KR20040083181A - 멀티 도메인 배향막 형성 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD)의 배향막 형성 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 이온 빔을 조사하여 멀티 도메인(multi-domain) 구조의 배향막을 형성하는 방법에 관한 것이다.

본 발명은 광시야각을 구현하기 위한 것으로, 이온 빔을 조사하여 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하는 방법에 있어서, 배향막에 소정의 패턴을 가지는 마스크를 배치시키고 이온 빔을 조사하며, 이때 조사되는 이온 빔에 대해서 기판을 회전시켜 다시 이온 빔을 조사함으로써 1회의 이온 빔 정렬과정에 의해 다중 배향 처리를 할 수 있으므로 공정이 단순해지고 효율성을 높일 수 있으며 비용을 절감할 수 있다.

Description

멀티 도메인 배향막 형성 방법{A method of forming an multi-domain alignment layer}

본 발명은 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD)의 배향막 형성 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 이온 빔을 조사하여 멀티 도메인(multi-domain) 구조의 배향막을 형성하는 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 화상 정보를 화면에 나타내는 디스플레이 장치들 중에서 브라운관 표시 장치(혹은 CRT:Cathode Ray Tube)가 지금까지 가장 많이 사용되어 왔는데, 이것은 표시 면적에 비해 부피가 크고 무겁기 때문에 사용하는데 많은 불편함이 있었다.

그리고, 오늘날에는 전자산업의 발달과 함께 TV 브라운관 등에 제한적으로 사용되었던 디스플레이 장치가 개인용 컴퓨터, 노트북, 무선 단말기, 자동차 계기판, 전광판 등에 까지 확대 사용되고, 정보통신 기술의 발달과 함께 대용량의 화상정보를 전송할 수 있게 됨에 따라 이를 처리하여 구현할 수 있는 차세대 디스플레이 장치의 중요성이 커지고 있다.

이와 같은 차세대 디스플레이 장치는 경박단소, 고휘도, 대화면, 저소비전력 및 저가격화를 실현할 수 있어야 하는데, 그 중 하나로 최근에 액정 표시 장치가주목을 받고 있다.

상기 액정 표시 장치(LCD:Liquid Crystal Display)는 해상도가 다른 평판 표시 장치보다 뛰어나고, 동화상을 구현할 때 그 품질이 브라운관에 비할 만큼 응답 속도가 빠른 특성을 나타내고 있다.

상기 액정 표시 장치는 고휘도, 고콘트라스트, 저소비전력성 등이 우수한 특성을 가지며, 데스크탑 컴퓨터 모니터, 노트북 컴퓨터 모니터, TV 수상기, 차량 탑재용 TV 수상기, 네비게이션 등 광범위한 분야에서 활용되고 있다.

현재 주로 사용되고 있는 액정 표시 장치로는 트위스트 네마틱(TN : twisted nematic) 모드의 액정 표시 장치를 들 수 있다.

상기 TN 모드의 액정 표시 장치에서는 통상적으로, 기판에 배향 처리를 하여 액정 분자들이 하부에서의 디렉터(director : 방향자)와 상부에서의 디렉터가 직각(90˚)을 이룬다.

여기서, 상기 TN 모드의 액정 표시 장치는 전기장을 인가하지 않은 상태에서는 두 기판 사이에 채워져 있는 액정 분자들이 기판에 평행하며 일정한 피치(pitch)를 가지고 나선상으로 꼬여 있어 액정 분자의 장축 방향이 연속적으로 비틀린 구조를 가진다.

최근에는 멀티미디어 시대에 대응하여 이러한 액정 표시 장치도 보다 높은 성능이 요구되고 있으며, 이러한 배경하에 몇가지 광시야각 기술이 이미 보고되고 있으나 이들은 개구율의 저하에 의한 소비전력의 증가, 표시 품위의 저하, 생산 프로세스에의 영향 등의 반작용이 수반되었다.

특히, 광시야각을 확보하기 위한 기술로 액정 분자의 배향에 주목하여 한 화소셀 내에 다른 구조의 영역을 가지는 멀티 도메인(multi-domain) 기술이 제시되고 있다.

여기서, 배향 방향이 같은 액정 분자들의 그룹이 존재하는 영역을 도메인(domain)이라고 하면, 멀티 도메인의 액정 표시 장치에서는 하나의 화소 셀 안에 다수의 액정 분자 그룹들이 서로 다른 방향으로 배향되어 있다고 할 수 있다.

이와 같이, 하나의 화소 셀에 다수의 도메인이 존재하는 경우, 각 도메인의 액정의 배향이 서로 다르므로 시야각을 향상시킬 수 있게 된다.

특히, 액정분자들이 일정한 방향으로 균일하게 배향될 수 있도록 배향막을 처리해주는 러빙 공정은 액정디스플레이의 정상적인 구동과 화면의 균일한 디스플레이 특성을 결정하는 중요한 요소로써 이에 대한 많은 연구들이 진행되어 왔다.

여기서, 종래 멀티 도메인 구조의 배향막 형성 과정에 대해서 도 1을 참고하여 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.

멀티 도메인 구조의 배향막의 형성은 고분자 박막을 도포하고 배향막을 분할하여 서로 다른 방향으로 배향시키는 공정으로 이루어진다.

상기 배향막에는 일반적으로 폴리이미드(polyimide) 계열의 유기물질이 주로 사용되고, 상기 배향막을 배향시키는 방법으로는 주로 러빙(rubbing) 방법이 이용되고 있다.

이와 같은 러빙 방법은 먼저 기판 위에 폴리이미드 계열의 유기 물질을 도포하고, 60 ~ 80℃ 정도의 온도에서 용제를 날리고 정렬시킨 후, 80 ~ 200℃ 정도의온도에서 경화시켜 폴리이미드 배향막을 형성한 후, 벨벳(velvet) 등을 감은 러빙포를 이용하여 상기 배향막을 일정한 방향으로 문질러 줌으로써 배향 방향을 형성시키는 방법이다.

우선, 도 1a에 나타낸 바와 같이, 기판(101) 위에 유기막을 도포한 후, 도면상 오른쪽으로 러빙하여 오른쪽 방향의 배향 방향을 가지는 제 1 배향막(103)을 형성한다.

그리고, 도 1b에 나타낸 바와 같이, 제 1 배향막(103) 위에 양성(positive) 감광성 수지막(105)을 도포한다.

다음, 도 1c에 나타낸 바와 같이, 마스크로 상기 감광성 수지막(105)을 차단하여 광을 조사한 후 현상액으로 상기 감광성 수지막(105)을 사진식각하여 소정의 패턴을 형성한다.

이어서, 도 1d에 나타낸 바와 같이, 도면상 왼쪽으로 러빙하여 왼쪽 방향의 배향 방향을 갖도록 한다.

최종적으로, 도 1e에 나타낸 바와 같이, 감광성 수지막(105)을 제거하여 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성한다.

그러나, 이러한 러빙 방법에 의하여 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하는 방법은 사진 식각(photolithography) 공정을 실시함으로써 공정이 복잡해질뿐만 아니라 사진 식각 공정시 사용한 현상액(developer), 식각액(etchant) 등에 의해 배향막이 손상을 입게 되어 불안정한 특성을 보이는 문제점이 있다.

본 발명은 광시야각을 위한 멀티 도메인 액정 표시 장치에서 이온 빔을 조사하여 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하는 데 있어서 배향막에 소정의 패턴을 가지는 마스크를 배치시키고 이온 빔을 조사함으로써 공정이 단순화된 멀티 도메인 배향막 형성 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 종래 멀티 도메인 구조의 배향막 형성 과정을 보여주는 도면.

도 2는 본 발명에 따른 멀티 도메인 액정 표시 장치에서 멀티 도메인 구조의 화소셀을 개념적으로 보여주는 실시예.

도 3은 본 발명에 따른 실시예로서, 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하기 위한 방법을 보여주는 순서도.

도 4는 본 발명에 따른 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하는 방법을 각 공정별 단면도를 개략적으로 보여주는 도면.

도 5는 본 발명에 따른 실시예로서, 이온 빔을 조사하여 배향막을 형성하기 위한 공정에서 사용되는 마스크의 평면도.

도 6은 본 발명에 따른 실시예로서, 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하기 위한 방법을 보여주는 순서도.

도 7은 본 발명에 따른 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하는 방법을 각 공정별 단면도를 개략적으로 보여주는 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>

101, 200, 300 : 기판 103 : 제 1 배향막

106 : 개구부 105 : 감광성 수지막

108 : 차단부 210, 310 : 배향막

109, 220a, 220b, 320 : 마스크 230, 330 : 이온 빔

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 이온 빔 조사를 이용한 배향막 형성 방법은, 기판 상에 배향막을 형성하는 단계와; 상기 기판 위에 일정 간격 이격된 마스크를 정렬시키는 단계와; 상기 기판을 경사지게 기울여서 이온 빔을 1차 조사하여 배향막에 제 1 배향 방향을 형성하는 단계와; 상기 기판을 반대 방향으로 경사지게 기울여서 이온 빔을 2차 조사하여 제 2 배향 방향을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 배향막은 유기 물질 또는 무기 물질인 것을 특징으로 한다.

상기 이온 빔을 1차 조사하는 단계 이후에, 상기 마스크를 재배치하거나 다른 마스크를 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 이온 빔을 2차 조사하는 단계에서, 상기 기판을 1차 조사와 반대 방향으로 경사지게 기울여서 이온 빔을 조사하는 것을 특징으로 한다.

상기 마스크는 슬릿 패턴을 가지는 것을 특징으로 한다.

상기 제 1, 제 2 배향방향은 서로 반대 방향인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 이온 빔 조사를 이용한 배향막 형성 방법은, 기판 상에 배향막을 형성하는 단계와; 상기 기판을 경사지게 기울여서 이온 빔을 1차 조사하는 단계와; 상기 기판 위에 일정 간격 이격된 마스크를 정렬시키는 단계와; 상기 기판을 반대 방향으로 경사지게 기울여서 이온 빔을 2차 조사하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 배향막은 유기 물질 또는 무기 물질의 배향막인 것을 특징으로 한다.

상기 마스크는 슬릿 패턴을 가지는 것을 특징으로 한다.

상기 이온 빔을 2차 조사하는 단계에서, 상기 기판을 1차 조사와 반대 방향으로 경사지게 기울여서 이온 빔을 조사하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명의 구체적인 실시예에 대해서 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 멀티 도메인 액정 표시 장치에서 멀티 도메인 구조의 화소셀을 개념적으로 보여주는 실시예들이다.

도 2a는 한 화소셀을 2 도메인으로 분할하여 배향시킨 것이고, 도 2b는 한 화소셀을 4 도메인으로 분할하여 배향시킨 것을 보여주는 것이고, 도 2c는 4 도메인 배향의 또 다른 실시예이다.

여기서, 도 2a를 참조하여 설명하면, 2 도메인 액정 표시 장치는 상판과 하판이 대응하여 한 쌍의 패널을 이루며, 두 기판 사이에 액정이 주입되어 형성되며, 상기 상판과 하판 상에는 각 화소셀을 2 도메인으로 분할되어 서로 다른 방향으로 배향처리되어 있다.

그리고, 도 2b 및 도 2c를 참조하면, 4 도메인 액정 표시 장치는 상판과 하판 상의 각 화소셀을 4 도메인으로 분할한 후 각각 2 도메인씩 반대 방향으로 배향처리하고 상판과 하판에서 대응되는 화소셀에서 각각의 분할된 도메인이 서로 보상하는 구조를 이루도록 한다.

따라서, 이러한 멀티 도메인 액정 표시 장치에서 한 화소셀 내에 각기 다른 방향으로 배향되어 있는 다수의 액정 분자 그룹들이 존재하여 멀티 도메인을 형성하게 되며, 이와 같이 각 도메인의 액정의 배향이 서로 다르므로 시야각을 향상시킬 수 있다.

여기서, 하나의 화소셀을 분할하여 다중 배향시킨 구조에 있어서, 실선은 상판의 배향 방향을 나타내고, 점선은 하판의 배향 방향을 나타내고, 큰 화살표는 주시야각 방향을 나타내며, 각각의 나누어진 화소셀이 서로 보상하는 구조를 이룬다.

도 3은 본 발명에 따른 일 실시예로서, 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하기 위한 방법을 보여주는 순서도이고, 도 4는 상기와 같은 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하는 방법을 구체적으로 설명하기 위한 각 공정별 단면도를 개략적으로 보여주는 도면이다.

우선, 도 4a에 나타낸 바와 같이, 액정 표시 장치의 기판(200)을 제작하여 준비하고 상기 기판(200) 상에 소정의 패턴을 형성하고 있는 마스크(220a)를 적당한 간격으로 이격시켜 정렬시킨다(S100).

상기 기판(200)으로는 TFT 또는 칼라필터가 형성된 기판을 준비한다.

여기서, 상기 기판(200)은 조사되는 이온 빔에 대해서 소정 각도 기울임으로써 액정 분자의 프리틸트각이 결정된다.

그리고, 상기 기판 상에는 배향막(210)이 형성되어 있다.

이 때, 상기 마스크(220a)는 기판(200)의 한 화소셀에 대해서 다중 분할되는 영역에 대응하여 소정의 슬릿 패턴(slit pattern)을 형성하고 있으며, 상기 기판과는 일정 간격 이격되어 배치된다.

이어서, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 이온 빔 조사 장치에 장착된 기판(200)상에 제 1차 이온 빔(230)을 조사한다(S110).

그러면, 조사되는 이온 빔(230)은 상기 기판(200) 상에 배치되어 있는 슬릿 패턴의 마스크(220a)를 통과하여 기판(200)에 다다르며, 상기 이온 빔(230)에 노출된 부분의 배향막(210)은 일정한 방향으로 배향처리된다.

한편, 상기 기판(200) 상에는 폴리이미드(polyimide)와 같은 유기물질의 배향막(210)이 도포되는 경우, 상기 폴리이미드는 화학적 구조로서 주쇄(main chain)와 측쇄(side chain)로 나뉘어진다.

상기 주쇄는 액정 분자를 한 방향으로 배열시키는 역할을 하고, 상기 측쇄는 프리틸트각을 형성하는 역할을 한다.

상기 배향막(210)으로는 SiO₂, SiC, Si₃N₄, Al₂O₃, CeO₂, SnO₂, glass, ZnTiO₂, DLC(Diamond-Like Carbon) 등을 사용할 수 있다.

여기서, 상기 마스크(220a)는 소정의 개구부와 차단부로 이루어져 슬릿 패턴을 형성하고 있으며 상기와 같은 구조로 이루어진 마스크(220a)로 인해서 상기 마스크(220a)의 슬릿을 통과한 이온 빔(230)에 의해서 화소셀의 분할된 일부 영역만 배향 처리된다.

그리고, 상기와 같이 1차 조사되는 이온 빔(230)을 차단한 후, 상기 기판(200)을 회전한다(S120).

여기서, 상기 기판(200)은 상, 하 회전할 수도 있다.

즉, 도 4c에 도시된 바와 같이, 조사되는 이온 빔(230)에 대해서 경사진 기판(200)을 반대 방향으로 경사지도록 배치시킨다.

이 때, 상기 기판(200) 상에 일정 간격 이격되어 정렬하고 있는 마스크(220b)를 재배치하도록 한다(S130).

이 때, 상기 마스크(220b)는 슬릿 패턴을 가지며 전 공정에서 형성된 배향막(210)에서 1차 이온 빔에 의하여 배향 처리된 영역에 2차 조사되는 이온 빔이 차단될 수 있다.

여기서, 상기 마스크(220b)는 상기 1차 이온 빔 조사시에 사용되었던 마스크를 이동시켜 동일한 마스크를 사용할 수도 있으며, 다른 마스크를 이용하여 기판에 일정 간격 이격시킨 후 재정렬하여 사용할 수도 있다.

상기한 바와 같이 기판(200)을 재배치한 후, 도 4d에 나타낸 바와 같이, 2차 이온 빔을 조사 한다(S140).

상기 2차 이온 빔 조사에 의해서 이온 빔(230)은 상기 기판(200) 상에 배치되어 있는 슬릿 패턴의 마스크(220b)를 통과하여 기판(200)에 다다르며, 상기 이온 빔(230)에 노출된 배향막(210)에는 일정한 방향으로 배향처리된다.

여기서, 상기 마스크(220b)의 슬릿을 통과한 이온 빔(230)은 화소셀의 분할된 일부 영역만 배향 처리시키는데, 1차 이온 빔 조사에서 형성된 배향 방향과 반대 방향으로 형성된다.

즉, 상기 배향막(210)에 1차 이온 빔이 조사되어 형성된 배향 방향과 2차 이온 빔이 조사되어 형성된 배향 방향은 서로 반대 방향이 된다.

이와 같이, 상기 설명한 바와 같은 공정 방법으로 기판(200) 상의 배향막(210)에 이온 빔(230)을 1차 조사하고 기판(200)을 회전한 후에 이온 빔(230)을 2차 조사함으로써 기판(200)의 한 화소셀 내에서 다중 배향 처리하는 것이 가능하다.

도 5는 본 발명에 따른 일 실시예로서, 이온 빔을 조사하여 배향막을 형성하기 위한 공정에서 사용되는 마스크의 평면도이다.

여기서, 상기 마스크는 소정의 개구부와 차단부를 구비하고 있어 이온 빔의 투과 여부를 조절할 수 있으며, 상기 차단부는 이온 빔을 흡수하거나 반사하여 기판상에 이온 빔이 도달하지 못하도록 한다.

반대로, 상기 마스크의 슬릿 모양의 개구부는 조사되는 이온 빔을 그대로 통과시킴으로써 배향막을 일방향으로 배향처리시킨다.

이에 따라 조사되는 이온 빔을 이용하여 기판 상에서 원하는 다중 배향 구조를 형성할 수 있다.

도 6은 본 발명에 따른 일 실시예로서, 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하기 위한 방법을 보여주는 순서도이고, 도 7은 도 6과 같은 멀티 도메인 구조의 배향막을 형성하는 방법을 구체적으로 설명하기 위한 각 공정별 단면도를 개략적으로 보여주는 도면이다.

먼저, 액정 표시 장치의 기판(300)을 제작하여 준비하고 이온 빔(330)을 조사하기 위한 장치에 소정의 각도로 기울여서 장착한다.

여기서, 상기 기판(300)은 조사되는 이온 빔(330)에 대해서 소정 각도 기울임으로써 액정 분자에 프리틸트각을 부여한다.

이 때, 상기 기판(300) 상에는 배향막(310)이 형성되어 있다.

이어서, 도 7a에 도시된 바와 같이, 상기 이온 빔 조사 장치에 장착된 기판(300)상에 제 1차 이온 빔(330)을 조사한다(S200).

그러면, 상기 조사되는 이온 빔(330)은 기판(300)에 소정의 에너지를 가지고 다다르며, 상기 이온 빔(330)에 노출된 배향막(310)은 일정한 방향으로 배향 처리된다.

한편, 상기 기판(300) 상에는 폴리이미드와 같은 유기 물질의 배향막(310)이 도포되는 경우, 상기 폴리이미드는 화학적 구조로서 주쇄(main chain)와 측쇄(side chain)로 나뉘어진다.

상기 주쇄는 액정 분자를 한 방향으로 배열시키는 역할을 하고, 상기 측쇄는 프리틸트각을 형성하는 역할을 한다.

상기 배향막(310)으로는 SiO₂, SiC, Si₃N₄, Al₂O₃, CeO₂, SnO₂, glass, ZnTiO₂, DLC(Diamond-Like Carbon) 등을 사용할 수 있다.

이어서, 도 7b에 도시된 바와 같이, 기판(300) 전면에 조사되는 이온 빔(330)을 차단한 후, 상기 기판(300)을 회전한다(S210).

즉, 조사되는 이온 빔(330)에 대해서 경사진 기판(300)을 반대 방향으로 경사지도록 배치시킨다.

그리고, 상기 기판(300)상에 소정의 패턴을 형성하고 있는 마스크(320)를 일정 간격 이격하여 정렬시킨다(S220).

여기서, 상기 마스크(320)는 기판(300)의 한 화소셀에 대해서 다중 분할되는 영역에 대응하여 소정의 슬릿 패턴을 형성하고 있다.

이어서, 도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 이온 빔 조사 장치에 장착된 기판(300)상에 2차 이온 빔(330)을 조사한다(S230).

그러면, 조사되는 이온 빔(330)은 상기 기판(300) 상에 배치되어 있는 슬릿 패턴의 마스크(320)를 통과하여 기판(300)에 다다르며, 1차로 조사된 이온 빔(330)에 의해서 형성된 배향 방향과 반대 방향으로 배향 처리된다.

여기서, 상기 마스크(320)의 슬릿을 통과한 이온 빔(330)은 화소셀의 분할된 일부 영역만 배향 처리시키는데, 1차 이온 빔 조사에서 형성된 배향 방향과 반대 방향으로 형성된다.

즉, 상기 배향막(310)에 1차 이온 빔(330)이 조사되어 형성된 배향 방향과 2차 이온 빔(330)이 조사되어 형성된 배향 방향은 서로 반대 방향이다.

이와 같이, 상기 설명한 바와 같은 공정 방법으로 기판(300) 상의 배향막(310)에 이온 빔(330)을 1차 조사하고 기판(300)을 회전한 후에 이온 빔(330)을 2차 조사함으로써 기판(300)의 한 화소셀에서 다중 배향 처리하는 것이 가능하다.

이와 같은 과정을 진행하면 동일한 평면상에 다중 도메인을 갖는 배향막 구조를 형성하는 것이 가능하다.

여기서, 상기 마스크는 한 화소셀 내에서 다중 배향이 이루어지도록 하기 위하여 조사되는 이온 빔의 밀도를 조절할 수 있는 다양한 구조로 이루어질 수 있다.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 이온 빔 조사를 이용한 배향막 형성방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.

본 발명은 액정 표시 장치에서 배향막을 이온 빔을 조사하여 다중 배향시키기 위하여 상기 배향막 전면에 소정의 패턴을 형성하고 있는 마스크를 배치시키고 이온 빔을 조사할 때 조사되는 이온 빔에 대해서 기판을 회전시켜 다시 이온 빔을 조사함으로써 다중 배향 처리를 할 수 있으므로 공정이 단순해지고 비용을 절감하는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 다중배향 방법은 이온 빔조사를 다른 각도에서 조사해야 하는 공정의 복잡함을 해소한 것으로 1회의 이온 빔 정렬과정으로 다중 배향을 얻을 수 있어 공정이 용이하고 공정 시간을 단축하는 효과가 있다.

Claims (10)

1. 기판 상에 배향막을 형성하는 단계와;

   상기 기판 위에 일정 간격 이격된 마스크를 정렬시키는 단계와;

   상기 기판을 경사지게 기울여서 이온 빔을 1차 조사하여 배향막에 제 1 배향 방향을 형성하는 단계와;

   상기 기판을 반대 방향으로 경사지게 기울여서 이온 빔을 2차 조사하여 제 2 배향 방향을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 배향막 형성 방법.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 배향막은 유기 물질 또는 무기 물질인 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 배향막 형성 방법.
3. 제 1항에 있어서, 상기 이온 빔을 1차 조사하는 단계 이후에,

   상기 마스크를 재배치하거나 다른 마스크를 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 배향막 형성 방법.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 이온 빔을 2차 조사하는 단계에서, 상기 기판을 1차 조사와 반대 방향으로 경사지게 기울여서 이온 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 배향막 형성 방법.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 마스크는 슬릿 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 배향막 형성 방법.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 제 1, 제 2 배향방향은 서로 반대 방향인 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 배향막 형성 방법.
7. 기판 상에 배향막을 형성하는 단계와;

   상기 기판을 경사지게 기울여서 이온 빔을 1차 조사하는 단계와;

   상기 기판 위에 일정 간격 이격된 마스크를 정렬시키는 단계와;

   상기 기판을 반대 방향으로 경사지게 기울여서 이온 빔을 2차 조사하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 배향막 형성 방법.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 배향막은 유기 물질 또는 무기 물질의 배향막인 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 배향막 형성 방법.
9. 제 7항에 있어서,

   상기 마스크는 슬릿 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 배향막 형성 방법.
10. 제 7항에 있어서,

    상기 이온 빔을 2차 조사하는 단계에서, 상기 기판을 1차 조사와 반대 방향으로 경사지게 기울여서 이온 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 배향막 형성 방법.