JP2000043257A - 印刷装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】隔壁の欠陥が低減され製造歩留りが向上し、隔
壁駆動領域が必要最小限の溝長で高精度に確保でき、上
部基板の接合歩留りが向上し、安定したインク噴射特
性、インクジェットヘッドの小型化及び低材料コストが
実現でき、要求される印字や画像、文様等のより高精細
化が可能、かつ量産に適したインクジェットヘッドから
成るインク噴射装置を具備した印刷装置及びその製造方
法を提供。 【解決手段】インク加圧室２を構成する基板３と、平行
な複数の溝４を形成する隔壁５と、溝４の開放端側に接
合したノズル孔６を穿設したノズル板７とを主要部とす
るインクジェットヘッド１であり、化学的処理又は熱処
理により除去可能な隔壁成形型１７で、又は印刷積層法
により隔壁形成用組成物１９を成形して頂部の厚さ１１
が隔壁５の最小の厚さ１２より１５〜６０％大である断
面形状を成す隔壁５を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微細なノズル孔か
らインクを液滴として噴射して印字、画像等を形成する
印刷用の各種プリンターや記録計、ファクシミリ、ある
いは捺染分野や窯業分野で文様形成等に適用されるイン
ク噴射装置等に用いられる高精度かつ軽量小型のインク
ジェットヘッドを有する印刷装置及びその製造方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、マルチメディアの浸透に伴い、印
版が不要で少量多品種の用途に適した小型軽量の各種情
報の印刷用インターフェイスとして、従来のインパクト
方式の印字装置に代わって、インク噴射装置や熱転写装
置等を利用したノンインパクト方式の各種印刷装置が開
発され、これらの利用範囲が各種産業分野に拡大してい
る。

【０００３】かかるノンインパクト方式の印刷装置のな
かでも、前記インク噴射装置は、多階調化やカラー化が
容易で、ランニングコストが低いことから将来性が注目
されている。

【０００４】前記インク噴射装置には、複数のノズル孔
を有するノズル板と、インクの液滴を噴射させるための
圧力を発生させるインク加圧室を主要な構成部品とする
インクジェットヘッドが用いられており、該インクジェ
ットヘッドは、一般的には、前記ノズル板と、該ノズル
板のノズル孔からインクの液滴を色毎に個別に噴射させ
るために基板に隔壁を設けて溝を形成したインク加圧室
と、該インク加圧室を密閉する蓋の役割を成す上部基板
等から構成されている。

【０００５】又、前記インクジェットヘッドにおいて、
インク加圧室に圧力を発生させてインクの液滴を噴射す
る方式としては、必要なインクの液滴だけを噴射するド
ロップ・オン・デマンド型が主流になっており、例え
ば、カイザー型やサーマルジェット型が代表的な方式と
して採用されている。

【０００６】前記カイザー型は、隔壁で複数の平行な溝
を形成したインク加圧室を密閉する上部基板の少なくと
も一部に薄壁を設け、該薄壁を圧電素子等で変形させて
インク加圧室の溝の容積を変化させ、インク加圧室に内
圧を発生させてインクを液滴として噴射させるものであ
る。

【０００７】又、前記サーマルジェット型は、前記イン
ク加圧室内の一部に発熱体を設け、該インク加圧室内の
インクを沸騰させた際の体積膨張を利用して内圧を発生
させ、該インクを液滴として噴射させるものである。

【０００８】しかしながら、前記カイザー型は、上部基
板の表面に更に圧電素子等を設ける必要があることか
ら、インクジェットヘッドとしては小型化が困難であ
り、又、前記サーマルジェット型は、インクに高熱を加
えるためインク自体に耐熱性が要求され、インクの選択
領域を狭めたり、インクを熱膨張させるために時間を要
することから、応答性が劣る等の問題があった。

【０００９】そこで、前記問題を解決するために、図７
に示すような圧電材料から成る基板３０上に、平行に多
数配置した溝３１を形成するための隔壁３２と、隔壁３
２の側面に形成された電極３３と、隔壁３２の頂部に接
合され、溝３１を密閉する上部基板３４とから成るイン
ク加圧室３５と、インク加圧室３５の溝３１の開放端側
に、溝３１と対応したノズル孔３６を有するノズル板３
７を接合した構造を成すインクジェットヘッド３８から
成る剪断モード型のインク噴射装置が提案されている。

【００１０】この提案では、電極３３に駆動電圧を印加
し、圧電材料の剪断モード変形を利用してインク加圧室
３５の溝３１を形成する隔壁３２を歪み変形させて溝３
１の容積を変化させることにより、溝３１中のインクを
加圧し、溝３１に連通したノズル孔３６から、インクの
液滴を噴射するものである（特開平７−２７６６４８号
公報参照）。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】前記提案の剪断モード
型のインク噴射装置を構成するインクジェットヘッド
は、従来のカイザー型やサーマルジェット型のように、
上部基板表面に圧電素子等を設置させる必要がなく、
又、インクに耐熱性が要求されることもないことから、
小型化が可能となり、しかも応答性に優れ、高速の印刷
が可能となる等、注目に値するものであった。

【００１２】しかしながら、前記剪断モード型のインク
噴射装置では、インクジェットヘッド３８のインク加圧
室３５の溝３１を形成するのに、所要枚数重ねた薄い円
盤状のダイヤモンドブレード等の切削具を回転しながら
圧電材料から成る基板３０を切削して溝３１を刻設して
いるため、得られた溝３１の端部３９は、前記円盤状の
切削具の曲率を転写した形状を成している。

【００１３】従って、所望の噴射性能を得るためには、
隔壁を歪み変形させてインク加圧室に十分な内圧を発生
させることが必要となり、十分な隔壁駆動領域を確保し
なければならないことから、前記未切削分を考慮して溝
を長く設ける必要があり、インクジェットヘッド自体が
大きくなると共に、材料コストが増加するという課題が
あった。

【００１４】又、前記基板に溝を形成するに際しては、
前述のような薄い円盤状のダイヤモンドブレード等の切
削具を用いた加工方法では、切削条件が非常に難しく、
送り速度、切り込み量、回転数等が適合しないと、ダイ
ヤモンドブレード等の切削具自体がチッピングを起こし
たりする等の課題もあった。

【００１５】更に、得られた基板の溝は、切削具の断面
形状が矩形状であることから該形状に相似した矩形状を
呈し、隔壁頂部の上部基板との接合面積には限度を生じ
る結果、上部基板を接合する際に、接着剤が多いと該接
着剤が溝にはみ出し易く、インク流路の容積がばらつ
き、インクの噴射特性が安定しなくなり、逆に接着剤が
少ないと、接着不良を起こし、各インク加圧室を完全に
密閉することができないという課題があり、接着歩留り
の良い、量産に適した加工法であるとは言い難いもので
あった。

【００１６】

【発明の目的】本発明は前記課題を解決するために成さ
れたもので、その目的は、基板の溝幅が切削具の厚さに
依存したり、溝の深さが切削具の切り込み量に依存した
りせず、従来の切削具で生じる未切削部分を解消でき、
しかも、隔壁の破損等の欠陥を低減でき、製造歩留りが
向上すると共に、隔壁駆動領域が必要最小限の溝の長さ
で高精度に確保でき、その上、上部基板との接合歩留り
が向上して安定したインクの噴射特性と、インクジェッ
トヘッドの小型化及び材料コストの低減が可能となり、
要求されている印字や画像、文様等のより高精細化が可
能で、かつ量産に適したインクジェットヘッドから成る
インク噴射装置を具備した印刷装置及びその製造方法を
提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記課題
に鑑み鋭意検討した結果、剪断モード型のインク噴射装
置において、上部基板を接合する隔壁の頂部の厚さが一
定の範囲を確保できれば接着剤の塗布工程が容易かつ確
実に行えて、十分な接着強度と高い接合信頼性が得ら
れ、しかも、前記隔壁の成形方法を切削具を用いない、
化学的処理あるいは熱処理により溶解あるいは分解して
除去可能な隔壁成形型を用いた鋳込み成形法や転写法、
印刷積層法等の成形方法を採用することにより、従来の
加工法で残存していた曲率を有する未切削部分が不要と
なり隔壁駆動領域を拡大することができることから、前
記溝の長さを必要最小限とすることができ、インクジェ
ットヘッドの小型化及び高画質化が実現できることを見
いだし、本発明に至った。

【００１８】即ち、本発明の印刷装置は、圧電性を有す
る材料から成る隔壁でインク加圧室を構成する複数の溝
を形成し、該隔壁の圧電性を有する材料の剪断モードに
より隔壁を歪み変形させて溝の容積を変化させ、溝の一
端に設けたノズル孔から該溝に供給されたインクを液滴
として噴射するインクジェットヘッドをインク噴射装置
として具備した印刷装置であって、隔壁の頂部の厚さが
該隔壁の最小の厚さより１５〜６０％大であることを特
徴とするものである。

【００１９】とりわけ、前記隔壁の断面形状は、少なく
とも隔壁の頂部から続く側面が曲線状又はテーパー状を
成すものがより好ましく、更に、隔壁の頂部と基部の各
端部を結ぶ直線が該頂部の端部からの垂線と１〜３度の
角度を成すものが最も望ましいものである。

【００２０】又、本発明の印刷装置の製造方法は、圧電
性を有する材料から成る隔壁形成用組成物を用いて、基
板上に設けた焼成後の隔壁の頂部の厚さが該隔壁の最小
の厚さより１５〜６０％大となる凹部を形成した隔壁成
形型に、鋳込み成形法により前記隔壁形成用組成物を充
填して固化させた後、化学的処理により前記隔壁成形型
を溶解除去してから脱バインダー及び焼成して隔壁と基
板を一体化するか、あるいは脱バインダー又は焼成の熱
処理により前記隔壁成形型を分解除去すると同時に隔壁
と基板を焼成一体化した後、隔壁の側面に電極を形成
し、次いで隔壁の頂部に上部基板を接合すると共に、溝
の開放端側にノズル孔を穿設したノズル板を接合してイ
ンク噴射装置を構成するインクジェットヘッドを形成す
ることを特徴とするものである。

【００２１】あるいは、本発明の印刷装置の他の製造方
法として、圧電性を有する材料から成る隔壁形成用組成
物を、焼成後の隔壁の頂部の厚さが該隔壁の最小の厚さ
より１５〜６０％大となる凹部を形成した隔壁成形型
に、鋳込み成形法により充填した後、基板を密着させて
から充填物を固化させ、次いで前記同様に化学的処理あ
るいは熱処理により隔壁成形型を溶解除去してから脱バ
インダー及び焼成して隔壁と基板を一体化するか、ある
いは隔壁成形型を分解除去すると同時に隔壁と基板を焼
成一体化した後、隔壁の側面に電極を形成し、次いで隔
壁の頂部に上部基板を接合すると共に、溝の開放端側に
ノズル孔を穿設したノズル板を接合してインク噴射装置
を構成するインクジェットヘッドを形成することを特徴
とするものである。

【００２２】特に、前記各印刷装置の製造方法で用いる
隔壁成形型は、化学的処理あるいは熱処理により溶解あ
るいは分解除去可能な有機樹脂から成ることがより好適
であり、更に、隔壁成形型として、基板上に感光性有機
フィルムを接着して所定形状のマスクパターンを合わせ
て露光及び現像を行った後、マスクパターンを変更して
前記工程を繰り返し、所定高さに積層して所定断面形状
を有する溝部に該当する凸部を形成したものや、基板上
に成形する隔壁の高さに相当する感光性レジスト層を形
成し、所定のマスクパターンを合わせた後、露光及び現
像を行って溝部に該当する凸部を形成したものが最も望
ましいものである。

【００２３】又、本発明の印刷装置の他の製造方法とし
ては、圧電性を有する材料から成るペースト状の隔壁形
成用組成物を、基板上に合わせた所定形状の印刷製版を
用いてスクリーン印刷して固化させた後、該固化物の上
に所定形状に変化させた他の印刷製版を用いて前記同様
に印刷、固化して積層する工程を繰り返して、所定高さ
で焼成後の隔壁の頂部の厚さが該隔壁の最小の厚さより
１５〜６０％大となる断面形状を有する隔壁成形体を成
形した後、脱バインダー及び焼成して隔壁と基板を一体
化し、次いで隔壁の側面に電極を形成してから上部基板
を隔壁の頂部に接合し、次いで、溝の開放端側にノズル
孔を穿設したノズル板を接合してインク噴射装置を構成
するインクジェットヘッドを形成することを特徴とする
ものである。

【００２４】

【作用】本発明の印刷装置及びその製造方法によれば、
隔壁の頂部の厚さが該隔壁の最小の厚さより１５〜６０
％大である隔壁でインク加圧室を構成する複数の溝を形
成することから、上部基板との接合面積が十分に確保さ
れ、接着剤の塗布工程が容易となって該接着剤のインク
流路へのはみ出しや塗布不足が解消する上、十分な接着
強度が得られる。

【００２５】又、ダイヤモンドブレード等の切削具を用
いることなく、化学的処理あるいは熱処理により溶解あ
るいは分解して除去可能な隔壁成形型を用いて鋳込み成
形法や転写法、印刷積層法等の成形方法で、前記特徴を
有する隔壁を成形することから、従来の切削にて基板の
溝を形成した場合に見られた切削具の曲率を転写した形
状を有する未研削部分を生ずることがないため、剪断モ
ードによる隔壁駆動領域が拡大され、同一のインク噴射
特性を得るには溝の長さを従来よりも短くでき、インク
ジェットヘッド自体が小型軽量化され、材料コストも低
減できると共に、かかるインクジェットヘッドから成る
インク噴射装置の組み込み時の専有面積も大幅に低減さ
れ、引いては印刷装置自体の小型化にも寄与する。

【００２６】更に、インクジェットヘッドが小型軽量化
されることにより、インクジェットヘッドの移動速度の
高速化、位置決め精度の向上にも寄与することになる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の印刷装置及びその
製造方法について、図面に基づき詳細に説明する。

【００２８】図１は、本発明の印刷装置を構成するイン
ク噴射装置に用いられるインクジェットヘッドの一例で
ある溝の長手方向に対して直角方向に切断した要部を示
す断面図である。

【００２９】図において、１はインク加圧室２を構成す
る基板３と、平行な複数の溝４を形成する隔壁５と、溝
４の開放端側に接合したノズル孔６を穿設したノズル板
７とを主要部とするインクジェットヘッドであり、隔壁
５の頂部１３にはインク室（不図示）に連結する上部基
板８が接合され、隔壁５の側面９には、駆動電界印加用
の電極１０が形成されており、ノズル孔６はノズル板７
に溝４と対応して列状に穿設されている。

【００３０】本発明においては、隔壁５の頂部の厚さ１
１が隔壁５の最小の厚さ１２より１５〜６０％大である
ことが必要なものであり、前記限定理由として隔壁５の
頂部の厚さ１１が隔壁５の最小の厚さ１２より１５％未
満となると、上部基板８との接合面積が小さくなり、正
確に所定範囲で接着剤を塗布することが困難となり、６
０％を越えると隔壁５の側面９に電極１０を形成するこ
とが困難となるためである。

【００３１】従って、本発明では、隔壁５が前記条件を
満足し、圧電性を有する材料の剪断モードにより隔壁５
を歪み変形させて効率良く、かつ正確に再現性良く溝４
の容積を変化できれるものであれば、その断面形状はい
かなるものでも良い。

【００３２】とりわけ、隔壁５の成形のし易さを考慮す
ると、少なくとも隔壁５の頂部１３側の側面９が曲線状
又はテーパー状を成す形状がより望ましい。

【００３３】更に、隔壁５と上部基板８との接合歩留り
が向上してより安定したインクの噴射特性が得られると
いう点では、隔壁５の頂部１３と基部１４の各端部を結
ぶ直線１５が頂部１３の端部からの垂線と成す角度１６
が、１〜３度であれば十分な接着面積が得られて接着歩
留りが向上し、隔壁５の基部１４に応力が集中して隔壁
５が成形時に破損する等の恐れもなく最適なものとな
る。

【００３４】従って、本発明の印刷装置を構成するイン
ク噴射装置に用いられるインクジェットヘッドの隔壁の
断面形状は、該インクジェットヘッドの他の例である溝
の長手方向に対して直角方向に切断した要部を示す断面
図である図２乃至図４に図示するように、隔壁５の側面
９が全てテーパー状を成すものや、全て曲線状を成すも
の、あるいはそれらを組み合わせたもの、複数の変曲点
を有するもの等が適用可能であり、勿論、隔壁の厚さを
階段状に変化させて構成しても、前記曲線状あるいはテ
ーパー状と階段状を組み合わせて隔壁の断面形状を形成
しても良いことは言うまでもない。

【００３５】尚、隔壁５のノズル孔６を穿設したノズル
板７に接する側の厚さは、隔壁５の厚さの最大値となる
形状が望ましく、その時の隔壁５の厚さは、ノズル孔６
の大きさにより適宜選択できるが、概ねノズルピッチか
らノズル孔６の径の１．５倍の長さを差し引いた値を隔
壁の最大値とすることができる。

【００３６】次に、本発明の印刷装置の製造方法を、該
印刷装置の要部を成すインク噴射装置を構成するインク
ジェットヘッドの製造工程を示す図５に基づき、その一
例を説明する。

【００３７】図５において、１は基板３と一体化した複
数の平行な溝４を形成する隔壁５の頂部に接合した上部
基板８と、溝４の開放端側に接合したノズル孔６を穿設
したノズル板７とから成るインクジェットヘッドであ
る。

【００３８】本発明の印刷装置の製造方法として、先
ず、隔壁形成用組成物を隔壁成形型の凹部に充填して隔
壁を成形する方法では、基板３上に隔壁成形型１７を載
置し、隔壁成形型１７と基板３で形成される凹部１８に
隔壁形成用組成物１９を充填する工程から成る方法と、
凹部１８を形成した隔壁成形型１７に隔壁形成用組成物
１９を充填し、該充填物と接着するように基板３を押し
付ける工程から成る方法がある。

【００３９】本発明の基板３は、基板材料として隔壁と
同一の圧電性を有する材料は勿論、隔壁と焼結後に一体
化できるものであれば特に限定するものではなく、例え
ば、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスやジルコニア
等を挙げることができる。

【００４０】次に、前記隔壁成形型１７は、前記詳述し
たように焼成後の隔壁の頂部の厚さが該隔壁の最小の厚
さより１５〜６０％大となる形状を成し、焼成収縮を考
慮した凹部を設けたもので、その材質は、アルカリ液等
の化学的処理により溶解できるもの、あるいは脱バイン
ダー又は焼成の熱処理により分解揮散するものであれば
特に限定するものではないが、前記いずれかの処理によ
り除去可能なワックスや感光性有機レジストに代表され
る有機樹脂等が好適である。

【００４１】とりわけ、前記隔壁成形型１７の隔壁形状
を成す凹部１８を任意の形状に作製するという観点から
は、基板上に感光性有機フィルムを接着して所定形状の
マスクパターンを合わせて露光及び現像を行う工程を、
マスクパターンを変更しながら繰り返し、所定高さで所
定断面形状を有する溝部に該当する凸部を形成する方
法、又は、基板上に成形する隔壁の高さに相当する感光
性レジスト層を形成し、所定のマスクパターンを合わせ
た後、露光及び現像を行って溝部に該当する凸部を形成
する方法が最適である。

【００４２】具体的には、前記感光性レジスト層を形成
させる手段は特に限定するものではないが、感光性レジ
スト層を液状のもので形成させる場合には、例えば、ロ
ールコーター法やドクターブレード法、スピンコーター
法等により均一に塗布することができるが、均一膜厚を
得易いという点からは感光性有機フィルムのように非液
状のものを前記基板３に貼付して使用することが好まし
く、その際、用いるマスクは、熱膨張の観点からはガラ
スマスクが好適である。

【００４３】一方、前記露光の手段は、パターニングが
できれば特に限定するものではないが、電子線、紫外
線、遠赤外線等を用いて露光することができ、コストや
解像度の観点からは紫外線を用いた露光が好ましい。

【００４４】前記露光に際し、前記マスクを通過した露
光線が基板に到着する時にわずかに拡張するように、即
ち、感光性レジスト層がマスクパターンを介して、富士
山の如き、テーパー形状になるように露光することが望
ましい。

【００４５】具体的に前記テーパー形状を得る手段とし
ては、例えば、点光源を所定のパターンを形成したマス
クに近接させて露光を行ったり、ライン状の光源に対し
てその下を前記感光性レジスト層を移動させながら通過
させて露光を行ったり、逆に前記感光性レジスト層の上
をライン状の光源を移動させて露光を行うことにより達
成できる。

【００４６】次に、本発明で用いることができる圧電性
を有する材料を含有した隔壁形成用組成物１９として
は、特に限定するものではなく、圧電すべり効果や圧電
縦効果、圧電横効果等の各種圧電モードを利用できるも
のであればいずれでも良いが、なかでもチタン酸ジルコ
ン酸鉛系のセラミック材料が最適である。

【００４７】又、前記隔壁形成用組成物１９は、圧電性
を有する材料以外に各種樹脂、溶剤等から成るバインダ
ー溶液を混合したものであり、それ以外に分散剤、増粘
剤等の各種添加剤を添加することもできる。

【００４８】尚、前記隔壁成形型１７の凹部１８に隔壁
形成用組成物１９を充填する手段としては、公知のドク
ターブレード法やロールコーター法、印刷法等を適用し
て充填することができるが、その際、充填後に脱気処理
しても良く、又、脱気処理した泥漿を充填しても良い。

【００４９】次に、隔壁成形型１７の凹部１８に充填し
た隔壁形成用組成物１９を固化させるが、固化させる手
段は、選択した隔壁形成用組成物１９に用いた樹脂によ
って異なり、乾燥させたり、あるいは加熱硬化、常温硬
化させても良く、最終的に隔壁形状を保形できるもので
あれば、固化させる手段は特に限定するものではない。

【００５０】前記固化した隔壁形成用組成物１９を凹部
１８に保持した隔壁成形型１７は、化学的処理あるいは
脱バインダー又は焼成の熱処理により溶解あるいは分解
揮散させて除去するが、その方法は特に限定されるもの
ではなく、例えば、アルカリ液で溶解させたり、レーザ
ー等で焼成分解させたり、後述の脱バインダー又は焼成
の熱処理により分解させ、別途あるいは前記熱処理と同
時に焼成して基板と隔壁を一体化することにより、隔壁
の頂部の厚さが隔壁の最小の厚さより１５〜６０％大で
ある断面形状を成し、該隔壁により複数の溝４を有する
インク加圧室構成部材を作製することができる。

【００５１】尚、必要に応じて引き出し電極用のわずか
な空間を溝４の端部に機械加工にて形成することも可能
である。

【００５２】一方、本発明の印刷装置の他の製造方法
は、図６に示すように、基板３上に前記圧電性を有する
材料及びバインダー、各種有機添加物から成るペースト
状の隔壁形成用組成物１９を印刷製版２０を用いて印刷
法により印刷塗布し、次いで乾燥して隔壁形成用組成物
１９を固化させる。

【００５３】その際、隔壁の頂部の厚さが隔壁の最小の
厚さより１５〜６０％大である断面形状を成すように任
意の形状で印刷製版を種々用意し、一層印刷、乾燥する
度に印刷製版を調節しながら前記印刷、乾燥を繰り返し
て積層することにより、既述したような図１乃至図４に
図示した断面形状を含む種々の形状の隔壁成形体２１を
自由に基板３上に成形することができ、特に、前記印刷
法としては、印刷製版の作り易さやコストの面からは、
スクリーン印刷法が最適である。

【００５４】かくして得られた隔壁を形成した基板を、
公知の脱バインダー処理を施してから焼成することによ
り、基板と一体化した複数の平行な溝を有するインク加
圧室構成部材が得られる。

【００５５】その後、前記いずれの製造方法において
も、隔壁の頂部から基部方向に分極処理を行い、基板と
一体化した複数の平行な溝を有するインク加圧室構成部
材を作製した後、隔壁側面の少なくとも一部及び溝の端
部に設けたわずかな空間に、駆動電界印加用の電極１０
と引き出し電極（不図示）を、例えば、スパッタリング
法やめっき法、蒸着法、イオンプレーティング法、又は
ＣＶＤ法等により形成する。

【００５６】かかる電極に適用できる材料としては、特
に限定するものではないが、銅、銀、金、白金、タング
ステン、ニッケル等の金属材料や、ペロブスカイト系の
導電性セラミックス材料等が好適に使用することができ
る。

【００５７】他方、前記ノズル板７は、レーザー等で所
定寸法に穿孔してノズル孔６を形成したもので、その材
料としては、各種プラスチックや金属、セラミックス等
のいかなる材料をも使用することができ、例えば、ポリ
エチレンテレフタレートやポリイミド、ポリエーテルイ
ミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポ
リカーボネイト、酢酸セルロース等のプラスチック、あ
るいはステンレス鋼やクロムモリブデン鋼、アルミニウ
ム等の金属、もしくはアルミナやジルコニア、チタン酸
ジルコン酸鉛等のセラミックスが挙げられるが、特に、
加工のし易さの観点からは、ポリエチレンテレフタレー
トやポリイミドから成るプラスチック板が好適である。

【００５８】かくして得られた部材をそれぞれエポキシ
系接着剤等で接着して組み立てることにより、本発明の
印刷装置を構成するインク噴射装置の剪断モード型のイ
ンクジェットヘッドが得られる。

【００５９】尚、本発明の印刷装置では、噴射させるイ
ンクとしては顔料又は／及び染料と、水やアルコール等
の水系の溶剤、あるいはヘキサンやトルエン等の非水系
の溶剤を主成分としたもののいずれにも適用可能であ
る。

【００６０】

【実施例】次に、本発明の印刷装置及びその製造方法に
ついて、以下のようにして評価した。

【００６１】（実施例１）先ず、厚さ約３００μｍのチ
タン酸ジルコン酸鉛系セラミック基板上に、重合開始剤
を含有する紫外線硬化性樹脂をロールコーターにて塗布
し、乾燥させた後、隔壁の厚さに相当する幅が８０μ
ｍ、隔壁のピッチが１４０μｍのガラスマスクから成る
マスクパターンを前記紫外線硬化性樹脂層上に載置した
後、紫外線露光装置のメッシュベルト上に設置して紫外
線ランプ下で移動させながら露光した後、０．２重量％
の炭酸ナトリウム溶液で現像して溝に相当する部位を硬
化させてチタン酸ジルコン酸鉛系セラミック基板上に紫
外線硬化性樹脂から成る隔壁成形型を形成した。

【００６２】一方、隔壁形成用組成物としてチタン酸ジ
ルコン酸鉛系セラミック粉末と熱硬化性樹脂、溶剤、分
散剤とから成る泥漿を調製し、該泥漿を前記隔壁成形型
の凹部に充填した後、室温にて硬化させて前記泥漿を固
化させ、次いでアルカリ液を用いて前記隔壁成形型を成
す紫外線硬化性樹脂を溶解して除去し、隔壁の基板から
の高さが約４００μｍ、隔壁の側面がテーパー状を成し
た前記基板に密着した隔壁成形体を得た。

【００６３】次に、前記基板に密着した隔壁成形体を４
５０℃の温度で脱バインダー処理を行い、引き続いて１
２００℃の温度で焼成して一体化し、インク加圧室構成
部材を作製した後、引き出し電極用のわずかな空間を溝
の端部にスライシング加工にて形成した。

【００６４】その後、隔壁の分極処理を施し、更に隔壁
の側面の上部半分と溝の引き出し電極相当部にスパッタ
リング法により金電極を形成した。

【００６５】一方、厚さ約３００μｍの他のチタン酸ジ
ルコン酸鉛系セラミック基板に機械加工によりインク室
連結用の穴を形成して上部基板を作製した。

【００６６】又、ポリイミド製のプラスチック板にレー
ザーでノズル孔を穿孔してノズル板を作製した。

【００６７】かくして得られた各部材を、エポキシ系接
着剤で接着して組み上げ、評価用の剪断モード型のイン
クジェットヘッドを作製した。

【００６８】評価に際し、先ず、隔壁の断面形状を確認
すべく同一仕様で作製したインク加圧室構成部材を溝の
長手方向に対して直角方向に切断し、その断面を走査型
電子顕微鏡で観察し、隔壁の頂部の厚さとして隔壁の頂
点から隔壁基部に向かって１５μｍの位置の厚さを測定
すると共に、隔壁の厚さの内、最小の厚さを有する位置
で寸法を測定して隔壁の最小の厚さとし、前記最小の厚
さに対する隔壁の頂部の厚さの増大割合を１００分率で
計算し、その割合を求めた。

【００６９】又、隔壁の頂部と基部の各端部を結ぶ直線
が該頂部の端部からの垂線と成す角度を測定した。

【００７０】次に、同一仕様の評価用の剪断モード型の
インクジェットヘッドの一部を用いて、該インクジェッ
トヘッドを治具に固定し、上部基板のみを毎秒０．５ｍ
ｍの引っ張り速度で引っ張り試験を行い、剥離した時の
荷重で密着性、即ち各インク加圧室の密閉性を評価し
た。

【００７１】更に、作製した評価用の剪断モード型のイ
ンクジェットヘッドを用いてインク液滴の噴射実験を実
施し、インク流路の容積のバラツキの有無をインクの噴
射特性の内、各インク加圧室の液滴の噴射速度で評価し
た。

【００７２】その結果、前記評価用の剪断モード型のイ
ンクジェットヘッドは、外形寸法が厚さ１ｍｍ、奥行き
１２ｍｍ、幅１２ｍｍから成り、インク加圧室の隔壁
は、頂部の厚さが８２μｍ、最小の厚さは隔壁の基部の
厚さで６９μｍ、隔壁の高さが３００μｍの逆テーパー
形状の断面を成し、隔壁の最小の厚さに対する頂部の厚
さの増大割合は１９％であり、隔壁の頂部と基部の各端
部を結ぶ直線が該頂部の端部からの垂線と成す角度は
１．２度であった。

【００７３】更に、インク加圧室の溝の端部は溝底部か
ら前記隔壁同様、逆テーパー状に形成されており、溝の
端部で長さ２ｍｍの引き出し電極相当部と溝部の長さが
１０ｍｍで、溝のピッチが１４０μｍを示し、隔壁と上
部基板との密着性、即ち各インク加圧室の密閉性の評価
としての接着強度は１．６ｋｇであった。

【００７４】又、インク液滴の噴射実験で、隔壁駆動領
域が十分に確保できてインク液滴も十分に噴射でき、し
かも、該液滴の噴射速度も毎秒１５±０．５ｍと極めて
安定しており、高精細度化が可能な小型のインクジェッ
トヘッドが得られていることが確認できた。

【００７５】又、インク流路の容積のバラツキは０．１
％程度と極めて小さくインク液滴量も安定しており、噴
射特性の安定性が確認できた。

【００７６】（実施例２）実施例１において、隔壁の厚
さに相当する幅が８０μｍ、隔壁のピッチが１４０μｍ
のガラスマスクに代えて幅が９０μｍ、ピッチが１４０
μｍのガラスマスクを使用する以外は、実施例１と同様
にして剪断モード型のインクジェットヘッドを作製し、
同様に評価した。

【００７７】その結果、隔壁の前記インクジェットヘッ
ドは、外形寸法が厚さ１ｍｍ、奥行き１２ｍｍ、幅１２
ｍｍから成り、インク加圧室の隔壁は、頂部の厚さが９
１μｍ、最小の厚さは６９μｍの隔壁の基部の厚さを示
し、最小の厚さに対する頂部の厚さの増大割合は３２％
となり、隔壁の高さが３００μｍの逆テーパー形状の断
面形状を成し、隔壁の頂部と基部の各端部を結ぶ直線が
該頂部の端部からの垂線と成す角度は２．１度であっ
た。

【００７８】更に、インク加圧室の溝の端部は溝底部か
ら隔壁同様逆テーパー状に形成されており、溝の端部で
長さ２ｍｍの引き出し電極相当部と溝部の長さが１０ｍ
ｍで、溝のピッチが１４０μｍを示し、隔壁と上部基板
との密着性、即ち各インク加圧室の密閉性の評価として
の接着強度は１．９ｋｇであった。

【００７９】又、インク液滴の噴射実験で、隔壁駆動領
域が十分に確保できてインク液滴も十分に噴射でき、し
かも、該液滴の噴射速度も毎秒１４±０．５ｍと極めて
安定しており、高精細度化が可能な小型のインクジェッ
トヘッドが得られていることが確認できた。

【００８０】又、インク流路の容積のバラツキは０．１
％程度と極めて小さくインク液滴量も安定しており、噴
射特性の安定性が確認できた。

【００８１】（実施例３）厚さ約３００μｍのチタン酸
ジルコン酸鉛系セラミック基板上に、チタン酸ジルコン
酸鉛系セラミック粉末と有機バインダー、可塑剤、溶
剤、分散剤とから成るペースト状の隔壁形成用組成物を
調製し、該隔壁形成用組成物を用いて隔壁の厚さに相当
する幅７０μｍに設定したスクリーン製版により隔壁パ
ターンを印刷した後、乾燥した。

【００８２】次いで、４回の印刷、乾燥を繰り返した
後、幅７５、８０、８５μｍにそれぞれ設定したスクリ
ーン製版を順次用いて、各々５回、印刷、乾燥を繰り返
して積層印刷を行うと共に、最上層は引き出し電極用の
僅かな空間を有する様な製版パターンで印刷し、高さ約
５００μｍの隔壁成形体を有する基板を作製した。

【００８３】その後、４５０℃の温度で脱バインダー処
理を行い、続いて１２００℃の温度で焼成して一体化
し、インク加圧室構成部材を作製した。

【００８４】それ以降は、実施例１と同様にして剪断モ
ード型のインクジェットヘッドを作製し、評価した。

【００８５】その結果、かかるインクジェットヘッド
は、外形寸法が厚さ１ｍｍ、奥行き５６ｍｍ、幅１２ｍ
ｍから成り、インク加圧室の隔壁は、頂部の厚さが８４
μｍ、最小の厚さは６９μｍの隔壁の基部の厚さとな
り、隔壁の最小の厚さに対する頂部の厚さの増大割合は
２２％で、隔壁の高さが４００μｍのやや階段上の段差
を有する疑似逆テーパー形状の断面を成し、隔壁の頂部
と基部の各端部を結ぶ直線が該頂部の端部からの垂線と
成す角度は１．１度であった。

【００８６】更に、インク加圧室の溝の端部は溝底部か
らほぼ垂直に形成されており、溝の端部で長さ２ｍｍの
引き出し電極相当部と溝部の長さが１０ｍｍで、溝のピ
ッチが１４０μｍを示し、隔壁と上部基板との密着性、
即ち各インク加圧室の密閉性の評価としての接着強度は
１．７ｋｇであった。

【００８７】又、インク液滴の噴射実験で、隔壁駆動領
域が十分に確保できてインク液滴も十分に噴射でき、し
かも、該液滴の噴射速度も毎秒１４±０．８ｍと極めて
安定しており、高精細度化が可能な小型のインクジェッ
トヘッドが得られていることが確認できた。

【００８８】又、インク流路の容積のバラツキは０．１
５％程度と極めて小さくインク液滴量も安定しており、
噴射特性の安定性が確認できた。

【００８９】（実施例４）実施例３において、隔壁の幅
が８０μｍに相当するスクリーン製版で３回印刷積層
し、その後、隔壁の幅が７５、８０、８５μｍに設定し
たスクリーン製版を用いて、順次、各々４回印刷積層
し、最後に隔壁の幅が９０μｍに相当するスクリーン製
版で３回積層印刷する以外は、実施例３と同様にして剪
断モード型のインクジェットヘッドを作製し、評価し
た。

【００９０】その結果、インク加圧室の隔壁は、頂部の
厚さが８７μｍ、最小の厚さは７４μｍの隔壁の中央部
付近の厚さとなり、隔壁の基部の厚さが８１μｍで、最
小の厚さに対する頂部の厚さの増大割合は１８％とな
り、隔壁の高さが４００μｍで、印刷ダレによるやや鼓
形状を呈する断面形状であった。

【００９１】更に、溝の端部で長さ２ｍｍの引き出し電
極相当部と溝部の長さが１０ｍｍで、溝のピッチは１５
０μｍを示し、各インク加圧室の密閉性の評価としての
接着強度は１．８ｋｇであった。

【００９２】又、インク液滴の噴射実験で、隔壁駆動領
域が十分に確保できてインク液滴も十分に噴射でき、し
かも、該液滴の噴射速度も毎秒１４±０．８ｍと極めて
安定しており、高精細度化が可能な小型のインクジェッ
トヘッドが得られていることが確認できた。

【００９３】又、インク流路の容積のバラツキは０．１
５％程度と極めて小さくインク液滴量も安定しており、
噴射特性の安定性が確認できた。

【００９４】（実施例５）実施例３において、隔壁の幅
が８０μｍに相当するスクリーン製版で１５回印刷積層
し、その後、隔壁の幅が９０μｍに相当する製版で３回
積層印刷する以外は、実施例３と同様にして剪断モード
型のインクジェットヘッドを作製し、同様に評価した。

【００９５】その結果、インク加圧室の隔壁は、頂部の
厚さが８７μｍ、最小の厚さは７５μｍの隔壁の基部の
厚さとなり、最小の厚さに対する頂部の厚さの増大割合
は１６％であり、隔壁の高さが４００μｍで、印刷ダレ
により隔壁の頂部付近で曲線状のＲ部を呈する断面形状
であった。

【００９６】更に、インク加圧室の溝の端部は溝底部か
らほぼ垂直に形成されており、溝の端部で長さ２ｍｍの
引き出し電極相当部と溝部の長さが１０ｍｍで、溝のピ
ッチが１５０μｍを示し、隔壁と上部基板との密着性、
即ち各インク加圧室の密閉性の評価としての接着強度は
１．８ｋｇであった。

【００９７】又、インク液滴の噴射実験で、隔壁駆動領
域が十分に確保できてインク液滴も十分に噴射でき、し
かも、該液滴の噴射速度も毎秒１４±０．７ｍと極めて
安定しており、高精細度化が可能な小型のインクジェッ
トヘッドが得られていることが確認できた。

【００９８】又、インク流路の容積のバラツキは０．１
５％程度と極めて小さくインク液滴量も安定しており、
噴射特性の安定性が確認できた。

【００９９】（比較例）先ず、外形寸法で厚さ１ｍｍ、
奥行き１２ｍｍ、幅１２ｍｍのチタン酸ジルコン酸鉛か
ら成る基板に、ブレードの厚さが７０μｍのダイヤモン
ドブレードを用いてダイシング法により溝を切削加工し
てインク加圧室部材を作製し、隔壁に分極処理を施した
後、隔壁側面の上部半分と溝の引き出し電極相当部にス
パッタリング法により金電極を形成した。

【０１００】一方、厚さ約３００μｍのチタン酸ジルコ
ン酸鉛基板にインク室連結用の穴を研削により穿孔して
上部基板を作製した。

【０１０１】他方、ポリイミド製のプラスチック板にレ
ーザーでノズル穴を穿孔してノズル板を作製した。

【０１０２】次いで、エポキシ系接着剤で前記各部材を
接着して組み上げ、剪断モード型のインクジェットヘッ
ドを作製し、実施例１と同様にして評価した。

【０１０３】その結果、得られたインクジェットヘッド
は、外形寸法が厚さ１ｍｍ、奥行き１２ｍｍ、幅１２ｍ
ｍから成り、インク加圧室の溝は、溝の幅が７１μｍ、
溝の深さが３００μｍの矩形断面を有すると共に、溝の
端部は、ダイヤモンドブレードの曲率を転写した円弧形
状を成しており、又、該溝を形成する隔壁の頂部及び基
部の厚さは共に約６９μｍであり、溝の端部で長さ２ｍ
ｍの引き出し電極相当部を有し、溝部の長さは１０ｍ
ｍ、溝の底部の長さは７ｍｍ、未切削部分長さは３ｍｍ
もあり、溝のピッチは１４０μｍであった。また、接着
強度は１．０ｋｇと低いものであった。

【０１０４】従って、インク液滴の噴射実験では、隔壁
駆動領域が十分に確保できず、得られた印字は極めて粗
いピッチであり、その上、スライシング加工の振動、ぶ
れ等により隔壁の一部欠損が２ヵ所、隔壁の基部からの
破損が１ヵ所認められ、欠陥のないインクジェットヘッ
ドが得られていなかった。

【０１０５】以上の結果からも明らかなように、比較例
では、上部基板と接する側の溝部の長さが長いため、接
着剤の垂れ込みの影響を受け易く、インク加圧室の容積
のバラツキは±０．２５％程度と極めて大である。

【０１０６】又、スライシング加工時のダイヤモンドブ
レード等のツール形状に依存する未切削部分が生じるた
めに十分な隔壁駆動領域を確保できないことから、イン
ク液滴を十分に噴出できず、又、上部基板との接着強度
は低い値を示し、信頼性の低いものであり、スライシン
グ加工に起因する隔壁の欠損や破損を有するものであっ
た。

【０１０７】それに対して、本発明では、いずれも隔壁
と上部基板とが密閉性良く接合されており、インク流路
の容積のバラツキも極めて軽微で、各インク加圧室のイ
ンク噴射特性も安定しており、その上、いずれも溝の全
長が隔壁駆動領域として確保できてインク液滴を十分な
圧力で噴射でき、噴出特性が優れた小型のインクジェッ
トヘッドを形成できるだけでなく、例えば、ラインプリ
ンターヘッドの如き長いヘッドを容易に作製できる。

【０１０８】尚、本発明は前記詳述した実施例に何等限
定されるものではない。

【０１０９】

【発明の効果】叙上の如く、本発明の印刷装置及びその
製造方法によれば、印刷装置に具備されたインク噴射装
置を構成するインクジェットヘッドのインク加圧室の隔
壁が、頂部の厚さが隔壁の最小の厚さより１５〜６０％
大であることから、上部基板と隔壁の頂部との接合面積
を大とすることができ、接着剤の量の多少を問わず十分
な接着強度が得られると共に、インク流路の密閉性を確
実なものとして、かつその容積のバラツキを解消し、接
着剤の塗布工程が容易になる等により、上部基板との接
合歩留りが向上して安定したインクの噴射特性が得られ
る。

【０１１０】その上、ダイヤモンドブレード等の切削具
を用いない成形方法により隔壁を成形する製造方法であ
ることから、従来のように基板の溝幅が切削具の厚さに
依存したり、溝の深さが切削具の切り込み量に依存した
りせず、更に、切削にて基板の溝を形成した場合に見ら
れた切削具の曲率を転写した形状を有する未研削部分を
生ずることがないため、剪断モードによる隔壁駆動領域
が拡大でき、同一のインク噴射特性を得るには隔壁駆動
領域が必要最小限の溝の長さで従来よりも短く高精度に
確保でき、インクジェットヘッドが小型軽量化され、材
料コストも低減できると共に、かかるインクジェットヘ
ッドから成るインク噴射装置の組み込み時の専有面積も
大幅に低減され、引いては印刷装置自体の小型化にも寄
与することができる。

【０１１１】従って、インクジェットヘッドが小型軽量
化されることにより、インクジェットヘッドの移動速度
の高速化、位置決め精度の向上が実現でき、基板サイズ
を長尺化することにより、インクジェットヘッドを移動
させる必要のないラインプリンターヘッドも簡単に製造
することができ、高速、高解像度の印刷が可能となり、
要求されている印字や画像、文様等のより高精細化が可
能で、かつ量産に適したインクジェットヘッドから成る
インク噴射装置を具備した印刷装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の印刷装置を構成するインク噴射装置に
用いられるインクジェットヘッドの一例である溝の長手
方向に対して直角方向に切断した要部を示す断面図であ
る。

【図２】本発明の印刷装置を構成するインク噴射装置に
用いられるインクジェットヘッドの他の例である溝の長
手方向に対して直角方向に切断した要部を示す断面図で
ある。

【図３】本発明の印刷装置を構成するインク噴射装置に
用いられるインクジェットヘッドの他の例である溝の長
手方向に対して直角方向に切断した要部を示す断面図で
ある。

【図４】本発明の印刷装置を構成するインク噴射装置に
用いられるインクジェットヘッドの他の例である溝の長
手方向に対して直角方向に切断した要部を示す断面図で
ある。

【図５】本発明の印刷装置の製造方法を説明するため
の、印刷装置の要部を成すインク噴射装置を構成するイ
ンクジェットヘッドの製造工程の一例を示す図である。

【図６】本発明の印刷装置の製造方法を説明するため
の、印刷装置の要部を成すインク噴射装置を構成するイ
ンクジェットヘッドの製造工程の他の例を示す図であ
る。

【図７】従来の印刷装置を構成するインク噴射装置に用
いられる一部破断したインクジェットヘッドの構造を示
す斜視図である。

【符号の説明】

１ インクジェットヘッド ２ インク加圧室 ３ 基板 ４ 溝 ５ 隔壁 ６ ノズル孔 ７ ノズル板 ８ 上部基板 ９ 側面 １０ 電極 １１ 頂部の厚さ １２ 最小の厚さ １３ 頂部 １４ 基部 １５ 直線 １６ 角度 １７ 隔壁成形型 １８ 凹部 １９ 隔壁形成用組成物 ２０ 印刷製版 ２１ 隔壁成形体

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】インク加圧室を構成する複数の溝を形成す
   るための隔壁が圧電性を有する材料から成り、該圧電性
   を有する材料の剪断モードにより隔壁を歪み変形させて
   溝の容積を変化させ、該溝に供給されたインクを溝の一
   端に設けたノズル孔から液滴として噴射するインクジェ
   ットヘッドをインク噴射装置として具備した印刷装置で
   あって、前記隔壁の頂部の厚さが該隔壁の最小の厚さよ
   り１５〜６０％大であることを特徴とする印刷装置。
2. 【請求項２】前記隔壁の断面形状は、少なくとも隔壁の
   頂部側の側面が曲線状又はテーパー状を成すことを特徴
   とする請求項１に記載の印刷装置。
3. 【請求項３】前記隔壁の断面形状は、隔壁の頂部と基部
   の各端部を結ぶ直線が該頂部の端部からの垂線と１〜３
   度の角度を成すことを特徴とする請求項１又は請求項２
   のいずれかに記載の印刷装置。
4. 【請求項４】インク加圧室を構成する複数の溝を形成す
   るための隔壁と、側面に電極を備えた隔壁で所定間隔に
   保持された対向する一対の基板と、前記溝の開放端を封
   着するノズル孔を有するノズル板とから成るインクジェ
   ットヘッドをインク噴射装置として具備した印刷装置の
   製造方法であって、基板上に設けた焼成後の隔壁の頂部
   の厚さが該隔壁の最小の厚さより１５〜６０％大となる
   凹部を形成した隔壁成形型に、圧電性を有する材料から
   成る隔壁形成用組成物を充填して固化させた後、化学的
   処理により前記隔壁成形型を除去してから脱バインダー
   及び焼成して隔壁と基板を一体化するか、あるいは脱バ
   インダー又は焼成の熱処理により前記隔壁成形型を分解
   除去すると同時に隔壁と基板を焼成一体化した後、隔壁
   の側面に電極を形成し、次いで隔壁の頂部に上部基板を
   接合すると共に、溝の開放端側にノズル孔を穿設したノ
   ズル板を接合してインク噴射装置を構成するインクジェ
   ットヘッドを形成することを特徴とする印刷装置の製造
   方法。
5. 【請求項５】インク加圧室を構成する複数の溝を形成す
   るための隔壁と、側面に電極を備えた隔壁で所定間隔に
   保持された対向する一対の基板と、前記溝の開放端を封
   着するノズル孔を有するノズル板とから成るインクジェ
   ットヘッドをインク噴射装置として具備した印刷装置の
   製造方法であって、焼成後の隔壁の頂部の厚さが該隔壁
   の最小の厚さより１５〜６０％大となる凹部を形成した
   隔壁成形型に、圧電性を有する材料から成る隔壁形成用
   組成物を充填した後、基板を密着させて充填物を固化さ
   せ、次いで化学的処理により前記隔壁成形型を除去して
   から脱バインダー及び焼成して隔壁と基板を一体化する
   か、あるいは脱バインダー又は焼成の熱処理により前記
   隔壁成形型を分解除去すると同時に隔壁と基板を焼成一
   体化した後、隔壁の側面に電極を形成し、次いで隔壁の
   頂部に上部基板を接合すると共に、溝の開放端側にノズ
   ル孔を穿設したノズル板を接合してインク噴射装置を構
   成するインクジェットヘッドを形成することを特徴とす
   る印刷装置の製造方法。
6. 【請求項６】前記隔壁成形型が、化学的処理あるいは熱
   処理により溶解あるいは分解除去可能な有機樹脂から成
   ることを特徴とする請求項４又は請求項５のいずれかに
   記載の印刷装置の製造方法。
7. 【請求項７】前記隔壁成形型は、基板上に感光性有機フ
   ィルムを接着し、所定形状のマスクパターンを合わせて
   露光及び現像を行う工程を、マスクパターンを変更しな
   がら繰り返し、所定高さで所定断面形状を有する溝部に
   該当する凸部を形成したものであることを特徴とする請
   求項４乃至請求項６のいずれかに記載の印刷装置の製造
   方法。
8. 【請求項８】前記隔壁成形型は、基板上に成形する隔壁
   の高さに相当する感光性レジスト層を形成し、所定のマ
   スクパターンを合わせた後、露光及び現像を行って溝部
   に該当する凸部を形成したものであることを特徴とする
   請求項４乃至請求項６のいずれかに記載の印刷装置の製
   造方法。
9. 【請求項９】インク加圧室を構成する複数の溝を形成す
   るための隔壁と、側面に電極を備えた隔壁で所定間隔に
   保持された対向する一対の基板と、前記溝の開放端を封
   着するノズル孔を有するノズル板とから成るインクジェ
   ットヘッドをインク噴射装置として具備した印刷装置の
   製造方法であって、基板上に所定形状の印刷製版を合わ
   せてスクリーン印刷法にて圧電性を有する材料から成る
   隔壁形成用組成物を印刷して固化させた後、印刷製版を
   変更して前記印刷、固化工程を繰り返して隔壁形成用組
   成物を積層し、所定高さで焼成後の隔壁の頂部の厚さが
   該隔壁の最小の厚さより１５〜６０％大となる断面形状
   を有する隔壁成形体を成形した後、脱バインダー及び焼
   成して隔壁と基板を一体化し、次いで隔壁の側面に電極
   を形成した後、隔壁の頂部に上部基板を接合すると共
   に、溝の開放端側にノズル孔を穿設したノズル板を接合
   してインク噴射装置を構成するインクジェットヘッドを
   形成することを特徴とする印刷装置の製造方法。