JP2000061477A - 水処理設備 - Google Patents

水処理設備

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JP2000061477A
JP2000061477A JP10230627A JP23062798A JP2000061477A JP 2000061477 A JP2000061477 A JP 2000061477A JP 10230627 A JP10230627 A JP 10230627A JP 23062798 A JP23062798 A JP 23062798A JP 2000061477 A JP2000061477 A JP 2000061477A
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ozone
oxygen
treated water
purification tank
water
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JP10230627A
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Masaoki Takahashi
正興 高橋
Norimichi Ito
憲道 伊藤
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IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
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  • Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 処理水の浄化を効率よく行なうことができ、
オゾンから還元される酸素の有効利用を図ることができ
る水処理設備を提供する。 【解決手段】 オゾン7と浄化すべき被処理水17と
を、気液送給手段22により混合して一次浄化タンク4
1へ送給し、高オゾン濃度状態の被処理水17を一次浄
化タンク41内で浄化し、被処理水17の浄化によりオ
ゾン7から還元される酸素5を、一次浄化タンク41内
から酸素回収管23を介してオゾン発生手段21へ送気
し、酸素5の有効利用を図る。更に、一次浄化タンク4
1内で浄化された処理済水35を、処理水移送管43を
介して二次浄化タンク42へ移送し、大気圧状態で処理
済水35から放出される余剰の未反応のオゾン7を、オ
ゾン除去装置44によって酸素5に還元する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、生活排水などを浄
化する水処理設備に関するものである。
【0002】
【従来の技術】家庭から排出される生活排水や事業所か
ら排出される産業排水は、下水道を介して排水処理施設
に集められ、種々の処理が行なわれて浄化された後、河
川や海に放流されている。
【0003】図3は従来の水処理設備の一例を示すもの
であり、この水処理設備は、浄化(脱臭・脱色・滅菌)
すべき処理水1を貯留し得る反応槽本体2と、該反応槽
本体2の内底部に設置され且つ多数の気体放出口を有す
る気泡発生手段3と、空気4を加圧及び圧縮して酸素5
を抽出する酸素発生手段6と、該酸素発生手段6により
抽出された酸素5に放電を行なってオゾン7を発生させ
るオゾン発生手段8と、該オゾン発生手段8により発生
させたオゾン7を前記の気泡発生手段3へ送給する圧縮
機などの送気手段9と、オゾン7を分解し得るオゾンキ
ラーなどのオゾン除去手段10と、反応槽本体2の非液
体貯留空間11に存在する空気12や種々のガスをオゾ
ン除去手段10へ送給する送風機などの排気手段13と
を備えている。
【0004】反応槽本体2の一側には、樋状の処理水流
入口14が設けられ、反応槽本体2の他側には、前記の
処理水流入口14よりも低い位置に孔状の処理水流出口
15が設けられている。
【0005】また、処理水流入口14には、処理水1を
反応槽本体2内へ送給するポンプなどの処理水送給手段
16が接続されている。
【0006】図3に示す水処理設備により処理水1の浄
化を行なうときには、処理水送給手段16を作動させ
て、処理水流入口14から反応槽本体2内へ処理水1を
送給する。
【0007】次いで、酸素発生手段6、オゾン発生手段
8及び送気手段9を作動させて、気泡発生手段3へオゾ
ン7を送給し、気泡発生手段3から反応槽本体2に貯留
されている処理水1を通気する泡状のオゾン7によって
処理水1を脱臭・脱色・滅菌する。
【0008】浄化が完了した処理水1は、反応槽本体2
内への未浄化の処理水1の流入に応じて、処理水流出口
15から反応槽本体2外へ流出し、河川あるいは海に放
流される。
【0009】更に、排気手段13を作動させて、反応槽
本体2内の非液体貯留空間11の空気12、並びに、反
応槽本体2に貯留されている処理水1を未反応状態で通
気したオゾン7をオゾン除去手段10へ送給し、該オゾ
ン除去手段10によってオゾン7を酸素5に還元し、大
気中へ放風すべき空気12に含まれるオゾン7の濃度を
0.1ppm以下に保持している。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図3に
示す水処理設備では、処理水流入口14と処理水流出口
15とによって反応槽本体2内が大気開放された状態で
あるので、処理水1の滅菌を行なうときには、容量の大
きな排気手段13を連続的に作動させて反応槽本体2の
内部を負圧管理し、未反応のオゾン7が高濃度で大気中
へ放風されないようにする必要がある。
【0011】また、オゾン7から還元される酸素5は、
有効に利用されることなく大気中へ放風されてしまう。
【0012】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、処理水の浄化を効率よく行なうことができ、オゾン
から還元される酸素の有効利用を図ることができる水処
理設備を提供することを目的とするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項1に記載の水処理設備では、処理水
を貯留し得る密閉構造の浄化タンクと、酸素からオゾン
を発生させ得るオゾン発生手段と、該オゾン発生手段か
らのオゾンと浄化すべき処理水とを混合して浄化タンク
へ送給する気液送給手段と、処理水の浄化によってオゾ
ンから還元される浄化タンク内の酸素をオゾン発生手段
へ送気する酸素回収管とを備えている。
【0014】また、本発明の請求項2に記載の水処理設
備では、それぞれ処理水を貯留し得る密閉構造の一次浄
化タンク、及び二次浄化タンクと、酸素からオゾンを発
生させ得るオゾン発生手段と、該オゾン発生手段からの
オゾンと浄化すべき処理水とを混合して一次浄化タンク
へ送給する気液送給手段と、処理水の浄化によってオゾ
ンから還元される一次浄化タンク内の酸素をオゾン発生
手段へ送気する酸素回収管と、一次浄化タンク内の処理
水を二次浄化タンクへ移送する処理水移送管と、二次浄
化タンク内の処理水から放出される余剰のオゾンを分解
し得るオゾン除去装置とを備えている。
【0015】本発明の請求項1に記載の水処理設備で
は、オゾンと浄化すべき処理水とを、気液送給手段によ
り混合して密閉構造の浄化タンクへ送給し、高オゾン濃
度状態の処理水を浄化タンク内で浄化する。
【0016】また、処理水の浄化によりオゾンから還元
される酸素を、浄化タンク内から酸素回収管を介してオ
ゾン発生手段へ送気し、酸素の有効利用を図る。
【0017】本発明の請求項2に記載の水処理設備で
は、オゾンと浄化すべき処理水とを、気液送給手段によ
り混合して密閉構造の一次浄化タンクへ送給し、高オゾ
ン濃度状態の処理水を一次浄化タンク内で浄化する。
【0018】また、処理水の浄化によりオゾンから還元
される酸素を、一次浄化タンク内から酸素回収管を介し
てオゾン発生手段へ送気し、酸素の有効利用を図る。
【0019】更に、一次浄化タンク内で浄化された処理
水を、処理水移送管を介して二次浄化タンクへ移送し、
大気圧状態で処理水から放出される余剰の未反応のオゾ
ンを、オゾン除去装置によって酸素に還元する。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
示例と共に説明する。
【0021】図1は本発明の水処理設備の実施の形態の
第1の例を示すものであり、この水処理設備は、被処理
水17を貯留し得る被処理水槽18と、被処理水17と
オゾン7との混合気液19を貯留して被処理水17の浄
化を図り得る密閉構造の浄化タンク20と、大気中の酸
素5からオゾン7を発生させ得るオゾン発生手段21
と、該オゾン発生手段21からのオゾン7と被処理水1
7とを混合して浄化タンク20へ送給する気液送給手段
22と、被処理水17の浄化によってオゾン7から還元
される浄化タンク20内の酸素5をオゾン発生手段21
へ送気する酸素回収管23とを備えている。
【0022】オゾン発生手段21は、吸引口に接続され
た空気吸引筒24を介して大気53を吸引・加圧して、
約4kg/cm2の圧縮空気54とする圧縮機25と、
該圧縮機25の吐出口に配管26を介して接続され且つ
圧縮機25から送給される圧縮空気54中の酸素5を抽
出する酸素発生機27と、該酸素発生機27の吐出口に
配管28を介して接続され且つ酸素発生機27から送給
される酸素5に対して放電を行なってオゾン7を発生さ
せるオゾン製造機29とで構成されている。
【0023】酸素発生機27には、酸素タンク30が付
属されており、酸素発生機27によって発生させた酸素
5の余剰分を貯留し、必要に応じてオゾン製造機29へ
送給し得るようになっている。
【0024】気液送給手段22は、オゾン製造機29の
吐出口に配管31を介して接続され且つ被処理水槽18
に処理水管32を介して、接続された渦流ポンプなどの
溶解用ポンプ34を有しており、該溶解用ポンプ34の
吐出口は、気液送給管33を介して浄化タンク20に接
続されている。
【0025】この溶解用ポンプ34により、被処理水槽
18から処理水管32を介して吸引した被処理水17
に、オゾン製造機29から配管31を介して送給される
オゾン7を混合・溶解させた混合気液19を、気液送給
管33を介して浄化タンク20へ送給し得るようになっ
ている。
【0026】浄化タンク20の底部には、処理済水35
を放流するための放流弁36を有する放流管37が接続
されており、該放流管37は、河川あるいは海に連なる
処理済水放流樋38に連通している。
【0027】また、酸素回収管23は、浄化タンク20
の上部から酸素発生機27とオゾン製造機29とを接続
している配管28に連通しており、該酸素回収管23の
浄化タンク20寄りの部分には、浄化タンク20内の圧
力を検出する圧力計39と、該圧力計39の検出値に対
応して開閉する開閉弁40とが配設されている。
【0028】図1に示す水処理設備により被処理水の浄
化を行なう際には、オゾン発生手段21を作動させ、圧
縮機25により空気吸引筒24を介して大気53を吸引
・加圧し、吐出圧約4kg/cm2の圧縮空気54とし
て配管26を介して酸素発生機27へ送給し、該圧縮空
気54中の酸素5を酸素発生機27によって抽出し、該
酸素5を配管28を介してオゾン製造機29へ送給す
る。
【0029】また、オゾン製造機29において、酸素発
生機27から送給される酸素5に放電を行なってオゾン
7を発生させ、オゾン7を約10%含んだ気体酸素とし
て配管31を介して気液送給手段22へ送給する。
【0030】次いで、気液送給手段22を作動させ、溶
解用ポンプ34により処理水管32を介して被処理水槽
18に貯留された被処理水17を吸引し、該被処理水1
7にオゾン製造機29から送給されるオゾン7を混合・
溶解させて混合気液19を生成し、該混合気液19を気
液送給管33を介して浄化タンク20へ圧送することに
よって、高圧下で高オゾン濃度状態の被処理水17を浄
化タンク20内で浄化(脱臭・脱色・滅菌)する。
【0031】浄化が完了した処理済水35は、浄化タン
ク20の下部に設けた放流弁36を開放することによっ
て放流管37から浄化タンク20外へ放出し、処理済水
放流樋38を介して河川あるいは海に放流される。
【0032】また、浄化タンク20内においては、被処
理水17の浄化に伴って、オゾン7から還元される酸素
5が浄化タンク20内の非液体貯留空間に次第に充満す
るが、浄化タンク20近傍に配設された圧力計39が、
浄化タンク20内に充満した酸素5の圧力を検出し、そ
の圧力が所定値を超過すると検出信号を出力して開閉弁
40を開放し、浄化タンク20内で還元された酸素5
を、酸素回収管23及び配管28を介してオゾン発生手
段21のオゾン製造機29へ送気し、酸素5の再利用を
図る。
【0033】このように、図1に示す水処理設備におい
ては、オゾン7と浄化すべき被処理水17とを、気液送
給手段22の溶解用ポンプ34により混合して密閉構造
の浄化タンク20へ送給し、高オゾン濃度状態の被処理
水17を浄化タンク20内で浄化するので、被処理水1
7の浄化を効率よく行なうことができるとともに、未反
応のオゾン7が高濃度で大気中へ放風されることがな
い。
【0034】また、被処理水17の浄化によりオゾン7
から還元される酸素5を、浄化タンク20内から酸素回
収管23を介してオゾン発生手段21へ送気するので、
酸素5の有効利用を図ることができる。
【0035】更に、酸素5の再利用によって、オゾン7
に変換消費された分の酸素5のみを製造すればよく、ま
た、余剰の酸素5を酸素タンク30に貯蔵しておけば、
当該酸素5を水処理設備の運転開始時に使用できるの
で、圧縮機25、酸素発生機27の容量を縮小すること
が可能となり、設備の省エネルギー化を図れる。
【0036】図2は本発明の水処理設備の実施の形態の
第2の例を示すものであり、図中、図1と同一の符号を
付した部分は同一物を表している。
【0037】この水処理設備は、被処理水17を貯留し
得る被処理水槽18と、それぞれに被処理水17とオゾ
ン7との混合気液19を貯留して被処理水17の浄化を
図り得る密閉構造の一次浄化タンク41、及び二次浄化
タンク42と、大気中の酸素5からオゾン7を発生させ
得るオゾン発生手段21と、該オゾン発生手段21から
のオゾン7と被処理水17とを混合して一次浄化タンク
41へ送給する気液送給手段22と、被処理水17の浄
化によってオゾン7から還元される一次浄化タンク41
内の酸素5をオゾン発生手段21へ送気する酸素回収管
23と、一次浄化タンク41内の処理済水35を二次浄
化タンク42へ移送する処理水移送管43と、二次浄化
タンク42内の処理済水35から放出される余剰のオゾ
ン7を分解し得るオゾン除去装置44とを備えている。
【0038】一次浄化タンク41は、図1に示す浄化タ
ンク20から放流管37を除去し処理水移送管43を設
けたもので、酸素回収管23を有する点などは、浄化タ
ンク20と同様である。
【0039】二次浄化タンク42は、処理水移送管43
を介して一次浄化タンク41に接続されており、二次浄
化タンク42の底部には、処理済水35を放流するため
の放流弁36を有し且つ処理済水放流樋38に連通する
放流管37が接続されている。
【0040】処理水移送管43は、減圧弁52を介して
一次浄化タンク41と二次浄化タンク42とを連通し、
高圧下の一次浄化タンク41から流出する処理済水35
の水圧を減圧弁52によって大気圧に近い状態に減圧し
て二次浄化タンク42へ送給し得るようになっている。
【0041】オゾン除去装置44は、二次浄化タンク4
2の近傍に配置され、二次浄化タンク42の上部に気体
流通管45を介して連通している。
【0042】気体流通管45の二次浄化タンク42寄り
の部分にはオゾン濃度計46が配設され、オゾン除去装
置44寄りの部分には、開閉弁47が配設されている。
【0043】また、気体流通管45に配設されたオゾン
濃度計46と開閉弁47との間の部分には、空気吸引筒
24に連通する気体回収管48が接続されており、該気
体回収管48の気体流通管45寄りには、開閉弁49が
配設されている。
【0044】更に、オゾン除去装置44の処理済気体流
出口は、処理済気体流通管50を介して気体回収管48
の開閉弁49下流側部分に接続されている。
【0045】前記のオゾン濃度計46は、二次浄化タン
ク42の非液体貯留空間に充満する気体51のオゾン濃
度を計測し、計測したオゾン濃度値が所定の濃度値より
も高い場合には、気体流通管45の開閉弁47を開放し
且つ気体回収管48の開閉弁49を閉止する信号を出力
して、二次浄化タンク42内の気体51を気体流通管4
5を介してオゾン除去装置44へ導き、また、計測した
オゾン濃度値が所定の濃度値よりも低い場合には、気体
流通管45の開閉弁47を閉止し且つ気体回収管48の
開閉弁49を開放する信号を出力して、二次浄化タンク
42内の気体51を気体回収管48を介して空気吸引筒
24へ導くようになっている。
【0046】オゾン除去装置44によってオゾン7を除
去された処理済の気体51は、処理済気体流通管50及
び気体回収管48を介して空気吸引筒24へ送給される
ようになっている。
【0047】図2に示す水処理設備により被処理水の浄
化を行なう際には、オゾン発生手段21を作動させ、圧
縮機25により空気吸引筒24を介して大気53を吸引
・加圧し、吐出圧約4kg/cm2の圧縮空気54とし
て配管26を介して酸素発生機27へ送給し、該圧縮空
気54中の酸素5を酸素発生機27によって抽出し、該
酸素5を配管28を介してオゾン製造機29へ送給す
る。
【0048】また、オゾン製造機29において、酸素発
生機27から送給される酸素5に放電を行なってオゾン
7を発生させ、オゾン7を約10%含んだ気体酸素とし
て配管31を介して気液送給手段22へ送給する。
【0049】次いで、気液送給手段22を作動させ、溶
解用ポンプ34により処理水管32を介して被処理水槽
18に貯留された被処理水17を吸引し、該被処理水1
7にオゾン製造機29から送給されるオゾン7を混合・
溶解させて混合気液19を生成し、該混合気液19を気
液送給管33を介して一次浄化タンク41へ圧送するこ
とによって、高圧下で高オゾン濃度状態の被処理水17
を一次浄化タンク41内で浄化(脱臭・脱色・滅菌)す
る。
【0050】また、一次浄化タンク41内においては、
被処理水17の浄化に伴って、オゾン7から還元される
酸素5が一次浄化タンク41の非液体貯留空間に次第に
充満するが、一次浄化タンク41近傍に配設された圧力
計39が、一次浄化タンク41内に充満した酸素5の圧
力を検出し、その圧力が所定値を超過すると検出信号を
出力して開閉弁40を開放し、一次浄化タンク41内で
還元された酸素5を、酸素回収管23及び配管28を介
して回収してオゾン発生手段21のオゾン製造機29へ
送気し、酸素5の再利用を図る。
【0051】更に、高圧下の一次浄化タンク41内で浄
化された処理済水35を、処理水移送管43を通し且つ
減圧弁52を介して大気圧に近い状態に減圧しつつ二次
浄化タンク42へ移送する。
【0052】二次浄化タンク42においては、大気圧状
態で処理済水35から放出され、二次浄化タンク42の
非液体貯留空間に充満する気体51中のオゾン7の濃度
を、気体流通管45に設けたオゾン濃度計46によって
計測する。
【0053】そして、計測したオゾン濃度値が所定の濃
度値よりも高い場合には、オゾン濃度計46から出力さ
れる信号により、気体流通管45の開閉弁47を開放し
且つ気体回収管48の開閉弁49を閉止して、二次浄化
タンク42内の気体51を気体流通管45を介してオゾ
ン除去装置44へ導き、該オゾン除去装置44によって
酸素5に還元し、処理済気体流通管50及び気体回収管
48を介して空気吸引筒24へ送気する。
【0054】また、計測したオゾン濃度値が所定の濃度
値よりも低い場合には、オゾン濃度計46から出力され
る信号により、気体流通管45の開閉弁47を閉止し且
つ気体回収管48の開閉弁49を開放して、二次浄化タ
ンク42内の気体51を気体回収管48を介して空気吸
引筒24へ送気する。
【0055】一次浄化タンク41において浄化され、二
次浄化タンク42において余剰のオゾン7が分離されて
浄化が完了した処理済水35は、二次浄化タンク42の
下部に設けた放流弁36を開放することによって放流管
37から二次浄化タンク42外へ放出し、処理済水放流
樋38を介して河川あるいは海に放流される。
【0056】このように、図2に示す水処理設備におい
ては、オゾン7と浄化すべき被処理水17とを、気液送
給手段22の溶解用ポンプ34により混合して密閉構造
の一次浄化タンク41へ送給し、高オゾン濃度状態の被
処理水17を一次浄化タンク41内で浄化するので、被
処理水17の浄化を効率よく行なうことができる。
【0057】これに加えて、一次浄化タンク41内で浄
化された処理済水35を、処理水移送管43を介して二
次浄化タンク42へ移送し、大気圧状態の処理済水35
から気液分離により放出される気体51のオゾン濃度
を、オゾン濃度計46によって測定し、高オゾン濃度の
気体51をオゾン除去装置44へ送気して余剰の未反応
オゾン7を酸素5を還元してから空気吸引筒24へ送気
するので、未反応のオゾン7が高濃度で大気中へ放風さ
れることを未然に防止できる。
【0058】また、被処理水17の浄化によりオゾン7
から還元される酸素5を、浄化タンク20内から酸素回
収管23を介して回収し、オゾン発生手段21へ送気す
るので、酸素5の有効利用を図ることができる。
【0059】更に、酸素5の再利用によって、オゾン7
に変換消費された分の酸素5のみを製造すればよく、ま
た、余剰の酸素5を酸素タンク30に貯蔵しておけば、
当該酸素5を水処理設備の運転開始時に使用できるの
で、圧縮機25、酸素発生機27の容量を縮小すること
が可能となり、設備の省エネルギー化を図れる。
【0060】なお、本発明の水処理設備は上述した実施
の形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を
逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿
論である。
【0061】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の水処理設備
によれば、下記のような種々の優れた効果を奏し得る。
【0062】(1)本発明の請求項1に記載の水処理設
備によれば、オゾンと浄化すべき処理水とを、気液送給
手段により混合して浄化タンクへ送給し、高オゾン濃度
状態の処理水を浄化タンク内で浄化するので、処理水の
浄化を効率よく行なうことができ、また、処理水の浄化
によりオゾンから還元される酸素を、浄化タンク内から
酸素回収管を介してオゾン発生手段へ送気するので、オ
ゾンから還元される酸素の有効利用を図ることができ
る。
【0063】(2)本発明の請求項2に記載の水処理設
備によれば、オゾンと浄化すべき処理水とを、気液送給
手段により混合して一次浄化タンクへ送給し、高オゾン
濃度状態の処理水を一次浄化タンク内で浄化するので、
処理水の浄化を効率よく行なうことができ、また、処理
水の浄化によりオゾンから還元される酸素を、一次浄化
タンク内から酸素回収管を介してオゾン発生手段へ送気
するので、オゾンから還元される酸素の有効利用を図る
ことができ、更に、一次浄化タンク内で浄化された処理
水を、処理水移送管を介して二次浄化タンクへ移送し、
大気圧状態で処理水から放出される余剰の未反応のオゾ
ンを、オゾン除去装置によって酸素に還元するので、未
反応のオゾンが大気中へ放風されることがない。
【0064】(3)本発明の請求項1あるいは請求項2
に記載の水処理設備のいずれにおいても、オゾンから還
元される酸素を再利用するので、オゾンに変換消費され
た分の酸素のみを製造すればよく、オゾン発生手段の酸
素発生機構の容量を縮小することが可能となり、設備の
省エネルギー化を図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の水処理設備の実施の形態の第1の例を
示す構成図である。
【図2】本発明の水処理設備の実施の形態の第2の例を
示す構成図である。
【図3】従来の水処理設備の一例の構成図である。
【符号の説明】
5 酸素 7 オゾン 17 被処理水(処理水) 20 浄化タンク 21 オゾン発生手段 22 気液送給手段 23 酸素回収管 35 処理済水(処理水) 41 一次浄化タンク 42 二次浄化タンク 43 処理水移送管 44 オゾン除去装置

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 処理水を貯留し得る密閉構造の浄化タン
    クと、酸素からオゾンを発生させ得るオゾン発生手段
    と、該オゾン発生手段からのオゾンと浄化すべき処理水
    とを混合して浄化タンクへ送給する気液送給手段と、処
    理水の浄化によってオゾンから還元される浄化タンク内
    の酸素をオゾン発生手段へ送気する酸素回収管とを備え
    たことを特徴とする水処理設備。
  2. 【請求項2】 それぞれ処理水を貯留し得る密閉構造の
    一次浄化タンク及び二次浄化タンクと、酸素からオゾン
    を発生させ得るオゾン発生手段と、該オゾン発生手段か
    らのオゾンと浄化すべき処理水とを混合して一次浄化タ
    ンクへ送給する気液送給手段と、処理水の浄化によって
    オゾンから還元される一次浄化タンク内の酸素をオゾン
    発生手段へ送気する酸素回収管と、一次浄化タンク内の
    処理水を二次浄化タンクへ移送する処理水移送管と、二
    次浄化タンク内の処理水から放出される余剰のオゾンを
    分解し得るオゾン除去装置とを備えたことを特徴とする
    水処理設備。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106830447A (zh) * 2017-04-20 2017-06-13 佛山市佳利达环保科技股份有限公司 一种臭氧尾气循环利用的方法

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