JP2000055460A - 流体加熱装置およびランプヒーターを収容する内管の被覆方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】石英ガラス管の溶解防止に有効な流体加熱装置
およびランプヒーターを収容する内管の被覆方法を提供
する。 【解決手段】耐薬品性を有する被覆部材１６で石英ガラ
ス製の内管１０を保護するとともに、該内管１０と該被
覆部材１６を密着させることにある。即ち、内管１０の
外周面を耐薬品性を有する被覆部材１６で保護し、内管
１０と流体１４との接触を防止する。これにより、浸食
性の流体１４を処理することが可能になる。さらに、内
管１０と被覆部材１６との間に介在する密着部材１８に
より、気泡の残留および水分の侵入が防止される。その
結果、高温水蒸気の発生によって生じる被覆部材１６の
破損を防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体加熱装置およ
びランプヒーターを収容する内管の被覆方法に関し、特
に、石英ガラス管の溶解防止に有効な流体加熱装置およ
びランプヒーターを収容する内管の被覆方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハを洗浄するいわゆるＲＣＡ
洗浄工程では、例えば、アンモニア過水を用いて、半導
体ウェハを洗浄し、該半導体ウェハに付着した有機物お
よびパーティクルを除去する処理や塩酸過水を用いて、
半導体ウェハを洗浄し、該半導体ウェハに付着した金属
イオンを除去する処理が行われる。

【０００３】上記のように、アンモニア過水や塩酸過水
等の薬液を用いて、半導体ウェハを洗浄する場合には、
当該洗浄に使用する薬液の温度を例えば８０度近くまで
上昇させる必要がある。

【０００４】上記薬液の温度を調節する手段として、従
来から、ランプヒーターを用いて、薬液を加熱し、該薬
液の温度を上昇させる技術が知られている。この従来技
術は、ランプヒーターを石英ガラス管に収容し、ランプ
ヒーターに電流を流しながら、該石英ガラス管と薬液と
を接触させて、該薬液を加熱するものである。この従来
技術において、ランプヒーターを収容する部材として、
石英ガラス管を使用しているのは、石英ガラスが透光性
および耐熱性を有しているためである。この石英ガラス
の透光性により、ランプヒーターから照射された光は、
石英ガラス内をスムーズに進行し、薬液の温度上昇に寄
与する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、石英ガラス
は、ＫＯＨ溶液やＮａＯＨ溶液等の強アルカリ薬液、フ
ッ酸およびリン酸に溶解するため、これらの溶剤を薬液
として使用することができないという問題があった。

【０００６】そこで、本発明は、石英ガラス管の溶解防
止に有効な流体加熱装置およびランプヒーターを収容す
る内管の被覆方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、透光性の内管（１０）に収
容されたランプヒーター（１２）を用いて流体（１４）
を加熱する流体加熱装置において、透光性、耐熱性およ
び耐薬品性を有し、前記内管（１０）の外周を被覆する
被覆部材（１６）と、透光性および耐熱性を有し、前記
内管（１０）と前記被覆部材（１６）との間に介在し
て、該内管（１０）と該被覆部材（１６）との密着性を
高める密着部材（１８）とを具備することを特徴とす
る。

【０００８】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の発明において、前記被覆部材（１６）は、熱収縮チ
ューブであることを特徴とする。

【０００９】また、請求項３記載の発明は、請求項１ま
たは請求項２記載の発明において、前記密着部材（１
８）を前記内管（１０）と前記被覆部材（１６）との間
に封止する封止部（２０）をさらに具備することを特徴
とする。

【００１０】また、請求項４記載の発明は、請求項１乃
至請求項３のいずれかに記載の発明において、前記密着
部材（１８）は、液状シリコンオイルおよび液状フッ素
化合物のグループから選択されることを特徴とする。

【００１１】また、請求項５記載の発明は、請求項１乃
至請求項３のいずれかに記載の発明において、前記密着
部材（１８）は、シリコングリースおよびフッ素グリー
スのグループから選択されることを特徴とする。

【００１２】また、請求項６記載の発明は、請求項１乃
至請求項３のいずれかに記載の発明において、前記密着
部材（１８）は、シリコン系透明接着剤、フッ素系透明
接着剤およびアモルファスフッ素樹脂のグループから選
択されることを特徴とする。

【００１３】また、請求項７記載の発明は、ランプヒー
ター（１２）を収容する透光性の内管（１０）を被覆す
る方法において、前記内管（１０）の外周に、透光性、
耐熱性、耐薬品性および熱収縮性を有する被覆部材（１
６）を配置する被覆部材配置工程と、前記被覆部材（１
６）を部分的に加熱して、前記内管（１０）の一端を封
止する封止工程と、前記一端が封止された内管（１０）
と前記被覆部材（１６）との間に流動性を有する密着部
材（１８）を充填する密着部材充填工程と、前記密着部
材（１８）の充填後、前記内管（１０）の一端から該内
管（１０）の他端に向かって、前記被覆部材（１６）を
順次加熱してゆき、該被覆部材（１６）と該内管（１
０）とを密着させる密着工程とを具備することを特徴と
する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して詳細に説明する。

【００１５】（発明の概要）本発明の特徴は、耐薬品性
を有する被覆部材１６で石英ガラス製の内管１０を保護
するとともに、該内管１０と該被覆部材１６を密着させ
ることにある。即ち、内管１０の外周面を耐薬品性を有
する被覆部材１６で保護し、内管１０と流体１４との接
触を防止する。これにより、浸食性の流体１４を処理す
ることが可能になる。さらに、内管１０と被覆部材１６
との間に介在する密着部材１８により、気泡の残留およ
び水分の侵入が防止される。その結果、高温水蒸気の発
生によって生じる被覆部材１６の破損を防止することが
できる（図１参照）。

【００１６】（第１の形態）本発明の第１の形態は、内
管の被覆および被覆部材の密着に関する発明である。前
述したように、内管が石英ガラスで形成されている場合
には、該内管１０強アルカリ薬液等の浸食性の薬液に接
触すると、内管の溶解という問題が発生する。従って、
浸食性の薬液を加熱する場合には、該浸食性の薬液から
内管を保護する必要がある。内管の保護は、耐薬品性を
有する被覆部材を用いて行うことが好ましい。

【００１７】上記のように、耐薬品性を有する被覆部材
を用いて内管を保護する場合には、内管と被覆部材との
密着性をさらに考慮しておくことが好ましい。これは、
内管と被覆部材との間に気泡が存在すると、薬液の加熱
−停止の繰り返しによって、該気泡が膨張−収縮し、該
気泡内に水分が取り込まれる場合があるからである。気
泡内に水分が取り込まれると、当該取り込まれた水分が
薬液の加熱時に高温水蒸気となって、被覆部材を破損さ
せる。このような被覆部材の破損を防止するためには、
内管と被覆部材との密着性を高めることが好ましい。

【００１８】本発明の第１の形態は、上記観点から構成
された発明であり、内管の浸食を防止するとともに、被
覆部材の破損を防止する技術を提供する。

【００１９】図１は、本発明の第１の形態に係る流体加
熱装置の構成を示す断面図である。以下、同図を使用し
て、本発明の第１の形態の構成を説明する。

【００２０】流体１４は、本発明において、被加熱体と
なる媒体である。この流体１４は、半導体ウェハの洗浄
やその他の処理用溶剤として使用される。特に、ＫＯＨ
溶液やＮａＯＨ溶液等の強アルカリ薬液、フッ酸および
リン酸等の内管１０を浸食する薬液が流体１４である場
合に、本発明の効果が顕著に現れる。その他、流体１４
としては、ＲＣＡ洗浄に用いられるアンモニア過水およ
び塩酸過水、窒素除去液として用いられるリン酸、レジ
スト剥離液として用いられる硫酸過水等の半導体の製造
に関する薬液並びにメッキ処理等の半導体の製造以外の
分野で使用される薬液が使用できる。

【００２１】ランプヒーター１２は、本発明に係る流体
加熱装置の熱源となる要素である。ランプヒーター１２
は、流体１４に向かって光を照射し、該照射した光のエ
ネルギーによって流体１４を加熱する。ランプヒーター
１２としては、水銀灯やハロゲンランプ等の光照射型の
ヒーターが使用できる。

【００２２】内管１０は、ランプヒーター１２を収容す
る部材である。この内管１０は、ランプヒーター１２が
照射した光が通過できるように、透光性の材料で形成す
る。特に、近赤外線領域の透光性にすぐれた材料で形成
することが好ましい。さらに、流体１４の温度上昇に耐
えられるように、耐熱性を有する材料で形成することも
重要である。好ましくは、透光性および耐熱性の両方の
条件を満たした石英ガラスで形成する。

【００２３】被覆部材１６は、内管１０の外周を被覆す
る部材である。この被覆部材１６は、内管１０と同様
に、ランプヒーター１２が照射した光が通過できるよう
に、透光性の材料で形成し、さらに、加熱されて温度が
上昇した流体１４との接触に耐えられるように、耐熱性
をも有する材料で形成する。好ましくは、２００℃以上
の耐熱性を有する材料で形成する。加えて、浸食性の流
体１４との接触にも耐えられるように、耐薬品性をも有
する材料で形成することも重要である。好ましくは、透
光性、耐熱性および耐薬品性を有するフッ素系樹脂で形
成する。より好ましくは、フッ素系の熱収縮チューブを
使用する。熱収縮チューブを使用すれば、被覆作業を容
易に行うことができる。

【００２４】密着部材１８は、内管１０と被覆部材１６
との密着性を高める部材である。同図に示すように、こ
の密着部材１８は、内管１０と被覆部材１６との間に配
設される。この密着部材１８も内管１０と同様に、透光
性および耐熱性を有する材料で形成する。さらに、非常
に狭い隙間にも確実に充填されるように、液体やグリー
ス等の流動性を有する材料を使用する。好ましくは、液
状シリコンオイルや液状フッ素化合物（例えば、フロリ
ナートやカルデン）等の液状の材料、シリコングリース
やフッ素グリース等のグリース状の材料、シリコン系透
明接着剤、フッ素系透明接着剤またはアモルファスフッ
素樹脂等の熱を加えると硬化する材料を使用する。この
密着部材１８を内管１０と被覆部材１６の間に介在させ
ることにより、被覆部材１６と内管１０との間に残留し
得る気泡、水分、その他被覆部材１６の破損に影響する
物質が除かれた状態で内管１０が被覆される。

【００２５】尚、密着部材１８を介在させる厚さは、均
一でなくてもよく、部分的に密着部材１８が介在し、そ
れ以外の部分は被覆部材１６が内管１０に直接接触して
いる状態であってもよい。例えば、熱収縮チューブを被
覆部材１６として使用する場合には、ドライヤー等の熱
風を当てて、熱収縮チューブを収縮させるが、このと
き、熱風によって収縮した熱収縮チューブと内管１０と
の間に微小な隙間が形成される場合がある。このような
微小な隙間にのみ密着部材１８を充填すれば、その他の
部分は、熱収縮チューブと内管１０とが密着しているた
め、特に、密着部材１８が介在していなくても気泡の残
留を防止することができる。

【００２６】外管２２は、流体１４を収容する部材であ
る。この外管２２は、流体１４との接触に耐えられるよ
うに、耐熱性および耐薬品性を有する材料で形成する。
同図に示すように、この外管２２には、洗浄等の処理に
使用された流体１４を外管２２の内部に導入する流体導
入口２６と、ランプヒーター１２によって加熱された流
体１４を外管の外部に排出する流体排出口２４が設けら
れ、流体１４が常時循環できるように構成される。

【００２７】以上説明した本発明の第１の形態によれ
ば、密着部材１８が内管１０と被覆部材１６との間に介
在して気泡の残留を防止するため、被覆部材１６の耐久
性を向上させることができる。

【００２８】（第２の形態）本発明の第２の形態は、密
着部材１８の封止に関する発明である。前述したよう
に、密着部材１８は、微小な隙間にも確実に充填される
ように、流動性を有することが好ましい。ここで、密着
部材１８が熱硬化性樹脂のように、充填後硬化する材料
で形成されている場合には問題ないが、充填後の粘度が
低い場合には、密着部材１８が外部に漏れたり、被覆部
材１６と内管１０との間に外気が侵入するおそれがあ
る。

【００２９】本発明の第２の形態は、上記観点から構成
された発明であり、密着部材１８を封止して、被覆部材
１６と内管１０との密着状態を安定させる技術を提供す
る。

【００３０】図２は、本発明の第２の形態に係る流体加
熱装置の構成を示す断面図である。以下、同図を使用し
て、本発明の第２の形態の構成を説明する。

【００３１】封止部２０は、密着部材１８を内管１０と
被覆部材１６との間に封止する構造である。同図に示す
ように、封止部２０は、内管１０の両端にそれぞれ設け
られ、密着部材１８が外部に漏れるのを防止する。同図
に示す封止部２０は、内管１０に形成された凸部２８
と、該凸部２８の位置に対応して配設され、被覆部材１
６を外側から押圧するバンド３０から構成される。即
ち、被覆部材１６がバンド３０と凸部２８で挟持された
状態となる。凸部２８の先端形状は、平坦であっても曲
面であってもよく、特に制限はない。この構造により、
密着部材１８は、被覆部材１６と内管１０との間に密封
される。その結果、密着部材１８の粘度が低い場合で
も、漏れや外気の侵入等が防止される。封止部２０は、
同図に示す形態の他、類似の手段によって構成できる。
以下に、封止部２０の変形構成例をいくつか説明する。

【００３２】図３は、本発明の第２の形態に係る封止部
２０の第１の変形構成例を示す断面図である。同図に示
すように、この第１の変形構成例は、内管１０に凹部を
形成して、該形成した凹部の中にＯリング３２を配設し
た構造を有する。このような構造により、密着部材１８
は、Ｏリング３２と、被覆部材１６と、内管１０とで封
止された状態となる。

【００３３】図４は、本発明の第２の形態に係る封止部
２０の第２の変形構成例を示す断面図である。同図に示
すように、この第２の変形構成例は、内管１０の外周面
にゴムリング３４を配設し、該配設したゴムリング３４
をバンド３０で固定した構造を有する。ゴムリング３４
は、シリコンゴムやフッ素ゴムで形成することが好まし
い。このような構造により、密着部材１８は、ゴムリン
グ３４と、被覆部材１６と、内管１０とで封止された状
態となる。

【００３４】図５は、本発明の第２の形態に係る封止部
２０の第３の変形構成例を示す断面図である。同図に示
すように、この第３の変形構成例は、バンド３０に凹部
を形成して、該形成した凹部の中にＯリング３２を配設
し、Ｏリング３２を介して被覆部材１６が押圧された構
造を有する。このような構造により、密着部材１８は、
被覆部材１６と、内管１０とで封止された状態となる。

【００３５】上述した例の他、Ｏリング３２に代えてリ
ップシール等のシール部材を使用する方法やバンド３０
の代わりにＯリング３２やゴムリング３４を使用する等
の置換技術は、本発明の範囲内である。

【００３６】以上説明した本発明の第２の形態によれ
ば、密着部材１８が被覆部材１６と内管１０との間に封
止されるため、密着部材１８の粘度が低い場合でも、被
覆部材１６と内管１０との密着状態を維持し、安定した
被覆構造を構築することができる。

【００３７】（第３の形態）本発明の第３の形態は、内
管の被覆方法に関する発明である。前述したように、熱
収縮チューブ等の熱収縮性の被覆部材１６を用いて内管
１０を被覆すると、被覆部材１６の収縮時に微小な隙間
ができる場合がある。この微小な隙間は、部分的に形成
される場合が多く、密着部材１８をすべての隙間に充填
するためには、内管１０の被覆作業を適切な手順で行う
必要がある。

【００３８】本発明の第３の形態は、上記観点から構成
された発明であり、内管１０と被覆部材１６の密着性の
向上に有効な技術を提供する。

【００３９】以下、図６乃至図８を使用して、本発明の
第３の形態に係る内管の被覆方法の実行手順を説明す
る。

【００４０】図６は、本発明の第３の形態に係る内管の
第１の被覆手順を示す断面図である。同図に示す第１の
被覆手順では、まず、内管１０の外周に、透光性、耐熱
性、耐薬品性および熱収縮性を有する被覆部材１６を配
置し、該配置した被覆部材１６のうち、内管１０の下端
周辺に位置する部分を加熱して、被覆部材１６を部分的
に収縮させる。これにより、内管１０の下端が被覆部材
１６で封止された状態となる。被覆部材１６の加熱は、
ドライヤー等の熱風を用いて行うことが好ましい。上記
のようにして内管１０の下端を封止した後、図７に示す
第２の被覆手順を実行する。

【００４１】図７は、本発明の第３の形態に係る内管の
第２の被覆手順を示す断面図である。同図に示す第２の
被覆手順では、未封止である内管１０の上端にポット３
６を配置し、内管１０と被覆部材１６との間に流動性を
有する密着部材１８を充填する。密着部材１８の充填
は、同図に示すように、内管１０の下端がバンド３０で
固定された状態で行うことが好ましい。上記のようにし
て密着部材１８を充填した後、図８に示す第３の被覆手
順を実行する。

【００４２】図８は、本発明の第３の形態に係る内管の
第３の被覆手順を示す断面図である。同図に示す第３の
被覆手順では、内管１０の下端から上端に向かって、被
覆部材１６を順次加熱してゆき、被覆部材１６と内管１
０とを下端から順に密着させてゆく。その結果、流動状
態の密着部材１８とともに、気泡の原因となる空気層が
被覆部材１６の収縮によって押し上げられて、内管１０
と被覆部材１６とが密着する。密着作業の終了後、同図
に示すように、内管１０の上端をバンド３０で固定して
おくことが好ましい。

【００４３】尚、密着部材１８が熱硬化性樹脂である場
合には、上述した第３の被覆手順の実行後、当該樹脂の
硬化温度でキュアして、密着部材１８を硬化させる。

【００４４】以上説明した本発明の第３の形態によれ
ば、流動状の密着部材１８が内管１０の下端から順次充
填されてゆくため、内管１０と被覆部材との間に気泡が
残りにくく、より耐久性の高い被覆状態を得ることがで
きる。

【００４５】

【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面を参照し
て詳細に説明する。

【００４６】（実施例の要約）ハロゲンランプ１０６を
収容した内管１０の外周面を、透光性、耐熱性および耐
薬品性を有する熱収縮チューブ１０２で覆うとともに、
内管１０と熱収縮チューブ１０２との間に、透光性およ
び耐熱性を有するシリコンオイル１０４を充填する（図
９参照）。

【００４７】（好適な実施例）図９は、本発明の好適な
実施例に係る流体加熱装置の構造を示す一部断面図であ
る。同図に示す流体加熱装置には、内管１０と、該内管
１０の外周面を包囲する外管２２と、該内管１０に収容
されたハロゲンランプ１０６とが設けられる。そして、
内管１０と外管２２との間を流れる薬液１００をハロゲ
ンランプ１０６の輻射熱で加熱する。

【００４８】内管１０は、透光性および耐熱性を有する
石英ガラスで形成され、外管２２は、耐熱性および耐薬
品性を有するフッ素樹脂で形成される。内管１０は、こ
の外管２２の両側壁を貫通し、外管２２の両端から突出
した形状で配設される。そして、当該突出した部分に
は、凸部２８が形成され、左右の凸部２８の間にシリコ
ンオイル１０４が充填される。

【００４９】内管１０の外周面は、左右の凸部２８の間
に充填されたシリコンオイル１０４を介して、熱収縮チ
ューブ１０２で被覆され、薬液１００との接触が防止さ
れる。熱収縮チューブ１０２と内管１０とは、熱収縮チ
ューブの収縮性とシリコンオイル１０４の流動性によっ
て、密着する。そして、凸部２８とバンド３０によっ
て、熱収縮チューブ１０２が挟持され、シリコンオイル
１０４が熱収縮チューブ１０２と内管１０との間に封止
される。

【００５０】外管２２と熱収縮チューブ１０２との接触
部には、耐圧性、耐熱性および耐薬品性を有するＯリン
グ３２が設けられ、薬液１００の外部漏れを防止する構
造となっている。

【００５１】ハロゲンランプ１０６は、隣接して配設さ
れた一対の石英ガラス管１０８と、当該各石英ガラス管
１０８内にそれぞれ配設されたフィラメントと、当該各
石英ガラス管１０８の一端を連結するセラミックベース
Ａ１１２と、当該各石英ガラス管１０８の他端を連結す
るセラミックベースＢ１１４とから構成される。

【００５２】図１０は、図９のＸーＸ断面の構造を示す
断面図である。同図に示すように、一対の石英ガラス管
１０８は、内管１０の中に配設される。

【００５３】図９に示すように、セラミックベースＡ１
１２の外側には、一対のリード端子１１６が設けられ、
セラミックベースＡ１１２の内部を貫くリード線によっ
て、一対のフィラメント１１０に接続される。一方、セ
ラミックベースＢ１１４の内部には、各フィラメント１
１０を相互接続するリード線が設けられる。即ち、ハロ
ゲンランプ１０６は、その一端にリード端子１１６を有
するシングルエンド構造で構成される。石英ガラス管１
０８内には、窒素、アルゴン、クリプトン等の不活性ガ
スと微量のハロゲンガスとからなる混合ガスが封入され
る。

【００５４】上記のように構成されるハロゲンランプ１
０６は、リード端子１１６に電圧を印加すると、ハロゲ
ン作用によってフィラメント１１０が発光および発熱
し、薬液１００を加熱する。このハロゲンランプ１０６
には、例えば、３ＫＷのものが使用される。

【００５５】外管２２には、加熱前の薬液１００を導入
する流体導入口２６と、加熱後の薬液１００を排出する
流体排出口２４とが設けられ、流体導入口２６がポンプ
１２２に接続され、流体排出口２４がフィルタ１２０に
接続される。

【００５６】ポンプ１２２の上流には、半導体ウェハの
洗浄等を行う処理槽１１８が設けられ、該処理槽１１８
内に所定量および所定温度の薬液１００が収容される。
処理槽１１８内には、該処理槽１１８内に収容された薬
液１００の温度を検出する温度センサ１２６が設置され
る。温度センサ１２６が検出した信号は、コントローラ
１２４に入って制御用の信号として使用される。

【００５７】次に、上記のように構成される流体加熱装
置の動作を説明する。

【００５８】コントローラ１２４は、温度センサ１２６
の出力信号に基づいて、ハロゲンランプ１０６への電力
を設定し、処理槽１１８に収容された薬液１００の温度
を目標温度に収束させる。

【００５９】半導体ウェハの洗浄等に使用され、温度が
下降した薬液１００は、ポンプ１２２によって流体導入
口２６に送り込まれる。流体導入口２６から送り込まれ
た薬液１００は、内管１０の周辺を通過する際に、コン
トローラ１２４が設定した電力で加熱される。

【００６０】上記のようにして、加熱された薬液１００
は、流体排出口２４から排出される。流体排出口２４か
ら排出された高温の薬液１００は、フィルタ１２０を通
過して、再び処理槽１１８に収容され、半導体ウェハの
洗浄等に使用される。

【００６１】以上のような処理を繰り返し、薬液１００
の温度を制御する。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
石英ガラス管の溶解防止に有効な流体加熱装置およびラ
ンプヒーターを収容する内管の被覆方法を提供すること
ができる。

【００６３】また、本発明の第１の形態によれば、密着
部材１８が内管１０と被覆部材１６との間に介在して気
泡の残留を防止するため、被覆部材１６の耐久性を向上
させることができる。

【００６４】また、本発明の第２の形態によれば、密着
部材１８が被覆部材１６と内管１０との間に封止される
ため、密着部材１８の粘度が低い場合でも、被覆部材１
６と内管１０との密着状態を維持し、安定した被覆構造
を構築することができる。

【００６５】また、本発明の第３の形態によれば、流動
状の密着部材１８が内管１０の下端から順次充填されて
ゆくため、内管１０と被覆部材との間に気泡が残りにく
く、より耐久性の高い被覆状態を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の形態に係る流体加熱装置の構成
を示す断面図である。

【図２】本発明の第２の形態に係る流体加熱装置の構成
を示す断面図である。

【図３】本発明の第２の形態に係る封止部２０の第１の
変形構成例を示す断面図である。

【図４】本発明の第２の形態に係る封止部２０の第２の
変形構成例を示す断面図である。

【図５】本発明の第２の形態に係る封止部２０の第３の
変形構成例を示す断面図である。

【図６】本発明の第３の形態に係る内管の第１の被覆手
順を示す断面図である。

【図７】本発明の第３の形態に係る内管の第２の被覆手
順を示す断面図である。

【図８】本発明の第３の形態に係る内管の第３の被覆手
順を示す断面図である。

【図９】本発明の好適な実施例に係る流体加熱装置の構
造を示す一部断面図である。

【図１０】図９のＸーＸ断面の構造を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１０…内管、１２…ランプヒーター、１４…流体、１６
…被覆部材、１８…密着部材、２０…封止部、２２…外
管、２４…流体排出口、２６…流体導入口、２８…凸
部、３０…バンド、３２…Ｏリング、３４…ゴムリン
グ、３６…ポット、１００…薬液、１０２…熱収縮チュ
ーブ、１０４…シリコンオイル、１０６…ハロゲンラン
プ、１０８…石英ガラス管、１１０…フィラメント、１
１２…セラミックベースＡ、１１４…セラミックベース
Ｂ、１１６…リード端子、１１８…処理槽、１２０…フ
ィルタ、１２２…ポンプ、１２４…コントローラ、１２
６…温度センサ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透光性の内管（１０）に収容されたラン
   プヒーター（１２）を用いて流体（１４）を加熱する流
   体加熱装置において、 透光性、耐熱性および耐薬品性を有し、前記内管（１
   ０）の外周を被覆する被覆部材（１６）と、 透光性および耐熱性を有し、前記内管（１０）と前記被
   覆部材（１６）との間に介在して、該内管（１０）と該
   被覆部材（１６）との密着性を高める密着部材（１８）
   とを具備することを特徴とする流体加熱装置。
2. 【請求項２】 前記被覆部材（１６）は、 熱収縮チューブであることを特徴とする請求項１記載の
   流体加熱装置。
3. 【請求項３】 前記密着部材（１８）を前記内管（１
   ０）と前記被覆部材（１６）との間に封止する封止部
   （２０）をさらに具備することを特徴とする請求項１ま
   たは請求項２記載の流体加熱装置。
4. 【請求項４】 前記密着部材（１８）は、 液状シリコンオイルおよび液状フッ素化合物のグループ
   から選択されることを特徴とする請求項１乃至請求項３
   のいずれかに記載の流体加熱装置。
5. 【請求項５】 前記密着部材（１８）は、 シリコングリースおよびフッ素グリースのグループから
   選択されることを特徴とする請求項１乃至請求項３のい
   ずれかに記載の流体加熱装置。
6. 【請求項６】 前記密着部材（１８）は、 シリコン系透明接着剤、フッ素系透明接着剤およびアモ
   ルファスフッ素樹脂のグループから選択されることを特
   徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の流体
   加熱装置。
7. 【請求項７】 ランプヒーター（１２）を収容する透光
   性の内管（１０）を被覆する方法において、 前記内管（１０）の外周に、透光性、耐熱性、耐薬品性
   および熱収縮性を有する被覆部材（１６）を配置する被
   覆部材配置工程と、 前記被覆部材（１６）を部分的に加熱して、前記内管
   （１０）の一端を封止する封止工程と、 前記一端が封止された内管（１０）と前記被覆部材（１
   ６）との間に流動性を有する密着部材（１８）を充填す
   る密着部材充填工程と、 前記密着部材（１８）の充填後、前記内管（１０）の一
   端から該内管（１０）の他端に向かって、前記被覆部材
   （１６）を順次加熱してゆき、該被覆部材（１６）と該
   内管（１０）とを密着させる密着工程とを具備すること
   を特徴とする内管の被覆方法。