JP2000047203A

JP2000047203A - 電気光学装置の製造方法

Info

Publication number: JP2000047203A
Application number: JP11218957A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Obara; 浩志小原; Chiyoaki Iijima; 千代明飯島; Hitoshi Nishizawa; 均西澤; Shuichi Imai; 秀一今井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1999-08-02
Filing date: 1999-08-02
Publication date: 2000-02-18

Abstract

(57)【要約】【課題】光散乱効果が良好な凹凸反射層を形成する。【解決手段】基板上に凹凸を有する有機膜を感光性樹
脂により形成し、有機膜上に反射層を形成する工程を有
する電気光学装置の製造方法において、一方の基板上に
感光性樹脂をコートする工程、感光性樹脂の所望位置に
紫外線を照射する工程、及び感光性樹脂を現像処理する
工程、を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置等の電
気光学装置およびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の液晶表示装置、例えば特開平１−
１８８８２８号公報に示される反射型の液晶表示装置に
おいては、対向する一対の基板間に液晶層を挟持してな
る液晶セルの一方の基板の液晶層側の面に反射層等を設
けることによって、明るい表示が得られるようにするこ
とが提案されている。

【０００３】しかし、上記従来のものは反射層が必ずし
も明確ではなく、反射層として基板の液晶層側の面に金
属膜等を平滑に形成すると、その反射層が鏡面となって
使用者の顔や背景が映り、表示が非常に見づらくなる等
の不具合がある。

【０００４】そこで、基板の液晶層側の面に反射層を形
成した後に加熱処理して表面に凹凸をつける方法や、反
射層形成後にホーニングまたはエッチング処理して光散
乱面とする方法が提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
に加熱処理して表面に凹凸をつける場合には、４００〜
６００℃と高温プロセスでの加熱処理が必要で、基板の
耐熱性が要求され基板の材質に制約がある。しかも凹凸
が結晶性の制御に因っているため、光散乱効果がうまく
出ない等の不具合がある。

【０００６】また前述のように、反射層をホーニングす
る場合は、反射層にピンホール等が生じるおそれがあ
り、電極と併用する場合には断線や抵抗値が変化して画
質に及ぼす悪影響は無視できない。また反射層をエッチ
ングする場合は、反射層表面が等方的にエッチングされ
るため光散乱効果が少ない等の問題がある。

【０００７】本発明は上記の問題点を解消することので
きる電気光学装置およびその製造方法を提供することを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明による電気光学装置およびその製造方法は以
下の構成としたものである。

【０００９】即ち、本発明による電気光学装置は、対向
する一対の基板間に液晶層を挟持してなる液晶セルの一
方の基板の液晶層側の面に、反射層を有する電気光学装
置において、上記反射層を有する基板の液晶層側に微細
な凹凸を有し、その凹凸の表面に上記反射層としての金
属膜を有することを特徴とする。

【００１０】また本発明による電気光学装置の製造方法
は、対向する一対の基板間に液晶層を挟持してなる液晶
セルの一方の基板の液晶層側の面に、反射層を形成した
電気光学装置を製造するに当たり、上記反射層を形成す
る基板の液晶層側の面に微細な凹凸を形成し、必要に応
じてその凹凸表面を補修処理した後、その凹凸表面に上
記反射層としての金属膜を形成することを特徴とする。

【００１１】〔作用〕上記のように本発明による電気光
学装置は、反射層を有する基板の液晶層側に微細な凹凸
を有し、その凹凸の表面に上記反射層としての金属膜を
有する構成であり、基板側の凹凸は金属膜表面にも波及
して液晶層側の面に微細な凹凸を有する反射層が形成さ
れ、その反射層で光が良好に散乱されて表示が見やす
く、しかも視角が広い電気光学装置を提供することが可
能となる。

【００１２】また本発明による電気光学装置の製造方法
は、反射層を形成する基板の液晶層側の面に微細な凹凸
を形成した後、その凹凸表面に上記反射層としての金属
膜を形成するようにしたので、反射層にピンホール等が
生じることなく、光散乱効果の優れた電気光学装置を容
易に製造することが可能となる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明による電気光学装置およびその
製造方法を、液晶表示装置を例にして具体的に説明す
る。

【００１４】図１は本発明による電気光学装置としての
液晶表示装置の一例を示す縦断面図である。

【００１５】図において、１は液晶セルであり、上下一
対の基板２・３間に液晶層４を挟持してなる。上側の基
板２の液晶層４側の面には、ＩＴＯ等の透明電極５が設
けられ、他方の基板３の内面には、反射層としての薄い
金属膜６が設けられている。７はスペーサ、８は偏光板
を示す。

【００１６】そして本実施例は、下側の基板３の液晶層
４側の面に微細な凹凸を設け、その表面に上記の薄い金
属膜６を設けることによって、金属膜６の表面にも凹凸
が波及するようにしたものである。

【００１７】なお、液晶層の層厚が均一になるように金
属膜６の表面上にＳｉＯ_２等の無機膜や有機膜を塗布す
ることもある。また液晶分子が均一に配向するようにポ
リイミド、ポリビニルアルコール等の高分子有機薄膜を
ラビング処理することもある。

【００１８】前記の基板３としては、例えばガラス基板
を用いる、またはポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリカーボ
ネート（ＰＣ）等の合成樹脂基板を用いてもよく、ある
いはガラス基板の表面にアクリル系樹脂、エポキシ樹
脂、ポリイミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、ミラノー
ル系樹脂等の有機膜を有するものを用いることもでき
る。なお基板３は必ずしも透明である必要はない。また
基板はその両表面が異方性導電性を有するものでもよ
い。

【００１９】上記のように有機膜を有するガラス基板を
用いる場合には、そのガラス基板に前記の凹凸を形成し
てもよく、あるいは有機膜に形成してもよい。特にガラ
ス基板に凹凸を形成したのち有機膜を形成する場合、そ
の有機膜の厚さは、好ましくは２μｍ以下、より好まし
くは０．５μｍ以下にするのが望ましい。

【００２０】また反射層を構成する金属膜の材質は、ア
ルミニウムその他任意であり、特に制限はない。又その
金属膜の膜厚は、好ましくは１μｍ以下、より好ましく
は３００オングストローム以下にするのが望ましい。

【００２１】上記の金属膜は表示用電極に兼用すること
ができる。また、前記の金属膜を有する側の基板として
液晶層側にＩＴＯ等の透明電極もしくは不透明の電極を
有するものを用いることもできる。その場合は上記基板
と電極のうち少なくとも電極の液晶層側の面に前記の凹
凸を設ける。

【００２２】上記のように基板の液晶層側の面に凹凸を
設け、その表面に反射層として薄い金属膜を設けること
により、基板側の凹凸が金属膜表面に波及し、その凹凸
面が光散乱面となって観察面側（図で上側）から入射し
た光を良好に散乱反射させることができるものである。

【００２３】なおその場合、図３（ｂ）に示すように観
察者側に反射光が多くなるように制御するのが望まし
く、例えば凹凸のピッチを均一に形成すると、反射光に
指向性を生じ、全方向に対して均一に効果が生じないた
め、凹凸のピッチは図２のように不均一にランダムに形
成するのが望ましい。又その場合の凹凸の平均ピッチｐ
は、８０μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以下とする
のが望ましく、また凹凸の高さｈは、挟持する液晶の配
向安定性と、反射する光の観察者側への集中を考慮して
０．６μｍ以下、より好ましくは０．３μｍ以下とする
のが望ましい。

【００２４】次に、上記のような液晶表示装置等の電気
光学装置の製造方法を具体的に説明する。

【００２５】即ち、本発明による製造方法は、対向する
一対の基板間に液晶層を挟持してなる液晶セルの一方の
基板の液晶層側の面に反射層を有する液晶表示装置等を
製造するに当たり、上記反射層を形成する基板の液晶層
側の面に微細な凹凸を形成し、必要に応じてその凹凸表
面を補修処理した後、その凹凸表面に上記反射層として
の金属膜を形成するものである。

【００２６】上記の基板に凹凸を形成する手段は任意で
あるが、例えばホーニング処理により形成するとよい。

【００２７】この場合、基板はガラス基板または前記の
合成樹脂基板もしくはガラス基板上に前記のような有機
膜を有するものでもよい。そのガラス基板上に有機膜を
有するものにあっては、ガラス基板に有機膜を形成した
のち有機膜をホーニング処理して凹凸を形成してもよ
く、あるいはガラス基板をホーニング処理して凹凸を形
成したのち有機膜を形成してもよい。

【００２８】その有機膜の材質はアクリル樹脂その他適
宜であり、また膜厚については特に制約条件はない。有
機膜をガラス基板上に形成する手段は、塗布その他適宜
であり、また有機膜の形成位置は、信号入力用端子部は
避け上記の凹凸を形成すべき位置にのみ選択的に形成す
るのが、信頼性の上からも有効で望ましい。例えば感光
性アクリル樹脂をスピンコート法で２μｍ厚で全面コー
トした後、フォトマスクで所望のパターンのみに紫外線
を照射して光重合させ、残りを現像処理して有機膜を形
成することができる。

【００２９】前記の基板にホーニング処理により凹凸を
形成する際の研磨粒子は、ガラス基板にあっては酸化セ
リウム等を用いるとよく、また前記の合成樹脂基板もし
くは有機膜にあってはポリビニルアルコールやポリウレ
タン系樹脂等の粒子を用いるとよい。又それ等の粒径
は、１０μｍ以下、より好ましくは５μｍ以下のものを
用いるのが望ましい。

【００３０】さらに、ホーニング処理する方向は基板に
対して鉛直（垂直）方向から行うと、形成される凹凸の
高さが大きくなり制御しにくくなるため、鉛直方向に対
して所定の角度傾斜させて行うことが、均一で浅い凹凸
を形成する上で望ましく、上記の傾斜角度は好ましくは
鉛直方向に対して４５°以上傾斜させるとよい。

【００３１】なお、ホーニング処理以外の方法として、
ガラス基板をフッ酸でエッチングして凹凸を形成する方
法が有効である。また前記の補修処理としても、例えば
フッ酸を用いて基板上に形成された凹凸表面を軽くエッ
チング処理する、あるいは上記凹凸の凸部を研磨して凹
凸の高さを調整する方法をとり得る。

【００３２】上記のフッ酸を用いて基板上に形成された
凹凸表面を軽くエッチング処理する場合には、ホーニン
グ処理したガラス基板を、ホーニングした両側にフッ酸
もしくはフッ酸とフッ化アンモニウムとの混合液（混合
比４：１〜１：４、程度により調整）を用いて２０〜４
０℃で浸漬し、エッチングすることにより凹凸の高さや
形状を調整する。

【００３３】また上記のように凸部を研磨する場合は、
研磨する基板の材質に応じて研磨材を適宜選択するもの
で、例えば前述したホーニング処理に用いる研磨粒子と
同じものを用いる。

【００３４】次いで上記のようにして凹凸を形成した基
板上に反射層としての金属膜を形成するもので、例えば
スパッタもしくは蒸着等の真空成膜法により形成する。
この場合、成膜レートは早い方が膜に凹凸ができやす
く、例えば８０〜２５０オングストローム／ｍｉｎ程度
が望ましい。また成膜温度は１００〜３００℃程度が望
ましい。

【００３５】具体的には、例えばスパッタ法の場合は、
膜形成レートが２００オングストローム／ｍｉｎ程度、
成膜温度が１８０℃程度で膜厚５０００オングストロー
ム程度形成すればよく、蒸着法の場合は膜形成レートが
１００オングストローム／ｍｉｎ程度、成膜温度が２０
０℃程度で膜厚５０００オングストローム程度形成すれ
ばよい。

【００３６】上記のようにして形成した金属膜は、必要
に応じて加熱処理して凹凸をコントロールすると、微細
なピッチの凹凸とすることができる。例えばガラス基板
を用いる場合は、２００〜４５０℃で空気中で加熱処理
すればよい。また合成樹脂基板もしくはガラス基板上に
有機膜を有するものでも耐熱性の高いものであれば、上
記の加熱処理が可能であり、例えばポリイミド樹脂の場
合には２２０〜２４０℃で加熱処理できる。

【００３７】上記のようにして基板上に形成した金属膜
は、パターニングして表示用電極とする。この場合、電
極形成はパターニングの前でも後でもよいが、加熱処理
して結晶性のかわった表面はエッチングレートが変わる
ため望ましくはパターニング後に加熱するとよい。また
上記の加熱処理は空気中でもよいが、金属によっては、
例えばクロムのように酸化して反射率の抵下するものが
あるため、望ましくは不活性ガス雰囲気中で処理すると
よい。

【００３８】なお、前記の基板と金属膜との間には、Ｉ
ＴＯ等の透明または不透明の電極を設けることも可能で
あり、この場合、前記のようにして凹凸を形成した基板
上にＩＴＯ等の所望のパターンの電極を形成した後、金
属膜を形成する。あるいは平らな基板上に、電極を形成
し、その電極表面に前記と同様の要領で凹凸を形成した
後、金属膜を形成することもできる。又この場合、上記
の金属膜はニッケル等をメッキして形成することもでき
る。

【００３９】具体的には、例えば以下の要領で形成す
る。すなわち、電極が形成された基板を２０％のＫＯＨ
溶液の中に常温で１０分間浸漬して脱脂を行い、５％の
ＨＣｌ溶液に常温で５分間浸漬して中和させる。次い
で、その基板表面上に無電解メッキを開始してパラジウ
ムを付着させる。これは例えば１５％のＨＣｌ溶液中に
増感剤（日立化成工業株式会社製商品名ＨＳ−１０１
Ｂ）を７％混合し常温で１０分間浸漬させることにより
行う。次いで、ニッケルメッキ液の中にガラス基板を浸
漬させ透明電極上に平均膜厚７０００オングストローム
程度のニッケルメッキを行い、その表面をホーニング処
理して凹凸を形成すればよい。この場合の研磨剤の粒子
径は例えば２０μｍ程度のものを用い、凹凸の平均ピッ
チは２μｍ、高さは０．４μｍ程度に形成する。

【００４０】なおアルミニウムを電解メッキして金属膜
を形成してもよく、本発明の効果はメッキ法に左右され
るものではなく、形成する金属により無電解メッキ、電
解メッキの選択が可能である。

【００４１】上記の要領で製造することにより、基板上
の金属膜表面に微細な凹凸を形成することができるもの
で、実際に金属膜表面に平均ピッチ１〜２μｍ、深さ約
０．１〜０．２μｍの凹凸を良好に形成することができ
た。又その基板を用い、それと対向する基板間にシール
部を介して液晶を挟持させ、その対向する基板の外側に
偏光板を設置して１８０°〜２７０°ねじれ配向したネ
マチック液晶層を用いた液晶表示装置を作成したとこ
ろ、反射層が散乱状態となっているため背景等が映るこ
とがなく、従来の反射板を基板の外側に付加するものと
比較して明るく影がでることなく、しかも広視角の反射
型液晶表示装置を得ることができた。また電極が金属で
できるため低抵抗電極となり、入力電圧波形のなまりが
殆どなく、クロストーク等の画像を不均一にする不良が
大幅に低減された。

【００４２】その結果、例えばいわゆるノート型パソコ
ン等に盛んに採用されている反射型液晶表示装置におい
て、表示を見やすく、しかも薄型・軽量で低消費電力の
装置が得られるものである。

【００４３】なお本発明は光学的な補償体を備えたいわ
ゆる白黒表示タイプやカラータイプの液晶表示装置にも
適用可能である。また偏光板を多くとも１放しか必要と
しない二色性染料を用いたゲストホストタイプ，光散乱
を利用したＤＳＭや高分子保持体中に液晶を分散したＰ
ＤＬＣ等のタイプに適用可能である。さらに液晶表示装
置に限らず、各種の電気光学装置にも適用できる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように本発明による電気光
学装置は、対向する一対の基板間に液晶層を挟持してな
る液晶セルの一方の基板の液晶層の面に、反射層を有す
るものにおいて、上記反射層を有する基板上の液晶層側
に微細な凹凸を有し、その凹凸の表面に上記反射層とし
ての金属膜を有するようにしたから、基板側の凹凸は金
属膜表面にも波及して液晶層例の面に微細な凹凸を有す
る反射層が形成され、その反射層で光が良好に散乱され
て表示が見やすく、しかも視角が広い電気光学装置を得
ることができる。

【００４５】また本発明による電気光学装置の製造方法
は、反射層を形成する基板の液晶層側の而に微細な凹凸
を形成した後、その凹凸表面に上記反射層としての金属
膜を形成するようにしたから、前記従来のように反射層
にピンホール等が生しることなく、光散乱効果の優れた
電気光学装置を容易に製造できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による電気光学装置の一実施例を示す断
面図。

【図２】基板の斜視図。

【図３】（ａ）（ｂ）は反射光分布の説明図である。

【符号の説明】

１…液晶セル２、３…基板４…液晶層５…電極６…反射層（金属膜）７…スペーサ８…偏光板

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【手続補正書】

【提出日】平成１１年８月５日（１９９９．８．５）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】発明の名称

【補正方法】変更

【補正内容】

【発明の名称】電気光学装置の製造方法

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００１

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電気光学装置の製造
方法に関する。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００８

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明による電気光学装置の製造方法は以下の構成
としたものである。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００９

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００９】本発明の電気光学装置の製造方法は、基
板上に凹凸を有する有機膜を感光性樹脂により形成し、
該有機膜上に反射層を形成する工程を有する電気光学装
置の製造方法において、前記一方の基板上に前記感光性
樹脂をコートする工程、前記感光性樹脂の所望位置に
紫外線を照射する工程、及び前記感光性樹脂を現像処理
する工程、を有することを特徴とする。尚、前記感光
性樹脂が感光性アクリル樹脂であると好ましい。また、
前記有機膜上の前記凹凸を補修処理する工程を含むと好
ましい。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】また、基板上に凹凸を有する有機膜を感光
性樹脂により形成し、該有機膜上に反射層を形成する工
程を有する電気光学装置の製造方法において、前記一方
の基板上に前記感光性樹脂をコートする工程、前記感光
性樹脂の所望位置を重合させる工程、及び前記感光性樹
脂を現像処理する工程、を有することを特徴とする。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１１】[作用]上記した本発明においては、基板上
に感光性樹脂をコートし、感光性樹脂の所望位置に紫外
線を照射し、そして感光性樹脂を現像処理することによ
って凹凸を形成するので、高温プロセスでの加熱処理を
する必要がない。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４４】

【発明の効果】以上説明してきたように本発明による電
気光学装置の製造方法は、基板上に感光性樹脂をコート
し、感光性樹脂の所望位置に紫外線を照射し、そして感
光性樹脂を現像処理することによって凹凸を形成するの
で、高温プロセスで加熱処理をする必要がなくなるとい
う効果を奏する。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者西澤均長野県諏訪市大和３丁目３番５号セイコーエプソン株式会社内 (72)発明者今井秀一長野県諏訪市大和３丁目３番５号セイコーエプソン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】対向する一対の基板間に液晶層を挟持して
なる液晶セルの一方の基板の液晶層側の面に、反射層を
有する電気光学装置において、上記反射層を有する基板
の液晶層側に微細な凹凸を有し、その凹凸の表面に上記
反射層としての金属膜を有することを特徴とする電気光
学装置。
【請求項２】前記一対の基板のうち少なくとも反射層を
有する側の基板は、ガラス基板または合成樹脂基板であ
る請求項１記載の電気光学装置。
【請求項３】前記一対の基板のうち少なくとも反射層を
有する側の基板は、ガラス基板上に有磯膜を有するもの
であり、そのガラス基板と有機膜のうち少なくとも有機
膜の液晶層側の面に前記凹凸を有する請求項１記載の電
気光学装置。
【請求項４】前記の反射層を有する側の基板は、液晶層
側の面に電極を有するものであり、その基板と電極のう
ち少なくとも電極の液晶層側の面に前記の凹凸を有する
請求項１、２または３記載の電気光学装置。
【請求項５】前記凹凸のピッチは不均一であり、その平
均ピッチは８０μｍ以下、凹凸の高さは２μｍ以下であ
る請求項１、２または３記載の電気光学装置。
【請求項６】前記金属膜の膜厚は５μｍ以下である請求
項１記載の電気光学装置。
【請求項７】前記金属膜は電極を兼ねる請求項１〜６の
いずれかに記載の電気光学装置。
【請求項８】前記液晶層がネマチック液晶またはねじれ
配向したネマチック液晶、もしくはコレステリック液晶
であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載
の電気光学装置。
【請求項９】前記液晶層に二色性染料を添加したことを
特徴とする請求項８記載の電気光学装置。
【請求項１０】前記液晶層が、高分子保持体中に液晶が
分散されて形成されたことを特徴とする請求項８または
９記載の電気光学装置。
【請求項１１】前記液晶層が電界制御により光散乱を起
こすことを特徴とする請求項１〜７、１０のいずれかに
記載の電気光学装置。
【請求項１２】対向する一対の基板間に液晶層を挟持し
てなる液晶セルの一方の基板の液晶層側の面に、反射層
を形成した電気光学装置を製造するに当たり、上記反射
層を形成する基板の液晶層側の面に微細な凹凸を形成
し、必要に応じてその凹凸表面を補修処理した後、その
凹凸表面に上記反射層としての金属膜を形成することを
特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】前記一対の基板のうち少なくとも反射層
を有する側の基板は、ガラス基板または合成樹脂基板で
あり、そのガラス基板または合成樹脂基板の液晶層側の
面に前記の凹凸をホーニング処理により形成することを
特徴とする請求項１２記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】前記一対の基板のうち少なくとも反射層
を有する側の基板は、ガラス基板上に有機膜を有するも
のであり、そのガラス基板の液晶層側の面に有機膜を形
成した後、その有機膜の液晶層側の面に前記の凹凸をホ
ーニング処理により形成することを特徴とする請求項１
２記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】前記一対の基板のうち少なくとも反射層
を有する側の基板は、ガラス基板上に有機膜を有するも
のであり、そのガラス基板の液晶層側の面に前記の凹凸
をホーニング処理により形成した後、そのガラス基板の
液晶層側の面に有機膜を形成することを特徴とする請求
項１２記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１６】前記の補修処理としてガラス基板または
合成樹脂基板の基材自体を腐食させるエッチャントを用
いて上記の凹凸表面を軽くエッチング処理することを特
徴とする請求項１２記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１７】前記の補修処理として前記凹凸の凸部を
研磨して凹凸の高さを調整することを特徴とする請求項
１２記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１８】前記金属膜は、スパッタもしくは蒸着等
の真空成膜法により成膜することを特徴とする請求項１
２記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１９】前記金属膜は、成膜された後に、２００
〜４５０℃で加熱処理することを特徴とする請求項１８
記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項２０】前記の金属膜を形成する側の基板は所定
パターンの電極を有し、前記の微細な凹凸を形成した基
板上に上記電極を形成した後に前記の金属膜を形成する
ことを特徴とする請求項１２記載の電気光学装置の製造
方法。
【請求項２１】前記の金属膜を形成する側の基板は所定
パターンの電極を有し、平坦な基板上に形成した上記電
極の表面に、前記の微細な凹凸を形成した後に前記の金
属膜を形成することを特徴とする請求項１２記載の電気
光学装置の製造方法。
【請求項２２】前記金属膜は、メッキ法により形成する
ことを特徴とする請求項２０または２１記載の電気光学
装置の製造方法。