JP2000024803A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状の形状をもち、その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設け、その超硬部材上に硬質カーボン膜を形成したガイドブッシュであって、
   その硬質カーボン膜が接する超硬部材の表面は、コバルトが除去された凹凸であり、
   その超硬部材の表面の凹凸に倣うように硬質カーボン膜の表面は凹凸である ことを特徴とするガイドブッシュ。
2. 軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状の形状をもち、その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設けるガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法であって、
   その超硬部材の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
   ガイドブッシュの開口内面に接地電位と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する工程とを有する
   ことを特徴とするガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法。
3. 軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、
   その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設けるガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法であって、
   その超硬部材の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
   ガイドブッシュの開口内面に接地電位と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッ
   シュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに高周波電圧を印加し、プラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する
   ことを特徴とするガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法。
4. 軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設けるガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法であって、
   その超硬部材の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
   ガイドブッシュの開口内面に接地電位と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに直流電圧を印加し、プラズマを発生させてガイドブッシ ュに硬質カーボン膜を形成する工程とを有する
   ことを特徴とするガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法。
5. 軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、
   その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設けるガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法であって、
   その超硬部材の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
   ガイドブッシュの開口内面に直流正電圧と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する
   ことを特徴とするガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法。
6. 軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、
   その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバルトを含む超硬部材を設けるガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法であって、
   その超硬部材の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
   ガイドブッシュの開口内面に直流正電圧と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに高周波電圧を印加し、プラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する工程とを有する
   ことを特徴とするガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法。
7. 軸方向に貫通した中心開口を有しほぼ円筒状形状をもち、
   その長手方向の一端部に外周テーパ面とそれに弾力をもたせるための摺り割りを形成し、他端部に自動旋盤のコラムに取り付けるためのネジ部を有し、外周テーパ面を形成した部分の内周に被加工物を保持するための内周面を形成しており、自動旋盤に取り付けられることにより中心開口に挿入された被加工物を、その被加工物を保持する内周面によって切削工具の近くにて回転および軸方向に摺動可能に保持し、その内周面にすくなくともコバ
   ルトを含む超硬部材を設けるガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法であって、
   その超硬部材の表面のコバルトをエッチングすることにより凹凸を形成する工程と、
   ガイドブッシュの開口内面に直流正電圧と接続する補助電極を挿入するようにガイドブッシュを真空槽内に配置し、真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、ガイドブッシュに直流電圧を印加し、プラズマを発生させてガイドブッシュに硬質カーボン膜を形成する工程とを有する
   ことを特徴とするガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法。
8. 請求項２から請求項７のいずれか一項に記載のコバルトをエッチングする工程は、ウェットエッチングによって行なうことを特徴とするガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法。
9. 請求項８に記載のウェットエッチングは、水酸化ナトリウムと過酸化水素水との混合溶液によって行なうことを特徴とするガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法。
10. 請求項２から請求項７のいずれか一項に記載の炭素を含むガスは、ベンゼンまたはメタンを用いることを特徴とするガイドブッシュへの硬質カーボン膜の形成方法。