JP2000065566A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項1】 距離または光線の入射角度測定装置であって、該光線を測定されるべき物体上に投影するための光学的放出すなわち放光システム(7)と、反射された光線を位置検出器上に投影するための光学的受容すなわち受光システム(11、13および22、25および30)を有している測定装置において、前記受光システム(11、13および21、25および30)はその光線をして角度変化が圧縮されて屈折せしめるプリズム(11、22)を有しており、かくして対応する測定範囲を測定するのに必要とされる位置検出器(12、24)の寸法を減少することが可能とされていることを特徴とする測定装置。
【請求項2】 光線の入射角度測定装置であって、該光線を測定されるべき物体上に投影するための光学的放出すなわち放光システム(7)と、反射された光線を位置検出器上に投影するための光学的受容すなわち受光システム(26、28、29および30)とを有する測定装置において、前記受光システムは光線をして角度変化が拡大されて屈折せしめるプリズム(26)を有しており、かくして小さな角度変化に対する位置検出器(27)の感度を増大することが許容されていることを特徴とする測定装置。
【請求項3】 請求項1に記載の測定装置において、前記プリズム(11、22)の入口表面(10、23)は受光システムの光軸(AO′)とほぼ45°の角度をなしていることを特徴とする測定装置。
【請求項4】 請求項2に記載の測定装置において、前記プリズム(26)の出口表面(29)が前記受光システムの光軸(AO″)とほぼ40°の角度をなしていることを特徴とする測定装置。
【請求項5】 前記プリズムの出口表面が光学的要素(13、25および28および30)を有して、屈折した光線を位置検出器(12、24、27)上に投影するようにされていることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
【請求項6】 前記第1のプリズム(11)の出口表面および第2のプリズム(26)の出口表面に設けられた光学的要素は屈折された光線を前記位置検出器(12、24、27)上に集光する単一の球状鏡(30)または2つの球状鏡によって構成されていることを特徴とする、請求項5に記載の測定装置。
【請求項7】 前記プリズム(11)を有する前記受光システムが、放光システムとは分離されており、光学軸(AO′)と平行をなして配設されている位置検出器(12)上に屈折光線を投影するべく、前記プリズムおよび前記光学的要素(13)の出口表面下に配設されている鏡(19)を有しており、前記放光システムおよび受光システムはハウジング(14)内に配設された検出器を形成していることを特徴とする、請求項1に記載の測定装置。
【請求項8】 前記受光システム(21と22、25)が集光レンズ(25)を備えた前記プリズム(22)と、集光レンズまたはレンズ部分(21)の組合せ物を有しており、前記要素の各々は屈折光を受光し、該屈折光をして光線と受光システムの光学軸(AO′)との間に形成される角度を供なって前記位置検出器(24)上に投影せしめるように作られていることを特徴とする、請求項1に記載の測定装置。
【請求項9】 前記位置検出器(24)は前記受光システムの光学軸(AO′)に関して90°の角度をなして配置されていることを特徴とする、請求項8に記載の測定装置。
【請求項10】 請求項1に記載の測定装置であって、1つの組立体を有しており、該組立体は放光システム(7)と、光線を圧縮を供なって屈折する受光システム(11、13、21、22、25、30)と、光線をして角度変化の拡大を伴なって屈折せしめる受光システム(26、28、29、30)と、位置検出器(12、24および27)とを1つのハウジング(31)内に組合せて有していることを特徴とする測定装置。
【請求項1】 距離または光線の入射角度測定装置であって、該光線を測定されるべき物体上に投影するための光学的放出すなわち放光システム(7)と、反射された光線を位置検出器上に投影するための光学的受容すなわち受光システム(11、13および22、25および30)を有している測定装置において、前記受光システム(11、13および21、25および30)はその光線をして角度変化が圧縮されて屈折せしめるプリズム(11、22)を有しており、かくして対応する測定範囲を測定するのに必要とされる位置検出器(12、24)の寸法を減少することが可能とされていることを特徴とする測定装置。
【請求項2】 光線の入射角度測定装置であって、該光線を測定されるべき物体上に投影するための光学的放出すなわち放光システム(7)と、反射された光線を位置検出器上に投影するための光学的受容すなわち受光システム(26、28、29および30)とを有する測定装置において、前記受光システムは光線をして角度変化が拡大されて屈折せしめるプリズム(26)を有しており、かくして小さな角度変化に対する位置検出器(27)の感度を増大することが許容されていることを特徴とする測定装置。
【請求項3】 請求項1に記載の測定装置において、前記プリズム(11、22)の入口表面(10、23)は受光システムの光軸(AO′)とほぼ45°の角度をなしていることを特徴とする測定装置。
【請求項4】 請求項2に記載の測定装置において、前記プリズム(26)の出口表面(29)が前記受光システムの光軸(AO″)とほぼ40°の角度をなしていることを特徴とする測定装置。
【請求項5】 前記プリズムの出口表面が光学的要素(13、25および28および30)を有して、屈折した光線を位置検出器(12、24、27)上に投影するようにされていることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
【請求項6】 前記第1のプリズム(11)の出口表面および第2のプリズム(26)の出口表面に設けられた光学的要素は屈折された光線を前記位置検出器(12、24、27)上に集光する単一の球状鏡(30)または2つの球状鏡によって構成されていることを特徴とする、請求項5に記載の測定装置。
【請求項7】 前記プリズム(11)を有する前記受光システムが、放光システムとは分離されており、光学軸(AO′)と平行をなして配設されている位置検出器(12)上に屈折光線を投影するべく、前記プリズムおよび前記光学的要素(13)の出口表面下に配設されている鏡(19)を有しており、前記放光システムおよび受光システムはハウジング(14)内に配設された検出器を形成していることを特徴とする、請求項1に記載の測定装置。
【請求項8】 前記受光システム(21と22、25)が集光レンズ(25)を備えた前記プリズム(22)と、集光レンズまたはレンズ部分(21)の組合せ物を有しており、前記要素の各々は屈折光を受光し、該屈折光をして光線と受光システムの光学軸(AO′)との間に形成される角度を供なって前記位置検出器(24)上に投影せしめるように作られていることを特徴とする、請求項1に記載の測定装置。
【請求項9】 前記位置検出器(24)は前記受光システムの光学軸(AO′)に関して90°の角度をなして配置されていることを特徴とする、請求項8に記載の測定装置。
【請求項10】 請求項1に記載の測定装置であって、1つの組立体を有しており、該組立体は放光システム(7)と、光線を圧縮を供なって屈折する受光システム(11、13、21、22、25、30)と、光線をして角度変化の拡大を伴なって屈折せしめる受光システム(26、28、29、30)と、位置検出器(12、24および27)とを1つのハウジング(31)内に組合せて有していることを特徴とする測定装置。
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