JP2000052261A - 吸着固定治具 - Google Patents

吸着固定治具

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JP2000052261A
JP2000052261A JP22412398A JP22412398A JP2000052261A JP 2000052261 A JP2000052261 A JP 2000052261A JP 22412398 A JP22412398 A JP 22412398A JP 22412398 A JP22412398 A JP 22412398A JP 2000052261 A JP2000052261 A JP 2000052261A
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suction
elastic member
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fixing jig
sucking
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Atsuo Sekine
厚雄 関根
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸着される被加工材が柔軟材であっても、確
実に吸着できる構造とする。 【解決手段】 被加工材40を吸着固定する吸着固定治
具であり、被加工材40の一面40aと略同一形状に成
形されて被加工材40の一面40aと接触する吸着面1
aを有した弾性部材1と、弾性部材1に覆われた膨張又
は収縮が発生しない支持部材5と、被加工材40の一面
40aを弾性部材1の吸着面1aに吸着するための吸引
力を作用させる吸引手段2とを具備する。支持部材5が
弾性部材1を支持するため、吸引力が作用しても弾性部
材1が変形することがなく、柔軟な被加工材であっても
確実に吸着することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、軟質な被加工材を
吸着固定する吸着固定治具に関する。
【0002】
【従来の技術】図6は特開平5−84682号公報に記
載された従来の吸着固定治具を示す。この吸着固定治具
は真空孔102が中央部分に貫通した吸着プレート10
1を有している。吸着プレート101の吸着面103側
には、真空孔102の周りを囲むようにOリング溝10
5が形成されており、このOリング溝105には吸着面
104より突出するようにOリング104が嵌まり込ん
でいる。
【0003】この吸着固定治具では、吸着プレート10
1の吸着面103上に被加工材106を載せてから吸引
源を駆動させる。これにより被加工材106は真空孔1
02を介して真空吸引される。このとき被加工材106
とOリング104とが圧着して真空がシールされる。こ
の結果、Oリング104の内周側は高真空状態に保たれ
て、被加工材106がOリング104を圧下し、これに
より被加工材106と吸着面103とが密着するため被
加工材106を固定することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような吸着固定治
具では、樹脂材料のように被加工材が柔らかい場合、フ
ライス加工やマニシングセンタ加工などでは加工精度が
低下する可能性がある。例えば、吸着プレートがシリコ
ン製であると、吸着プレートの作製後のシリコンの収縮
により、吸着プレートの形状と被加工材の形状が必ずと
も一致しない。このため吸着プレートと被加工材との間
に隙間が生じて十分な吸着力が得られない。これにより
加工時に被加工材がずれて加工精度が低下する。
【0005】以上のような不都合への対応として、上述
した吸着固定治具では、真空孔102の周囲に弾性体か
らなるOリング104を設置して、吸着プレート101
と被加工材106との間の隙間を埋めて吸着力を高めて
いる。しかしながら、この構造では、Oリング104の
周辺部だけが吸着プレート101とに密着し、それ以外
の部分では吸着プレート101と被加工材106の間に
隙間が存在する。このため、樹脂材料のように被加工材
106が柔らかい場合には、加工時にビビリが発生する
問題がある。
【0006】又、Oリング104を設置して、吸着プレ
ート101と被加工材106との間の隙間を埋めて被加
工材106を固定する構造では、樹脂材料のように被加
工材106が柔らかい場合、強力な吸着力のために被加
工材106が吸着プレート101の形状に沿って変形す
るため、十分な加工精度が得られないという問題点も有
している。
【0007】本発明はこのような従来の問題点を考慮し
てなされたものであり、樹脂材料のような軟質な被加工
材を加工時に変形させず、しかも確実に固定することが
できる吸着固定治具を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、被加工材を吸着固定する吸着固
定治具において、上記被加工材の一面と略同一形状に成
形されて被加工材の一面と接触する吸着面を有した弾性
部材と、この弾性部材に覆われた膨張又は収縮が発生し
ない支持部材と、上記被加工材の一面を弾性部材の吸着
面に吸着するための吸引力を作用させる吸引手段と、具
備することを特徴とする。
【0009】この発明では、膨張又は収縮しない支持部
材を弾性部材が覆っているため、弾性部材を硬化させて
成形する際に弾性部材が収縮することがなく、その吸着
面を被加工材の一面と略同一の形状に成形することがで
きる。
【0010】このような弾性部材の吸着面が被加工材に
接触した状態に対し、吸引手段が作動する。この作動に
よって被加工材が弾性部材の吸着面に吸着されるが、弾
性部材の吸着面が被加工材の一面と略同一の形状となっ
ており、且つ、弾性部材が膨張又は収縮が発生しない支
持部材に支持されて変形することがないため、吸着面が
被加工材の一面に確実に密着する。従って、被加工材が
樹脂などの軟質材料であっても、ビビリが発生したり、
変形することがなくなる。これにより、フライス加工や
マシニングセンタ加工であっても充分な加工精度を確保
することができる。
【0011】請求項2の発明は、請求項1記載の発明で
あって、上記弾性部材の吸着面に被加工材方向に突出し
た環状の突起部が形成されると共に、この突起部の周囲
に吸着面よりも窪んだ環状の溝部が設けられていること
を特徴とする。
【0012】この発明では、環状の突起部が被加工材に
当接して被加工材を支承するが、吸引力が作用すると、
被加工材が突起部を圧迫するため、突起部は周囲の溝部
に沈み込む。このため、被加工材が弾性部材の吸着面に
密着状態で吸着され、ビビリや変形のない吸着を行うこ
とができる。
【0013】請求項3の発明は、請求項1記載の発明で
あって、上記弾性部材及び支持部材の相対的なずれを防
止する基準ピンが弾性部材及び支持部材を貫通してお
り、この基準ピンの先端が上記弾性部材の吸着面と同一
高さとなっていることを特徴とする。
【0014】この発明では、基準ピンが弾性部材及び支
持部材を貫通することにより、これらの部材が相互に滑
ってずれることがなくなる。このため、支持部材が弾性
部材を確実に支持することができる。
【0015】又、基準ピンの先端が弾性部材の吸着面と
同一の高さとなっていることにより、強力な吸引力が作
用しても、弾性部材が必要以上に変形することがなくな
る。このため、被加工材を正確な位置出し状態で強固に
吸着することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)図1〜図4は本
発明の実施の形態1を示し、図1及び図2はこの実施の
形態1の吸着固定治具の断面図及び平面図である。この
吸着固定治具は弾性部材1と、支持部材としての混合材
5と、基準ピン8とを備えており、フライス加工やマシ
ニングセンタ加工などの加工時に被加工材40を吸着す
るために使用される。
【0017】弾性部材1は平面が略矩形の逆カップ形状
に成形されており、その上面は被加工材40の一面40
aと接触して被加工材40を吸着する吸着面1aとなっ
ている。この吸着を確実に行うため、吸着面1aは被加
工材40の一面40aと略同形状に成形される。この形
態では、被加工材40の一面40aが平面となってお
り、このため吸着面1aは被加工材40の一面40aに
沿った略平面状に成形されている。かかる弾性部材1は
シリコン樹脂により図示する形状に成形されるものであ
る。又、弾性部材1はシリコン樹脂の成形時の硬化によ
る収縮を抑えるため、5〜10mm程度の厚さとなって
いる。
【0018】弾性部材1の略中央部分には、吸引孔部2
aが形成されていると共に、この吸引部2aに近接した
位置には、後述する基準ピン8が固定されている。吸引
孔部2aは後述する混合材5の吸引孔部2bと連通し、
この連通によって被加工材40を弾性部材1上に吸引す
るための吸引孔2を構成する。
【0019】又、弾性部材1の吸着面1aには、共に環
状の溝部4及び突起部3が形成されている。環状の溝部
4は弾性部材1の吸着面1aよりも窪んでおり、これに
より吸着面1aと被加工材40と一面40aとが吸着す
る基準面Aよりも低くなっている。
【0020】環状の突起部3は弾性部材1の吸着面1
a、すなわち基準面Aよりも高くなるように溝部4から
立ち上がっている。この突起部3は溝部4の溝幅の中間
部分から上方に立ち上がっており、これにより、溝部4
は径方向における突起部3の両側で外側溝部4a及び内
側溝部4bに分断されている。
【0021】外側溝部4a及び内側溝部4bは、いずれ
も1〜2mmの溝幅及び基準面Aから1〜2mmの深さ
となるように形成されている。一方、突起部3は1〜2
mmの厚さ及び基準A面から0.5〜1mmの高さとな
るように形成されている。このように突起部3が溝部4
の中間部分から立ち上がり、しかも上述の寸法関係とす
ることにより、突起部3に押し込み力が作用すると、突
起部3は溝部4内に沈み込むことが可能となっている。
【0022】支持部材としての混合材5は、弾性部材1
の内部に設けられることにより弾性部材1に覆われてい
る。この場合、混合材5は弾性部材1との間に隙間のな
い状態で弾性部材1の内部に設けられており、これによ
り弾性部材1の全体を支持している。この混合材5は膨
張及び収縮が生じない材料によって全体が形成されてお
り、アクリル樹脂からなる混合物6がシリコン樹脂7に
均一に混入された材料が使用される。混合物6はシリコ
ン樹脂7の収縮を低減させるためのものであり、混合材
5の全体積の50〜70%となるように混入される。
【0023】混合材5には弾性部材1の吸引孔部2aと
連通する吸引孔部2bが形成されている。この連通によ
って弾性部材1及び混合材5を上下方向貫通する吸引孔
2が形成される。かかる吸引孔2には吸引ホース13が
吸着面1aから1mm程度低い位置まで挿入され、この
吸引ホース13が真空ポンプなどの吸引装置(図示省
略)に連結されている。従って、吸引装置が駆動するこ
とにより、吸引孔2から空気が吸い込まれるため、基準
面Aを減圧状態とし、これにより被加工材40を吸着す
ることができる。このため、吸引孔2,吸引ホース13
及び吸引装置は、被加工材40を弾性部材1の吸着面1
aに吸着する吸引力を作用させる吸引手段を構成する。
【0024】基準ピン8は以上の弾性部材1及び混合材
5を上下方向に貫通している。この基準ピン8は弾性部
材1及び混合材5の成形時にこれらに埋め込まれるもの
であり、基準ピン8が弾性部材1及び混合材5を貫通す
ることにより、弾性部材1及び混合材5が相互に滑るこ
とがなくなり、滑りに起因したこれらのずれを防止する
ことができる。
【0025】又、基準ピン8の埋め込みにあっては、基
準ピン8の先端が弾性部材1の吸着面1aと同一の高さ
となるように行われる。このように基準ピン8の先端が
弾性部材1の吸着面1aと同一の高さとなっていること
により、強力な吸引力が作用しても、弾性部材1が必要
以上に変形することがなくなり、被加工材40を正確な
位置出し状態で強固に吸着することができる。
【0026】図3は基準ピン8の拡大図を示す。基準ピ
ン8は全体が塩化ビニル樹脂などによって形成される。
又、基準ピン8の外面には、複数の切欠き15が形成さ
れている。切欠き15内には、弾性部材1及び混合材5
が噛み込むことができ、この噛み込みによって弾性部材
1及び混合材5の相対的な滑りを効果的に防止すること
ができる。
【0027】さらに、以上の構成部材の組み付け状態で
は、全体がアルミニウム或いはその合金などからなるベ
ース板9上に載置されて被加工材40の吸着に使用され
る。このベース板9には吸引ホース13が貫通するもの
である。
【0028】以上の実施の形態によって被加工材40を
吸着する場合、図1に示すように弾性部材1の吸着面1
a上に一面40aが当接するように被加工材40を載置
する。この載置状態で吸引装置を駆動して吸引孔2から
吸引する。この吸引力により被加工材40は弾性部材1
に吸い付けられるため、被加工材40が突起部3を圧迫
する。この圧迫によって突起部3は外側溝部4a及び内
側溝部4b内に沈み込み、突起部3は被加工材40の一
面40aと同じ形状に変形する。このため、弾性部材1
の吸着面1aが被加工材40の一面に密着し、被加工材
40は弾性部材1の吸着面1aに密着状態で吸着され
る。
【0029】その後、吸引を続行し、この吸引の続行に
よって十分な吸着力が生じたとき、弾性部材1には吸引
方向への変形力が作用する。しかしながら、弾性部材1
が混合材5によって支持されていると共に、弾性部材1
及び混合材5が噛み込んでいる基準ピン8が弾性部材1
の吸着面1aと同じ高さとなっているため、弾性部材1
は吸引方向に変形することなく、被加工材40を吸着す
ることができる。このため、被加工材40が樹脂などの
軟質材料であっても、ビビリが発生したり、変形するこ
とがなくなり、フライス加工やマシニングセンタ加工で
あっても充分な加工精度を確保することができる。
【0030】図4は以上の吸着固定治具を成形する転写
用型10を示す。転写用型10は弾性部材1及び混合材
5を成形するためのキャビティ22が形成された型本体
21を有している。この型本体21は上面が開放されて
おり、開放された上面から弾性部材1及び混合材5の材
料が充填される。
【0031】又、型本体21の底面には、突起部3を形
成するための環状の溝部11が形成されると共に、溝部
11の周囲には、発泡樹脂(スポンジ)などからなる環
状のリング体12a、12bが配置されている。このリ
ング体12a、12bはそれぞれ内側溝部4b及び外側
溝部4aを形成するものであり、両面粘着テープ(図示
省略)などによって型本体21の底面に取り付けられて
いる。さらに、型本体の略中央部分には、吸引孔2を形
成するためのロッド部23が立設されている。
【0032】このような転写用型10では、まず、基準
ピン8をロッド部23に近接した位置に立設させる。こ
のとき、基準ピン8の上部を保持治具26によって保持
して倒れを防止する。そして、キャビティ22内に所定
の厚さとなるようにシリコン樹脂を流し込んで一定の硬
度となるまで硬化する。これにより、吸引孔2、突起部
3及び溝部4を有した逆カップ状の弾性部材1が成形さ
れる。
【0033】弾性部材1の成形の後は保持治具26を外
し、その後、混合物6をシリコン樹脂7に混入した混入
物を弾性部材1の内部に流し込んで硬化する。この硬化
によって混合材5が成形される。この成形の際に、シリ
コン樹脂からなる硬化終期の弾性部材1が収縮しようと
しても、混合材5が膨張及び収縮しないため、弾性部材
1は収縮することなく硬化する。このため、弾性部材1
を所望の形状に成形することができると共に、弾性部材
1の吸着面1aを被加工材40への吸着可能な形状に成
形することができる。
【0034】なお、混合材5としては膨張、収縮しない
材料であればアクリル樹脂以外のものを使用することが
できる。又、被加工材40の吸着はブロアによって行っ
ても良い。
【0035】(実施の形態2)図5は本発明の実施の形
態2を示し、実施の形態1と同一の要素は同一の符号を
付して対応させてある。この実施の形態では、弾性部材
1を内側から支持する支持部材として木製の縮小型14
を使用している。
【0036】縮小型14は弾性部材1に対して全体が5
〜10mm縮小されて形成されていると共に、吸着孔
2、基準ピン8が設置できるように加工されている。こ
の縮小型14としては、木以外の膨張、収縮のしない材
料であれば金属、その他の材料を使用することができ
る。
【0037】この実施の形態では、吸着固定治具の内部
が縮小型14から形成されていることにより、弾性部材
1を成型するシリコン樹脂の収縮を低減することができ
る。このため、弾性部材1及びその吸着面1aを所望の
形状に確実に成形することができ、十分な吸着力を有し
たものとすることができる。
【0038】以上の説明から本発明は以下の発明を包含
するものである。 (1)被加工材を吸着固定する吸着固定治具において、
上記被加工材を吸引する吸引孔部および上記被加工材の
一面と略同一形状の吸着面を有する弾性部材と、この弾
性部材の吸引孔部に連通する吸引孔部を有し、上記弾性
部材に覆われた膨張または収縮が発生しない支持部材
と、を具備することを特徴とする吸着治具固定具。
【0039】この発明では、弾性部材および支持部材の
吸引孔部が連通することにより、被加工材を吸引する吸
引力を作用させることができる。
【0040】(2)上記弾性部材の吸着面は、上記吸引
孔部を囲むように設けられ、基準面よりも突起した環状
の突起部と、この突起部の内側と外側に設けられた上記
基準面よりも窪んだ環状の溝部と、を有することを特徴
とする上記(1)記載の吸着固定治具。
【0041】この発明では、被加工物が吸着することに
より、突起部が環状の溝部内に沈み込むため、弾性部材
が被加工物を確実に吸着することができる。
【0042】(3)上記弾性部材は、シリコン樹脂であ
ることを特徴とする上記(1)または(2)記載の吸着
固定治具。
【0043】シリコン樹脂とすることにより、成形が容
易となる。
【0044】(4)上記支持部材は、アクリル樹脂から
なる混合物をシリコン内に入れたものであることを特徴
とする上記(1)、(2)または(3)記載の吸着固定
治具。
【0045】アクリル樹脂を混入することによりシリコ
ン樹脂が膨張及び収縮することがなくなる。
【0046】(5)上記支持部材は、木製であることを
特徴とする上記(1)、(2)または(3)記載の吸着
固定治具。
【0047】木製のため、確実に膨張及び収縮すること
がなくなる。
【0048】(6)上記弾性部材の吸着孔と上記内側の
環状の溝部との間に、上記弾性部材の吸着面の基準面と
同一の高さに先端が位置するような基準ピンをさらに具
備することを特徴とする上記(1)〜(5)のいずれか
に記載の吸着固定治具。
【0049】基準ピンによって弾性部材の変形を防止す
ることができる。
【0050】(7)上記基準ピンは、側面に切欠きが設
けられていることを特徴とする上記(5)または(6)
記載の吸着固定治具。
【0051】切欠きに弾性部材及び支持部材が噛み込む
ため、これらのずれを防止することができる。
【0052】(8)上記基準ピンは、塩化ビニール製で
あることを特徴とする上記(6)または(7)記載の吸
着固定治具。
【0053】塩化ビニール樹脂は成形が容易であり、基
準ピンを簡単に成形することができる。
【0054】(9) 吸着面を被加工材と同一形状の弾
性体で覆われた吸着固定治具において、吸着固定治具の
内部を膨張または収縮の発生しない部材を具備したこと
を特徴とする吸着固定治具。
【0055】膨張又は収縮しない部材が弾性体の変形を
防止するため、弾性体が被加工材に確実に吸着すること
ができる。
【0056】(10)前記吸着固定治具において、吸着
孔の回りを囲み、被加工材が接触する吸着面から突出し
ている吸着面と同一素材の環状体と、その環状体の外側
に吸着面より低い位置に設けられた環状溝と、その環状
体の内側に吸着面より低い位置に設けられた環状溝と、
環状体の内側の環状溝と吸着孔の間に設置された基準ピ
ンと、を具備したことを特徴とする上記(9)記載の吸
着固定治具。
【0057】環状溝内に環状体が沈み込むため、被加工
材を確実に吸着することができる。又、基準ピンは弾性
体の変形を防止する。
【0058】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、弾性部材の吸着面が被加工材の一面と略同一の
形状となっており、且つ、弾性部材が膨張又は収縮が発
生しない支持部材に支持されて変形することがないた
め、吸着面が被加工材の一面に確実に密着する。このた
め被加工材が樹脂などの軟質材料であっても、ビビリが
発生したり、変形することがなくなる。
【0059】請求項2の発明によれば、被加工材が突起
部を圧迫することにより、突起部が周囲の溝部に沈み込
むため、被加工材が弾性部材の吸着面に密着状態で吸着
され、ビビリや変形のない吸着を行うことができる。
【0060】請求項3の発明によれば、基準ピンが弾性
部材及び支持部材を貫通することにより、これらの部材
が相互に滑ってずれることがなくなる。又、基準ピンの
先端が弾性部材の吸着面と同一の高さとなっているた
め、被加工材を正確な位置出し状態で強固に吸着するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の吸着固定治具の断面図
である。
【図2】実施の形態1の吸着固定治具の平面図である。
【図3】基準ピンの断面図である。
【図4】吸着固定治具を成形する転写用型の断面図であ
る。
【図5】実施の形態2の吸着固定治具の断面図である。
【図6】従来の吸着固定治具の断面図である。
【符号の説明】
1 弾性部材 1a 吸着面 2 吸引孔 3 突起部 4 溝部 5 混合材 8 基準ピン 40 被加工材 40a 一面

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被加工材を吸着固定する吸着固定治具に
    おいて、 上記被加工材の一面と略同一形状に成形されて被加工材
    の一面と接触する吸着面を有した弾性部材と、 この弾性部材に覆われた膨張又は収縮が発生しない支持
    部材と、 上記被加工材の一面を弾性部材の吸着面に吸着するため
    の吸引力を作用させる吸引手段と、を具備することを特
    徴とする吸着固定治具。
  2. 【請求項2】 上記弾性部材の吸着面に被加工材方向に
    突出した環状の突起部が形成されると共に、この突起部
    の周囲に吸着面よりも窪んだ環状の溝部が設けられてい
    ることを特徴とする請求項1記載の吸着固定治具。
  3. 【請求項3】 上記弾性部材及び支持部材の相対的なず
    れを防止する基準ピンが弾性部材及び支持部材を貫通し
    ており、この基準ピンの先端が上記弾性部材の吸着面と
    同一高さとなっていることを特徴とする請求項1記載の
    吸着固定治具。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001348553A (ja) * 2000-06-06 2001-12-18 Nitto Denko Corp 粘着剤組成物とその粘着シ―ト類およびこれらの製造方法
JP2007125673A (ja) * 2005-11-07 2007-05-24 Ishikame Kogyo:Kk 加工製品の表面処理方法
JP2014502182A (ja) * 2010-11-22 2014-01-30 バイオキャド メディカル インコーポレイテッド 歯科要素を製造するための方法及び装置
CN117047510A (zh) * 2023-10-13 2023-11-14 泰州宏润金属科技有限公司 一种五金件加工夹具

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001348553A (ja) * 2000-06-06 2001-12-18 Nitto Denko Corp 粘着剤組成物とその粘着シ―ト類およびこれらの製造方法
JP2007125673A (ja) * 2005-11-07 2007-05-24 Ishikame Kogyo:Kk 加工製品の表面処理方法
JP2014502182A (ja) * 2010-11-22 2014-01-30 バイオキャド メディカル インコーポレイテッド 歯科要素を製造するための方法及び装置
US9615902B2 (en) 2010-11-22 2017-04-11 Biocad Medical Inc. Method and device for producing a dental component
CN117047510A (zh) * 2023-10-13 2023-11-14 泰州宏润金属科技有限公司 一种五金件加工夹具
CN117047510B (zh) * 2023-10-13 2023-12-08 泰州宏润金属科技有限公司 一种五金件加工夹具

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