JP2000042802A5

JP2000042802A5 -

Info

Publication number: JP2000042802A5
Application number: JP1998213587A
Authority: JP
Filing date: 1998-07-29
Publication date: 2005-10-20

Claims

軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状の形状をもち、その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設け、その超硬部材上に中間層を設け、その中間層上に硬質カーボン膜を形成したガイドブッシュであって、
超硬部材の表面は、コバルトが除去された凹凸であり、
その超硬部材の表面の凹凸に倣うように硬質カーボン膜の表面は凹凸である
ことを特徴とするガイドブッシュ。
請求項１に記載の中間層は、１層で構成することを特徴とするガイドブッシュ。
請求項２に記載の中間層は、炭素を含む合金材料からなることを特徴とするガイドブッシュ。
請求項３に記載の炭素を含む合金材料から中間層は、シリコンカーバイトまたはタングステンカーバイトからなることを特徴とするガイドブッシュ。
請求項１に記載の中間層は、複数層で構成することを特徴とするガイドブッシュ。
請求項５に記載の中間層は、チタンまたはクロムからなる下層の第１の中間層と、シリコンまたはゲルマニウムからなる上層の第２の中間層とから構成することを特徴とするガイドブッシュ。
軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、
その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設け、その超硬部材上に中間層を設け、その中間層上に硬質カーボン膜を形成したガイドブッシュへの被膜の形成方法であって、
その超硬材料の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
ガイドブッシュの内周面をターゲットと対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法により中間層を形成する工程と、
中間層を形成したガイドブッシュの開口内面に接地電位と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する工程とを有する
ことを特徴とするガイドブッシュへの被膜の形成方法。
軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、
その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設け、その超硬部材上に中間層を設け、その中間層上に硬質カーボン膜を形成したガイドブッシュへの被膜の形成方法であって、
その超硬材料の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
ガイドブッシュの内周面をターゲットと対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法により中間層を形成する工程と、
中間層を形成したガイドブッシュの開口内面に接地電位と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに高周波電圧を印加し、プラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する工程とを有する
ことを特徴とするガイドブッシュへの被膜の形成方法。
軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、
その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設け、その超硬部材上に中間層を設け、その中間層上に硬質カーボン膜を形成したガイドブッシュへの被膜の形成方法であって、
その超硬材料の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
ガイドブッシュの内周面をターゲットと対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法により中間層を形成する工程と、
中間層を形成したガイドブッシュの開口内面に接地電位と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに直流電圧を印加し、プラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する工程とを有する
ことを特徴とするガイドブッシュへの被膜の形成方法。
軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設け、その超硬部材上に中間層を設け、その中間層上に硬質カーボン膜を形成したガイドブッシュへの被膜の形成方法であって、
その超硬材料の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
ガイドブッシュの内周面をターゲットと対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を
排気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法により中間層を形成する工程と、
中間層を形成したガイドブッシュの開口内面に直流正電圧と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する工程とを有する
ことを特徴とするガイドブッシュへの被膜の形成方法。
軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設け、その超硬部材上に中間層を設け、その中間層上に硬質カーボン膜を形成したガイドブッシュへの被膜の形成方法であって、
その超硬材料の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
ガイドブッシュの内周面をターゲットと対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法により中間層を形成する工程と、
中間層を形成したガイドブッシュの開口内面に直流正電圧と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに高周波電圧を印加し、プラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する工程とを有する
ことを特徴とするガイドブッシュへの被膜の形成方法。
軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設け、その超硬部材上に中間層を設け、その中間層上に硬質カーボン膜を形成したガイドブッシュへの被膜の形成方法であって、
その超硬材料の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
ガイドブッシュの内周面をターゲットと対向するように真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口からアルゴンガスを真空槽内に導入し、スパッタリング法により中間層を形成する工程と、
中間層を形成したガイドブッシュの開口内面に直流正電圧と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに直流電圧を印加し、プラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する工程とを有する
ことを特徴とするガイドブッシュへの被膜の形成方法。
請求項７から請求項１２のいずれか一項に記載のコバルトをエッチングにより除去する工程は、ウェットエッチングによって行なうことを特徴とするガイドブッシュへの被膜の形成方法。
請求項１３に記載のウェットエッチングは、水酸化ナトリウムと過酸化水素水との混合溶液または過酸化水素水によって行なうことを特徴とするガイドブッシュへの被膜の形成方法。
請求項７から請求項１２のいずれか一項に記載の中間層は、１層または複数層からなることを特徴とするガイドブッシュへの被膜の形成方法。
請求項７から請求項１２のいずれか一項に記載の炭素を含むガスは、ベンゼンまたはメタンを用いることを特徴とするガイドブッシュへの被膜の形成方法。