JP2000061936A - シリコンウェ−ハの保持具 - Google Patents
シリコンウェ−ハの保持具Info
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- JP2000061936A JP2000061936A JP23691598A JP23691598A JP2000061936A JP 2000061936 A JP2000061936 A JP 2000061936A JP 23691598 A JP23691598 A JP 23691598A JP 23691598 A JP23691598 A JP 23691598A JP 2000061936 A JP2000061936 A JP 2000061936A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 シリコンウェ−ハを片面だけでなく両面を加
工して利用することが考えられ、それに伴って、表裏両
面の加工、検査が必要となり、従来の保持具ではシリコ
ンウェ−ハを片面ずつ二回に分けて検査を行う作業性の
悪いものとなり、しかも面部分に保持具が触れて傷を付
けてしまうという問題を有している。 【解決手段】 シリコンウェ−ハの径に合った所望長さ
の円弧状で、その内周側に沿って溝を形成した保持体
を、対向して配置できるように二本の保持体を支持体に
円弧状に移動可能に支持し、保持体をシリコンウェ−ハ
に沿って移動させてシリコンウェ−ハを直径上で挟む位
置で保持体を停止させてシリコンウェ−ハの外周の一部
を上記溝で保持するようにしたことを特徴とする。
工して利用することが考えられ、それに伴って、表裏両
面の加工、検査が必要となり、従来の保持具ではシリコ
ンウェ−ハを片面ずつ二回に分けて検査を行う作業性の
悪いものとなり、しかも面部分に保持具が触れて傷を付
けてしまうという問題を有している。 【解決手段】 シリコンウェ−ハの径に合った所望長さ
の円弧状で、その内周側に沿って溝を形成した保持体
を、対向して配置できるように二本の保持体を支持体に
円弧状に移動可能に支持し、保持体をシリコンウェ−ハ
に沿って移動させてシリコンウェ−ハを直径上で挟む位
置で保持体を停止させてシリコンウェ−ハの外周の一部
を上記溝で保持するようにしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はシリコンウェ−ハの
保持具に関する。
保持具に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコンウェ−ハは、その利用価値を増
大させるために、直径の大径化がすすみ、従来２００ｍ
ｍであったものが３００ｍｍおよび４００ｍｍとなる傾
向にある。これらのシリコンウェ−ハは、通常、合成樹
脂製のパッケージの内側に形成された複数の溝に表面を
上にして順次段積みに一枚ずつ挿入し、加工、検査もし
くは使用に際してそこから一枚ずつ抜き出されている。
大させるために、直径の大径化がすすみ、従来２００ｍ
ｍであったものが３００ｍｍおよび４００ｍｍとなる傾
向にある。これらのシリコンウェ−ハは、通常、合成樹
脂製のパッケージの内側に形成された複数の溝に表面を
上にして順次段積みに一枚ずつ挿入し、加工、検査もし
くは使用に際してそこから一枚ずつ抜き出されている。
【０００３】そのパッケージへの挿抜に際しては、表面
の加工面には触れないようにしゃもじ状の保持具を裏側
に当てて持ち上げて溝に沿って挿抜している。
の加工面には触れないようにしゃもじ状の保持具を裏側
に当てて持ち上げて溝に沿って挿抜している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、近時そのシ
リコンウェ−ハを片面だけでなく両面を加工して利用す
ることが考えられ、それに伴って、表裏両面の加工、検
査が必要となり、上記の保持具では一枚のシリコンウェ
−ハを片面ずつ二回に分けて検査を行うという作業性の
悪いものとなり、しかも面部分に保持具が触れて傷を付
けてしまうという問題を有している。
リコンウェ−ハを片面だけでなく両面を加工して利用す
ることが考えられ、それに伴って、表裏両面の加工、検
査が必要となり、上記の保持具では一枚のシリコンウェ
−ハを片面ずつ二回に分けて検査を行うという作業性の
悪いものとなり、しかも面部分に保持具が触れて傷を付
けてしまうという問題を有している。
【０００５】さらに、このシリコンウェ−ハの加工およ
び検査にあたっては極めて微量な塵も許されないため
に、厳密な環境のもとで加工および検査が行われること
になり、シリコンウェ−ハを保持する際にも微細な塵を
発生させることなく、しかも保持具が鏡状の両加工面に
傷を付けるおそれがあるために触れてはいけないという
条件が要求される。
び検査にあたっては極めて微量な塵も許されないため
に、厳密な環境のもとで加工および検査が行われること
になり、シリコンウェ−ハを保持する際にも微細な塵を
発生させることなく、しかも保持具が鏡状の両加工面に
傷を付けるおそれがあるために触れてはいけないという
条件が要求される。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、シリコ
ンウェ−ハの径に合った所望長さの円弧状で、その内周
側に沿って溝を形成した保持体を、対向して配置できる
ように二本の保持体を支持体に円弧状に移動可能に支持
し、保持体をシリコンウェ−ハに沿って移動させてシリ
コンウェ−ハを直径上で挟む位置で保持体を停止させて
シリコンウェ−ハの外周の一部を上記溝で保持するよう
にしたことを特徴とする。
ンウェ−ハの径に合った所望長さの円弧状で、その内周
側に沿って溝を形成した保持体を、対向して配置できる
ように二本の保持体を支持体に円弧状に移動可能に支持
し、保持体をシリコンウェ−ハに沿って移動させてシリ
コンウェ−ハを直径上で挟む位置で保持体を停止させて
シリコンウェ−ハの外周の一部を上記溝で保持するよう
にしたことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。図１は全体説明図、図２は保持体と
支持体を示す拡大断面図、図３は保持体の説明図、図４
は保持体の断面図、図５は保持体の溝の形状例を示す断
面説明図、図６はシリコンウェ−ハを保持した状態の説
明図である。
を用いて説明する。図１は全体説明図、図２は保持体と
支持体を示す拡大断面図、図３は保持体の説明図、図４
は保持体の断面図、図５は保持体の溝の形状例を示す断
面説明図、図６はシリコンウェ−ハを保持した状態の説
明図である。
【０００８】図において、１は保持体であり、シリコン
ウェ−ハ５の径に合った所望長さの円弧状であり、内周
側に沿って溝２が形成されている。この溝の形状は例え
ば図示する如く、Ｖ形、Ｕ形、台形、半円形や多角形等
であって開口側に向かって広がった面を有する形状が好
ましい。この溝２の斜面３がシリコンウェ−ハ５の外周
肩部に触れるかもしくは台形やＵ形等の場合に内周部が
シリコンウェ−ハ５の外周端部に触れて線状保持もしく
はわずかな面状保持で保持することになる。これは、シ
リコンウェ−ハ５の外周形状は加工精度が一定せず場合
によっては、必ずしも理想的な線状保持とはならず面状
保持となる場合がある。
ウェ−ハ５の径に合った所望長さの円弧状であり、内周
側に沿って溝２が形成されている。この溝の形状は例え
ば図示する如く、Ｖ形、Ｕ形、台形、半円形や多角形等
であって開口側に向かって広がった面を有する形状が好
ましい。この溝２の斜面３がシリコンウェ−ハ５の外周
肩部に触れるかもしくは台形やＵ形等の場合に内周部が
シリコンウェ−ハ５の外周端部に触れて線状保持もしく
はわずかな面状保持で保持することになる。これは、シ
リコンウェ−ハ５の外周形状は加工精度が一定せず場合
によっては、必ずしも理想的な線状保持とはならず面状
保持となる場合がある。
【０００９】このような保持体１は対向して位置するこ
とができるように二本の保持体１を支持体６に円弧状に
移動可能に支持される。この支持に際しては図３に示す
如く、保持体１に支持部４を形成し、その支持部４を介
して支持体６に支持させるとよい。上記保持体１の支持
部４は、支持体６に形成されている案内溝７内に円弧状
に移動可能に嵌合している構造であり、例えば図２に示
す如く、左右の保持体１の支持部４は上下に位置した状
態で配置されている。なお、支持体６の構造および保持
体１の支持部４の構造はどのような構造でもよく、図示
するような段違い状やまたは同一平面状等どのような形
状でもよく、また保持体１と支持部４を全長にわたって
全一体に形成してもよいもので、いずれの形状にしても
保持体１が円弧状に移動できる構造であればよい。さら
に例えば、支持体６が図示するような箱型の形状ではな
く単なる板状の構造とし、その支持体６に支持部４を重
ねただけの構造としてもよい。
とができるように二本の保持体１を支持体６に円弧状に
移動可能に支持される。この支持に際しては図３に示す
如く、保持体１に支持部４を形成し、その支持部４を介
して支持体６に支持させるとよい。上記保持体１の支持
部４は、支持体６に形成されている案内溝７内に円弧状
に移動可能に嵌合している構造であり、例えば図２に示
す如く、左右の保持体１の支持部４は上下に位置した状
態で配置されている。なお、支持体６の構造および保持
体１の支持部４の構造はどのような構造でもよく、図示
するような段違い状やまたは同一平面状等どのような形
状でもよく、また保持体１と支持部４を全長にわたって
全一体に形成してもよいもので、いずれの形状にしても
保持体１が円弧状に移動できる構造であればよい。さら
に例えば、支持体６が図示するような箱型の形状ではな
く単なる板状の構造とし、その支持体６に支持部４を重
ねただけの構造としてもよい。
【００１０】支持体６には円弧状に長孔８が形成されて
おり、支持体６に設けた柄９に移動可能に取り付けた操
作部１０に一端を回動可能に係止した作動アーム１１の
他端をその長孔８を介して支持部４に回動可能に連結し
てある。なお、上記長孔８の形成個所は必ずしも左右共
に一方面側に形成する必要はなく、図示する如く、左右
が反対面側に形成してもよく、その場合には、この作動
アーム１１の連結個所も互いに異なる側、つまり一方は
表側で他方が裏側で連結されることになる。また、操作
部１０への作動アーム１１の係止位置も支持部４への連
結とは逆にして作動アーム１１が交差するようにして係
止してもよい。
おり、支持体６に設けた柄９に移動可能に取り付けた操
作部１０に一端を回動可能に係止した作動アーム１１の
他端をその長孔８を介して支持部４に回動可能に連結し
てある。なお、上記長孔８の形成個所は必ずしも左右共
に一方面側に形成する必要はなく、図示する如く、左右
が反対面側に形成してもよく、その場合には、この作動
アーム１１の連結個所も互いに異なる側、つまり一方は
表側で他方が裏側で連結されることになる。また、操作
部１０への作動アーム１１の係止位置も支持部４への連
結とは逆にして作動アーム１１が交差するようにして係
止してもよい。
【００１１】このような保持体１と支持体６との構成に
よると、操作部１０を操作することにより保持体１を移
動させ、長孔８の端部まで移動させると、保持体１は移
動し、シリコンウェ−ハ５を直径上で左右の保持体１は
停止してシリコンウェ−ハ５を保持することになる。し
たがって、操作部１０は手動の場合には手で操作する
が、自動機にこの保持具をセットした場合には操作部１
０に自動装置を連結することにより、自動的に操作する
ことができる。
よると、操作部１０を操作することにより保持体１を移
動させ、長孔８の端部まで移動させると、保持体１は移
動し、シリコンウェ−ハ５を直径上で左右の保持体１は
停止してシリコンウェ−ハ５を保持することになる。し
たがって、操作部１０は手動の場合には手で操作する
が、自動機にこの保持具をセットした場合には操作部１
０に自動装置を連結することにより、自動的に操作する
ことができる。
【００１２】なお、以上の説明において、上記した如
く、支持体６はどのような構成でもよく、円弧状の二つ
の保持体１を円滑に移動させることができる構造であれ
ばよい。また、上記説明では保持体１は支持部４を介し
て作動アーム１１と連結してあるが、必ずしも支持部４
がなくてもよく、保持体１に直接作動アーム１１を連結
してもよい。さらに、通常は二つの対向する保持体１は
同じ長さのもので対称となるが、場合によっては長さが
異なり非対称の形状としてもよい。
く、支持体６はどのような構成でもよく、円弧状の二つ
の保持体１を円滑に移動させることができる構造であれ
ばよい。また、上記説明では保持体１は支持部４を介し
て作動アーム１１と連結してあるが、必ずしも支持部４
がなくてもよく、保持体１に直接作動アーム１１を連結
してもよい。さらに、通常は二つの対向する保持体１は
同じ長さのもので対称となるが、場合によっては長さが
異なり非対称の形状としてもよい。
【００１３】また、保持体１の溝２の内周面や支持体６
の溝７の内周面等の摺動個所に摩擦抵抗を低くするため
に樹脂等による表面処理を施しておくとよい。以上のよ
うな構成によると、シリコンウェ−ハ５の外周部に保持
体１を合わせ、操作部１０を操作することにより両方の
保持体１は移動するもので、その移動によって保持体１
はシリコンウェ−ハ５の外周に沿って移動し、作動アー
ム１１の連結個所を長孔８の端部（途中にストッパが設
けられていてもよい。）まで移動させると、シリコンウ
ェ−ハ５を直径上で挟む位置で保持体１は停止してシリ
コンウェ−ハ５を溝２で保持して挟持することができ
る。
の溝７の内周面等の摺動個所に摩擦抵抗を低くするため
に樹脂等による表面処理を施しておくとよい。以上のよ
うな構成によると、シリコンウェ−ハ５の外周部に保持
体１を合わせ、操作部１０を操作することにより両方の
保持体１は移動するもので、その移動によって保持体１
はシリコンウェ−ハ５の外周に沿って移動し、作動アー
ム１１の連結個所を長孔８の端部（途中にストッパが設
けられていてもよい。）まで移動させると、シリコンウ
ェ−ハ５を直径上で挟む位置で保持体１は停止してシリ
コンウェ−ハ５を溝２で保持して挟持することができ
る。
【００１４】このようにシリコンウェ−ハ５の外周の一
部を線状保持して挟持することができるために、表裏両
面の加工面に触れることなく挟持すことができ、柄９を
操作することによりシリコンウェ−ハ５の検査や加工
を、表裏両面が可能となりしかも両面を連続して行うこ
とが可能となる。
部を線状保持して挟持することができるために、表裏両
面の加工面に触れることなく挟持すことができ、柄９を
操作することによりシリコンウェ−ハ５の検査や加工
を、表裏両面が可能となりしかも両面を連続して行うこ
とが可能となる。
【００１５】
【発明の効果】以上詳細に説明した本発明によると、シ
リコンウェ−ハの径に合った所望長さの円弧状で、その
内周側に沿って溝を形成した保持体を、対向して配置で
きるように二本の保持体を支持体に円弧状に移動可能に
支持し、保持体をシリコンウェ−ハに沿って移動させて
シリコンウェ−ハを直径上で挟む位置で保持体を停止さ
せてシリコンウェ−ハの外周の一部を上記溝で保持して
挟持するようにしたことにより、シリコンウェ−ハの表
裏両面の加工面に触れることなく挟持することができる
効果を有する。
リコンウェ−ハの径に合った所望長さの円弧状で、その
内周側に沿って溝を形成した保持体を、対向して配置で
きるように二本の保持体を支持体に円弧状に移動可能に
支持し、保持体をシリコンウェ−ハに沿って移動させて
シリコンウェ−ハを直径上で挟む位置で保持体を停止さ
せてシリコンウェ−ハの外周の一部を上記溝で保持して
挟持するようにしたことにより、シリコンウェ−ハの表
裏両面の加工面に触れることなく挟持することができる
効果を有する。
【００１６】さらに、保持体をシリコンウェ−ハに沿っ
て移動させて保持するためにパッケージに積層されるシ
リコンウェ−ハの上下部に保持体を挿入するような隙間
を必要としないためにパッケージがコンパクトになると
いう効果を有する。また、保持体はシリコンウェ−ハの
外周肩部の一部を挟持するために、表裏両面の加工面を
覆うことがない状態で保持でき、その結果検査や加工の
作業を表裏連続して行うことができる効果を有する。
て移動させて保持するためにパッケージに積層されるシ
リコンウェ−ハの上下部に保持体を挿入するような隙間
を必要としないためにパッケージがコンパクトになると
いう効果を有する。また、保持体はシリコンウェ−ハの
外周肩部の一部を挟持するために、表裏両面の加工面を
覆うことがない状態で保持でき、その結果検査や加工の
作業を表裏連続して行うことができる効果を有する。
【００１７】さらに、保持体をシリコンウェ−ハの外周
肩部の一部を挟持する構造としたことにより、表裏両面
を加工面としたシリコンウェ−ハの開発を可能とした効
果を有する。また、保持体の溝に斜面を形成するとシリ
コンウェ−ハの外周肩部を線状保持することが可能とな
り、表裏両面を加工面に触れずに保持できるという効果
を有する。
肩部の一部を挟持する構造としたことにより、表裏両面
を加工面としたシリコンウェ−ハの開発を可能とした効
果を有する。また、保持体の溝に斜面を形成するとシリ
コンウェ−ハの外周肩部を線状保持することが可能とな
り、表裏両面を加工面に触れずに保持できるという効果
を有する。
【図１】実施の形態例を示す全体説明図
【図２】保持体と支持体を示す拡大断面説明図
【図３】保持体の説明図
【図４】図３Ａ−Ａ線拡大断面図
【図５】保持体の溝の形状例を示す断面説明図
【図６】シリコンウェ−ハを保持した状態の説明図
１ 保持体
２ 溝
３ 斜面
４ 支持部
５ シリコンウェ−ハ
６ 支持体
７ 案内溝
８ 長孔
９ 柄
１０ 操作部
１１ 作動アーム
Claims (4)
- 【請求項１】 シリコンウェ−ハの径に合った所望長さ
の円弧状で、その内周側に沿って溝を形成した保持体
を、対向して配置できるように二本の保持体を支持体に
円弧状に移動可能に支持し、保持体をシリコンウェ−ハ
に沿って移動させてシリコンウェ−ハを直径上で挟む位
置で保持体を停止させてシリコンウェ−ハの外周の一部
を上記溝で保持するようにしたことを特徴とするシリコ
ンウェ−ハの保持具。 - 【請求項２】 請求項１において、溝が斜面を有する溝
であり、その斜面によってシリコンウェ−ハの周囲を挟
持して保持するようにしたことを特徴とするシリコンウ
ェ−ハの保持具。 - 【請求項３】 請求項１において、支持体に円弧状の長
孔を形成すると共に柄を設け、この柄に移動可能に取り
付けた操作部に一端を回動可能に係止した二本の作動ア
ームの他端をその長孔を介してそれぞれ保持体に回動可
能に連結したことを特徴とするシリコンウェ−ハの保持
具。 - 【請求項４】 請求項３において、保持体に支持部を設
け、この支持部に作動アームの端部を支持体の長孔を介
して回動可能に連結したことを特徴とするシリコンウェ
−ハの保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23691598A JP2000061936A (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | シリコンウェ−ハの保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23691598A JP2000061936A (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | シリコンウェ−ハの保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000061936A true JP2000061936A (ja) | 2000-02-29 |
Family
ID=17007645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23691598A Pending JP2000061936A (ja) | 1998-08-24 | 1998-08-24 | シリコンウェ−ハの保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000061936A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007051356A1 (fr) * | 2005-11-07 | 2007-05-10 | Jianzhong Yuan | Procédé de traitement d’une plaquette de silicium utilisée pour une cellule solaire |
| JP2012004522A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Brewer Science Inc | 逆に装着されたデバイスウェーハーをキャリヤー基板から分離する方法および装置 |
-
1998
- 1998-08-24 JP JP23691598A patent/JP2000061936A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007051356A1 (fr) * | 2005-11-07 | 2007-05-10 | Jianzhong Yuan | Procédé de traitement d’une plaquette de silicium utilisée pour une cellule solaire |
| JP2012004522A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Brewer Science Inc | 逆に装着されたデバイスウェーハーをキャリヤー基板から分離する方法および装置 |
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