムである請求項１又は請求項２記載の液晶パネル製
造装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10235637A JP2934438B1 (ja) | 1998-08-21 | 1998-08-21 | 液晶パネル製造装置 |
| TW088103349A TW491955B (en) | 1998-08-21 | 1999-03-05 | Liquid crystal panel production apparatus |
| KR1019990011805A KR20000016847A (ko) | 1998-08-21 | 1999-04-06 | 액정패널제조장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10235637A JP2934438B1 (ja) | 1998-08-21 | 1998-08-21 | 液晶パネル製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2934438B1 JP2934438B1 (ja) | 1999-08-16 |
| JP2000066218A true JP2000066218A (ja) | 2000-03-03 |
Family
ID=16988982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10235637A Expired - Fee Related JP2934438B1 (ja) | 1998-08-21 | 1998-08-21 | 液晶パネル製造装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2934438B1 (ja) |
| KR (1) | KR20000016847A (ja) |
| TW (1) | TW491955B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7692756B2 (en) | 2001-12-21 | 2010-04-06 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
| US7785655B2 (en) | 2003-05-09 | 2010-08-31 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
| US7950345B2 (en) | 2002-12-20 | 2011-05-31 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
| US8899175B2 (en) | 2002-03-23 | 2014-12-02 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing liquid crystal material |
| USRE46146E1 (en) | 2002-02-20 | 2016-09-13 | Lg Display Co., Ltd | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100658267B1 (ko) | 2005-08-31 | 2006-12-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플렉시블 디스플레이 제조용 필름 트레이 |
-
1998
- 1998-08-21 JP JP10235637A patent/JP2934438B1/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-03-05 TW TW088103349A patent/TW491955B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-04-06 KR KR1019990011805A patent/KR20000016847A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7692756B2 (en) | 2001-12-21 | 2010-04-06 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
| USRE46146E1 (en) | 2002-02-20 | 2016-09-13 | Lg Display Co., Ltd | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
| US8899175B2 (en) | 2002-03-23 | 2014-12-02 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing liquid crystal material |
| US7950345B2 (en) | 2002-12-20 | 2011-05-31 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
| US9285614B2 (en) | 2003-04-24 | 2016-03-15 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
| US7785655B2 (en) | 2003-05-09 | 2010-08-31 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW491955B (en) | 2002-06-21 |
| JP2934438B1 (ja) | 1999-08-16 |
| KR20000016847A (ko) | 2000-03-25 |
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