JP2000063149A - 感光性ガラス板への孔開け加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高い位置精度で、かつ、深さ寸法の精度の高
い孔を形成することのできる感光性ガラス板への孔開け
加工方法を提供すること。 【解決手段】 紫外線に対する遮光性を備えた低融点ガ
ラス層３を挟んで第１および第２の感光性ガラス板１、
２同士を貼り合わせて積層ガラス７を形成し、第１およ
び第２の感光性ガラス板１、２にそれぞれ第１および第
２のマスク５、６を介して紫外線を照射して第１および
第２の潜像部１１、２１を形成する。この積層ガラス７
に熱現像処理を行って第１および第２の潜像部１１、２
１を結晶化し、積層ガラス７から前記第１および第２の
潜像部１１、２１をエッチング除去するとともに、低融
点ガラス層３のうち第１および第２の潜像部１１、２１
が除去されて露出した部分をエッチング除去する。その
結果、積層ガラス７に段付き孔８を形成できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性ガラス板へ
の孔開け加工方法に関するものである。さらに詳しく
は、感光性ガラス板の表裏それぞれに孔開け加工を行う
ための技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットヘッドのノズルやドット
プリンタのワイヤガイド等には、途中で径寸法の変わる
段差が形成された段付き孔が使用されている。このよう
な段付き孔を形成する方法は、特開平２−９２８３９号
公報、特開平６−２２７８４３号公報および特開平６−
２８６１３号公報に開示されている。

【０００３】これらの先行技術のうち、特開平２−９２
８３９号公報に開示されている段付き孔の形成方法で
は、まず、２枚の感光性ガラス板に対してそれぞれ別々
にマスク露光して潜像を形成した後、熱処理して潜像を
結晶化する。次に、２枚の感光性ガラス板のそれぞれに
エッチングを行って各潜像部分を除去することにより、
２枚の感光性ガラス板にそれぞれ異なる径寸法の貫通孔
を形成し、しかる後に２つの貫通孔が重なるように２枚
の感光性ガラス板を貼り合わせることにより段付き孔を
形成する。

【０００４】また、特開平６−２２７８４３号公報に開
示されている段付き孔の形成方法では、まず、感光性ガ
ラス板にマスク露光を行って第１の潜像を形成し、熱処
理して第１の潜像を結晶化した後、第１の潜像と重なる
領域にマスク露光を行い、第１の潜像より径の大きな第
２の潜像を形成する。次に、感光性ガラス板にエッチン
グを行うことにより、すでに結晶化している第１の潜像
部分のみを除去し、第２の潜像の内側に小径孔を形成す
る。次に、感光性ガラス板を再び熱処理して第２の潜像
を結晶化した後、第２の潜像の内側に形成された小径孔
に耐エッチング材からなるシール材を充填する一方、第
２の潜像の一方の端面部をシール材で覆う。次に、感光
性ガラス板にエッチングを行うことにより、第２の潜像
のうち、シール材で覆われた側とは反対側の端面部から
所定の深さ分のみを除去し、シール材で覆った側に第２
の潜像の一部を残す。しかる後に、シール材を除去する
ことにより、段付き孔を形成する。

【０００５】さらに、特開平６−２８６１６３号公報に
開示されている段付き孔の形成方法では、まず、感光性
ガラス板にマスク露光を行い、感光性ガラス板を貫通す
る第１の潜像を形成し、次に、感光性ガラス板に第１の
潜像と重ねる領域に対してマスク露光を行い、第１の潜
像よりも浅くて大きい第２の潜像を形成する。次に、感
光性ガラス板を熱処理して第１および第２の潜像を結晶
化し、しかる後にエッチングして第１および第２の潜像
部分を一括して除去することにより段付き孔を形成す
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に開示されている感光性ガラス板への段付き孔の形成
方法には、次のような問題がある。

【０００７】まず、特開平２−９２８３９号公報に開示
されている段付き孔の形成方法では、２枚の感光性ガラ
ス板にそれぞれ形成した潜像の大きさが異なるので、感
光性ガラス板に熱処理を施した際に、２枚の感光性ガラ
ス板の熱収縮量に差が生じる。従って、２つの貫通孔が
正確に重なるように２枚の感光性ガラス板を精度よく貼
り合わせるのが難しい。このため、段付き孔の大径部分
と小径部分の位置関係がずれてしまうという問題があ
る。

【０００８】また、特開平６−２２７８４３号公報に開
示されている段付き孔の形成方法では、感光性ガラス板
を熱処理して第１の潜像を結晶化させた後、第２の潜像
を形成するための露光を行う。従って、第２の潜像を形
成するための露光を行う際には、第１の潜像を結晶化さ
せるための熱処理によって感光性ガラス板に熱収縮が起
きているので、第２の潜像を形成する際のマスク合わせ
が難しい。このため、第２の潜像の位置を精度よく設定
できない。それ故、この方法でも、段付き孔の大径部分
と小径部分の位置関係がずれてしまう。また、第２の潜
像に対するエッチング深さによって小径部分の深さ寸法
や大径部分の深さ寸法が決まるが、このような深さ寸法
を高い精度で制御できるほどエッチング条件を管理する
のは困難である。しかも、第２の潜像の途中までしかエ
ッチングしないので、第２潜像の残された部分の表面が
孔内の段差面となるが、この第２の潜像の残された部分
の表面を平坦にエッチングするのは困難である。このた
め、段付き孔の内面は粗いものとなってしまう。

【０００９】さらに、特開平６−２８６１６３号公報に
開示されている段付き孔の形成方法では、第２の潜像を
形成する際の露光量によって段付き孔の大径部分の深さ
寸法を決めることになるが、このような深さ寸法を高い
精度で制御できるほど露光量を管理するのは困難であ
る。

【００１０】以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、
感光性ガラスからなる板材の表裏に高い位置精度で、か
つ、深さ寸法の精度の高い孔をそれぞれ形成することの
できる感光性ガラス板への孔開け加工方法を提供するこ
とにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の感光性ガラス板への孔開け加工方法では、
紫外線に対する遮光性を有する低融点ガラスを挟んで第
１の感光性ガラス板と第２の感光性ガラス板とを貼り合
わせて積層ガラスを形成する貼り合わせ工程と、前記積
層ガラスのうちの前記第１の感光性ガラス板に第１のマ
スクを介して紫外線を照射して第１の潜像部を形成する
とともに、前記第２の感光性ガラス板に第２のマスクを
介して紫外線を照射して第２の潜像部を形成する露光工
程と、前記積層ガラスに熱処理を行って前記第１および
第２の潜像部を結晶化させる熱現像工程と、前記積層ガ
ラスから前記第１および第２の潜像部をエッチング除去
することにより当該積層ガラスの表裏に孔を形成するエ
ッチング工程とを行うことを特徴とする。

【００１２】本発明では、貼り合わせ工程において第１
および第２の感光性ガラス板を低融点ガラス層を介して
貼り合わせて積層ガラスを形成し、この積層ガラスに対
して露光工程を行っているので、第１および第２の感光
性ガラス板の何れをも熱現像工程において高温に晒す前
に露光工程を行うことになる。従って、第１および第２
の感光性ガラス板の何れにも熱による変形が発生してい
ないので、露光工程によって第１および第２の感光性ガ
ラス板のそれぞれに形成した第１および第２の潜像部
（第１および第２の潜像部をエッチング除去することに
よって形成される各孔）の間に高い位置精度を確保でき
る。また、露光工程を行う前に、貼り合わせ工程におい
て第１および第２の感光性ガラス板を貼り合わせておく
ので、貼り合わせ工程では第１および第２の感光性ガラ
ス板を高い精度で位置合わせする必要がない。従って、
感光性ガラス板に対してアライメントマークを付けた
り、感光性ガラス板を位置合わせするための高価な設備
を準備する必要がない。しかも、第１の感光性ガラス板
と第２の感光性ガラス板とを貼り合わせている低融点ガ
ラス層は、金属と比べて感光性ガラスと熱膨張係数が近
い。従って、第１および第２の感光性ガラス板の貼り合
わせに際して応力が小さいので、第１の感光性ガラス板
と第２の感光性ガラス板の接合強度が高いという利点が
ある。

【００１３】また、別々に熱処理を施す方法とは違い、
第１および第２の感光性ガラス板は、貼り合わせ工程に
おいて貼り合わされた状態で熱現像工程において加熱さ
れるので、第１および第２の感光性ガラス板の間で結晶
化のパターンが相違していても、熱収縮量が同等であ
る。従って、第１の感光性ガラス板に形成された第１の
潜像部と第２の感光性ガラス板に形成された第２の潜像
部との間の位置精度（第１および第２の潜像部に相当す
る部分に形成された孔の位置精度）が熱現像工程によっ
て低下するということがない。また、第１および第２の
感光性ガラス板同士を貼り合わせた状態で熱現像工程に
おいて熱処理を施すので、１回の熱処理によって第１の
感光性ガラス板に形成された第１の潜像部と第２の感光
性ガラス板に形成された第２の潜像部の結晶化が終了す
る。従って、第１の感光性ガラス板と第２の感光性ガラ
ス板を別々に熱処理する方法と比べて、熱処理にかかる
工数を低減できる。

【００１４】さらに、第１の感光性ガラス板と第２の感
光性ガラス板との間に紫外線に対する遮光性を備えた低
融点ガラス層を介在させた状態で露光工程を行うので、
露光量が変動しても、第１の潜像部の深さ寸法は第１の
感光性ガラス板の厚さ寸法に一致し、第２の潜像部の深
さ寸法は第２の感光性ガラス板の厚さ寸法に一致する。
しかも、エッチング工程では、潜像部に対するエッチン
グを途中で停止させる方法とは違って、第１および第２
の感光性ガラス板に形成された第１および第２の潜像部
全体を除去するので、エッチング時間が変動しても、そ
こに形成される孔の深さ寸法は、第１および第２の感光
性ガラス板の厚さ寸法に一致する。従って、第１および
第２の感光性ガラス板のそれぞれに形成した孔の深さ寸
法の精度が高い。

【００１５】さらにまた、潜像部とそうでない部分の境
界面が孔の内面となるので、潜像部の途中までしかエッ
チング除去しない方法と比較して、内面が平滑な孔を形
成できる。

【００１６】本発明において、前記露光工程では、第１
および第２の感光性ガラス板の間で異なる位置に潜像部
を形成することにより、これらの感光性ガラス板からな
る積層ガラスの表裏に独立した孔を形成してもよいが、
前記露光工程において、前記第１の潜像部と前記第２の
潜像部とが互いに異なる径寸法をもって重なるように露
光し、前記エッチング工程では、前記積層ガラスから前
記第１および第２の潜像部をエッチング除去するととも
に前記第１および第２の潜像部との間に位置する部分の
前記低融点ガラス層をエッチッグ除去することにより、
前記積層ガラスに対して段付き孔を形成することが好ま
しい。

【００１７】また、前記エッチング工程では、前記第１
および第２の感光性ガラス板、および前記低融点ガラス
層の双方に対してエッチング性を有するエッチング液を
用いることが好ましい。このように構成すると、一度の
エッチング処理によって潜像部と低融点ガラス層とをエ
ッチンッグ除去できる。

【００１８】本発明において、前記貼り合わせ工程で
は、たとえば、低融点ガラス粉末および着色剤を含むペ
ースト状組成物の層を前記第１および第２の感光性ガラ
ス板のうちの少なくとも一方の感光性ガラス板に形成し
た後、当該ペースト状組成物の層を挟んで前記第１の感
光性ガラス板と前記第２の感光性ガラス板とを重ね合わ
せ、しかる後に前記ペースト状組成物を加熱し前記低融
点ガラス粉末を溶融させることにより、紫外線に対する
遮光性を有する低融点ガラス層を挟んで前記第１の感光
性ガラス板と前記第２の感光性ガラス板とを貼り合わせ
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
の感光性ガラス板への孔開け加工方法の実施の形態を説
明する。

【００２０】［段付き孔の形成方法］図１（Ａ）〜
（Ｈ）は、本発明の感光性ガラス板への孔開け加工方法
を示す説明図である。これらの図を参照して、感光性ガ
ラス板に段付き孔を形成する方法を説明する。

【００２１】まず、図１（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、
ＬｉＯ₂ などを含有する感光性ガラス板（第１および第
２の感光性ガラス板１、２）を２枚、準備する。この感
光性ガラス板は、紫外線照射された部分に熱処理を施す
と、リチウムシリケート（Ｓｉ−ＬｉＯ₂ ）の微細な結
晶が析出し、このような微細な結晶が析出した部分は弗
酸（フッ化水素酸）系のエッチングによってエッチング
除去できる性質を有する。そこで、本形態では、このよ
うな性質を利用して、表裏に孔の形成された感光性ガラ
スからなる板材（後述する積層ガラス）を製造すること
を特徴とする。本形態では、２枚の感光性ガラス板のう
ち、第１の感光性ガラス板１の厚さ寸法はｔ１であり、
第２の感光性ガラス板２の厚さ寸法はｔ２である。

【００２２】（貼り合わせ工程）このように準備した感
光性ガラス板のうち、図１（Ａ）に示すように、第１の
感光性ガラス板１の上面に、スクリーン印刷法あるいは
ロールコータ法等の方法によりガラスペースト３１を数
マイクロメートルの厚さで塗布する。ここで用いたガラ
スペースト３１は、第１および第２の感光性ガラス板
１、２よりも融点が低いホウケイ酸鉛ガラス等の低融点
ガラスの粉末、カーボンブラック等の紫外線に対する遮
光性を有する着色剤、樹脂、および有機溶剤を配合した
ペースト状組成物である。

【００２３】次に、ガラスペースト３１を仮焼成する。
すなわち、ガラスペースト３１が塗布された第１の感光
性ガラス板１を加熱炉に入れて、２００℃〜５００℃の
温度で加熱する。この加熱により、図１（Ｂ）に示すよ
うに、ガラスペースト３１から樹脂および溶剤が除去さ
れて第１の感光性ガラス板１の上面に低融点ガラス層３
が形成される。

【００２４】次に、図１（Ｃ）に示すように、第１の感
光性ガラス板１の上面に形成された低融点ガラス層３の
上に第２の感光性ガラス板２を重ねる。

【００２５】次に、第１および第２の感光性ガラス板
１、２の両側から荷重をかけながら、第１および第２の
感光性ガラス板１、２を加熱・冷却する。その結果、図
１（Ｄ）に示すように、薄く延ばされた低融点ガラス層
３によって第１の感光性ガラス板１と第２の感光性ガラ
ス板２とが熱融着され、第１の感光性ガラス板１と第２
の感光性ガラス板２とが貼り合わさた積層ガラス７が形
成される。

【００２６】（露光工程）次に、図１（Ｅ）に示すよう
に、第１の感光性ガラス板１の表面１２に、パターニン
グ用の第１のマスク５を取り付ける。第１のマスク５に
は第１の円形窓５１が形成されている。また、第２の感
光性ガラス板２の表面２２には、パターニング用の第２
のマスク６を取り付ける。第２のマスク６には第１の円
形窓５１よりも大きめの第２の円形窓６１が形成されて
いる。ここで、第１および第２のマスク５、６の第１の
円形窓５１の中心と第２の円形孔の中心とを垂直な軸線
Ｌ上で重ねる。

【００２７】このようにして第１および第２のマスク
５、６を配置した後、第１のマスク５を介して第１の感
光性ガラス板１の表面１２に対して垂直に紫外線を照射
する。このようにすると、第１の感光性ガラス板１に
は、第１の円形窓５１に対応する断面形状をもって第１
の感光性ガラス板１の厚さ方向に延びる円柱状の第１の
潜像部１１が形成される。ここで、第１および第２の感
光性ガラス板１、２の間には、紫外線を遮光する着色が
施された低融点ガラス層３が形成されているので、紫外
線は第１の感光性ガラス板１を透過した時点で遮光さ
れ、第２の感光性ガラス板２には届かない。

【００２８】また、第２のマスク６を介して第２の感光
性ガラス板２の表面２２に対しても垂直に紫外線を照射
する。このようにすると、第２の感光性ガラス板２に
は、第２の円形窓６１に対応する断面形状をもって第２
の感光性ガラス板２の厚さ方向に延びる円柱状の第２の
潜像部２１が形成される。ここで、第１および第２の感
光性ガラス板１、２の間には紫外線を遮光する着色が施
された低融点ガラス層３が形成されているので、紫外線
は第２の感光性ガラス板２を透過した時点で遮光され、
第１の感光性ガラス板１には届かない。

【００２９】（熱現像工程）このようにして第１および
第２の潜像部１１、２１を形成した積層ガラス７に熱処
理（熱現像処理）を施す。その結果、図１（Ｆ）に示す
ように、第１および第２の感光性ガラス板１、２に形成
された第１および第２の潜像部１１、２１が結晶化し、
エッチングされやすくなる。

【００３０】（エッチング工程）次に、感光性ガラス板
７をエッチング液に浸漬する。エッチング液は、例えば
フッ酸５重量％および硝酸１０重量％の水溶液である。
従って、このエッチング液に配合したフッ酸により、積
層ガラス７に形成されている第１および第２の潜像部１
１、２１が除去される。その結果、図１（Ｇ）に示すよ
うに、積層ガラス７の表裏にはそれぞれ、第１の潜像部
１１が除去されて形成された小径孔１４と、第２の潜像
部２１が除去されて形成された大径孔２４が形成され
る。また、小径孔１４および大径孔２４の底面部では、
第１および第２の感光性ガラス板１、２の間に挟まれて
いた低融点ガラス層３が露出することになり、この露出
した低融点ガラス層３は、エッチング液に混入している
硝酸によって除去される。その結果、図１（Ｈ）に示す
ように、小径孔１４と大径孔２４とが連結された段付き
孔８が形成される。

【００３１】（本形態の効果）以上説明したように、本
形態の加工方法によれば、貼り合わせ工程において第１
および第２の感光性ガラス板１、２を低融点ガラス層３
を介して貼り合わせて積層ガラス７を形成し、この積層
ガラス７に対して露光工程を行っているので、第１およ
び第２の感光性ガラス板１、２の何れについても、熱現
像工程において高温に晒す前に露光工程を行うことにな
る。従って、第１および第２の感光性ガラス板１、２の
何れにも熱による変形が発生していないので、露光工程
によって第１および第２の感光性ガラス板１、２のそれ
ぞれに形成した第１および第２の潜像部１１、２１の間
に高い位置精度を確保できる。このため、第１の潜像部
１１の中心と第２の潜像部２１の中心とを完全に一致さ
せることができるので、第１の潜像部１１を除去するこ
とにより形成される小径孔１４の中心軸線Ｌ１と、第２
の潜像部２１を除去することにより形成される大径孔２
４の中心軸線Ｌ２とが完全に一致した位置精度の高い段
付き孔８を形成することができる。

【００３２】また、露光工程を行う前に、貼り合わせ工
程において第１および第２の感光性ガラス板１、２を貼
り合わせておくので、貼り合わせ工程では第１および第
２の感光性ガラス板１、２を高い精度で位置合わせする
必要がない。従って、感光性ガラス板に対してアライメ
ントマークを付けたり、感光性ガラス板を位置合わせす
るための高価な設備を準備する必要がない。

【００３３】しかも、第１の感光性ガラス板１と第２の
感光性ガラス板２とを融着するために用いている低融点
ガラス層３は、金属と比べて感光性ガラスと熱膨張係数
が近い。従って、第１および第２の感光性ガラス板１、
２の貼り合わせに際して応力が小さいので、第１の感光
性ガラス板１と第２の感光性ガラス板２の接合強度が高
いという利点もある。

【００３４】さらに、第１および第２の感光性ガラス板
１、２を別々に熱処理を施す方法とは違い、別々に熱処
理を施す方法とは違い、第１および第２の感光性ガラス
板１、２は、貼り合わせ工程において貼り合わされた
後、熱現像工程において加熱されるので、第１および第
２の感光性ガラス板１、２の間で結晶化のパターンが相
違していても、熱収縮量が同等である。従って、第１の
感光性ガラス板１に形成された第１の潜像部１１と第２
の感光性ガラス板１２に形成された第２の潜像部２１と
の間の位置精度（第１および第２の潜像部１２、２１に
相当する部分に形成された小径孔１４および大径孔２４
の位置精度）が熱現像工程によって低下するということ
がない。それ故、第１および第２の潜像部１１、２１に
相当する部分に形成される段付き孔８の小径孔１４と大
径孔２４との間において位置精度が高い。

【００３５】また、第１の感光性ガラス板１と第２の感
光性ガラス板２とを貼り合わせた状態で熱現像工程を行
うので、１回の熱現像処理によって第１の感光性ガラス
板１に形成された第１の潜像部１１と第２の感光性ガラ
ス板２に形成された第２の潜像部２１の結晶化が終了す
る。従って、第１の感光性ガラス板１と第２の感光性ガ
ラス板２を別々に熱現像処理する方法と比べて、熱現像
処理にかかる工数を低減できる。

【００３６】さらに、第１の感光性ガラス板１と第２の
感光性ガラス板２との間に紫外線に対する遮光性を備え
た低融点ガラス層８を介在させた状態で露光工程を行う
ので、第１の感光性ガラス板１に照射された紫外線は、
第１の感光性ガラス板１を透過しても第２の感光性ガラ
ス板２には届かない。また、第２の感光性ガラス板２に
照射された紫外線は第２の感光性ガラス板２を透過して
も第１の感光性ガラス板１には届かない。従って、露光
量が変動しても、第１の潜像部１１の深さ寸法ｄ１は第
１の感光性ガラス板１の厚さ寸法ｔ１に一致し、第２の
潜像部２１の深さ寸法ｄ２は第２の感光性ガラス板２の
厚さ寸法ｔ２に一致する。このため、露光量を管理する
ことによって潜像部の深さ寸法を決める方法とは違い、
第１および第２の潜像部１１、２１の深さ寸法ｄ１、ｄ
２を正確に決めることができる。しかも、エッチング工
程では、潜像部に対するエッチングを途中で停止させる
方法とは違って、第１および第２の感光性ガラス板１、
２に形成された第１および第２の潜像部１１、２１の全
体を除去している。このため、エッチング時間が変動し
ても、そこに形成される小径孔１４と大径孔２４の深さ
寸法ｄ１、ｄ２は、第１および第２の感光性ガラス板
１、２の厚さ寸法ｔ１、ｔ２に一致する。従って、第１
および第２の感光性ガラス板１、２のそれぞれに形成し
た小径孔１４および大径孔２４の深さ寸法ｄ１、ｄ２の
精度が高い。それ故、深さ寸法の精度が高い段付き孔８
を形成できる。

【００３７】さらにまた、第１および第２の潜像部１
１、２１とそうでない部分の境界面が段付き孔８の内面
となるので、潜像部の途中までしかエッチング除去しな
い方法と比較して、内面が平滑な段付き孔８を形成でき
る。

【００３８】また、エッチング工程では、第１および第
２の感光性ガラス板１、２に形成された第１および第２
の潜像部１１、２１を溶解するためのフッ酸と、低融点
ガラス層８を溶解する硝酸とを配合したエッチング液を
用いているので、一度のエッチング処理によって第１お
よび第２の潜像部１１、２１と低融点ガラス層８とを溶
解することができる。従って、別々のエッチング液を用
いて、二度に分けてそれぞれを溶解する場合と比べて、
手間をかけずにエッチング処理を行うことができる。

【００３９】［その他の実施の形態］なお、上記形態で
は、露光工程において、第１の潜像部１１と第２の潜像
部２１とが互いに異なる径寸法をもって重なるように露
光することにより、積層ガラス７に対して段付き孔８を
形成しているが、第１および第２の感光性ガラス板の間
で異なる位置に潜像部を形成することにより、これらの
感光性ガラス板からなる積層ガラスの表裏に独立した孔
を形成してもよい。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の感光性ガ
ラス板への孔開け加工方法では、第１および第２の感光
性ガラス板を貼り合わせた後、熱現像工程において高温
に晒す前に露光工程を行う。従って、第１および第２の
感光性ガラス板に熱変形が発生していないので、露光工
程において第１および第２の感光性ガラス板のそれぞれ
に形成した第１および第２の潜像部（第１および第２の
潜像部をエッチング除去することによって形成される各
孔）の間に高い位置精度を確保できる。また、露光工程
を行う前に第１および第２の感光性ガラス板を貼り合わ
せておくので、第１および第２の感光性ガラス板を高い
精度で貼り合わす必要がない。従って、感光性ガラス板
に対してアライメントマークを付けたり、感光性ガラス
板を位置合わせするための高価な設備を準備する必要が
ない。しかも、低融点ガラス層は感光性ガラスと熱膨張
係数が近いため、貼り合わせに際しての応力が小さいの
で、第１の感光性ガラス板と第２の感光性ガラス板の接
合強度が高いる。さらに、第１および第２の感光性ガラ
ス板は、貼り合わされた状態で熱現像工程に供されるの
で、第１および第２の感光性ガラス板の間で結晶化のパ
ターンが相違していても、熱収縮量が同等である。従っ
て、第１の感光性ガラス板に形成された第１の潜像部と
第２の感光性ガラス板に形成された第２の潜像部との間
の位置精度（第１および第２の潜像部に相当する部分に
形成された孔の位置精度）が熱現像工程によって低下し
ない。また、第１および第２の感光性ガラス板同士を貼
り合わせた状態で熱現像工程およびエッチング工程を行
うので、工数を低減できる。さらにまた、第１の感光性
ガラス板と第２の感光性ガラス板との間に遮光性を備え
た低融点ガラス層を介在させた状態で露光工程を行うの
で、露光量が変動しても、第１の潜像部の深さ寸法は第
１の感光性ガラス板の厚さ寸法に一致し、第２の潜像部
の深さ寸法は第２の感光性ガラス板の厚さ寸法に一致す
る。しかも、エッチング工程では、潜像部に対するエッ
チングを途中で停止させる方法とは違って、第１および
第２の感光性ガラス板に形成された第１および第２の潜
像部全体を除去するので、エッチング時間が変動して
も、そこに形成される孔の深さ寸法は、第１および第２
の感光性ガラス板の厚さ寸法に一致する。従って、第１
および第２の感光性ガラス板のそれぞれに形成した孔の
深さ寸法の精度が高い。しかも、潜像部とそうでない部
分の境界面が孔の内面となるので、潜像部の途中までし
かエッチング除去しない方法と比較して、内面が平滑な
孔を形成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）〜（Ｈ）はそれぞれ、本発明の感光性ガ
ラス板への孔開け加工方法を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 第１の感光性ガラス板 ２ 第２の感光性ガラス板 ３ 低融点ガラス層 ５ 第１のマスク ６ 第２のマスク ７ 積層ガラス ８ 段付き孔 １１ 第１の潜像部 １４ 小径孔 ２１ 第２の潜像部 ２４ 大径孔 ３１ ガラスペースト

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 紫外線に対する遮光性を有する低融点ガ
   ラス層を挟んで第１の感光性ガラス板と第２の感光性ガ
   ラス板とを貼り合わせて積層ガラスを形成する貼り合わ
   せ工程と、 前記積層ガラスのうちの前記第１の感光性ガラス板に第
   １のマスクを介して紫外線を照射して第１の潜像部を形
   成するとともに、前記第２の感光性ガラス板に第２のマ
   スクを介して紫外線を照射して第２の潜像部を形成する
   露光工程と、 前記積層ガラスに熱処理を行って前記第１および第２の
   潜像部を結晶化させる熱現像工程と、 前記積層ガラスから前記第１および第２の潜像部をエッ
   チング除去することにより当該積層ガラスの表裏に孔を
   形成するエッチング工程とを有することを特徴とする感
   光性ガラス板への孔開け加工方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記露光工程では、
   前記第１の潜像部と前記第２の潜像部とが互いに異なる
   径寸法をもって重なるように露光し、 前記エッチング工程では、前記積層ガラスから前記第１
   および第２の潜像部をエッチング除去するとともに前記
   第１および第２の潜像部との間に位置する部分の前記低
   融点ガラス層をエッチッグ除去することにより、前記積
   層ガラスに対して段付き孔を形成することを特徴とする
   感光性ガラス板への孔開け加工方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２において、前記エッチ
   ング工程では、前記第１および第２の感光性ガラス板、
   および前記低融点ガラス層の双方に対してエッチング性
   を有するエッチング液を用いることを特徴とする感光性
   ガラス板への孔開け加工方法。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３の何れかおいて、前記
   貼り合わせ工程では、低融点ガラス粉末および着色剤を
   含むペースト状組成物の層を前記第１および第２の感光
   性ガラス板のうちの少なくとも一方の感光性ガラス板に
   形成した後、当該ペースト状組成物の層を挟んで前記第
   １の感光性ガラス板と前記第２の感光性ガラス板とを重
   ね合わせ、しかる後に前記ペースト状組成物を加熱し前
   記低融点ガラス粉末を溶融させることにより、紫外線に
   対する遮光性を有する低融点ガラス層を挟んで前記第１
   の感光性ガラス板と前記第２の感光性ガラス板とを貼り
   合わせることを特徴とする感光性ガラス板への孔開け加
   工方法。