JP2000055985A - 試験治具の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】プリント基板試験機等のような試験機と被試験
体とを電気的に接続する試験治具の検査方法に関し、フ
ライングプローバ等のような特別な配線検査装置を必要
とせず、試験治具内の配線検査を確実、容易に行うこと
ができるものとする。 【解決手段】制御コンピュータ２１と試験機２２とプロ
ーブ装置２３とを使用する。例えば、受信可能配線３５
−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの電源／グラウン
ド短絡故障を検査する場合には、電源３０の出力を論理
０、送信専用の試験チャネル２６−１〜２６−ｍの出力
を論理１とし、送受可能な試験チャネル２４−１〜２４
−ｎ、２８−１〜２８−ｐを受信状態とし、試験チャネ
ル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信出力
の論理値を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板試験
機、インサーキット試験機、論理回路試験機等のような
試験機と被試験体とを電気的に接続する試験治具の配線
を検査する試験治具の検査方法に関する。

【０００２】例えば、ＬＳＩ等の電子回路部品や、同部
品が搭載された電子回路ユニットを試験する場合、試験
機と被試験体とを電気的に接続し、試験機から被試験体
への試験信号の伝達および被試験体から試験機への信号
の伝達を行うための試験治具を必要とする。

【０００３】この試験治具の配線に断線や短絡や誤配線
などの不良があると、被試験体について、正常な試験を
行うことができないことになるので、試験治具の配線を
検査する必要がある。

【０００４】

【従来の技術】図３１は試験機と被試験体とを電気的に
接続する試験治具の概念を示す図であり、図３１中、１
は試験機、２は試験治具、３は被試験体である。

【０００５】試験機１において、４は被試験体３への試
験信号の送信および被試験体３からの信号の受信を行う
試験チャネル群、５は電源電圧を被試験体３に供給する
電源装置、６、７は試験治具２との接続を図るコネクタ
である。

【０００６】また、試験治具２において、８、９は試験
機１との接続を図るコネクタ、１０は配線群、１１、１
２は被試験体３との接続を図るコネクタであり、被試験
体３において、１３は回路部、１４、１５は試験治具２
との接続を図るコネクタである。

【０００７】ところで、被試験体３には色々な種類があ
り、種類によって形状、コネクタの仕様およびコネクタ
内の接続ピンに対する信号や電源の割り付けパターンが
異なっているが、試験機１では、コネクタの仕様および
コネクタ内の接続ピンに対する信号や電源への割り付け
パターンは固定とされている。

【０００８】このため、試験機１と被試験体３との間に
介在させ、試験機１から被試験体３への試験信号の伝達
および被試験体３から試験機１への信号の伝達を行うた
めの試験治具２が必要となる。

【０００９】図３１に示す試験治具２は、試験機１のコ
ネクタ６、７に対応するコネクタ８、９及び被試験体３
のコネクタ１４、１５に対応するコネクタ１１、１２を
有し、コネクタ８、９とコネクタ１１、１２との間を配
線群１０で接続する構成とされているが、被試験体３と
の接続をコネクタではなく、多数のプローブで行うタイ
プの試験治具もある。

【００１０】従来、このような試験治具の検査方法とし
て、マルチメータやブザーを用い、ネットリスト等の試
験治具の製造情報をもとに配線の電気的導通チェックを
人手で行い、作業者が良否判定を行う方法や、フライン
グプローバ等の配線検査装置による検査方法が採用され
ていた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】マルチメータやブザー
を用いる試験治具の検査方法は、紙ベースの情報を使用
することになるので、情報の読み取りミス等により、検
査もれを起こす場合があるという問題点や、短絡故障の
検出が困難であり、短絡故障の検出を実行しようとする
と極めて手間がかかるという問題点があった。

【００１２】また、フライングプローバ等の配線検査装
置を使用する試験治具の検査方法は、配線検査装置にか
けるためのデータの作成やプログラグの作成が必要であ
り、それらの作成に多大な手間や時間を要し、また、配
線検査装置の購入、維持に多大な費用を必要とするとい
う問題点があった。

【００１３】本発明は、かかる点に鑑み、フライングプ
ローバ等のような特別な配線検査装置を必要とせず、試
験治具の配線検査を確実、かつ、容易に行うことができ
る試験治具の検査方法を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明中、第１の発明
は、電子回路を有する被試験体と、被試験体との間で信
号の送受を行うことにより被試験体の試験を行う試験機
とを電気的に接続する試験治具の配線を検査する試験治
具の検査方法であって、試験機に試験治具を装着し、試
験機を利用して試験治具の配線を検査する工程を含んで
いるというものである。

【００１５】本発明中、第１の発明によれば、試験機に
試験治具を装着し、試験機を利用して試験治具の配線を
検査する工程を含んでいるので、制御コンピュータを使
用することにより、フライングプローバ等のような特別
な配線検査装置を使用する必要がなく、試験治具の配線
検査を確実、かつ、容易に行うことができる。

【００１６】本発明中、第２の発明は、第１の発明にお
いて、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程
は、試験治具の配線中、試験機内の電源に接続されてい
る配線の電位を短絡故障を検出できる論理値に設定する
工程と、試験機の試験チャネル中、試験治具の配線に接
続されている受信可能な試験チャネルの出力の論理値を
判定する工程とを含んでいるというものである。

【００１７】本発明中、第２の発明によれば、試験治具
の配線中、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続さ
れている配線の電源／グラウンド短絡故障を検出するこ
とができる。

【００１８】本発明中、第３の発明は、第２の発明にお
いて、試験機内の試験チャネル中に、試験治具の配線に
接続されている送信専用の試験チャネルがある場合に
は、試験治具の配線に接続されている送信専用の試験チ
ャネルの出力状態をハイインピーダンス状態に設定する
か、又は、試験治具の配線に接続されている送信専用の
試験チャネルの出力を短絡故障を検出できる論理値と反
対の論理値に設定する工程を含んでいるというものであ
る。

【００１９】本発明中、第３の発明によれば、試験機内
の送信専用の試験チャネルに接続されている試験治具の
配線と、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続され
ている配線との間に短絡故障が存在する場合であって
も、これを隠して、試験機内の受信可能な試験チャネル
に接続されている配線の電源／グラウンド短絡故障を検
出することができる。

【００２０】本発明中、第４の発明は、第２の発明にお
いて、試験機内の試験チャネル中に、試験治具の送信専
用とされている配線に接続されている送受可能な試験チ
ャネルがある場合には、送受可能な試験チャネルを送信
専用の試験チャネルとして扱うというものである。

【００２１】本発明中、第４の発明によれば、試験治具
に被試験体に伝送すべき試験信号を増幅するバッファを
備えている場合において、このバッファに接続され、送
信専用とされている配線と、試験機内の受信可能な試験
チャネルに接続されている配線との間に短絡故障が存在
する場合であっても、これを隠して、試験機内の受信可
能な試験チャネルに接続されている配線の電源／グラウ
ンド短絡故障を検出することができる。

【００２２】本発明中、第５の発明は、第１の発明にお
いて、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程
は、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の受
信可能な試験チャネルに接続されている接続ピンを１個
ずつ選択し、選択した接続ピンから所定論理値の信号を
試験機に対して送信する工程と、試験機内の試験チャネ
ル中、試験治具の配線に接続されている受信可能な試験
チャネルの出力の論理値を判定する工程とを含んでいる
というものである。

【００２３】本発明中、第５の発明によれば、試験治具
の配線中、試験機内の受信可能な試験チャネルに接続さ
れている配線の断線故障、同種配線間の短絡故障および
誤配線を検出することができる。

【００２４】本発明中、第６の発明は、第４の発明にお
いて、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の
受信可能な試験チャネルに接続されている接続ピンを１
個ずつ選択し、選択した接続ピンから所定論理値の信号
を試験機に対して送信する工程は、試験機内のプローブ
専用試験チャネルからプローブを介して行うというもの
である。

【００２５】本発明中、第７の発明は、第４の発明にお
いて、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の
受信可能な試験チャネルに接続されている接続ピンを１
個ずつ選択し、選択した接続ピンから所定論理値の信号
を試験機に対して送信する工程は、試験機内の空き試験
チャネルからプローブを介して行うというものである。

【００２６】本発明中、第８の発明は、第１の発明にお
いて、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程
は、試験機内の試験チャネル中、試験治具の配線に接続
されている送信専用の試験チャネルを１個ずつ選択し、
選択した送信専用の試験チャネルから所定論理値の信号
を試験治具に対して送信する工程と、試験機内の試験チ
ャネル中、試験治具の配線に接続されている受信可能な
試験チャネルの出力の論理値を判定する工程とを含んで
いるというものである。

【００２７】本発明中、第８の発明によれば、試験治具
の配線中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続さ
れている配線と、試験機内の受信可能な試験チャネルに
接続されている配線との間の短絡故障を検出することが
できる。

【００２８】本発明中、第９の発明は、第１の発明にお
いて、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工程
は、試験機内の試験チャネル中、試験治具の配線に接続
されている送信専用の複数の試験チャネルから異なる並
列論理パターン信号を１パターンずつ順に試験治具に対
して送信する工程と、試験治具の被試験体との接続ピン
中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されてい
る接続ピンに出力される信号の論理値を判定する工程と
を含んでいるというものである。

【００２９】本発明中、第９の発明によれば、試験治具
の配線中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続さ
れている配線の断線故障、同種配線間の短絡故障および
誤配線を検出することができる。

【００３０】本発明中、第１０の発明は、第１の発明に
おいて、試験機を利用して試験治具の配線を検査する工
程は、試験機内の試験チャネル中、試験治具の配線に接
続されている送信専用の試験チャネルから所定論理値の
信号を試験治具に対して送信する工程と、試験治具の被
試験体との接続ピン中、試験機内の送信専用の試験チャ
ネルに接続されている接続ピンに出力される信号の論理
値を判定する工程とを含んでいるというものである。

【００３１】本発明中、第１０の発明によれば、試験治
具の配線中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続
されている配線の断線故障を検出することができる。

【００３２】本発明中、第１１の発明は、第９又は第１
０の発明において、試験治具の被試験体との接続ピン
中、試験機内の送信専用の試験チャネルに接続されてい
る接続ピンに出力される信号の論理値を判定する工程
は、試験治具の被試験体との接続ピン中、試験機内の送
信専用の試験チャネルに接続されている接続ピンに出力
される信号をプローブを介して試験機内のプローブ専用
試験チャネル又は空き試験チャネルに伝送して行うとい
うものである。

【００３３】本発明中、第１２の発明は、第９、第１０
又は第１１の発明において、試験機内の試験チャネル中
に、試験治具の送信専用とされている配線に接続されて
いる送受可能な試験チャネルがある場合には、送受可能
な試験チャネルを送信専用の試験チャネルとして扱うと
いうものである。

【００３４】本発明中、第１２の発明によれば、試験治
具に被試験体に伝送すべき試験信号を増幅するバッファ
を備えている場合において、このバッファに接続され、
送信専用とされている配線についても、断線故障、短絡
故障、誤配線を検出することができる。

【００３５】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態を説明
するための回路図である。図１中、２０は検査対象であ
る試験治具であり、本発明の一実施形態においては、制
御コンピュータ２１と、試験機２２と、プローブ装置２
３とを用意する。

【００３６】試験機２２において、２４−１〜２４−ｎ
は被試験体（図示せず）に対する試験信号の送信および
被試験体からの信号の受信を行うことができるようにさ
れた送受可能な試験チャネル、２５−１〜２５−ｎは試
験チャネル２４−１〜２４−ｎに対応して設けられた接
続ピンである。

【００３７】また、２６−１〜２６−ｍは被試験体に対
して試験信号の送信のみを行うことができるようにされ
た送信専用の試験チャネル、２７−１〜２７−ｍは試験
チャネル２６−１〜２６−ｍに対応して設けられた接続
ピンである。

【００３８】また、２８−１〜２８−ｐは被試験体から
の信号の受信のみを行うことができるようにされた受信
専用の試験チャネル、２９−１〜２９−ｐは試験チャネ
ル２８−１〜２８−ｐに対応して設けられた接続ピンで
ある。

【００３９】また、３０は被試験体に電源電圧を供給す
るための電源、３１は電源３０に対応して設けられた接
続ピン、３２は被試験体に対する試験信号の送信および
被試験体からの信号の受信を行うことができるようにさ
れた送受可能な試験チャネル、３３は試験チャネル３２
に対応して設けられた接続ピンである。

【００４０】例えば、プリント配線板の論理機能試験機
は、試験チャネルとして、一般信号用の送受可能な試験
チャネルを数百チャネル、クロックやスキャンテスト入
力用の送信専用の試験チャネルを数十チャネル、スキャ
ンテスト出力用の受信専用の試験チャネルを数十チャネ
ル有している。

【００４１】ここに、試験チャネル２４−１〜２４−
ｎ、２６−１〜２６−ｍ、３２の送信部は、論理０（Ｌ
レベル）又は論理１（Ｈレベル）の信号を送信すること
ができるように構成されているが、論理０の送信信号と
論理１の送信信号とが短絡した場合には、論理０の送信
信号の方が強く、論理１の送信信号が出力された配線
は、論理０の送信信号が出力された状態となる。

【００４２】また、試験チャネル２４−１〜２４−ｎ、
２８−１〜２８−ｐ、３２の受信部は、受信信号が論理
０であるか論理１であるかを識別することができるよう
に構成されているが、受信信号が無い場合には、論理１
の受信信号が受信された場合と同様の状態となるように
構成されている。

【００４３】したがって、本発明の一実施形態において
は、後述するように、試験治具２０の配線検査を行うた
めの試験信号として論理０の信号を使用することにな
る。

【００４４】また、試験治具２０において、３４−１〜
３４−ｎ、３７−１〜３７−ｍ、４０−１〜４０−ｐ、
４３は試験機２２に接続される接続ピンである。

【００４５】また、３５−１〜３５−ｎ、３８−１〜３
８−ｍ、４１−１〜４１−ｐ、４４は接続ピン３４−１
〜３４−ｎ、３７−１〜３７−ｍ、４０−１〜４０−
ｐ、４３に接続された配線である。

【００４６】また、３６−１〜３６−ｎ、３９−１〜３
９−ｍ、４２−１〜４２−ｐ、４５は配線３５−１〜３
５−ｎ、３８−１〜３８−ｍ、４１−１〜４１−ｐ、４
４が接続された被試験体との接続ピンである。

【００４７】また、プローブ装置２３において、４６は
ケーブル、４７はケーブル４６の一端に接続されたプロ
ーブ、４８はケーブル４６の他端に設けられた試験機２
２との接続ピンである。

【００４８】このように、検査対象たる試験治具２０に
対して、制御コンピュータ２１と、試験機２２と、プロ
ーブ装置２３とを用意し、図２に示すように、試験治具
２０およびプローブ装置２３を試験機２２に装着する場
合には、表１に示すような検査１〜検査４を実行するこ
とができる。

【００４９】なお、この例は、試験チャネル３２が空き
チャネルとなっている例であるが、プローブ機能を備え
ている試験機、プローブ専用試験チャネルを備えている
試験機を使用する場合には、試験機に備えられているプ
ローブを使用することができる。

【００５０】

【表１】

【００５１】ここに、検査１は、試験治具２０の配線３
５−１〜３５−ｎ、３８−１〜３８−ｍ、４１−１〜４
１−ｐ、４４のうち、受信可能な試験チャネル２４−１
〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐに接続されている配線
（以下、受信可能配線という）３５−１〜３５−ｎ、４
１−１〜４１−ｐの電源／グラウンド短絡故障を検査す
るものである。

【００５２】また、検査２は、受信可能配線３５−１〜
３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの断線故障、受信可能配
線間の短絡故障および誤配線を検査するものである。

【００５３】また、検査３は、試験治具２０の配線３５
−１〜３５−ｎ、３８−１〜３８−ｍ、４１−１〜４１
−ｐ、４４のうち、送信専用の試験チャネル２６−１〜
２６−ｍに接続されている配線（以下、送信専用配線と
いう）３８−１〜３８−ｍと受信可能配線３５−１〜３
５−ｎ、４１−１〜４１−ｐとの間の短絡故障を検査す
るものである。

【００５４】また、検査４は、送信専用配線３８−１〜
３８−ｍの電源／グラウンド短絡故障、断線故障、送信
専用配線間の短絡故障および誤配線を検査するものであ
る。

【００５５】図３は本発明の一実施形態の内容を概略的
に示すフローチャートであり、本発明の一実施形態は、
検査１〜検査４を図３に示すような手順で行うというも
のである。

【００５６】即ち、本発明の一実施形態においては、ま
ず、作業者は、図２に示すように、試験機２２の接続ピ
ン２５−１〜２５−ｎ、２７−１〜２７−ｍ、２９−１
〜２９−ｐ、３１に試験治具２０の接続ピン３４−１〜
３４−ｎ、３７−１〜３７−ｍ、４０−１〜４０−ｐ、
４３を接続し、試験治具２０を試験機２２に装着する
（ステップＳ１）。

【００５７】続いて、同じく、図２に示すように、作業
者は、試験機２２の接続ピン３３にプローブ装置２３の
接続ピン４８を接続して、プローブ装置２３を試験機２
２に装着し（ステップＳ２）、制御コンピュータ２１に
検査開始の指示を与える（ステップＳ３）。

【００５８】制御コンピュータ２１に対する検査開始の
指示（ステップＳ３）は、例えば、図４に示すように、
検査実行コマンド名、配線情報ファイル名（試験治具２
０の配線情報［ネットリスト］のファイル名）、プロー
ブ接続チャネル番号（プローブ装置２３を接続した試験
チャネルのチャネル番号［本発明の一実施形態の場合
は、試験チャネル３２のチャネル番号］）を入力するこ
とにより行うことができる。

【００５９】ここに、制御コンピュータ２１は、検査開
始指示を受けると、試験治具２０の配線情報の読み込み
を行い（ステップＳ４）、検査の種類に応じて検査対象
配線の決定を行う（ステップＳ５）。

【００６０】なお、配線情報の読み込み（ステップＳ
４）は、配線情報のファイル情報を読出し、全ての配線
の試験チャネルおよび被試験体側の接続ピン名を求める
ことにより行われる。

【００６１】図５は配線情報例を示す図であり、１行で
１配線分の情報が記述されるが、各行のレコード形式
は、図６に示すように、「被試験体の接続ピン名／試験
機との接続ピン名、試験チャネル番号」を記述すること
により行われる。

【００６２】例えば、図５に示す配線情報例において、
２行目に示す「ＬＡ０１−０１」は被試験体の接続ピン
名であり、「ＬＡ０１」はコネクタ名、「０１」はコネ
クタＬＡ０１内のピン番号である。また、「ＥＸ１」は
試験機２２との接続ピン名、「１」は試験チャネル番号
を示している。

【００６３】制御コンピュータ２１において、検査対象
配線の決定（ステップＳ５）が行われると、検査の種類
からして、プローブ４７を試験治具２０の接続ピンにコ
ンタクトさせる必要があるか否かが判断され（ステップ
Ｓ６）、プローブ４７を試験治具２０の接続ピンにコン
タクトさせる必要がない場合（検査１又は検査３を行う
場合）には、制御コンピュータ２１は、試験機２２に検
査の種類に応じた試験信号の送受を行わせることになる
（ステップＳ９）。

【００６４】これに対して、プローブ４７を試験治具２
０の接続ピンにコンタクトさせる必要がある場合（検査
２又は検査４を行う場合）には、制御コンピュータ２１
は、プローブ４７のコンタクト指示を出すことになる
（ステップＳ７）。

【００６５】プローブ４７のコンタクト指示は、試験治
具２０の被試験体との接続ピン名と、プローブ４７をコ
ンタクトする旨のメッセージを表示装置面に表示するこ
とにより行われる。

【００６６】図７はプローブ４７のコンタクト指示のメ
ッセージ例を示す図であり、図７中、「contact to」は
プローブ４７をコンタクトする旨のメッセージ、「JA33
-01」はプローブ４７をコンタクトすべき接続ピン名で
あり、「JA33」はコネクタ名、「01」はコネクタＪＡ３
３内のピン名である。また、「(129)」は、これから検
査する配線がチャネル番号１２９の試験チャネルに接続
されているべき配線であることを示している。

【００６７】制御コンピュータ２１は、プローブ４７の
コンタクト指示を出した後、プローブ４７が指示した接
続ピンにコンタクトされたか否かを確認し（ステップＳ
８）、コンタクトされた場合には、試験機２２に対して
検査の種類に応じた試験信号の送受を行わせることにな
る（ステップＳ９）。

【００６８】試験信号の送信は、試験チャネル２６−１
〜２６−ｍから直接又は試験チャネル３２からプローブ
装置２３を介して試験治具２０に対して試験信号の送出
を行うことにより行われ、試験信号の受信は、試験治具
２０から出力される試験信号を試験チャネル２４−１〜
２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐで直接受信するか又はプ
ローブ装置２３を介して試験チャネル３２で受信するこ
とにより行われる。

【００６９】試験機２２において、試験信号の送受（ス
テップＳ９）が終了すると、制御コンピュータ２１で検
査対象配線の故障の解析が行われ（ステップＳ１０）、
故障解析結果が通知される（ステップＳ１１）。

【００７０】そして、作業者からの検査を続行するか否
かの指示を待ち、検査を終了するか否かを判断し（ステ
ップＳ１２）、作業者から検査を続行する場合の指示が
あった時は、ステップＳ５に戻り、作業者から検査終了
の指示があった時は、試験を終了させることになる。

【００７１】なお、故障解析（ステップＳ１０）は、試
験信号の送受結果を解析し、故障の有無を調べることに
より行われ、故障を検出した場合には、故障個所の特定
と故障モードが分類され、故障解析結果の通知（ステッ
プＳ１１）は、表示装置面に故障解析結果を表示するこ
とにより行われる。

【００７２】図８は故障解析結果の通知例を示す図であ
り、図８中、「Test2 : wiring verify check」は試験
項目を示し、「contact to JA33-11(138)」はプローブ
４７をチャネル番号１３８の試験チャネルに接続されて
いるべきコネクタＪＡ３３の接続ピン１１にコンタクト
させる指示を示し、「ＯＫ」は検査した配線に故障がな
かったことを示している。

【００７３】また、「contact to JA33-12 (139)」はプ
ローブ４７をチャネル番号１３９の試験チャネルに接続
されているべきコネクタＪＡ３３の接続ピン１２にコン
タクトさせる指示を示し、「ＯＫ」は検査した配線に故
障がなかったことを示している。

【００７４】また、「contact to JA33-13 (140)」はプ
ローブ４７をチャネル番号１４０の試験チャネルに接続
されているべきコネクタＪＡ３３の接続ピン１３にコン
タクトさせる指示を示し、「ＮＧ」は検査した配線に故
障があったことを示している。

【００７５】そして、「Shorted to JA34-45 (441)」は
プローブ４７をコンタクトさせた接続ピン（コネクタＪ
Ａ３３の接続ピン１３）に接続されている配線と、チャ
ネル番号４４１の試験チャネルとコネクタＪＡ３４の接
続ピン４５とを接続している配線との間に短絡故障が存
在していることを示している。

【００７６】また、「contact to JA33-14 (141)」はプ
ローブ４７をチャネル番号１４１の試験チャネルに接続
されているべきコネクタＪＡ３３の接続ピン１４にコン
タクトさせる指示を示し、「ＮＧ」は検査した配線に故
障があったことを示している。

【００７７】そして、「Unexpect JA33-15 (142)」はプ
ローブ４７をコンタクトさせた接続ピン（コネクタＪＡ
３３の接続ピン１４）がチャネル番号１４２の試験チャ
ネルに接続されており、コネクタＪＡ３３の接続ピン１
５に接続されるべき配線と誤配線されていることを示し
ている。

【００７８】図９は検査１（試験治具２０の受信可能配
線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの電源／グ
ラウンド短絡故障の検査）の手順を示すフローチャー
ト、図１０〜図１２は検査１を説明するための回路図で
ある。

【００７９】検査１を実行する場合には、まず、試験機
２２の電源３０の出力を論理０とするか、又は、接続ピ
ン３１を接地して、図１０に示すように、接続ピン３１
に論理０が出力される状態とする（ステップＮ１−
１）。

【００８０】次に、送信専用の試験チャネル２６−１〜
２６−ｍの出力状態をハイインピーダンス状態とする
か、又は、図１０に示すように、送信専用の試験チャネ
ル２６−１〜２６−ｍの出力を論理１に設定する（ステ
ップＮ１−２）。

【００８１】次に、送受可能な試験チャネル２４−１〜
２４−ｎおよび受信専用の試験チャネル２８−１〜２８
−ｐを受信状態に設定し（ステップＮ１−３）、試験チ
ャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信
信号の論理値を判定する（ステップＮ１−４）。

【００８２】ここに、受信可能配線３５−１〜３５−
ｎ、４１−１〜４１−ｐが配線４４と短絡していなけれ
ば、図１１に示すように、試験チャネル２４−１〜２４
−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号は、全て論理１と
なる。

【００８３】これに対して、受信可能配線３５−１〜３
５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの中に配線４４又はグラウ
ンドと短絡しているものがあると、配線４４又はグラウ
ンドに短絡している受信可能配線に接続されている試験
チャネルの受信信号は論理０となる。

【００８４】例えば、図１２に示すように、試験チャネ
ル２４−１の受信信号＝論理０、試験チャネル２４−２
〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１の
場合には、受信可能配線３４−１は配線４４に短絡して
いることになる。

【００８５】このように、検査１を実行する場合には、
試験治具２０の受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１
−１〜４１−ｐの電源／グラウンド短絡故障を検出する
ことができる。

【００８６】また、図１３は検査２（受信可能配線３５
−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの断線故障、受信
可能配線間の短絡故障および誤配線の検査）の手順を示
すフローチャート、図１４〜図１７は検査２を説明する
ための回路図である。

【００８７】検査２を実行する場合には、まず、送受可
能な試験チャネル２４−１〜２４−ｎおよび受信専用の
試験チャネル２８−１〜２８−ｐを受信状態とし（ステ
ップＮ２−１）、プローブ４７を試験治具２０の接続ピ
ン３６−１〜３６−ｎ、４２−１〜４２−ｐの中の指示
された接続ピンにコンタクトさせる（ステップＮ２−
２）。

【００８８】そして、試験チャネル３２から論理０の信
号を送信し（ステップＮ２−３）、試験チャネル２４−
１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号の論理値
を判定する（ステップＮ２−４）。以下、検査を終了さ
せない限り、プローブ４７をコンタクトさせるべき接続
ピンを変えながら、ステップＮ２−２〜Ｎ２−４を繰り
返す。

【００８９】ここに、プローブ４７をコンタクトさせた
接続ピンに接続されている受信可能配線に接続されてい
る試験チャネルのみでプローブ４７からの送信信号を受
信した場合には、その受信可能配線には、断線故障、受
信可能配線間の短絡故障、誤配線は存在しないと判断す
ることができる。

【００９０】例えば、図１４に示すように、プローブ４
７を接続ピン３６−１にコンタクトさせて、試験チャネ
ル３２から論理０の信号を送信した場合、試験チャネル
２４−１の受信信号＝論理０、試験チャネル２４−２〜
２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１であ
った場合には、受信可能配線３５−１には、断線故障、
受信可能配線間の短絡故障、誤配線は存在しないと判断
することができる。

【００９１】これに対して、試験チャネル２４−２〜２
４−ｎ、２８−１〜２８−ｐのいずれにおいても、プロ
ーブ４７からの送信信号が受信されなかった場合には、
コンタクトさせた接続ピンに接続されている受信可能配
線に断線故障があると判断することができる。

【００９２】例えば、図１５に示すように、プローブ４
７を接続ピン３６−１にコンタクトさせて、試験チャネ
ル３２から論理０の信号を送信した場合、試験チャネル
２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝
論理１であった場合、受信可能配線３５−１に断線故障
が存在すると判断することができる。

【００９３】また、プローブ４７をコンタクトさせた接
続ピンに接続されている受信可能配線に接続されている
試験チャネルと、他の試験チャネルとで同時にプローブ
４７からの送信信号を受信した場合には、プローブ４７
をコンタクトさせた接続ピンに接続されている受信可能
配線と、送信信号を受信した他の試験チャネルに接続さ
れている受信可能配線との間に短絡故障が存在すると判
断することができる。

【００９４】例えば、図１６に示すように、プローブ４
７を接続ピン３６−１にコンタクトさせて、試験チャネ
ル３２から論理０の信号を送信した場合、試験チャネル
２４−１、２８−１の受信信号＝論理０、試験チャネル
２４−２〜２４−ｎ、２８−２〜２８−ｐの受信信号＝
論理１であった場合には、受信可能配線３５−１、４１
−１間に短絡故障が存在すると判断することができる。

【００９５】また、プローブ４７をコンタクトさせた接
続ピンに接続されているべき配線に接続されている試験
チャネルでは送信信号が受信されず、他の試験チャネル
でプローブ４７からの送信信号を受信した場合には、受
信可能配線に誤りがあると判断することができる。

【００９６】例えば、図１７に示すように、プローブ４
７を接続ピン３６−１にコンタクトして、試験チャネル
３２から論理０の信号を送信した場合、試験チャネル２
４−１の受信信号＝論理１、試験チャネル２４−２の受
信信号＝論理０、試験チャネル２４−３（図示せず）〜
２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１であ
った場合には、配線３５−１、３５−２は、誤配線され
ていると判断することができる。

【００９７】このように、検査２を実行する場合には、
試験治具２０の受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１
−１〜４１−ｐの断線故障、受信可能配線間の短絡故障
および誤配線を検出することができる。

【００９８】また、図１８は検査３（送信専用配線３８
−１〜３８−ｍと受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４
１−１〜４１−ｐとの間の短絡故障の検査）の手順を示
すフローチャート、図１９、図２０は検査３を説明する
ための回路図である。

【００９９】検査３を実行する場合には、まず、送受可
能な試験チャネル２４−１〜２４−ｎおよび受信専用の
試験チャネル２８−１〜２８−ｐを受信状態とする（ス
テップＮ３−１）。

【０１００】次に、プローブ４７をコンタクトさせない
状態で、送信専用の試験チャネル２６−１〜２６−ｍの
中の１個の試験チャネルの出力を論理０とし、他の試験
チャネルの出力を論理１とする（ステップＮ３−２）。

【０１０１】そして、試験チャネル２４−１〜２４−
ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号の論理値を判定する
（ステップＮ３−３）。以下、検査を終了させない限
り、論理１を出力させる試験チャネルを変えながら、ス
テップＮ３−２、Ｎ３−３を繰り返す。

【０１０２】ここに、試験チャネル２６−１〜２６−ｍ
の中の１個の試験チャネルの出力を論理０、他の試験チ
ャネルの出力を論理１とした場合において、試験チャネ
ル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号
＝論理１であった場合には、論理１を送信した試験チャ
ネルに接続されている送信専用配線と受信可能配線３５
−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐとの間に短絡故障
は存在しないと判断することができる。

【０１０３】たとえば、図１９に示すように、試験チャ
ネル２６−１の送信信号＝論理０、試験チャネル２６−
２〜２６−ｍの送信信号＝論理１とした場合、試験チャ
ネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信
号＝論理１であった場合には、送信専用配線３８−１と
受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐ
との間には短絡故障は存在しないと判断することができ
る。

【０１０４】これに対して、試験チャネル２６−１〜２
６−ｍの中の１個の試験チャネルの出力を論理０、他の
試験チャネルの出力を論理１とした場合において、試験
チャネル２４−１〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受
信信号のいずれかが論理０であった場合には、論理０の
信号を送信した送信専用配線と、論理０の信号を受信し
た試験チャネルに接続されている受信可能配線との間に
短絡故障が存在すると判断することができる。

【０１０５】例えば、図２０に示すように、試験チャネ
ル２６−１の送信信号＝論理０、試験チャネル２６−２
〜２６−ｍの送信信号＝論理１とした場合、試験チャネ
ル２４−１の受信信号＝論理０、試験チャネル２４−２
〜２４−ｎ、２８−１〜２８−ｐの受信信号＝論理１で
あった場合には、送信専用配線３８−１と受信可能配線
３５−１との間に短絡故障が存在すると判断することが
できる。

【０１０６】このように、検査３を実行する場合には、
試験治具２０の送信専用配線３８−１〜３８−ｍと受信
可能な配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐと
の間の短絡故障を検出することができる。

【０１０７】また、図２１は検査４（送信専用配線３８
−１〜３８−ｍの電源／グラウンド短絡故障、断線故
障、送信専用配線間の短絡故障および誤配線の検査）の
手順を示すフローチャート、図２２〜図２６は検査４を
説明するための回路図である。

【０１０８】検査４を実行する場合には、試験チャネル
３２を受信状態とし（ステップＮ４−１）、続いて、電
源３０の出力を論理０とし（ステップＮ４−２）、プロ
ーブ４７を接続ピン３９−１〜３９−ｍの中の指示され
た接続ピンにコンタクトする（ステップＮ４−３）。

【０１０９】次に、試験チャネル２６−１〜２６−ｍか
ら表２に示すような第１パターン〜第ｍパターンの試験
信号を順に送信する。即ち、試験チャネル２６−１、２
６−２、・・・２６−ｍからそれぞれ信号［０１１１・
・・１］、［１０１１・・・１］、・・・［１１１１・
・・０］を同時に送信する（ステップＮ４−４）。

【０１１０】そして、試験チャネル３２の受信信号の論
理値を判定する（ステップＮ４−５）。以下、検査を終
了させない限り、プローブ４７をコンタクトさせる接続
ピンを変えながら、ステップＮ４−３〜Ｎ４−５を繰り
返す。

【０１１１】

【表２】

【０１１２】ここに、試験チャネル２６−１〜２６−ｍ
から表２に示すような第１パターン〜第ｍパターンを順
に送信した場合において、試験チャネル３２の受信信号
がプローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに期待され
る受信信号であった場合には、プローブ４７をコンタク
トさせた送信専用配線には、電源／グラウンド短絡故
障、断線故障、送信専用配線間の短絡故障および誤配線
は存在しないと判断することができる。

【０１１３】例えば、図２２に示すように、プローブ４
７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合におい
て、試験チャネル３２の受信信号が［０１１１・・・
１］であった場合には、送信専用配線３８−１には、電
源／グラウンド短絡故障、断線故障、送信専用配線間の
短絡故障および誤配線は存在しないと判断することがで
きる。

【０１１４】これに対して、試験チャネル３２の受信信
号が全ビットを論理０とする信号［００００・・・０］
であった場合には、プローブ４７をコンタクトさせた接
続ピンに接続されている送信専用配線は、配線４４又は
グラウンドに短絡していると判断することができる。

【０１１５】例えば、図２３に示すように、プローブ４
７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合、試験チ
ャネル３２の受信信号が［００００・・・０］であった
場合には、送信専用配線３８−１には電源／グラウンド
短絡故障が存在すると判断することができる。

【０１１６】また、試験チャネル３２の受信信号が全ビ
ットを論理１とする信号［１１１１・・・１］であった
場合には、プローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに
接続されている送信専用配線に断線故障が存在すると判
断することができる。

【０１１７】例えば、図２４に示すように、プローブ４
７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合、試験チ
ャネル３２の受信信号＝［１１１１・・・１］であった
場合には、送信専用配線３８−１に断線故障が存在する
と判断することができる。

【０１１８】また、試験チャネル３２の受信信号の中の
期待されたビットと期待されないビットに論理０が含ま
れていた場合には、プローブ４７をコンタクトさせた接
続ピンに接続されている送信専用配線は、期待されない
ビットに論理０を含む試験信号を出力する試験チャネル
に接続されている送信専用配線と短絡故障していると判
断することができる。

【０１１９】例えば、図２５に示すように、プローブ４
７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合におい
て、試験チャネル３２の受信信号＝［００１１・・・
１］であった場合には、送信専用配線３８−１、３８−
２間に短絡故障が存在すると判断することができる。

【０１２０】また、試験チャネル３２の受信信号が、プ
ローブ４７をコンタクトさせた接続ピンに接続されてい
る試験チャネル以外の試験チャネルから送信された試験
信号であった場合には、プローブ４７をコンタクトさせ
た接続ピンに接続されている送信専用配線と、受信した
試験信号を送信した試験チャネルに接続されている送信
専用配線とが誤配線されていると判断することができ
る。

【０１２１】例えば、図２６に示すように、プローブ４
７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合、試験チ
ャネル３２の受信信号＝［１０１１・・・１］であった
場合には、送信専用配線３８−１、３８−２は、誤配線
されていると判断することができる。

【０１２２】このように、検査４を実行する場合には、
試験治具２０の送信専用配線３８−１〜３８−ｍの電源
／グラウンド短絡故障、断線故障、送信専用配線間の短
絡故障および誤配線を検出することができる。

【０１２３】なお、送信専用配線３８−１〜３８−ｍの
断線故障の検査は、図２７に示す手順で行うこともでき
る。即ち、まず、試験チャネル３２を受信状態とし（ス
テップＮ５−１）、試験チャネル２６−１〜２６−ｍか
ら論理０の送信信号が送出されるように設定する（ステ
ップＮ５−２）。

【０１２４】次に、プローブ４７を接続ピン３９−１〜
３９−ｍの中の指示された接続ピンにコンタクトさせ
（ステップＮ５−３）、試験チャネル３２の受信信号の
論理値を判定する（ステップＮ５−４）。以下、検査を
終了させない限り、プローブ４７をコンタクトさせる接
続ピンを変えながら、ステップＮ５−３、Ｎ５−４を繰
り返す。

【０１２５】ここに、試験チャネル３２の受信信号が論
理０であった場合には、プローブ４７をコンタクトさせ
た接続ピンに接続されている送信専用配線に断線故障は
存在しないと判断することができる。

【０１２６】例えば、図２８に示すように、プローブ４
７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合、試験チ
ャネル３２の受信信号が論理０であった場合には、送信
専用配線３８−１に断線故障は存在しないと判断するこ
とができる。

【０１２７】これに対して、試験チャネル３２の受信信
号が論理１であった場合には、プローブ４７をコンタク
トさせた接続ピンに接続されている送信専用配線に断線
故障が存在すると判断することができる。

【０１２８】例えば、図２９に示すように、プローブ４
７を接続ピン３９−１にコンタクトさせた場合、試験チ
ャネル３２の受信信号が論理１であった場合には、送信
専用配線３８−１に断線故障が存在すると判断すること
ができる。

【０１２９】このように、図２７に示す手順を実行する
ことによっても、送信専用配線３８−１〜３８−ｍの断
線故障の検出を行うことができる。

【０１３０】なお、図３０（Ａ）に示すように、試験治
具２０の配線５０、５１がドライバ（バッファ）５２を
介在させている場合において、配線５０が試験機２２内
の送受可能な試験チャネル５３に接続された場合には、
送受可能な試験チャネル５３を送信専用の試験チャネル
として扱うことで、配線５０、５１を送信専用配線とし
て検査することができる。

【０１３１】これに対して、図３０（Ｂ）に示すよう
に、試験治具２０の配線５４、５５がレシーバ（レベル
変換回路）５６を介在させている場合において、配線５
５が試験機２２内の送受可能な試験チャネル５７に接続
された場合には、試験チャネル５７をそのまま送受可能
な試験チャネルとして扱うことができ、配線５４、５５
を受信可能配線として検査することができる。

【０１３２】以上のように、本発明の一実施形態によれ
ば、試験治具２０について、受信可能配線３５−１〜
３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐの電源／グラウンド短絡
故障、受信可能配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜
４１−ｐの断線故障、受信可能配線間の短絡故障および
誤配線、送信専用配線３８−１〜３８−ｍと受信可能
配線３５−１〜３５−ｎ、４１−１〜４１−ｐとの間の
短絡故障、送信専用配線３８−１〜３８−ｍの断線故
障、送信専用配線間の短絡故障および誤配線を検出する
ことができるので、試験治具２０の不良による被試験体
の試験時の障害を防止することができる。

【０１３３】しかも、本発明の一実施形態によれば、試
験治具２０を使用する試験機２２を使用して検査を行う
としているので、プローブ装置２３を容易すれば足り、
フライングプローバ等の特別な配線検査装置を必要とし
ない。

【０１３４】また、試験治具２０の配線情報を使用して
試験治具２０の検査を行うとしているので、プローブ４
７のコンタクト指示を確実に行うことができ、検査もれ
を防止し、試験治具２０の検査を確実に行うことができ
る。また、プローブ４７のコンタクト指示を制御コンピ
ュータ２１により行うとしているので、試験治具２０の
検査を容易に行うことができる。

【０１３５】また、試験機２２内に送信専用の試験チャ
ネルおよび受信専用の試験チャネルが存在する場合であ
っても試験治具２０の検査を行うことができるので、試
験治具２０に内蔵させたバッファやレシーバにより試験
信号の送受方向が限定された場合でも試験治具２０の検
査を行うことができる。

【０１３６】なお、本発明の一実施形態においては、プ
ローブ４７を作業者が扱うようにした場合について説明
したが、自動プローバを使用するように構成しても良
く、このようにする場合には、試験治具２０の検査をよ
り容易に行うことができる。

【０１３７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、試験機
に試験治具を装着し、試験機を利用して試験治具の配線
を検査するとしているので、制御コンピュータを使用す
ることにより、フライングプローバ等のような特別な配
線検査装置を必要とせず、試験治具の配線検査を確実、
かつ、容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を説明するための回路図で
ある。

【図２】本発明の一実施形態を説明するための回路図で
ある。

【図３】本発明の一実施形態の内容を概略的に示すフロ
ーチャートである。

【図４】本発明の一実施形態を説明するための図であ
る。

【図５】本発明の一実施形態で使用される配線情報例を
示す図である。

【図６】本発明の一実施形態で使用される配線情報例で
使用される各行のレコード形式を示す図である。

【図７】本発明の一実施形態で使用されるプローブのコ
ンタクト指示のメッセージ例を示す図である。

【図８】本発明の一実施形態で使用される故障解析結果
の通知例を示す図である。

【図９】本発明の一実施形態で行われる検査１の手順を
示すフローチャートである。

【図１０】本発明の一実施形態で行われる検査１を説明
するための回路図である。

【図１１】本発明の一実施形態で行われる検査１を説明
するための回路図である。

【図１２】本発明の一実施形態で行われる検査１を説明
するための回路図である。

【図１３】本発明の一実施形態で行われる検査２の手順
を示すフローチャートである。

【図１４】本発明の一実施形態で行われる検査２を説明
するための回路図である。

【図１５】本発明の一実施形態で行われる検査２を説明
するための回路図である。

【図１６】本発明の一実施形態で行われる検査２を説明
するための回路図である。

【図１７】本発明の一実施形態で行われる検査２を説明
するための回路図である。

【図１８】本発明の一実施形態で行われる検査３の手順
を示すフローチャートである。

【図１９】本発明の一実施形態で行われる検査３を説明
するための回路図である。

【図２０】本発明の一実施形態で行われる検査３を説明
するための回路図である。

【図２１】本発明の一実施形態で行われる検査４の手順
を示すフローチャートである。

【図２２】本発明の一実施形態で行われる検査４を説明
するための回路図である。

【図２３】本発明の一実施形態で行われる検査４を説明
するための回路図である。

【図２４】本発明の一実施形態で行われる検査４を説明
するための回路図である。

【図２５】本発明の一実施形態で行われる検査４を説明
するための回路図である。

【図２６】本発明の一実施形態で行われる検査４を説明
するための回路図である。

【図２７】試験治具の送信専用配線の断線故障検査の他
の方法を示すフローチャートである。

【図２８】試験治具の送信専用配線の断線故障検査の他
の方法を説明するための回路図である。

【図２９】試験治具の送信専用配線の断線故障検査の他
の方法を説明するための回路図である。

【図３０】本発明の一実施形態を説明するための回路図
である。

【図３１】試験機と被試験体とを電気的に接続する試験
治具の概念を示す図である。

【符号の説明】

２４−１〜２４−ｎ 送受可能な試験チャネル ２６−１〜２６−ｍ 送信専用の試験チャネル ２８−１〜２８−ｐ 受信専用の試験チャネル ３２ 送受可能な試験チャネル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上坂 光司 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 2G014 AA02 AA03 AA07 AA08 AA13 AB25 AB26 AB27 AB30 AB59 AC07 2G032 AD08 AE00

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子回路を有する被試験体と、前記被試験
   体との間で信号の送受を行うことにより前記被試験体の
   試験を行う試験機とを電気的に接続する試験治具の配線
   を検査する試験治具の検査方法であって、 前記試験機に前記試験治具を装着し、前記試験機を利用
   して前記試験治具の配線を検査する工程を含んでいるこ
   とを特徴とする試験治具の検査方法。
2. 【請求項２】前記試験機を利用して前記試験治具の配線
   を検査する工程は、 前記試験治具の配線中、前記試験機内の電源に接続され
   ている配線の電位を短絡故障を検出できる論理値に設定
   する工程と、 前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に
   接続されている受信可能な試験チャネルの出力の論理値
   を判定する工程とを含んでいることを特徴とする請求項
   １記載の試験治具の検査方法。
3. 【請求項３】前記試験機内の試験チャネル中に、前記試
   験治具の配線に接続されている送信専用の試験チャネル
   がある場合には、前記試験治具の配線に接続されている
   送信専用の試験チャネルの出力状態をハイインピーダン
   ス状態に設定するか、又は、前記試験治具の配線に接続
   されている送信専用の試験チャネルの出力を前記短絡故
   障を検出できる論理値と反対の論理値に設定する工程を
   含んでいることを特徴とする請求項２記載の試験治具の
   検査方法。
4. 【請求項４】前記試験機内の試験チャネル中に、前記試
   験治具の送信専用とされている配線に接続されている送
   受可能な試験チャネルがある場合には、前記送受可能な
   試験チャネルを送信専用の試験チャネルとして扱うこと
   を特徴とする請求項２記載の試験治具の検査方法。
5. 【請求項５】前記試験機を利用して前記試験治具の配線
   を検査する工程は、前記試験治具の前記被試験体との接
   続ピン中、前記試験機内の受信可能な試験チャネルに接
   続されている接続ピンを１個ずつ選択し、選択した接続
   ピンから所定論理値の信号を前記試験機に対して送信す
   る工程と、 前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に
   接続されている受信可能な試験チャネルの出力の論理値
   を判定する工程とを含んでいることを特徴とする請求項
   １記載の試験治具の検査方法。
6. 【請求項６】前記試験治具の前記被試験体との接続ピン
   中、前記試験機内の受信可能な試験チャネルに接続され
   ている接続ピンを１個ずつ選択し、選択した接続ピンか
   ら所定論理値の信号を前記試験機に対して送信する工程
   は、 前記試験機内のプローブ専用試験チャネルからプローブ
   を介して行うことを特徴とする請求項４記載の試験治具
   の検査方法。
7. 【請求項７】前記試験治具の前記被試験体との接続ピン
   中、前記試験機内の受信可能な試験チャネルに接続され
   ている接続ピンを１個ずつ選択し、選択した接続ピンか
   ら所定論理値の信号を前記試験機に対して送信する工程
   は、 前記試験機内の空き試験チャネルからプローブを介して
   行うことを特徴とする請求項４記載の試験治具の検査方
   法。
8. 【請求項８】前記試験機を利用して前記試験治具の配線
   を検査する工程は、 前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に
   接続されている送信専用の試験チャネルを１個ずつ選択
   し、選択した送信専用の試験チャネルから所定論理値の
   信号を前記試験治具に対して送信する工程と、 前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に
   接続されている受信可能な試験チャネルの出力の論理値
   を判定する工程とを含んでいることを特徴とする請求項
   １記載の試験治具の検査方法。
9. 【請求項９】前記試験機を利用して前記試験治具の配線
   を検査する工程は、 前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に
   接続されている送信専用の複数の試験チャネルから異な
   る並列論理パターン信号を１パターンずつ順に前記試験
   治具に対して送信する工程と、 前記試験治具の前記被試験体との接続ピン中、前記試験
   機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピ
   ンに出力される信号の論理値を判定する工程とを含んで
   いることを特徴とする請求項１記載の試験治具の検査方
   法。
10. 【請求項１０】前記試験機を利用して前記試験治具の配
    線を検査する工程は、 前記試験機内の試験チャネル中、前記試験治具の配線に
    接続されている送信専用の試験チャネルから所定論理値
    の信号を前記試験治具に対して送信する工程と、 前記試験治具の前記被試験体との接続ピン中、前記試験
    機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピ
    ンに出力される信号の論理値を判定する工程とを含んで
    いることを特徴とする請求項１記載の試験治具の検査方
    法。
11. 【請求項１１】前記試験治具の前記被試験体との接続ピ
    ン中、前記試験機内の送信専用の試験チャネルに接続さ
    れている接続ピンに出力される信号の論理値を判定する
    工程は、 前記試験治具の前記被試験体との接続ピン中、前記試験
    機内の送信専用の試験チャネルに接続されている接続ピ
    ンに出力される信号をプローブを介して前記試験機内の
    プローブ専用試験チャネル又は空き試験チャネルに伝送
    して行うことを特徴とする請求項９又は１０記載の試験
    治具の検査方法。
12. 【請求項１２】前記試験機内の試験チャネル中に、前記
    試験治具の送信専用とされている配線に接続されている
    送受可能な試験チャネルがある場合には、前記送受可能
    な試験チャネルを送信専用の試験チャネルとして扱うこ
    とを特徴とする請求項９、１０又は１１記載の試験治具
    の検査方法。