JP2000035573A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

Info

Publication number
JP2000035573A
JP2000035573A JP10201897A JP20189798A JP2000035573A JP 2000035573 A JP2000035573 A JP 2000035573A JP 10201897 A JP10201897 A JP 10201897A JP 20189798 A JP20189798 A JP 20189798A JP 2000035573 A JP2000035573 A JP 2000035573A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
film
crystal display
guide plate
display device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10201897A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuo Mori
康雄 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP10201897A priority Critical patent/JP2000035573A/en
Publication of JP2000035573A publication Critical patent/JP2000035573A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Planar Illumination Modules (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent generation of luminance unevenness of a backlight which utilizes a light transmission plate with a notch at least on a side where a wire shaped lamp is located. SOLUTION: A liquid crystal panel constructed by confronting the first and the second substrates keeping a specified gap, by sticking them at an outer periphery of a display region with a sealant together and by enclosing a liquid crystal layer in the gap, a backlight constructed with a light transmission plate GLB and a wire shaped lamp LP located along at least on a side of it and a molded member which holds the light transmission plate GLB constituting the backlight are comprised. A notch CUTC with a curved wall is formed at an edge of one side of the light transmission plate GLB confronting the linear lamp LP.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に係
り、特に、狭額縁化に対応したバックライトを構成する
導光板の全面を有効照明領域として使用可能とした液晶
表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device in which the entire surface of a light guide plate constituting a backlight corresponding to a narrower frame can be used as an effective illumination area.

【0002】[0002]

【従来の技術】ノート型コンピユータやコンピユータモ
ニター用の高精細かつカラー表示が可能な液晶表示装置
では、液晶パネルを背面から照明する光源(所謂、バッ
クライト)を備えている。
2. Description of the Related Art A high-definition and color display liquid crystal display device for a notebook computer or a computer monitor is provided with a light source (so-called backlight) for illuminating a liquid crystal panel from behind.

【0003】この種の液晶表示装置は、基本的には少な
くとも一方が透明なガラス等からなる二枚の基板の間に
液晶層を挟持した所謂液晶パネルを構成し、上記液晶パ
ネルの基板に形成した画素形成用の各種電極に選択的に
電圧を印加して所定画素の点灯と消灯を行う形式(単純
マトリクス)、上記各種電極と画素選択用のアクティブ
素子を形成してこのアクティブ素子を選択することによ
り所定画素の点灯と消灯を行う形式(アクティブマトリ
クス)とに大きく分類される。
This type of liquid crystal display device basically forms a so-called liquid crystal panel in which a liquid crystal layer is sandwiched between two substrates at least one of which is made of transparent glass or the like, and is formed on the substrate of the liquid crystal panel. A type in which predetermined voltages are selectively applied to the various electrodes for pixel formation to turn on and off predetermined pixels (simple matrix), the various electrodes and active elements for pixel selection are formed, and the active elements are selected. Accordingly, it is broadly classified into a form (active matrix) for turning on and off a predetermined pixel.

【0004】従来のアクティブマトリクス型液晶表示装
置は、一方の基板に形成した電極と他方の基板に形成し
た電極との間に液晶層の配向方向を変えるための電界を
印加する、所謂縦電界方式を採用していた。
A conventional active matrix type liquid crystal display device employs a so-called vertical electric field method in which an electric field for changing the orientation of a liquid crystal layer is applied between an electrode formed on one substrate and an electrode formed on the other substrate. Was adopted.

【0005】近年、液晶層に印加する電界の方向を基板
面とほぼ平行な方向とする、所謂横電界方式(IPS方
式とも言う)の液晶表示装置が実現された。この横電界
方式の液晶表示装置としては、二枚の基板の一方に櫛歯
電極を用いて非常に広い視野角を得るようにしたものが
知られている(特公昭63−21907号公報、米国特
許第4345249号明細書)。
In recent years, a so-called in-plane switching (IPS) liquid crystal display device has been realized in which the direction of an electric field applied to a liquid crystal layer is substantially parallel to the substrate surface. As this in-plane switching type liquid crystal display device, a device in which a very wide viewing angle is obtained by using a comb electrode on one of two substrates is known (Japanese Patent Publication No. 63-21907, US Patent No. 4345249).

【0006】上記何れの形式の液晶表示装置において
も、その液晶パネルの照明光源として導光板と線状光源
から構成したサイドエッジ型バックライト、あるいは複
数の線状光源を直接液晶パネルの背面に設置した直下型
バックライトとが知られている。特に、サイドエッジ型
のバックライトはアクリル板等の透明板の少なくとも1
つの側縁に沿って線状ランプ(通常は、冷陰極蛍光管)
を配置し、この線状ランプからの光を導光板に導入し、
導光板の内部を光が伝播する途上で経路変更させて上方
に配置した液晶パネルを裏面から照明するように構成さ
れている。
In any of the above types of liquid crystal display devices, a side edge type backlight comprising a light guide plate and a linear light source, or a plurality of linear light sources is directly provided on the back of the liquid crystal panel as an illumination light source for the liquid crystal panel. There is known a direct type backlight. In particular, the side-edge type backlight has at least one transparent plate such as an acrylic plate.
Linear lamps along one side edge (usually cold cathode fluorescent tubes)
And introduce the light from this linear lamp into the light guide plate,
The configuration is such that the liquid crystal panel arranged above is illuminated from the back surface by changing the path while the light propagates inside the light guide plate.

【0007】近年、マルチメディアやモバイルコンピュ
ーティングの普及と共に、デスクトップ機と比べて遜色
のない性能を有するノートパソコン等の普及が進んでお
り、その表示装置も今後は14〜15インチ級の大画面
サイズのものが実用されていく状況にある。
[0007] In recent years, with the spread of multimedia and mobile computing, notebook computers and the like having performance comparable to desktop machines have been spreading, and their display devices will also be large screens of the order of 14 to 15 inches. It is in the situation where the one of the size is put to practical use.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ノートパソコン等の上
側筺体(蓋の部分)に14〜15インチ級のパネルサイ
ズを持つ液晶表示装置を搭載するには、蓋が持つ面積の
ほとんど全てが有効表示領域となるように、狭額縁化を
極限まで押し進める必要がある。
In order to mount a liquid crystal display device having a panel size of 14 to 15 inches on an upper housing (lid portion) of a notebook personal computer or the like, almost all the area of the lid is effectively displayed. It is necessary to push frame narrowing to the limit so that it becomes an area.

【0009】しかし、液晶表示装置の額縁領域には固定
用の爪などを配置しなければならないため、照明光源で
あるバックライトの導光板も、それらを配置するために
少なくとも一隅(一般には、二隅や四隅)に切り欠きを
持った構造を有する。
However, since a fixing claw or the like must be arranged in the frame area of the liquid crystal display device, the light guide plate of the backlight, which is an illumination light source, is also required to have at least one corner (generally, two corners) for disposing them. Corners and four corners).

【0010】狭額縁化を極限まで押し進めるには、切り
欠き部を含む導光板全面を有効発光領域とし、切り欠き
部からも線状ランプ(一般には、冷陰極蛍光管)からの
光が入射するようにしなければならないが、この切り欠
き部から入射する光は通常の入光面(線状ランプと正対
する側面)から入射する光にくらべて導光状態が異なる
ため、輝度むらが発生し、視認正の低下を招く。
In order to push the narrowing of the frame to the limit, the entire surface of the light guide plate including the notch is used as an effective light emitting area, and light from a linear lamp (generally, a cold cathode fluorescent tube) also enters from the notch. However, since the light incident from this notch has a different light guiding state than the light incident from the normal light incident surface (the side facing the linear lamp), uneven brightness occurs. This leads to a decrease in visibility.

【0011】図28は従来のサイドエッジ型バックライ
トの概略構造を説明する平面模式図である。このサイド
エッジ型バックライト(以下、単にバックライトと称す
る)は、平板状または断面楔状の透明アクリル板からな
る導光板GLBの一側縁に沿って線状ランプLPを配置
し、線状ランプLPからの光を導光板GLBに導入する
ように構成されている。導光板GLBには、その隅に平
面壁が交差する切り欠きCUTLが形成されている。
FIG. 28 is a schematic plan view illustrating a schematic structure of a conventional side edge type backlight. This side edge type backlight (hereinafter, simply referred to as a backlight) has a linear lamp LP arranged along one side edge of a light guide plate GLB made of a transparent acrylic plate having a flat or wedge-shaped cross section. From the light guide plate GLB. The light guide plate GLB is formed at its corner with a cutout CUTL whose plane wall intersects.

【0012】しかし、このような切り欠きを有する導光
板を設けたバックライトでは、次に説明するような輝度
むらをもたらす。
However, a backlight provided with a light guide plate having such a notch causes luminance unevenness as described below.

【0013】図29は輝度むらの発生を説明する図28
のA部分の拡大模式図で、図28と同一符号は同一部分
に対応する。狭額縁化を押し進めた場合、線状ランプL
Pは導光板GLBの入光面である側面の幅と略同等の長
さとなる。このような場合、導光板GLBの隅部では、
線状ランプLPからの光が切り欠きCUTLで遮られる
領域が発生する。
FIG. 29 is a diagram for explaining the occurrence of uneven brightness.
28 is an enlarged schematic view of the portion A, and the same reference numerals as those in FIG. 28 correspond to the same portions. When the narrowing of the frame is pushed forward, the linear lamp L
P has a length substantially equal to the width of the side surface that is the light incident surface of the light guide plate GLB. In such a case, at the corner of the light guide plate GLB,
A region where the light from the linear lamp LP is cut off and cut off by the cutouts CLTL occurs.

【0014】切り欠きCUTLが図示したように、交差
する平面壁で形成されていると、入射した光は特定の方
向に指向される。例えば、線状ランプLPの切り欠きC
UTLの壁面の直近aから出射した光L1は壁面の交差
部近傍で空気と導光板GLBの屈折率nで決まる角度φ
1 で導光板GLB内に進入する。
When the cutouts are formed by intersecting plane walls as shown, incident light is directed in a specific direction. For example, the notch C of the linear lamp LP
The light L1 emitted from the immediate vicinity a of the UTL wall surface has an angle φ determined by the refractive index n of the air and the light guide plate GLB near the intersection of the wall surfaces.
At 1 the light enters the light guide plate GLB.

【0015】一方、線状ランプの端縁b点からθの角度
で出射した光L2も同様に屈折して導光板GLB内に進
入する。この進入角度φ2 は、φ2 =sin-1・(1/
n・sinθ)となる。なお、アクリル樹脂の導光板で
は、φ1 ≒42°である。
On the other hand, the light L2 emitted from the end point b of the linear lamp at an angle of θ is similarly refracted and enters the light guide plate GLB. The approach angle φ 2 is φ 2 = sin −1 · (1 /
n · sin θ). In the case of an acrylic resin light guide plate, φ 1 ≒ 42 °.

【0016】また、点aと点b間の光は光L1より入光
面側(図の光L1より上方)または光L2より反入光面
側(図の光L2より下方)に指向されてしまう。したが
って、導光板GLBでは、図中に斜線で示した領域に輝
度の低い影SDWが生じ、液晶パネルの照明光分布がこ
の領域で低下し、表示むらを招き、画質劣化をもたらす
原因となる。
The light between the point a and the point b is directed to the light incident surface side of the light L1 (above the light L1 in the figure) or the light incident surface side of the light L2 (below the light L2 in the figure). I will. Therefore, in the light guide plate GLB, a shadow SDW having low luminance is generated in a region indicated by oblique lines in the drawing, and the illumination light distribution of the liquid crystal panel is reduced in this region, causing display unevenness and causing deterioration in image quality.

【0017】本発明の目的は、上記従来技術の問題点を
解消し、少なくとも線状ランプの設置側に切り欠きを有
する導光板を使用したバックライトの輝度むらの発生を
防止して高画質の画像表示を可能とした液晶表示装置を
提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to prevent the occurrence of uneven brightness of a backlight using a light guide plate having a cutout at least on the installation side of a linear lamp, thereby achieving high image quality. An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device capable of displaying an image.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、導光板の隅部に形成する切り欠きの形状
を、当該切り欠きの壁面が曲面となるようにしたこと
で、線状ランプからの光が特定の方向に入射するのを回
避した点を特徴とする。なお、この切り欠きの形状を、
以下では曲壁をもつ切り欠きと称する。
In order to achieve the above object, the present invention provides a light guide plate in which a notch formed at a corner portion has a curved wall surface so that a line is formed. It is characterized in that light from the lamp is prevented from entering in a specific direction. In addition, the shape of this notch
Hereinafter, it is referred to as a notch having a curved wall.

【0019】本発明の典型的な構成を列挙すれば、下記
の通りである。
Typical configurations of the present invention are as follows.

【0020】(1)第1基板と第2基板を所定の間隙で
対向させ、表示領域外周をシール材で接着すると共に、
前記間隙に液晶層を封入してなる液晶パネルと、導光板
の少なくとも一側縁に沿って設置した線状ランプとから
なり前記液晶パネルの背面に設置して当該液晶パネルを
裏面から照明するバックライトと、前記バックライトを
構成する導光板を保持するモールド部材を具備した液晶
表示装置において、前記導光板の前記線状ランプと対向
する前記一側縁の端部に曲壁をもつ切り欠きを有せしめ
た。
(1) The first substrate and the second substrate are opposed to each other at a predetermined gap, and the outer periphery of the display area is bonded with a sealant.
A back panel comprising a liquid crystal panel having a liquid crystal layer sealed in the gap, and a linear lamp provided along at least one side edge of the light guide plate, and installed on the back of the liquid crystal panel to illuminate the liquid crystal panel from the back. In a liquid crystal display device including a light and a mold member that holds a light guide plate constituting the backlight, a notch having a curved wall at an end of the one side edge of the light guide plate facing the linear lamp. I got it.

【0021】この曲壁に入射する線状ランプからの光
は、特定の方向に指向されることがないため、輝度むら
は生じない。
The light from the linear lamp incident on the curved wall is not directed in a specific direction, so that there is no luminance unevenness.

【0022】(2)上記(1)における前記導光板の曲
壁をもつ切り欠き部を含めて前記線状ランプからの光の
入射部とした。
(2) A light incident portion from the linear lamp includes the cutout portion having the curved wall of the light guide plate in the above (1).

【0023】この構成により、導光板の入光面の幅と等
しい長さの線状ランプを使用でき、狭額縁化が推進され
る。
According to this configuration, a linear lamp having a length equal to the width of the light incident surface of the light guide plate can be used, and the frame is narrowed.

【0024】(3)上記(1)または(2)における前
記導光板の曲壁をもつ切り欠き部が、当該導光板または
液晶表示装置の固定用の部材の設置用スペースとした。
(3) The notched portion having the curved wall of the light guide plate in the above (1) or (2) is a space for installing the member for fixing the light guide plate or the liquid crystal display device.

【0025】上記の曲壁をもつ切り欠き部は、線状ラン
プと対向する側壁に形成する切り欠きに限らず、導光板
に必要とする切り欠きの全てに適用できることは勿論で
ある。
The notch having the curved wall is not limited to the notch formed on the side wall facing the linear lamp, but can be applied to all the notches required for the light guide plate.

【0026】なお、本発明は、上記の構成に限定される
ものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲で種
々の変更が可能であることは言うまでもない。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described configuration, and it is needless to say that various modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、図示した実施例を参照して詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the illustrated embodiments.

【0028】図1は本発明による液晶表示装置の第1実
施例の概略構造を説明するバックライトの平面模式図で
ある。このバックライトは、図28で説明したものと同
様に平板状または断面楔状の透明アクリル板からなる導
光板GLBの一側縁に沿って線状ランプLPを配置し、
線状ランプLPからの光を導光板GLBに導入するよう
に構成されている。
FIG. 1 is a schematic plan view of a backlight for explaining a schematic structure of a first embodiment of a liquid crystal display device according to the present invention. In this backlight, a linear lamp LP is arranged along one side edge of a light guide plate GLB made of a transparent acrylic plate having a flat plate shape or a wedge-shaped cross section similarly to that described with reference to FIG.
The light from the linear lamp LP is introduced into the light guide plate GLB.

【0029】導光板GLBには、その隅に曲壁をもつ切
り欠きCUTCが形成されている。この曲壁をもつ切り
欠きCUTCは、平面から見て凹状であり、この切り欠
きCUTCの部分には液晶表示装置をノートパソコン等
の蓋部に搭載する取り付け部材、または導光板自体を液
晶表示装置のケースに固定するための爪あるいは突起等
が位置する。
The light guide plate GLB is formed with a cut-out cutout TCTC having a curved wall at a corner thereof. The cut-out cutout having a curved wall is concave when viewed from above. The cutout cutout has a mounting member for mounting the liquid crystal display device on a lid of a notebook personal computer or the like, or a light guide plate itself. Claws or projections for fixing to the case are located.

【0030】図2は本発明の実施例における効果を説明
する図1のA部分の拡大模式図で、図1と同一符号は同
一部分に対応する。本実施例の曲壁をもつ切り欠きCU
TCは、線状ランプLPに対して凹状に形成されてい
る。
FIG. 2 is an enlarged schematic view of the portion A in FIG. 1 for explaining the effect of the embodiment of the present invention, and the same reference numerals as those in FIG. 1 correspond to the same portions. Notched CU with curved wall of this embodiment
TC is formed in a concave shape with respect to the linear lamp LP.

【0031】このような形状としたことで、線状ランプ
LPから入射した光は特定の方向に指向されることはな
い。すなわち、線状ランプLPの切り欠きCUTCの直
近aから出射した光L1は当該曲壁の壁面から空気と導
光板GLBの屈折率nで決まる角度φ3 で導光板GLB
内に進入する。このとき、当該壁面は線状ランプと直交
する線よりも緩やかであるため、光L1は図示した方向
で導光板GLBに進入する。
With such a shape, the light incident from the linear lamp LP is not directed in a specific direction. That is, linear lamp LP notch light L1 the light guide plate at an angle phi 3 from the wall surface of the track walls is determined by the refractive index n of the air and the light guide plate GLB emitted from nearest a of cutc GLB
To enter. At this time, since the wall surface is gentler than a line perpendicular to the linear lamp, the light L1 enters the light guide plate GLB in the illustrated direction.

【0032】一方、線状ランプの端縁b点からθの角度
で出射した光L2も同様に屈折して導光板GLB内に進
入する。この進入角度φ4 は当該壁面が緩やかであるた
め前記図9で説明したようには屈折されず、図示した方
向で導光板GLB内に進入する。
On the other hand, the light L2 emitted at an angle of θ from the end b of the linear lamp similarly refracts and enters the light guide plate GLB. The entrance angle φ 4 is not refracted as described in FIG. 9 because the wall surface is gentle, and enters the light guide plate GLB in the illustrated direction.

【0033】したがって、点aと点b間の光は光L1と
L2の間で有効に導光板GLB内に導入されることにな
り、図29に示したような影は発生せず、輝度むらは生
じない。
Therefore, the light between the point a and the point b is effectively introduced into the light guide plate GLB between the light L1 and the light L2, and the shadow as shown in FIG. Does not occur.

【0034】図3は本発明による液晶表示装置の実施例
の全体構成を説明する展開斜視図であって、液晶表示装
置(以下、液晶パネル、回路基板、バックライト、その
他の構成部材を一体化した液晶表示モジュール:MDL
と称する)の具体的構造を説明するものである。
FIG. 3 is an exploded perspective view for explaining the whole structure of the embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention. The liquid crystal display device (hereinafter, a liquid crystal panel, a circuit board, a backlight and other components are integrated). Liquid crystal display module: MDL
) Will be described.

【0035】図3において、SHDは金属板からなるシ
ールドケース(メタルフレームとも言う)、WDは表示
窓、INS1〜3は絶縁シート、PCB1〜3は回路基
板(PCB1はドレイン側回路基板:映像信号線駆動用
回路基板、PCB2はゲート側回路基板、PCB3はイ
ンターフェース回路基板)、JN1〜3は回路基板PC
B1〜3同士を電気的に接続するジョイナ、TCP1,
TCP2はテープキャリアパッケージ、PNLは液晶表
示パネル、GCはゴムクッション、ILSは遮光スペー
サ、PRSはプリズムシート、SPSは拡散シート、G
LBは導光板、RFSは反射シート、MCAは一体化成
形により形成された下側ケース(モールドフレーム)、
MOはMCAの開口、LPは蛍光管、LPCはランプケ
ーブル、GBは蛍光管LPを支持するゴムブッシュ、B
ATは両面粘着テープ、BLは蛍光管や導光板等からな
るバックライトを示し、図示の配置関係で拡散板部材を
積み重ねて液晶表示モジュールMDLが組立てられる。
In FIG. 3, SHD is a shield case (also referred to as a metal frame) made of a metal plate, WD is a display window, INS1 to 3 are insulating sheets, PCB1 to 3 are circuit boards (PCB1 is a drain side circuit board: a video signal). Line driving circuit board, PCB2 is gate side circuit board, PCB3 is interface circuit board), JN1-3 are circuit boards PC
Joiner for electrically connecting B1 to B1, TCP1,
TCP2 is a tape carrier package, PNL is a liquid crystal display panel, GC is a rubber cushion, ILS is a light shielding spacer, PRS is a prism sheet, SPS is a diffusion sheet, G
LB is a light guide plate, RFS is a reflection sheet, MCA is a lower case (mold frame) formed by integral molding,
MO is an opening of the MCA, LP is a fluorescent tube, LPC is a lamp cable, GB is a rubber bush supporting the fluorescent tube LP, B
AT denotes a double-sided adhesive tape, BL denotes a backlight made of a fluorescent tube, a light guide plate, or the like, and a liquid crystal display module MDL is assembled by stacking diffusion plate members in the arrangement shown in the drawing.

【0036】液晶表示モジュールMDLは、下側ケース
MCAとシールドケースSHDの2種の収納・保持部材
を有し、絶縁シートINS1〜3、回路基板PCB1〜
3、液晶表示パネルPNLを収納固定した金属製のシー
ルドケースSHDと、蛍光管LP、導光板GLB、プリ
ズムシートPRS等からなるバックライトBLを収納し
た下側ケースMCAとを合体させてなる。
The liquid crystal display module MDL has two kinds of storage / holding members of a lower case MCA and a shield case SHD, and includes insulating sheets INS1 to INS3 and circuit boards PCB1 to PCB1.
3. A metal shield case SHD in which the liquid crystal display panel PNL is housed and fixed, and a lower case MCA in which a backlight BL including a fluorescent tube LP, a light guide plate GLB, a prism sheet PRS, and the like are housed are combined.

【0037】映像信号線駆動用回路基板PCB1には液
晶表示パネルPNLの各画素を駆動するための集積回路
チップが搭載され、またインターフェース回路基板PC
B3には外部ホストからの映像信号の受入れ、タイミン
グ信号等の制御信号を受け入れる集積回路チップ、およ
びタイミングを加工してクロック信号を生成するタイミ
ングコンバータTCON等が搭載される。
An integrated circuit chip for driving each pixel of the liquid crystal display panel PNL is mounted on the video signal line driving circuit board PCB1, and the interface circuit board PC
The B3 includes an integrated circuit chip that receives a video signal from an external host, receives a control signal such as a timing signal, and a timing converter TCON that processes a timing to generate a clock signal.

【0038】上記タイミングコンバータで生成されたク
ロック信号はインターフェース回路基板PCB3および
映像信号線駆動用回路基板PCB1に敷設されたクロッ
ク信号ラインCLLを介して映像信号線駆動用回路基板
PCB1に搭載された集積回路チップに供給される。
The clock signal generated by the timing converter is integrated on the video signal line driving circuit board PCB1 via the clock signal line CLL laid on the interface circuit board PCB3 and the video signal line driving circuit board PCB1. Supplied to the circuit chip.

【0039】インターフェース回路基板PCB3および
映像信号線駆動用回路基板PCB1は多層配線基板であ
り、上記クロック信号ラインCLLはインターフェース
回路基板PCB3および映像信号線駆動用回路基板PC
B1の内層配線として形成される。
The interface circuit board PCB3 and the video signal line driving circuit board PCB1 are multilayer wiring boards, and the clock signal line CLL is the interface circuit board PCB3 and the video signal line driving circuit board PC
It is formed as an inner wiring of B1.

【0040】なお、液晶パネルPNLにはTFTを駆動
するためのドレイン側回路基板PCB1、ゲート側回路
基板PCB2およびインターフェース回路基板PCB3
がテープキャリアパッケージTCP1,TCP2で接続
され、各回路基板間はジョイナJN1,2,3で接続さ
れている。
The liquid crystal panel PNL has a drain-side circuit board PCB1, a gate-side circuit board PCB2, and an interface circuit board PCB3 for driving TFTs.
Are connected by tape carrier packages TCP1 and TCP2, and the circuit boards are connected by joiners JN1, JN2, JN3.

【0041】バックライトBLは導光板GLBと線状ラ
ンプLP(蛍光管:冷陰極蛍光管)および反射シートL
Sからなり、ランプケーブルLPCを介して図示しない
インバータ電源から給電される。
The backlight BL includes a light guide plate GLB, a linear lamp LP (fluorescent tube: cold cathode fluorescent tube) and a reflection sheet L.
S, and power is supplied from an inverter power supply (not shown) via a lamp cable LPC.

【0042】そして、導光板GLBは、図1および図2
に示したように、線状ランプLPの端部に対応する隅部
に曲壁をもつ切り欠きCUTCを形成してある。そし
て、下側ケースMCAの開口MOの上記導光板GLBの
切り欠きに対応する部分には、当該導光板GLBを固定
保持する凸部PJが形成されている。この凸部PJは導
光板GLBの曲壁をもつ切り欠きCUTCの下部に当該
曲壁の一部分を係止する程度の立ち上がりとなるように
形成され、線状ランプLPからの光の入射に影響を与え
ることはない。
The light guide plate GLB is shown in FIGS.
As shown in (1), a notch CUTC having a curved wall is formed at a corner corresponding to the end of the linear lamp LP. A projection PJ for fixing and holding the light guide plate GLB is formed in a portion of the opening MO of the lower case MCA corresponding to the notch of the light guide plate GLB. The convex portion PJ is formed below the cutout CUTC having the curved wall of the light guide plate GLB so as to rise to such an extent that a part of the curved wall is locked, and has an effect on the incidence of light from the linear lamp LP. I will not give.

【0043】なお、この構成例では、曲壁をもつ切り欠
きは導光板の固定保持部分としたが、本発明はこれに限
るものではなく、この曲壁をもつ切り欠き部分に液晶表
示装置をノートパソコン等に搭載するための取り付け部
材を位置させるようにすることもできる。
In this configuration example, the notch having the curved wall is the fixed holding portion of the light guide plate. However, the present invention is not limited to this, and the liquid crystal display device is provided in the notch having the curved wall. A mounting member to be mounted on a notebook computer or the like may be located.

【0044】また、図3はアクティブマトリクス型の液
晶表示装置を例として示したが、これに限るものではな
く、単純マトリクス型の液晶表示装置のバックライトに
も同様に適用できるものである。
FIG. 3 shows an active matrix type liquid crystal display device as an example. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can be similarly applied to a backlight of a simple matrix type liquid crystal display device.

【0045】以下、本発明を適用したアクティブ・マト
リクス方式のカラー液晶表示装置の詳細について説明す
る。
Hereinafter, an active matrix type color liquid crystal display device to which the present invention is applied will be described in detail.

【0046】図4は本発明を適用したアクティブ・マト
リクス方式液晶表示装置の一画素とその周辺の構成を説
明する平面図、図5は図4の3−3線に沿って切断した
断面図、図6は図4の4−4線に沿って切断した断面
図、図7は図4に示した画素を複数配置した状態を示す
平面図である。
FIG. 4 is a plan view illustrating a configuration of one pixel of an active matrix type liquid crystal display device to which the present invention is applied and the periphery thereof, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line 3-3 in FIG. 6 is a sectional view taken along line 4-4 in FIG. 4, and FIG. 7 is a plan view showing a state where a plurality of pixels shown in FIG. 4 are arranged.

【0047】図4に示したように、各画素は隣接する2
本の走査信号線(ゲート信号線または水平信号線)GL
と、隣接する2本の映像信号線(ドレイン信号線または
垂直信号線)DLとの交差領域内(4本の信号線で囲ま
れた領域内)に配置されている。
As shown in FIG. 4, each pixel has two adjacent pixels.
Scanning signal lines (gate signal lines or horizontal signal lines) GL
And two adjacent video signal lines (drain signal lines or vertical signal lines) DL (in a region surrounded by four signal lines).

【0048】各画素は薄膜トランジスタTFT、透明画
素電極ITO1および保持容量素子Caddを含む。走
査信号線GLは列方向に延在し、行方向に複数本配置さ
れている。映像信号線DLは行方向に延在し、列方向に
複数本八されている。
Each pixel includes a thin film transistor TFT, a transparent pixel electrode ITO1, and a storage capacitor Cadd. The scanning signal lines GL extend in the column direction, and a plurality of the scanning signal lines GL are arranged in the row direction. The video signal lines DL extend in the row direction and are arranged in a plurality in the column direction.

【0049】図5に示したように、液晶LCを基準の下
部透明ガラス基板SUB1側には薄膜トランジスタTF
Tおよび透明画素電極ITO1が形成され、上部透明ガ
ラス基板SUB2側にはカラーフィルタFIL、遮光用
ブラックマトリクスのパターンBMが形成されている。
上下の部透明ガラス基板SUB2,1は例えば1.1m
m程度の厚さを有し、それらの各両面にはディップ処理
等によって酸化シリコン膜SIOが形成されている。こ
のため、透明ガラス基板SUB1,SUB2の表面に細
かい傷があっても、この酸化シリコン膜SIOの被覆で
平坦化され、その上に形成される走査信号線GL、遮光
膜(ブラックマトリクス)BM等の膜質を均質に保つこ
とができる。
As shown in FIG. 5, the thin film transistor TF is provided on the lower transparent glass substrate SUB1 side with respect to the liquid crystal LC.
T and a transparent pixel electrode ITO1 are formed, and a color filter FIL and a light-blocking black matrix pattern BM are formed on the upper transparent glass substrate SUB2 side.
The upper and lower transparent glass substrates SUB2, 1 are, for example, 1.1 m
m, and a silicon oxide film SIO is formed on both surfaces thereof by dipping or the like. Therefore, even if the surfaces of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2 have fine scratches, the surface is flattened by the coating of the silicon oxide film SIO, and the scanning signal lines GL, light-shielding films (black matrix) BM and the like are formed thereon. Film quality can be kept uniform.

【0050】上部透明ガラス基板SUB2の内側(液晶
LC側)の表面には、遮光膜BM、カラーフィルタFI
L、および上部配向膜ORI2が順次積層して設けられ
ている。
A light shielding film BM and a color filter FI are provided on the inner surface (the liquid crystal LC side) of the upper transparent glass substrate SUB2.
L and an upper alignment film ORI2 are sequentially laminated.

【0051】《マトリクス周辺の概要》図8は上下の透
明ガラス基板SUB2,SUB1を含む液晶パネルPN
LのマトリクスAR周辺の要部平面図、図9は図8に示
したマトリクスARの周辺部を更に誇張して示した平面
図、図10は図8および図9の液晶パネルの左上角部に
対応するシール部SL付近の拡大平面図である。また、
図11は図5の断面を中央にして左側に図10の線19
a−19aに沿った断面図を、右側に映像信号線駆動回
路が接続されるべき外部接続端子DTM付近の断面図、
図12は左側に走査回路が接続されるべき外部接続端子
GTM付近の断面図を、右側に外部接続端子が無いとこ
ろのシール部付近の断面図である。
FIG. 8 shows a liquid crystal panel PN including upper and lower transparent glass substrates SUB2 and SUB1.
FIG. 9 is a plan view showing the periphery of the matrix AR shown in FIG. 8 in an exaggerated manner, and FIG. 10 is a plan view showing the periphery of the matrix AR shown in FIG. It is an enlarged plan view near the corresponding seal part SL. Also,
FIG. 11 is a cross-sectional view of FIG.
a cross-sectional view along the line a-19a, a cross-sectional view near the external connection terminal DTM to which the video signal line driving circuit is to be connected on the right side,
FIG. 12 is a cross-sectional view near the external connection terminal GTM to which the scanning circuit is to be connected on the left side, and a cross-sectional view near the seal portion where there is no external connection terminal on the right side.

【0052】この液晶パネルの製造では、小さいサイズ
であればスループット向上のため1枚のガラス基板で複
数個分を同時に加工してから分離し、大きいサイズであ
れば製造設備の共用のため、どの品種でも標準化された
大きさのガラス基板を加工してら各品種に合ったサイズ
に小さくし、いずれの場合も一通りの工程を経てからガ
ラス基板を切断する。
In the production of this liquid crystal panel, if the size is small, a plurality of glass substrates are simultaneously processed and then separated for improving the throughput. After processing a glass substrate of a standardized size even in a variety, the size is reduced to a size suitable for each type, and in each case, the glass substrate is cut after passing through a single process.

【0053】図8〜図10は後者の例を示すもので、図
8と図9の両図とも、上下のガラス基板SUB2,SU
B1の切断後を、図10は切断前を示しており、LNは
ガラス基板の切断線の縁を、CT1とCT2はそれぞれ
ガラス基板SUB1,SUB2の切断すべき位置を示
す。
FIGS. 8 to 10 show the latter example. In both FIGS. 8 and 9, the upper and lower glass substrates SUB2 and SU
FIG. 10 shows the state after the cutting of B1, and FIG. 10 shows the state before the cutting. LN indicates the edge of the cutting line of the glass substrate, and CT1 and CT2 indicate the positions where the glass substrates SUB1 and SUB2 are to be cut.

【0054】いずれの場合も、完成状態では外部接続端
子群Tg、Td(添字略)が存在する部分(図では上下
辺と左辺)は、それらを露出するように上側ガラス基板
SUB2の大きさが下側ガラス基板SUB1よりも内側
に制限されている。
In any case, in the completed state, the portions (the upper and lower sides and the left side in the figure) where the external connection terminal groups Tg and Td (subscripts are omitted) have a size of the upper glass substrate SUB2 such that they are exposed. It is limited inside the lower glass substrate SUB1.

【0055】外部接続端子群Tg、Tdはそれぞれ後述
する走査回路接続用端子GTM、映像信号回路接続用端
子DTMとそれらの引出配線部を集積回路チップCHI
が搭載されたテープキャリアパッケージTCP(図1
3、図14参照)の単位に複数本まとめて名付けたもの
である。各群のマトリクス部から外部接続端子部に至る
までの引出配線は、両端に近づくにつれて傾斜してい
る。これは、テープキャリアパッケージTCPの配列ピ
ッチ及び各テープキャリアパッケージTCPにおける接
続端子ピッチに液晶パネルPNLの端子DTM、GTM
を合わせるためである。
The external connection terminal groups Tg and Td include a scanning circuit connection terminal GTM and a video signal circuit connection terminal DTM, respectively, and a lead-out wiring portion thereof, which are described later.
Tape carrier package TCP (see FIG. 1)
3, see FIG. 14). The lead wiring from the matrix part of each group to the external connection terminal part is inclined as approaching both ends. This is because the terminals DTM and GTM of the liquid crystal panel PNL correspond to the arrangement pitch of the tape carrier package TCP and the connection terminal pitch of each tape carrier package TCP.
It is in order to match.

【0056】透明ガラス基板SUB1,SUB2の間に
は、その縁に沿って液晶封入口INJを除き、液晶LC
を封止するようにシールパターンSL(以下、シール材
とも言う)が形成されている。このシールパターンの材
料は、例えばエポキシ樹脂からなる。上部透明ガラス基
板SUB2側の共通透明画素電極ITO2は、少なくと
も一箇所において、ここでは液晶パネルの四隅で銀ペー
スト材AGPによって下部透明ガラス基板SUB1側に
形成された引出配線INTに接続されている。この引出
配線INTは後述するゲート端子GTM、ドレン端子D
TMと同一製造工程で形成される。
Between the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, except for the liquid crystal sealing opening INJ along the edge thereof, the liquid crystal LC
Is formed so as to seal the sealing pattern SL (hereinafter, also referred to as a sealing material). The material of this seal pattern is made of, for example, epoxy resin. The common transparent pixel electrode ITO2 on the upper transparent glass substrate SUB2 side is connected to the lead-out wiring INT formed on the lower transparent glass substrate SUB1 side by a silver paste material AGP at four corners of the liquid crystal panel at this point. This lead-out wiring INT has a gate terminal GTM and a drain terminal D which will be described later.
It is formed in the same manufacturing process as TM.

【0057】配向膜ORI1,ORI2、透明画素電極
ITO1、共通透明画素電極ITO2、それぞれの層
は、シールパターンSLの内側に形成される。偏光板P
OL1,POL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB
1、上部透明ガラス基板SUB2の外側の表面に形成さ
れている。
The layers of the alignment films ORI1 and ORI2, the transparent pixel electrode ITO1, and the common transparent pixel electrode ITO2 are formed inside the seal pattern SL. Polarizing plate P
OL1 and POL2 are each a lower transparent glass substrate SUB
1. Formed on the outer surface of the upper transparent glass substrate SUB2.

【0058】液晶LCは液晶分子の向きを設定する下部
配向膜ORI1と上部配向膜ORI2との間でシールパ
ターンSLで仕切られた領域に封入されている。下部配
向膜ORI1は下部透明ガラス基板SUB1側の保護膜
PSV1の上部に形成されている。
The liquid crystal LC is sealed in a region partitioned by a seal pattern SL between the lower alignment film ORI1 and the upper alignment film ORI2 for setting the direction of the liquid crystal molecules. The lower alignment film ORI1 is formed above the protective film PSV1 on the lower transparent glass substrate SUB1 side.

【0059】この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板
SUB1側、上部透明ガラス基板SUB2側で別個に種
々の層を積み重ね、シールパターンSLを上部透明ガラ
ス基板SUB2側に形成し、下部透明ガラス基板SUB
1と上部透明ガラス基板SUB2とを重ね合わせ、シー
ル材SLの開口部INJ(注入口)から液晶を注入し、
注入口INJをエポキシ樹脂などで封止し、上下の透明
ガラス基板を切断することによって組立られる。
In this liquid crystal display device, various layers are separately stacked on the lower transparent glass substrate SUB1 side and the upper transparent glass substrate SUB2 side to form a seal pattern SL on the upper transparent glass substrate SUB2 side.
1 and the upper transparent glass substrate SUB2 are superimposed, and liquid crystal is injected from the opening INJ (injection port) of the sealing material SL.
The inlet INJ is sealed with an epoxy resin or the like, and is assembled by cutting the upper and lower transparent glass substrates.

【0060】《薄膜トランジスタTFT》薄膜トランジ
スタTFTは、ゲート電極GTに正のバイアスを印加す
ると、ソース−ドレイン間のチャネル抵抗が小さくな
り、バイアスを零にするとチャネル抵抗は大きくなるよ
うに動作する。
<< Thin Film Transistor TFT >> The thin film transistor TFT operates such that when a positive bias is applied to the gate electrode GT, the channel resistance between the source and the drain decreases, and when the bias is reduced to zero, the channel resistance increases.

【0061】各画素の薄膜トランジスタTFTは、画素
内において2つ(複数)に分割され、薄膜トランジスタ
(分割薄膜トランジスタ)TFT1およびTFT2で構
成されている。薄膜トランジスタTFT1およびTFT
2のそれぞれは、実質的に同一サイズ(チャネル長、チ
ャネル幅が同じ)で構成されている。この分割された薄
膜トランジスタTFT1およびTFT2のそれぞれは、
ゲート電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真性、in
trinsic、導電型決定不純物がドープされていな
い)非晶質シリコン(Si)からなるi型半導体層A
S、一対のソース電極SD1、ドレイン電極SD2を有
する。なお、ソース、ドレインは本来その間のバイアス
極性によって決まるもので、この液晶表示装置の回路で
は、その極性は動作中反転するので、ソース、ドレイン
は動作中入れ替わると理解されたい。しかし、以下の説
明では、便宜上、一方をソース、他方をドレインと固定
して表現する。
The thin film transistor TFT of each pixel is divided into two (a plurality) in the pixel, and is constituted by thin film transistors (divided thin film transistors) TFT1 and TFT2. Thin film transistor TFT1 and TFT
Each of the two has substantially the same size (channel length and channel width are the same). Each of the divided thin film transistors TFT1 and TFT2 is
Gate electrode GT, gate insulating film GI, i-type (intrinsic, in
(Trinsic, not doped with conductivity type determining impurities) i-type semiconductor layer A made of amorphous silicon (Si)
S, a pair of a source electrode SD1 and a drain electrode SD2. It should be understood that the source and the drain are originally determined by the bias polarity between them, and in the circuit of this liquid crystal display device, the polarity is inverted during the operation, and therefore, it should be understood that the source and the drain are switched during the operation. However, in the following description, for convenience, one is fixed as a source and the other is fixed as a drain.

【0062】《ゲート電極GT》ゲート電極GTは図1
6(図5の第2導電膜g2およびi型半導体層ASのみ
を描いた平面図)に示すように、走査信号線GLから垂
直方向(図4および図15において上方向)に突出する
形状で構成されている(T字形状に分岐されている)。
<< Gate Electrode GT >> The gate electrode GT is shown in FIG.
As shown in FIG. 6 (a plan view depicting only the second conductive film g2 and the i-type semiconductor layer AS in FIG. 5), the shape protrudes in the vertical direction (upward in FIGS. 4 and 15) from the scanning signal line GL. (Branched into a T-shape).

【0063】ゲート電極GTは薄膜トランジスタTFT
1,TFT2のそれぞれの能動領域を越えるように突出
している。薄膜トランジスタTFT1,TFT2のそれ
ぞれのゲート電極GTは連続して形成されている。ここ
では、ゲート電極GTは、単層の第2導電膜g2で形成
されている。第2導電膜g2は、例えばスパッタで形成
されたアルミニウム(Al)膜を用い、1000〜55
00Å程度の膜厚で形成する。また、ゲート電極GTの
上にはアルミニウムの陽極酸化膜AOFが設けられてい
る。
The gate electrode GT is a thin film transistor TFT
1, and project beyond the respective active areas of the TFT2. The respective gate electrodes GT of the thin film transistors TFT1 and TFT2 are formed continuously. Here, the gate electrode GT is formed of a single-layer second conductive film g2. As the second conductive film g2, for example, an aluminum (Al) film formed by sputtering is used, and 1000 to 55 is used.
It is formed with a thickness of about 00 °. Further, an anodic oxide film AOF of aluminum is provided on the gate electrode GT.

【0064】このゲート電極GTは、図4、図5および
図15に示したように、i型半導体層ASを完全に覆う
ように(下方から見て)それより大きめに形成される。
したがって、下部透明ガラス基板SUB1の下方に蛍光
管等のバックライトBLを取り付けた場合、この不透明
なアルミニウム膜からなるゲート電極GTが影となって
i型半導体層ASにはバックライトからの光が当たら
ず、光照射による導電現象すなわち薄膜トランジスタT
FTのオフ特性劣化は起き難くなる。なお、ゲート電極
GTの本来の大きさは、ソース電極SD1とドレイン電
極SD2との間に跨がるのに最低限必要な(ゲート電極
GTとソース電極SD1、ドレイン電極SD2との位置
合わせ余裕分も含めて)幅を持ち、チャネル幅Wを決め
るその奥行き長さはソース電極SD1とドレイン電極S
D2との間の距離(チャネル長)Lとの比、すなわち相
互コンダクタンスgmを決定するファクタW/Lをいく
つにするかによって決められる。この液晶表示装置にお
けるゲート電極GTの大きさは、もちろん、上述した本
来の大きさよりも大きくされる。
As shown in FIGS. 4, 5 and 15, this gate electrode GT is formed larger than it so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS (as viewed from below).
Therefore, when a backlight BL such as a fluorescent tube is attached below the lower transparent glass substrate SUB1, the gate electrode GT made of this opaque aluminum film becomes a shadow, and light from the backlight is applied to the i-type semiconductor layer AS. The conductive phenomenon caused by light irradiation, that is, the thin film transistor T
Deterioration of the off characteristic of the FT hardly occurs. Note that the original size of the gate electrode GT is the minimum necessary for straddling between the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 (the alignment margin between the gate electrode GT, the source electrode SD1, and the drain electrode SD2). The width of the source electrode SD1 and the depth of the drain electrode S1 determine the channel width W.
It is determined by the ratio to the distance (channel length) L from D2, that is, the factor W / L that determines the transconductance gm. The size of the gate electrode GT in this liquid crystal display device is, of course, made larger than the original size described above.

【0065】《走査信号線GL》走査信号線GLは第2
導電膜g2で構成されている。この走査信号線GLの第
2導電膜g2はゲート電極GTの第2導電膜g2と同一
製造工程で形成され、かつ一体に形成されている。ま
た、走査信号線GL上にもアルミニウムAlの陽極酸化
膜AOFが設けられている。
<< Scanning Signal Line GL >> The scanning signal line GL is
It is composed of a conductive film g2. The second conductive film g2 of the scanning signal line GL is formed in the same manufacturing process as the second conductive film g2 of the gate electrode GT, and is formed integrally. Further, an anodic oxide film AOF of aluminum Al is provided also on the scanning signal line GL.

【0066】《絶縁膜GI》絶縁膜GIは薄膜トランジ
スタTFT1,TFT2のそれぞれのゲート絶縁膜とし
て使用される。絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走査
信号線GLの上層に形成されている。絶縁膜GIは、例
えばプラズマCVDで形成された窒化シリコン膜を用
い、1200〜2700Åの膜厚(この液晶表示装置で
は、2000Å程度の膜厚)で形成する。ゲート絶縁膜
GIは図10に示したように、マトリクス部ARの全体
を囲むように形成され、周辺部は外部接続端子DTM,
GTMを露出するように除去されている。
<< Insulating Film GI >> The insulating film GI is used as each gate insulating film of the thin film transistors TFT1 and TFT2. The insulating film GI is formed above the gate electrode GT and the scanning signal line GL. The insulating film GI is formed using a silicon nitride film formed by, for example, plasma CVD and having a thickness of 1200 to 2700 ° (about 2000 ° in this liquid crystal display device). As shown in FIG. 10, the gate insulating film GI is formed so as to surround the entire matrix portion AR, and the peripheral portion is formed with external connection terminals DTM,
It has been removed to expose the GTM.

【0067】《i型半導体層AS》i型半導体層AS
は、図15に示したように、複数に分割された薄膜トラ
ンジスタTFT1,TFT2のそれぞれのチャネル形成
領域として使用される。i型半導体層ASは非晶質シリ
コン膜または多結晶シリコン膜で形成し、200〜22
0Åの膜厚(この液晶表示装置では、200Å程度の膜
厚)で形成する。
<< i-type semiconductor layer AS >> i-type semiconductor layer AS
Are used as channel formation regions of the thin-film transistors TFT1 and TFT2 divided as shown in FIG. The i-type semiconductor layer AS is formed of an amorphous silicon film or a polycrystalline silicon film.
It is formed with a thickness of 0 ° (about 200 ° in this liquid crystal display device).

【0068】このi型半導体層ASは、供給ガスの成分
を変えてSi2 4 からなるゲート絶縁膜として使用さ
れる絶縁膜GIの形成に連続して、同じプラズマCVD
装置で、しかもそのプラズマCVD装置から外部に露出
することなく形成される。
The i-type semiconductor layer AS is formed by changing the composition of the supply gas and forming the insulating film GI used as the gate insulating film made of Si 2 N 4 by the same plasma CVD.
It is formed by an apparatus and without being exposed to the outside from the plasma CVD apparatus.

【0069】また、オーミックコンタクト用のリン
(P)を2.5%ドープしたN(+)型半導体層d0
(図5)も同様に連続して200〜500Åの膜厚(こ
の液晶表示装置では、300Å程度の膜厚)で形成す
る。しかる後、下部透明ガラス基板SUB1はCVD装
置から外部に取り出され、写真処理技術によりN(+)
型半導体層d0およびi型半導体層ASは図4、図5お
よび図15に示したように独立した島状にパターニング
される。
An N (+) type semiconductor layer d0 doped with 2.5% of phosphorus (P) for ohmic contact is used.
(FIG. 5) is similarly formed continuously with a film thickness of 200 to 500 ° (about 300 ° in this liquid crystal display device). Thereafter, the lower transparent glass substrate SUB1 is taken out of the CVD apparatus and N (+)
The type semiconductor layer d0 and the i-type semiconductor layer AS are patterned into independent island shapes as shown in FIG. 4, FIG. 5, and FIG.

【0070】i型半導体層ASは、図4および図15に
示したように、走査信号線GLと映像信号線DLとの交
差部(クロスオーバ部)の両者間にも設けられている。
この交差部のi型半導体層ASは交差部における走査信
号線GLと映像信号線DLとの短絡を低減する。
As shown in FIGS. 4 and 15, the i-type semiconductor layer AS is also provided between both intersections (crossover portions) between the scanning signal lines GL and the video signal lines DL.
The i-type semiconductor layer AS at the intersection reduces a short circuit between the scanning signal line GL and the video signal line DL at the intersection.

【0071】《透明画素電極ITO1》透明画素電極I
TO1は液晶パネルの画素電極の一方を構成する。透明
画素電極ITO1は薄膜トランジスタTFT2のソース
電極SD1および薄膜トランジスタTFT2のソース電
極SD1の両方に接続されている。このため、薄膜トラ
ンジスタTFT1,TFT2のうちの1つに欠陥が発生
しても、その欠陥が副作用をもたらす場合はレーザ光等
によって適切な箇所を切断し、そうでない場合は他方の
薄膜トランジスタが正常に動作しているので放置すれば
よい。なお、2つの薄膜トランジスタTFT1,TFT
2に同時に欠陥が発生することは稀であり、このような
冗長方式により点欠陥や線欠陥の発生確率を極めて小さ
くすることができる。
<< Transparent Pixel Electrode ITO1 >> Transparent Pixel Electrode I
TO1 forms one of the pixel electrodes of the liquid crystal panel. The transparent pixel electrode ITO1 is connected to both the source electrode SD1 of the thin film transistor TFT2 and the source electrode SD1 of the thin film transistor TFT2. For this reason, even if a defect occurs in one of the thin film transistors TFT1 and TFT2, if the defect causes a side effect, an appropriate portion is cut by a laser beam or the like, and if not, the other thin film transistor operates normally. You can leave it. The two thin film transistors TFT1, TFT1
It is seldom that defects occur simultaneously in the image data 2 and the probability of occurrence of point defects and line defects can be extremely reduced by such a redundant system.

【0072】透明画素電極ITO1は第1導電膜d1に
よって構成されている。この第1導電膜d1はスパッタ
リングで形成された透明導電膜(Indium−Tin
−Oxide ITO:ネサ膜)からなり、1000〜
2000Åの膜厚((この液晶表示装置では、1400
Å程度の膜厚)で形成される。
The transparent pixel electrode ITO1 is composed of the first conductive film d1. This first conductive film d1 is a transparent conductive film (Indium-Tin) formed by sputtering.
-Oxide ITO: Nesa film)
A film thickness of 2000 ° ((1400 in this liquid crystal display device)
(Å film thickness).

【0073】《ソース電極SD1、ドレイン電極SD
2》複数に分割された薄膜トランジスタTFT1,TF
T2のそれぞれのソース電極SD1とドレイン電極SD
2とは、図4、図5および図16(図4の第1〜第3導
電膜d1〜d3のみを描いた平面図)に示したように、
i型半導体層AS上にそれぞれ離隔して設けられてい
る。
<< Source electrode SD1, Drain electrode SD
2 >> Thin-film transistors TFT1, TF divided into a plurality
Source electrode SD1 and drain electrode SD of T2
2, as shown in FIG. 4, FIG. 5, and FIG. 16 (a plan view depicting only the first to third conductive films d1 to d3 of FIG. 4),
They are provided separately on the i-type semiconductor layer AS.

【0074】ソース電極SD1、ドレイン電極SD2の
それぞれは、N(+)型半導体層d0に接触する下層側
から、第2導電膜d2、第3導電膜d3を順次重ね合わ
せて構成されている。ソース電極SD1の第2導電膜d
2および第3導電膜d3は、ドレイン電極SD2の第2
導電膜d2および第3導電膜d3と同一製造工程でけい
せいされる。
Each of the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is formed by sequentially stacking a second conductive film d2 and a third conductive film d3 from the lower side in contact with the N (+) type semiconductor layer d0. Second conductive film d of source electrode SD1
The second and third conductive films d3 are the second conductive films d3.
It is formed in the same manufacturing process as the conductive film d2 and the third conductive film d3.

【0075】第2導電膜d2はスパッタで形成したクロ
ム(Cr)膜を用い、500〜1000Åの膜厚(この
液晶表示装置では、600Å程度の膜厚)で形成され
る。Cr膜は後述する第3導電膜d3のアルミニウムA
lがN(+)型半導体層d0に拡散することを防止する
所謂バリア層を構成する。第2導電膜d2として、Cr
膜の他に、高融点金属(Mo、Ti、Ta、W等)の
膜、高融点金属シリサイド(MoSi2 、TiSi2
TaSi2 、WSi2 等)の膜を用いることもできる。
The second conductive film d2 is formed of a chromium (Cr) film formed by sputtering, and has a thickness of 500 to 1000 Å (about 600 膜厚 in this liquid crystal display device). The Cr film is aluminum A of a third conductive film d3 described later.
A so-called barrier layer for preventing l from diffusing into the N (+) type semiconductor layer d0 is formed. Cr as the second conductive film d2
In addition to the film, a film of a high melting point metal (Mo, Ti, Ta, W, etc.), a high melting point metal silicide (MoSi 2 , TiSi 2 ,
TaSi 2 , WSi 2, etc.) can also be used.

【0076】第3導電膜d3はアルミニウムAlのスパ
ッタリングで3000〜5000Åの膜厚(この液晶表
示装置では、4000Å程度の膜厚)で形成される。ア
ルミニウムAl膜はクロムCr膜に比べてストレスが小
さく、厚い膜厚に形成することが可能で、ソース電極S
D1、ドレイン電極SD2および映像信号線DLの抵抗
値を低減するように構成されている。第3導電膜d3と
して順アルミニウムの他に、シリコンや銅(Cu)を添
加物として含有させたアルミニウム膜を用いることもで
きる。
The third conductive film d3 is formed to a thickness of 3000 to 5000 ° (about 4000 ° in this liquid crystal display device) by sputtering of aluminum Al. The aluminum Al film has a smaller stress than the chromium Cr film and can be formed in a thick film.
It is configured to reduce the resistance values of D1, the drain electrode SD2, and the video signal line DL. As the third conductive film d3, an aluminum film containing silicon or copper (Cu) as an additive in addition to normal aluminum can be used.

【0077】第2導電膜d2、第3導電膜d3を同じマ
スクパターンでパターニングした後、同じマスクを用い
て、あるいは第2導電膜d2、第3導電膜d3をマスク
として、N(+)型半導体層d0が除去される。つま
り、i型半導体層AS上に残っていたN(+)型半導体
層d0は第2導電膜d2、第3導電膜d3以外の部分が
セルファラインで除去される。このとき、N(+)型半
導体層d0はその厚さ分は全て除去されるようにエッチ
ングされるので、i型半導体層ASも若干その表面部分
がエッチングされるが、そのエッチング程度はエッチン
グの処理時間で制御すればよい。
After patterning the second conductive film d2 and the third conductive film d3 with the same mask pattern, using the same mask or using the second conductive film d2 and the third conductive film d3 as a mask, an N (+) type The semiconductor layer d0 is removed. That is, in the N (+)-type semiconductor layer d0 remaining on the i-type semiconductor layer AS, portions other than the second conductive film d2 and the third conductive film d3 are removed by self-alignment. At this time, since the N (+)-type semiconductor layer d0 is etched so as to remove all of its thickness, the i-type semiconductor layer AS is also slightly etched at its surface. What is necessary is just to control by processing time.

【0078】ソース電極SD1は透明画素電極ITO1
に接続されている。ソース電極SD1は、i型半導体層
ASの段差(第2導電膜d2の膜厚、陽極酸化膜AOF
の膜厚、i型半導体層ASの膜厚およびN(+)型半導
体層d0の膜厚を加算した膜厚に相当する段差)に沿っ
て構成されている。具体的には、ソース電極SD1はi
型半導体層ASの段差に沿って形成された第2導電膜d
2と、この第2導電膜d2の上部に形成した第3導電膜
d3とで構成されている。ソース電極SD1の第3導電
膜d3は第2導電膜d2のCr膜がストレスの増大から
厚くできず、i型半導体層ASの段差を乗り越えられな
いので、このi型半導体層ASを乗り越えるために構成
されている。つまり、第3導電膜d3は厚くするとこと
でステップカバレッジを向上している。第3導電膜d3
は厚く形成できるので、ソース電極SD1の抵抗値(ド
レイン電極SD2や映像信号線DLについても同様)の
低減に大きく寄与している。
The source electrode SD1 is a transparent pixel electrode ITO1.
It is connected to the. The source electrode SD1 is formed by a step of the i-type semiconductor layer AS (the thickness of the second conductive film d2, the anodic oxide film AOF).
, The thickness of the i-type semiconductor layer AS, and the thickness of the N (+)-type semiconductor layer d0). Specifically, the source electrode SD1 is i
Conductive film d formed along the step of the semiconductor layer AS
2 and a third conductive film d3 formed on the second conductive film d2. Since the third conductive film d3 of the source electrode SD1 cannot increase the thickness of the Cr film of the second conductive film d2 due to an increase in stress and cannot climb over the step of the i-type semiconductor layer AS, the third conductive film d3 needs to get over the i-type semiconductor layer AS. It is configured. That is, the step coverage is improved by increasing the thickness of the third conductive film d3. Third conductive film d3
Can be formed thick, which greatly contributes to a reduction in the resistance value of the source electrode SD1 (the same applies to the drain electrode SD2 and the video signal line DL).

【0079】《保護膜PSV1》薄膜トランジスタTF
Tおよび透明画素電極ITO1上には保護膜PSV1が
設けられている。保護膜PSV1は主に薄膜トランジス
タTFTを湿気から保護するために形成されており、透
明性が高く、しかも耐湿性の良いものを使用する。保護
膜PSV1は、例えばプラズマCVD装置で形成した酸
化シリコン膜や窒化シリコン膜で形成されており、1μ
m程度の膜厚で形成される。
<< Protective Film PSV1 >> Thin Film Transistor TF
A protective film PSV1 is provided on T and the transparent pixel electrode ITO1. The protective film PSV1 is formed mainly for protecting the thin film transistor TFT from moisture, and a film having high transparency and good moisture resistance is used. The protective film PSV1 is formed of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by a plasma CVD device, and has a thickness of 1 μm.
It is formed with a film thickness of about m.

【0080】保護膜PSV1は、図10に示したよう
に、マトリクス部ARの全体を囲むように形成され、周
辺部は外部接続端子DTM,GTMを露出するように除
去され、また上側透明ガラス基板SUB2の共通電極C
OMを下側透明ガラス基板SUB1の外部接続端子接続
用引出配線INTに銀ペーストAGPで接続する部分も
除去されている。保護膜PSV1とゲート絶縁膜GIの
厚さ関係に関しては、前者は保護効果を考えて厚くさ
れ、後者はトランジスタの相互コンダクタンスgmを考
慮して薄くされる。従って、図10に示したように、保
護効果の高い保護膜PSV1は周辺部もできるだけ広い
範囲にわたって保護するようゲート絶縁膜GIより大き
く形成されている。
As shown in FIG. 10, the protective film PSV1 is formed so as to surround the entire matrix portion AR, the peripheral portion is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM, and the upper transparent glass substrate is formed. Common electrode C of SUB2
The portion connecting the OM to the external connection terminal connection lead-out wiring INT of the lower transparent glass substrate SUB1 with the silver paste AGP is also removed. Regarding the thickness relationship between the protective film PSV1 and the gate insulating film GI, the former is made thicker in consideration of the protective effect, and the latter is made thinner in consideration of the transconductance gm of the transistor. Therefore, as shown in FIG. 10, the protection film PSV1 having a high protection effect is formed to be larger than the gate insulating film GI so as to protect the peripheral portion as much as possible.

【0081】《遮光膜BM》上部透明ガラス基板SUB
2側には、外部光(図5では上方からの光)がチャネル
形成領域として使用されるi型半導体層ASに入射しな
いように遮光膜BMが設けられている。遮光膜BMは図
17にハッチングで示したようなパターンとされてい
る。なお、図17は図4におけるITO膜からなる第1
導電膜d1、カラーフィルタFILおよび遮光膜BMの
みを描いた平面図である。
<< Light-shielding film BM >> Upper transparent glass substrate SUB
On the second side, a light-shielding film BM is provided so that external light (light from above in FIG. 5) does not enter the i-type semiconductor layer AS used as a channel formation region. The light-shielding film BM has a pattern as shown by hatching in FIG. FIG. 17 is a view showing a first example of the ITO film shown in FIG.
FIG. 3 is a plan view illustrating only a conductive film d1, a color filter FIL, and a light shielding film BM.

【0082】遮光膜BMは光に対する遮光性が高い膜、
例えばアルミニウム膜やクロム膜等で形成される。この
液晶表示装置では、クロム膜がスパッタリングで130
0Å程度の膜厚に形成される。
The light-shielding film BM has a high light-shielding property against light,
For example, it is formed of an aluminum film, a chromium film, or the like. In this liquid crystal display device, the chromium film is formed by sputtering at 130
It is formed to a thickness of about 0 °.

【0083】したがって、薄膜トランジスタTFT1,
TFT2のi型半導体層ASは上下にある遮光膜BMお
よび大きめのゲート電極GTによってサンドイッチにさ
れ、その部分は外部の自然光やバックライト光が当たら
なくなる。遮光膜BMは図17にハッチングで示したよ
うに、画素の周囲に形成され、つまり遮光膜BMは格子
状に形成され(所謂、ブラックマトリクス)、この格子
で一画素の有効表示領域が仕切られている。この遮光膜
BMにより、各画素の輪郭がハッキリとし、コントラス
トが向上する。つまり、遮光膜BMはi型半導体層AS
に対する遮光とブラックマトリクスとの2つの機能をも
つ。
Therefore, the thin film transistors TFT1, TFT1
The i-type semiconductor layer AS of the TFT 2 is sandwiched by the upper and lower light shielding films BM and the large gate electrode GT, and the portion is not exposed to external natural light or backlight light. As shown by hatching in FIG. 17, the light-shielding film BM is formed around the pixels, that is, the light-shielding film BM is formed in a lattice shape (a so-called black matrix), and an effective display area of one pixel is partitioned by the lattice. ing. With the light-shielding film BM, the outline of each pixel is clear, and the contrast is improved. That is, the light shielding film BM is formed of the i-type semiconductor layer AS.
And a black matrix.

【0084】また、透明画素電極ITO1のラビング方
向の根本側のエッジ部に対向する部分(図4の右下部
分)が遮光膜BMによって遮光されているから、上記部
分にドメインが発生したとしても、ドメインが見えない
ので、表示特性が劣化することはない。
Since the portion (lower right portion in FIG. 4) of the transparent pixel electrode ITO1 facing the edge on the root side in the rubbing direction is shielded from light by the light shielding film BM, even if a domain is generated in the above portion. Since the domain is not visible, the display characteristics do not deteriorate.

【0085】なお、バックライトを上部透明ガラス基板
SUB2側に取り付け、下部透明ガラス基板SUB1を
観察側(外部露出側)とすることもできる。
The backlight may be attached to the upper transparent glass substrate SUB2 side, and the lower transparent glass substrate SUB1 may be set to the observation side (exposed side).

【0086】遮光膜BMは周辺部にも図11に示したよ
うに額縁状のパターンに形成され、そのパターンはドッ
ト状に複数の開口を設けた図17に示したマトリクス部
のパターンと連続して形成されている。周辺部の遮光膜
BMは図9〜図12に示したように、シール部SLの外
側に延長され、パソコン等の実装機器に起因する反射光
等の漏れ光がマトリクス部に入り込むのを防いでいる。
他方、この遮光膜BMは上側透明ガラス基板SUB2の
縁よりも約0.3〜1.0mm程内側に留められ、上側
透明ガラス基板SUB2の切断領域を避けて形成されて
いる。
The light-shielding film BM is also formed in a peripheral portion in a frame-shaped pattern as shown in FIG. 11, and the pattern is continuous with the pattern of the matrix portion shown in FIG. It is formed. As shown in FIGS. 9 to 12, the peripheral light-shielding film BM is extended outside the seal portion SL to prevent leakage light such as reflected light due to a mounting device such as a personal computer from entering the matrix portion. I have.
On the other hand, the light-shielding film BM is fixed about 0.3 to 1.0 mm inside the edge of the upper transparent glass substrate SUB2, and is formed so as to avoid the cutting region of the upper transparent glass substrate SUB2.

【0087】《カラーフィルタFIL》カラーフィルタ
FILはアクリル樹脂等の樹脂材料で形成される染色基
材に染料を着色して構成されている。カラーフィルタF
ILは画素に対向する位置にストライプ状に形成され
(図18)、染め分けられている(図18は図7の第1
導電膜d1、遮光膜BMおよびカラーフィルタFILの
みを描いたもので、R,G,Bの各カラーフィルタFI
Lはそれぞれ45°、135°クロスのハッチングを施
してある。カラーフィルタFILは図17、図18に示
したように、透明画素電極ITO1の全てを覆うように
大きめに形成され、遮光膜BMはカラーフィルタFIL
および透明画素電極ITO1のエッジ部分と重なるよう
透明画素電極ITO1の周縁より内側に形成されてい
る。
<< Color Filter FIL >> The color filter FIL is formed by coloring a dye on a dye base made of a resin material such as an acrylic resin. Color filter F
The IL is formed in a stripe shape at a position facing the pixel (FIG. 18) and is dyed separately (FIG. 18 is the first in FIG. 7).
Only the conductive film d1, the light shielding film BM, and the color filter FIL are drawn, and each of the R, G, and B color filters FI is drawn.
L is hatched with 45 ° and 135 ° crosses, respectively. As shown in FIGS. 17 and 18, the color filter FIL is formed to be large so as to cover the entire transparent pixel electrode ITO1, and the light shielding film BM is formed of the color filter FIL.
Further, it is formed inside the periphery of the transparent pixel electrode ITO1 so as to overlap with the edge portion of the transparent pixel electrode ITO1.

【0088】カラーフィルタFILは次のように形成す
ることもできる。先ず、上部透明ガラス基板SUB2の
表面に染色基材を形成し、フォトリソグラフィ技術で赤
色フィルタ形成領域以外の染色基材を除去する。この
後、染色基材を赤色染料で染め、固着処理を施し、赤色
フィルタRを形成する。次に、同様な工程を施すことに
よって、緑色フィルタG、青色フィルタBを順次形成す
る。
The color filter FIL can be formed as follows. First, a dyed base material is formed on the surface of the upper transparent glass substrate SUB2, and the dyed base material other than the red filter forming region is removed by photolithography. Thereafter, the dyed substrate is dyed with a red dye and subjected to a fixing treatment to form a red filter R. Next, by performing similar steps, a green filter G and a blue filter B are sequentially formed.

【0089】《保護膜PSV2》保護膜PSV2はカラ
ーフィルタFILを異なる色に染め分けた染料が液晶L
Cに漏れることを防止するために設けられている。保護
膜PSV2は、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂等の
透明樹脂材料で形成されている。
<< Protective Film PSV2 >> The protective film PSV2 is composed of a liquid crystal L which is a dye obtained by dyeing the color filter FIL into different colors.
It is provided to prevent leakage to C. The protective film PSV2 is formed of, for example, a transparent resin material such as an acrylic resin or an epoxy resin.

【0090】《共通透明画素電極ITO2》共通透明画
素電極ITO2は、下部透明ガラス基板SUB1側に画
素毎に設けられた透明画素電極ITO1に対向し、液晶
LCの光学的な状態は各画素電極ITO1と共通透明画
素電極ITO2との間の電位差(電界)に応答して変化
する。この共通透明画素電極ITO2にはコモン電圧V
comが印加されるように構成されている。このでは、
コモン電圧Vcomは映像信号線DLに印加されるロー
レベルの駆動電圧Vdminとハイレベルの駆動電圧V
dmaxとの中間電位に設定されるが、映像信号駆動回
路で使用される集積回路の電源電圧を約半分に低減した
い場合は、交流電圧を印加すればよい。なお、共通透明
画素電極ITO2の平面形状は図9、図10を参照され
たい。
<< Common Transparent Pixel Electrode ITO2 >> The common transparent pixel electrode ITO2 is opposed to the transparent pixel electrode ITO1 provided for each pixel on the lower transparent glass substrate SUB1 side, and the optical state of the liquid crystal LC is determined by each pixel electrode ITO1. In response to a potential difference (electric field) between the pixel electrode and the common transparent pixel electrode ITO2. A common voltage V is applied to the common transparent pixel electrode ITO2.
com is applied. In this,
The common voltage Vcom includes a low-level driving voltage Vdmin and a high-level driving voltage Vd applied to the video signal line DL.
Although it is set to an intermediate potential with respect to dmax, if it is desired to reduce the power supply voltage of the integrated circuit used in the video signal driving circuit to about half, an AC voltage may be applied. The plan shape of the common transparent pixel electrode ITO2 should be referred to FIG. 9 and FIG.

【0091】《ゲート端子部》図19は液晶パターンの
表示マトリクス部の走査信号線GLから外部接続端子G
TMまでの接続構造の説明図であり、(A)は平面図、
(B)は(A)のB−B線に沿った断面図である。な
お、この図は図10の下方付近に対応し、斜め配線の部
分は便宜上一直線状で表した。
<< Gate Terminal >> FIG. 19 shows a state where the scanning signal line GL of the display matrix part of the liquid crystal pattern is connected to the external connection terminal G.
It is explanatory drawing of the connection structure to TM, (A) is a top view,
(B) is a sectional view taken along line BB of (A). This drawing corresponds to the vicinity of the lower part of FIG. 10, and the diagonal wiring portion is represented by a straight line for convenience.

【0092】AOは写真処理用のマスクパターン、言い
換えれば選択的陽極酸化のホトレジストパターンであ
る。従って、このホトレジストは陽極酸化後に除去さ
れ、図に示したパターンAOは完成品としては残らない
が、ゲート配線GLには(B)の断面図に示したように
酸化膜AOFが選択的に形成されるので、その軌跡が残
る。(A)の平面図において、ホトレジストの境界線A
Oを基準にして左側はレジストで覆って陽極酸化をしな
い領域、右側はレジストから露出されて陽極酸化される
領域である。陽極酸化されたアルミニウムAl層g2は
表面にその酸化物AAl2 3 膜AOFが形成され、下
方の導電部は体積が減少する。勿論、陽極酸化はその導
電部が残るように適切な時間、電圧などを設定して行わ
れる。マスクパターンAOは走査信号線GLに単一の直
線では交差せず、クランク状に折れ曲がって交差させて
いる。
AO is a mask pattern for photo processing, in other words, a photoresist pattern of selective anodic oxidation. Therefore, this photoresist is removed after anodic oxidation, and the pattern AO shown in the figure does not remain as a finished product, but an oxide film AOF is selectively formed on the gate line GL as shown in the cross-sectional view of FIG. So that the trajectory remains. In the plan view of (A), the boundary line A of the photoresist is shown.
With reference to O, the left side is a region covered with the resist and not subjected to anodization, and the right side is a region exposed from the resist and anodized. The oxide AAl 2 O 3 film AOF is formed on the surface of the anodized aluminum Al layer g2, and the volume of the lower conductive portion is reduced. Of course, anodic oxidation is performed by setting an appropriate time, voltage and the like so that the conductive portion remains. The mask pattern AO does not intersect the scanning signal line GL with a single straight line, but intersects by bending in a crank shape.

【0093】図中、アルミニウムAl層g2は、分かり
易くするためにハッチングを施してあるが、陽極酸化さ
れない領域は櫛状にパターニングされている。これは、
アルミニウムAl層の幅が広いと、表面にホイスカが発
生するので、一本一本の幅は狭くし、それらを複数本並
列に束ねた構成とすることにより、ホイスカの発生を防
ぎつつ、断線の確率や導電率の犠牲を最低限に抑える狙
いである。従って、ここでは櫛の根本に相当する部分も
マスクAOに沿ってずらしている。
In the figure, the aluminum Al layer g2 is hatched for easy understanding, but the region not anodized is patterned in a comb shape. this is,
If the width of the aluminum Al layer is large, whiskers are generated on the surface. Therefore, the width of each one is narrowed, and by arranging a plurality of them in parallel, the occurrence of whiskers is prevented while preventing the occurrence of disconnections. The goal is to minimize sacrifices in probability and conductivity. Therefore, here, the portion corresponding to the root of the comb is also shifted along the mask AO.

【0094】ゲート端子GTMは酸化珪素SIO層と接
着性が良く、アルミニウムAlよりも耐電蝕性の高いク
ロームCr層g1と、更にその表面を保護し画素電極I
TO1と同レベル(同層、同時形成)の透明導電層d1
とで構成されている。なお、ゲート絶縁膜GI上および
その側面部に形成された導電層d2およびd3は、導電
層d2およびd3のエッチング時のピンホール等が原因
で導電層g2やg1が一緒にエッチングされないように
その領域をホトレジストで覆っていた結果として残って
いるものである。又、ゲート絶縁膜GIを乗り越えて右
方向に延長されたITO層d1は同様な対策を更に万全
とさせたものである。
The gate terminal GTM has good adhesion to the silicon oxide SIO layer, and has a chromium Cr layer g1 having higher corrosion resistance than aluminum Al.
Transparent conductive layer d1 at the same level (same layer, simultaneous formation) as TO1
It is composed of The conductive layers d2 and d3 formed on the gate insulating film GI and on the side surfaces thereof are formed so that the conductive layers g2 and g1 are not etched together due to a pinhole or the like at the time of etching the conductive layers d2 and d3. This remains as a result of covering the area with photoresist. In addition, the ITO layer d1 extending rightward beyond the gate insulating film GI is a thorough countermeasure.

【0095】図19の(A)の平面図において、ゲート
絶縁膜GIはその境界線よりも右側に、保護膜PSV1
もその境界線よりも右側に形成されており、左側に位置
する端子部GTMはそれらから露出し外部回路との電気
的接触ができるようになっている。同図では、ゲート線
GLとゲート端子の一つの対のみが示されているが、実
際はこのような対が図12に示したように上下に複数本
並べられて端子群Tg(図9、図10)が構成され、ゲ
ート端子の左側は、製造過程では基板の切断領域CT1
を越えて延長され、配線SHgによって短絡される。製
造過程におけるこのような短絡線SHgは陽極化成時
(陽極酸化処理時)の給電と、配向膜ORI1のラビン
グ時等に発生する静電破壊を防止する効果を持つ。
In the plan view of FIG. 19A, the gate insulating film GI has a protective film PSV1 on the right side of the boundary line.
Are formed on the right side of the boundary line, and the terminal portion GTM located on the left side is exposed therefrom so as to be able to make electrical contact with an external circuit. Although only one pair of the gate line GL and the gate terminal is shown in FIG. 12, a plurality of such pairs are actually arranged vertically as shown in FIG. 10), and the left side of the gate terminal is a cutting region CT1 of the substrate in the manufacturing process.
And is short-circuited by the wiring SHg. Such a short-circuit line SHg in the manufacturing process has an effect of supplying power during anodization (at the time of anodizing treatment) and preventing electrostatic breakdown generated at the time of rubbing of the alignment film ORI1 or the like.

【0096】《ドレイン端子DTM》図20は映像信号
線DLからその外部接続端子DTMまでの接続の説明図
であって、(A)は平面図、(B)は(A)のB−B線
に沿った断面図を示す。なお、図20は図10の右上付
近に対応し、図面の向きは便宜上変えてあるが右端方向
が下側透明ガラス基板SUB1の上端部(又は下端部)
に該当する。
<< Drain Terminal DTM >> FIGS. 20A and 20B are explanatory diagrams of the connection from the video signal line DL to the external connection terminal DTM. FIG. 20A is a plan view, and FIG. 20B is a BB line of FIG. FIG. FIG. 20 corresponds to the vicinity of the upper right of FIG. 10, and the direction of the drawing is changed for convenience, but the right end direction is the upper end (or lower end) of the lower transparent glass substrate SUB1.
Corresponds to.

【0097】TSTdは検査端子であり、ここには外部
回路は接続されないが、プローブ針等を接触できるよう
に配線部より幅が広げられている。同様に、ドレイン端
子DTMも外部回路との接続ができるように配線部より
幅が広げられている。検査端子TSTdと外部接続端子
DTMは上下方向に千鳥状に複数交互に配列され、検査
端子TSTdは図に示したとおり下側透明ガラス基板S
UB1の端部に到達することなく終端しているが、ドレ
イン端子DTMは図10に示したように端子群Td(添
字省略)を構成し、下側透明ガラス基板SUB1の切断
線CT1を越えて更に延長され、製造過程中は静電気破
壊防止のためその全てが互いに配線SHdによって短絡
される。検査端子TSTdが存在する映像信号線DLの
マトリクスを挟んで反対側にドレイン接続端子が接続さ
れ、逆にドレイン端子DTMが存在する映像信号線DL
のマトリクスを挟んで反対側には検査端子が接続され
る。ドレイン端子DTMは前述したゲート端子GTMと
同様な理由でクロムCr層g1およびITO層d1の2
層で形成されており、ゲート絶縁膜GIを除去した部分
で映像信号線DLと接続されている。ゲート絶縁膜GI
の端部上に形成された半導体層ASはゲート絶縁膜GI
の縁をテーパ状に映像信号エッチングするためのもので
ある。ドレイン端子DTM上では外部回路との接続を行
うため保護膜PSV1は勿論、取り除かれている。AO
は前述した陽極酸化マスクであり、その境界線から左側
がマスクで覆われるが、この図で覆われない部分には層
g2が存在しないので、このパターンは直接関係しな
い。
TSTd is an inspection terminal, to which an external circuit is not connected, but is wider than a wiring portion so that a probe needle or the like can be contacted. Similarly, the width of the drain terminal DTM is wider than that of the wiring portion so as to enable connection with an external circuit. A plurality of test terminals TSTd and external connection terminals DTM are alternately arranged in a staggered manner in the vertical direction, and the test terminals TSTd are connected to the lower transparent glass substrate S as shown in the figure.
Although the terminal ends without reaching the end of UB1, the drain terminal DTM forms a terminal group Td (subscript omitted) as shown in FIG. 10 and crosses the cutting line CT1 of the lower transparent glass substrate SUB1. All of them are further extended, and all of them are short-circuited to each other by the wiring SHd in order to prevent electrostatic destruction during the manufacturing process. The drain connection terminal is connected to the opposite side of the matrix of the video signal line DL where the inspection terminal TSTd exists, and the video signal line DL where the drain terminal DTM exists
An inspection terminal is connected to the opposite side of the matrix. The drain terminal DTM is formed of the chromium Cr layer g1 and the ITO layer d1 for the same reason as the gate terminal GTM.
It is formed of a layer, and is connected to the video signal line DL at a portion where the gate insulating film GI is removed. Gate insulating film GI
The semiconductor layer AS formed on the end of the gate insulating film GI
For etching the video signal in a tapered shape. On the drain terminal DTM, of course, the protective film PSV1 is removed for connection with an external circuit. AO
Is the anodized mask described above, and the mask is covered on the left side from the boundary line. However, since the layer g2 does not exist in the portion not covered in this figure, this pattern is not directly related.

【0098】マトリクス部からドレイン端子DTM部ま
での引出配線は図11の(C)部にも示したように、ド
レイン端子DTM部と同じレベルの層d1,g1のすぐ
上に映像信号線DLと同じレベルの層d2,d3がシー
ルパターンSLの途中まで積層された構造になっている
が、これは断線の確率を最小限に抑え、電蝕し易いアル
ミニウムAl層d3を保護膜PSV1やシールパターン
SLで出来るだけ保護する狙いである。
As shown in FIG. 11C, the lead-out wiring from the matrix portion to the drain terminal DTM portion is connected to the video signal line DL immediately above the layers d1 and g1 at the same level as the drain terminal DTM portion. Although the layers d2 and d3 of the same level are stacked halfway through the seal pattern SL, this is to minimize the probability of disconnection and to replace the aluminum Al layer d3 which is easily corroded with the protective film PSV1 and the seal pattern SL. The aim is to protect as much as possible with SL.

【0099】《保持容量素子Caddの構造》透明画素
電極ITO1は、薄膜トランジスタTFTと接続される
端部ト反対側の端部において、隣の走査信号線GLと重
なるように形成されている。この重ね合わせは、図4、
図8からも明らかなように、透明画素電極ITO1を一
方の電極PL2とし、隣りの走査信号線GLを他方の電
極PL1とする保持容量素子(静電容量素子)Cadd
を構成する。この保持容量素子Caddの誘電体膜は薄
膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される
絶縁膜GIおよび陽極酸化膜AOFで構成されている。
<< Structure of Storage Capacitor Cadd >> The transparent pixel electrode ITO1 is formed so as to overlap the adjacent scanning signal line GL at the end opposite to the end connected to the thin film transistor TFT. This superposition is shown in FIG.
As is clear from FIG. 8, a storage capacitor element (capacitance element) Cadd in which the transparent pixel electrode ITO1 is one electrode PL2 and the adjacent scanning signal line GL is the other electrode PL1.
Is configured. The dielectric film of the storage capacitor Cadd is composed of an insulating film GI used as a gate insulating film of the thin film transistor TFT and an anodic oxide film AOF.

【0100】保持容量素子Caddは、図15からも明
らかなように、走査信号線GLの第2導電膜g2の幅を
広げた部分に形成されている。なお、映像信号線DLと
交差する部分の第2導電膜g2が映像信号線DLとその
短絡の確率を小さくするために細くされている。
As is apparent from FIG. 15, the storage capacitance element Cadd is formed in a portion of the scanning signal line GL where the width of the second conductive film g2 is increased. The portion of the second conductive film g2 that intersects with the video signal line DL is thinned to reduce the probability of the video signal line DL and its short circuit.

【0101】保持容量素子Caddの電極PL1の段差
部において、透明画素電極ITO1が断線しても、その
段差に跨がるように形成された第2導電膜d2および第
3導電膜d3で構成された島領域によってその不良は補
償される。
In the step portion of the electrode PL1 of the storage capacitor element Cadd, even if the transparent pixel electrode ITO1 is disconnected, the second conductive film d2 and the third conductive film d3 are formed so as to straddle the step. The fault is compensated by the island region.

【0102】《表示装置全体等価回路》図21は表示マ
トリクス部の等価回路とその周辺回路の結線図である。
この図は回路図であるが、実際の幾何学的配置に対応し
て描かれている。ARは複数の画素を二次元状に配列し
たマトリクスアレイである。
<< Equivalent Circuit of Entire Display Device >> FIG. 21 is a connection diagram of an equivalent circuit of the display matrix portion and its peripheral circuits.
This figure is a circuit diagram, but is drawn corresponding to an actual geometric arrangement. AR is a matrix array in which a plurality of pixels are two-dimensionally arranged.

【0103】図中、Xは映像信号線DLを意味し、添字
G,BおよびRはそれぞれ緑、装置および赤画素に対応
して付加されている。Yは走査信号線GLを意味し、添
字1,2,3,・・・,endは走査タイミングの順序
に従って付加されている。
In the figure, X means a video signal line DL, and suffixes G, B and R are added corresponding to green, device and red pixels, respectively. Y means the scanning signal line GL, and the suffixes 1, 2, 3,..., End are added according to the order of the scanning timing.

【0104】映像信号線X(添字省略)は上側の映像信
号駆動回路Heに接続されている。すなわち、映像信号
線Xは、走査信号線Yと同様に、映像信号パネルPNL
の片側のみに端子が引き出されている。
The video signal line X (subscript omitted) is connected to the upper video signal drive circuit He. That is, similarly to the scanning signal line Y, the video signal line X is connected to the video signal panel PNL.
The terminal is drawn out only on one side.

【0105】走査信号線Y(添字省略)は垂直走査回路
Vに接続されている。
The scanning signal line Y (subscript omitted) is connected to the vertical scanning circuit V.

【0106】SUPは1つの電圧源から複数に分圧して
安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上
位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を
TFT液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路
である。
The SUP uses a TFT liquid crystal display device to transfer information from a power supply circuit for obtaining a stabilized voltage source by dividing the voltage from one voltage source to a plurality and a CRT (cathode ray tube) from a host (upper processing unit). This is a circuit that includes a circuit that exchanges information for use.

【0107】《保持容量素子Caddの等価回路とその
動作》図22は図4に示した画素の等価回路図である。
図22において、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲ
ート電極GTとソース電極SD1との間に形成される寄
生容量である。寄生容量素子Cgsの誘電体膜は絶縁膜
GIおよび陽極酸化膜AOFである。Cpixは透明画
素電極ITO1(PIX)と共通透明画素電極ITO2
(COM)との間に形成される液晶容量である。液晶容
量Cpixの誘電体膜は液晶LC、保護膜PSV1およ
び配向膜ORI1,ORI2である。V1cは中点電位
である。
<< Equivalent Circuit of Storage Capacitor Cadd and Its Operation >> FIG. 22 is an equivalent circuit diagram of the pixel shown in FIG.
In FIG. 22, Cgs is a parasitic capacitance formed between the gate electrode GT and the source electrode SD1 of the thin film transistor TFT. The dielectric film of the parasitic capacitance element Cgs is the insulating film GI and the anodic oxide film AOF. Cpix is a transparent pixel electrode ITO1 (PIX) and a common transparent pixel electrode ITO2.
(COM). The dielectric film of the liquid crystal capacitor Cpix is the liquid crystal LC, the protective film PSV1, and the alignment films ORI1 and ORI2. V1c is a midpoint potential.

【0108】保持容量素子Caddの容量(保持容量C
add)は、薄膜トランジスタTFTがスイッチングす
るとき、中点電位(画素電極電位)V1cに対するゲー
ト電位変化ΔVgの影響を低減するように働く。この様
子を式で表すと、次式のようになる。
The capacitance of the storage capacitance element Cadd (the storage capacitance C
add) works to reduce the influence of the gate potential change ΔVg on the midpoint potential (pixel electrode potential) V1c when the thin film transistor TFT switches. This situation is expressed by the following equation.

【0109】ΔV1c={Cgs/(Cgs+Cadd
+Cpix)}×ΔVg ここで、ΔV1cはΔVgによる中点電位の変化分を表
す。この変化分ΔV1cは液晶LCに加わる直流成分の
原因となるが、保持容量Caddを大きくすればする
程、その値を小さくすることができる。また、保持容量
素子Caddは放電時間を長くする作用もあり、薄膜ト
ランジスタTFTがオフした後の映像情報を長く蓄積す
る。液晶LCに印加される直流成分の低減は、液晶LC
の寿命を向上し、液晶表示画面の切替え時に前の画像が
残る、所謂焼付きを低減することができる。
ΔV1c = {Cgs / (Cgs + Cadd)
+ Cpix)} × ΔVg Here, ΔV1c represents a change in the midpoint potential due to ΔVg. The change ΔV1c causes a DC component applied to the liquid crystal LC, but the value can be reduced as the storage capacitance Cadd is increased. In addition, the storage capacitance element Cadd also has a function of prolonging the discharge time, and stores video information after the thin film transistor TFT is turned off for a long time. The reduction of the DC component applied to the liquid crystal LC
, The so-called image sticking, in which the previous image remains when the liquid crystal display screen is switched, can be reduced.

【0110】前述したように、ゲート電極GTはi型半
導体層ASを完全に覆うよう大きくされている分、ソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2とのオーバーラップ
面積が増え、従って寄生容量Cgsが大きくなり、中点
電位V1cはゲート(走査)信号Vgの影響を受け易く
なるという逆効果が生じる。しかし、保持容量素子Ca
ddを設けることにより、このデメリットも解消でき
る。
As described above, since the gate electrode GT is made large so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS, the overlap area with the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 increases, and therefore the parasitic capacitance Cgs increases. , The midpoint potential V1c is easily affected by the gate (scanning) signal Vg. However, the storage capacitor Ca
By providing dd, this disadvantage can be eliminated.

【0111】保持容量素子Caddの保持容量Cadd
は画素の書込み特性から、液晶容量Cpixに対して4
〜8倍(4・Cpix<Cadd<8・Cpix)、寄
生容量Cgsに対して8〜32倍(8・Cgs<Cad
d<32・Cgs)程度の値に設定する。
The storage capacitor Cadd of the storage capacitor Cadd
Is 4 to the liquid crystal capacitance Cpix from the writing characteristics of the pixel.
88 times (4 · Cpix <Cadd <8 · Cpix), and 8 to 32 times (8 · Cgs <Cad) with respect to the parasitic capacitance Cgs.
d <32 · Cgs).

【0112】《保持容量素子Cadd電極線の結線方
法》保持容量電極線としてのみ使用される初段の走査信
号線GL(Y0 )は、図21に示したように、共通透明
画素電極ITO2(Vcom)と同じ電位にする。図1
0に示した例では、初段の走査信号線は端子GTO、引
出線INT、端子DT0および外部配線を通じて共通電
極COMに短絡される。或いは、初段の保持容量電極線
0 は最終段の走査信号線Yendに接続、Vcom以
外の直流電位点(交流接地点)に接続するか、または垂
直走査回路Vから1つ余分に走査パルスY0 を受けるよ
うに接続してもよい。
<< Connection Method of Storage Capacitor Cadd Electrode Line >> As shown in FIG. 21, the first-stage scanning signal line GL (Y 0 ) used only as the storage capacitor electrode line has a common transparent pixel electrode ITO2 (Vcom). ) To the same potential. FIG.
In the example shown in FIG. 0, the first-stage scanning signal line is short-circuited to the common electrode COM through the terminal GTO, the lead line INT, the terminal DT0, and the external wiring. Alternatively, the first-stage storage capacitor electrode line Y 0 is connected to the last-stage scanning signal line Yend, connected to a DC potential point (AC ground point) other than Vcom, or one extra scanning pulse Y from the vertical scanning circuit V. It may be connected to receive 0 .

【0113】《外部回路との接続構造》図13に示した
ように、テープキャリアパッケージTCPは、走査信号
駆動回路V、映像信号駆動回路He,Hoを構成する集
積回路チップCHIをフレキシブル配線基板(通称TA
B;Tape,Automated Bonding)
であり、図14はこれを映像信号パネルPNLの、ここ
では映像信号回路用端子DTMに接続した状態を示した
ものである。
<< Connection Structure with External Circuit >> As shown in FIG. 13, the tape carrier package TCP includes an integrated circuit chip CHI constituting the scanning signal driving circuit V and the video signal driving circuits He and Ho, and a flexible wiring board ( Commonly known as TA
B; Tape, Automated Bonding)
FIG. 14 shows a state where this is connected to a video signal circuit terminal DTM of the video signal panel PNL.

【0114】TBは集積回路CHIの入力端子・配線部
であり、TMは集積回路CHIの出力端子・配線部で、
それぞれの内側の先端部(通称インナーリード)には集
積回路CHIのボンディングパッドPADが所謂フェー
スダウンボンディング法により接続されている。端子T
B、TMの外側の先端部(通称アウターリード)はそれ
ぞれ半導体集積回路チップCHIの入力及び出力に対応
し、半田付け等によりCRT/TFT変換回路・電源回
路SUPに異方性導電膜ACFによって液晶パネルPN
L側の接続端子DTMを露出した保護膜PSV1を覆う
ように液晶パネルに接続されている。従って、外部接続
端子DTM(GTM)は保護膜PSV1かテープキャリ
アパッケージTCPの少なくとも一方で覆われるので、
電蝕に対して強くなる。
TB is an input terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, and TM is an output terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI.
A bonding pad PAD of the integrated circuit CHI is connected to each inner end portion (commonly referred to as an inner lead) by a so-called face-down bonding method. Terminal T
B, the outer end portions (commonly called outer leads) of the TM correspond to the input and output of the semiconductor integrated circuit chip CHI, respectively, and the liquid crystal is formed by the anisotropic conductive film ACF on the CRT / TFT conversion circuit / power supply circuit SUP by soldering or the like. Panel PN
It is connected to the liquid crystal panel so as to cover the protective film PSV1 exposing the connection terminal DTM on the L side. Therefore, the external connection terminal DTM (GTM) is covered with at least one of the protective film PSV1 and the tape carrier package TCP.
It becomes strong against electric corrosion.

【0115】BF1はポリイミド等からなるベースフィ
ルムであり、SRSは半田付けの際、半田が余計なとこ
ろへ付かないようマスクするためのソルダレジスト膜で
ある。シールパターンSLの外側の上下ガラス基板の間
隙は洗浄後にエポキシ樹脂EPX等により保護され、テ
ープキャリアパッケージTCPと上側透明ガラス基板S
UB2の間には更にシリコーン樹脂SILが充填されて
保護が多重化されている。
BF1 is a base film made of polyimide or the like, and SRS is a solder resist film for masking the solder so that it does not stick to unnecessary portions during soldering. The gap between the upper and lower glass substrates outside the seal pattern SL is protected by an epoxy resin EPX or the like after cleaning, and the tape carrier package TCP and the upper transparent glass substrate S
Between UB2, silicone resin SIL is further filled to multiplex protection.

【0116】《製造方法》次に、上記した液晶表示装置
の下側透明ガラス基板SUB1側の製造方法について図
23〜図25を参照して説明する。なお、各図におい
て、中央の文字は工程名の略称であり、左側は図5に示
した画素部分、右側は図19に示したゲート端子付近の
断面形状で見た加工の流れを示す。また、工程Dを除
き、工程A〜工程Iは各写真処理に対応して区分けした
もので、各工程のいずれの断面図も写真処理後の加工が
終わり、フォトレジストを除去した段階を示している。
なお、写真処理とは、フォトレジストの塗布からマスク
を使用した選択露光を経てそれを現像するまでの一連の
作業を示すものとし、繰り返しの説明は避ける。以下、
区分けした工程に従って説明する。
<< Manufacturing Method >> Next, a method of manufacturing the lower transparent glass substrate SUB1 side of the liquid crystal display device will be described with reference to FIGS. In each figure, the middle letter is the abbreviation of the process name, the left side shows the pixel portion shown in FIG. 5, and the right side shows the processing flow as seen in the cross-sectional shape near the gate terminal shown in FIG. Except for the process D, the processes A to I are classified according to the respective photographic processes, and all the cross-sectional views of the respective processes show the stage where the processing after the photographic process is completed and the photoresist is removed. I have.
Note that photographic processing refers to a series of operations from application of a photoresist to selective exposure using a mask to development thereof, and a repeated description thereof will be omitted. Less than,
A description will be given according to the divided steps.

【0117】工程A(図23) 7059ガラス(商品名)からなる下側透明ガラス基板
SUB1の両面に酸化シリコン膜SIOをディップ処理
により設けた後、500°C、60分間のベークを行
う。下側透明ガラス基板SUB1の上に膜厚が1100
ÅのクロムCrからなる第1導電膜g1をスパッタリン
グにより設け、写真処理後、エッチング液として硝酸第
2セリウムアンモニウム溶液で第1導電膜g1を選択的
にエッチングし、ゲート端子GTM、ドレイン端子DT
M、ゲート端子GTMを接続する陽極酸化バスラインS
Hg、ドレイン端子DTMを短絡するバスラインSH
d、陽極酸化バスラインSHgに接続された陽極酸化パ
ッド(図示せず)を形成する。 工程B(図23) 膜厚が2800ÅのAl−Pd、Al−Si、Al−S
i−Ta、Al−Si−Cu等からなる第2導電膜g2
をスパッタリングにより設ける。写真処理後、リン酸と
硝酸および氷酢酸の混酸液で第2導電膜g2をエッチン
グする。
[0117]Step A (FIG. 23) Lower transparent glass substrate made of 7059 glass (trade name)
Dip processing of silicon oxide film SIO on both sides of SUB1
Baking at 500 ° C for 60 minutes.
U. The film thickness is 1100 on the lower transparent glass substrate SUB1.
The first conductive film g1 made of chromium (Cr) is sputtered.
After photo processing, nitric acid
Selectively select first conductive film g1 with 2 cerium ammonium solution
And the gate terminal GTM and the drain terminal DT
M, anodizing bus line S connecting gate terminal GTM
Hg, bus line SH for shorting drain terminal DTM
d, the anodizing pattern connected to the anodizing bus line SHg
A pad (not shown) is formed. Step B (FIG. 23) Al-Pd, Al-Si, Al-S with a thickness of 2800 °
Second conductive film g2 made of i-Ta, Al-Si-Cu, or the like
Is provided by sputtering. After photographic processing,
Etch the second conductive film g2 with a mixed acid solution of nitric acid and glacial acetic acid
To

【0118】工程C(図23) 写真処理後(前述した陽極酸化マスクAO形成後)、3
%酒石酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に
調整した溶液をエチレングリコール液で1:9に希釈し
た液からなる陽極酸化液中に下側透明ガラス基板SUB
1を浸漬し、化成電流密度が0.5mA/cm2 になる
ように調整(定電流化成)する。次に、所定のAl2
3 膜厚が得られるのに必要な化成電圧125Vに達する
まで陽極酸化を行う。その後、この状態で数10分保持
するのが望ましい(定電圧化成)。これは、均一なAl
2 3 膜を得る上で大事なことである。それによって、
導電膜g2は陽極酸化され、走査信号線GL、ゲート電
極GTおよび電極PL1上に膜厚が1800Åの陽極酸
化膜AOFが形成される。
Step C (FIG. 23) After photographic processing (after formation of the above-described anodic oxidation mask AO), 3
% Tartaric acid was adjusted to pH 6.25 ± 0.05 with ammonia, and the lower transparent glass substrate SUB was placed in an anodic oxidation solution consisting of a solution diluted 1: 9 with an ethylene glycol solution.
1 is immersed and adjusted (constant current formation) so that the formation current density becomes 0.5 mA / cm 2 . Next, a predetermined Al 2 O
3 Anodizing is performed until the formation voltage 125 V necessary for obtaining the film thickness is reached. Thereafter, it is desirable to hold this state for several tens of minutes (constant voltage formation). This is because the uniform Al
This is important for obtaining a 2 O 3 film. Thereby,
The conductive film g2 is anodized to form an anodic oxide film AOF having a thickness of 1800 ° on the scanning signal line GL, the gate electrode GT, and the electrode PL1.

【0119】工程D(図24) プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が2000Åの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が2000Åのi型非晶質Si膜を設けたの
ち、プラズマCVD装置に水素ガス、ホスフィンガスを
導入して、膜厚が300ÅのN(+)型非晶質Si膜を
形成する。
Step D (FIG. 24) Ammonia gas, silane gas, and nitrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to provide a 2000-nm thick Si nitride film, and silane gas and hydrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus. After providing an i-type amorphous Si film having a thickness of 2000 °, hydrogen gas and phosphine gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form an N (+)-type amorphous Si film having a thickness of 300 °.

【0120】工程E(図24) 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6 、CC
4 を使用してN(+)型非晶質Si膜、i型非晶質S
i膜を選択的にエッチングすることにより、i型半導体
層ASの島を形成する。
Step E (FIG. 24) After photographic processing, SF 6 , CC are used as dry etching gases.
Using l 4 , an N (+)-type amorphous Si film and an i-type amorphous S
By selectively etching the i-film, islands of the i-type semiconductor layer AS are formed.

【0121】工程F(図24) 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6 を使用
して窒化Si膜を選択的にエッチングする。
Step F (FIG. 24) After the photographic processing, the Si nitride film is selectively etched using SF 6 as a dry etching gas.

【0122】工程G(図25) 膜厚が1400ÅのITO膜からなる第1導電膜d1を
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で第1導電膜d1を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTM、ド
レイン端子DTMの最上層および透明画素電極ITO1
を形成する。
Step G (FIG. 25) A first conductive film d1 made of an ITO film having a thickness of 1400 ° is provided by sputtering. After the photographic processing, the first conductive film d1 is selectively etched with a mixed acid solution of hydrochloric acid and nitric acid as an etchant, thereby forming the uppermost layer of the gate terminal GTM and the drain terminal DTM and the transparent pixel electrode ITO1.
To form

【0123】工程H(図25) 膜厚が600ÅのクロムCrからなる第2導電膜d2を
スパッタリングにより設け、さらに膜厚が4000Åの
Al−Pd、Al−Si、Al−Si−Ti、Al−S
i−Cu等からなる第3導電膜d3をスパッタリングに
より設ける。写真処理後、第3導電膜d3を工程Bと同
様な液でエッチングし、第2導電膜d2を工程Aと同様
な液でエッチングし、映像信号線DL、ソース電極SD
1、ドレイン電極SD2を形成する。次に、ドライエッ
チング装置にCCl4 、SF6 を導入して、N(+)型
非晶質Si膜をエッチングすることにより、ソースとド
レイン間のN(+)型半導体層d0を選択的に除去す
る。
Step H (FIG. 25) A second conductive film d2 made of chromium chromium having a thickness of 600 ° is provided by sputtering, and further a Al-Pd, Al-Si, Al-Si-Ti, Al- S
A third conductive film d3 made of i-Cu or the like is provided by sputtering. After the photographic processing, the third conductive film d3 is etched with the same liquid as in the step B, the second conductive film d2 is etched with the same liquid as in the step A, and the video signal line DL and the source electrode SD are etched.
1. The drain electrode SD2 is formed. Next, by introducing CCl 4 and SF 6 into a dry etching apparatus and etching the N (+)-type amorphous Si film, the N (+)-type semiconductor layer d0 between the source and the drain is selectively formed. Remove.

【0124】工程I(図25) プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が1μmの窒化Si膜を設け
る。写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6
使用した写真蝕刻技術(フォトリソグラフィ技術)で窒
化Si膜を選択的にエッチングすることによって、保護
膜PSV1を形成する。
Step I (FIG. 25) An ammonia gas, a silane gas, and a nitrogen gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form a 1 μm-thick Si nitride film. After the photo processing, the protective film PSV1 is formed by selectively etching the Si nitride film by a photo etching technique (photolithography technique) using SF 6 as a dry etching gas.

【0125】このようにして製造した下側透明ガラス基
板SUB1の内側最表面に配向膜を形成し、別途の製造
工程で制作した上側透明ガラス基板SUB2とを貼り合
わせ、貼り合わせギャップに液晶LCを挟持し、シール
材で封止すると共に、両面に偏向板(POL1,2)を
貼付して液晶パネルPNLを得る。
An alignment film is formed on the innermost surface of the lower transparent glass substrate SUB1 manufactured in this way, and the upper transparent glass substrate SUB2 manufactured in a separate manufacturing process is bonded. The liquid crystal panel PNL is obtained by sandwiching and sealing with a sealing material, and attaching polarizing plates (POL1, POL2) on both sides.

【0126】この液晶パネルPNLを、図3で説明した
ように、バックライト、その他の光学フィルム等と共に
積層し、各種の駆動回路基板を組み込んで液晶表示装置
(液晶表示モジュール)に一体化する。
As described with reference to FIG. 3, this liquid crystal panel PNL is laminated with a backlight and other optical films and the like, and various drive circuit boards are incorporated into a liquid crystal display device (liquid crystal display module).

【0127】図26は液晶パネルと駆動回路基板とを接
続した状態を示す平面図である。CHIは液晶パネルP
NLを駆動する集積回路(IC)チップ(下側の5個は
垂直走査回路側のIC、左側の10個は映像信号駆動回
路側のICである。
FIG. 26 is a plan view showing a state where the liquid crystal panel and the drive circuit board are connected. CHI is liquid crystal panel P
An integrated circuit (IC) chip for driving the NL (the lower five ICs on the vertical scanning circuit side and the left ten ICs on the video signal driving circuit side).

【0128】TCPは図13、図14に示したように、
駆動回路のICチップCHIがテープオートメーティッ
ドボンディング(TAB)法により実装されたテープキ
ャリアパッケージ(TCP)、PCB1は上記TCPや
コンデンサ等が実装された駆動回路基板で、映像信号駆
動回路用と走査信号駆動回路用の2つに分割されてい
る。
As shown in FIG. 13 and FIG.
A tape carrier package (TCP) in which an IC chip CHI of a drive circuit is mounted by a tape automated bonding (TAB) method, and a PCB1 is a drive circuit board on which the above-described TCP and capacitors are mounted. It is divided into two for the drive circuit.

【0129】FGPはフレームグランドパッドであり、
シールドケースSHDに切り込んで設けられたバネ状の
破片が半田付けされる。FCは下側の駆動回路基板PC
B1と左側の駆動回路基板PCB1を電気的に接続する
フラットケーブルである。
FGP is a frame ground pad.
A spring-shaped fragment provided by cutting into the shield case SHD is soldered. FC is the lower drive circuit board PC
This is a flat cable for electrically connecting B1 to the left drive circuit board PCB1.

【0130】フラットケーブルFCとしては、図に示し
たように、複数のリード線(りん青銅の素材にSn鍍金
を施したもの)をストライプ状のポリエチレン層とポリ
ビニルアルコール層とでサンドイッチして支持したもの
を使用する。
As shown in the figure, as the flat cable FC, a plurality of lead wires (phosphor bronze material plated with Sn) were supported by being sandwiched between a striped polyethylene layer and a polyvinyl alcohol layer. Use things.

【0131】《TCPの接続構造》前記図13は走査信
号駆動回路Vや映像信号駆動回路Hを構成する集積回路
チップCHIがフレキシブル配線基板に搭載されたテー
プキャリアパッケージの断面図であり、図14はそれを
液晶パネルの、ここでは走査信号回路用端子GTMに接
続した状態を示す要部断面図である。
<< TCP Connection Structure >> FIG. 13 is a sectional view of a tape carrier package in which an integrated circuit chip CHI constituting the scanning signal driving circuit V and the video signal driving circuit H is mounted on a flexible wiring board. FIG. 4 is a sectional view of a main part of the liquid crystal panel, here showing a state connected to a scanning signal circuit terminal GTM.

【0132】TTBは集積回路チップCHIの入力端子
・配線部であり、TTMは集積回路チップCHIの出力
端子・配線部であって、例えばCuからなり、それぞれ
の内側の先端部(インナーリード)には集積回路チップ
CHIのボンディングパッドPADが所謂フェースダウ
ンボンディング法により接続されることは前記した通り
である。
TTB is an input terminal / wiring portion of the integrated circuit chip CHI, and TTM is an output terminal / wiring portion of the integrated circuit chip CHI. The TTM is made of, for example, Cu. As described above, the bonding pads PAD of the integrated circuit chip CHI are connected by a so-called face-down bonding method.

【0133】また、端子TTB、TTMの外側の先端部
(アウターリード)は、それぞれ半導体集積回路チップ
CHIの入力および出力に対応し、半田付け等によりC
RT/TFT変換回路・電源回路SUPに異方性導電膜
ACFによって液晶パネルPNLに接続されることも前
記したとおりである。
The outer ends (outer leads) of the terminals TTB and TTM correspond to the input and output of the semiconductor integrated circuit chip CHI, respectively.
As described above, the RT / TFT conversion circuit / power supply circuit SUP is connected to the liquid crystal panel PNL by the anisotropic conductive film ACF.

【0134】パッケージTCPは、その先端部が液晶パ
ネルPNL側の接続端子GTMを露出した保護膜PSV
1を覆うように液晶パネルPNLに接続されている。従
って、外側接続端子GTM(DTM)は保護膜PSV1
はパッケージTCPの少なくとも一方で覆われるので電
蝕に対して強くなる。
The package TCP has a protective film PSV whose leading end exposes the connection terminal GTM on the liquid crystal panel PNL side.
1 is connected to the liquid crystal panel PNL so as to cover the liquid crystal panel PNL. Therefore, the outer connection terminal GTM (DTM) is connected to the protective film PSV1.
Is covered with at least one of the package TCPs, and thus is resistant to electrolytic corrosion.

【0135】前記したように、BF1はポリイミド等の
樹脂からなるベースフィルムであり、SRSは半田付け
の際に半田が余計なところに付着しないようにマスクす
るためのソルダレジスト膜である。シールパターンSL
の外側の上下の透明ガラス基板の隙間は、洗浄後にエポ
キシ樹脂EPX等で保護され、パッケージTCPと上側
透明ガラス基板SUB2の間には更にシリコン樹脂SI
Lが充填されて保護が多重化されている。
As described above, BF1 is a base film made of a resin such as polyimide, and SRS is a solder resist film for masking so that solder does not adhere to unnecessary portions during soldering. Seal pattern SL
The gap between the upper and lower transparent glass substrates on the outside is protected by an epoxy resin EPX or the like after cleaning, and a silicon resin SI is further provided between the package TCP and the upper transparent glass substrate SUB2.
L is filled and protection is multiplexed.

【0136】《駆動回路基板PCB2》駆動回路基板P
CB2には、IC、コンデンサ、抵抗等の電子部品が搭
載されている。前記したように、この駆動回路基板PC
B2には1つの電圧源から分圧して安定化した複数の電
圧源を得るための電源回路や、ホストからのCRT用の
情報を液晶表示装置用の情報に変換する回路を含む回路
SUPが搭載されている。なお、CJは外部と接続され
る図示しないコネクタのためのコネクタ接続部である。
<< Drive Circuit Board PCB2 >> Drive Circuit Board P
Electronic components such as an IC, a capacitor, and a resistor are mounted on the CB2. As described above, this drive circuit board PC
B2 is equipped with a power supply circuit for dividing the voltage from one voltage source to obtain a plurality of stabilized voltage sources, and a circuit SUP including a circuit for converting CRT information from the host into information for the liquid crystal display device. Have been. CJ is a connector connecting portion for a connector (not shown) connected to the outside.

【0137】駆動回路基板PCB1と駆動回路基板PC
B2とはフラットケーブルFC等のジョイナーJNによ
り電気的に接続される。
The drive circuit board PCB1 and the drive circuit board PC
B2 is electrically connected by a joiner JN such as a flat cable FC.

【0138】図27は本発明による液晶表示装置を実装
した電子機器の一例であるノートパソコンの外観図であ
る。
FIG. 27 is an external view of a notebook personal computer as an example of an electronic device on which the liquid crystal display device according to the present invention is mounted.

【0139】このノートパソコンは、キーボード部と表
示部とをヒンジで接続してなり、キーボード部にはCP
U等からなるホストコンピュータが搭載され、表示部に
は前記した本発明にかかる液晶表示装置が液晶表示モジ
ュール(MDL)として実装されている。
In this notebook personal computer, a keyboard unit and a display unit are connected by a hinge, and the keyboard unit has a CP.
A host computer made of a U or the like is mounted, and the liquid crystal display device according to the present invention is mounted on a display unit as a liquid crystal display module (MDL).

【0140】この液晶表示モジュールを構成する液晶パ
ネルPNLの周辺には駆動回路基板PCB1,PCB
2,PCB3、バックライト用のインバータ電源IV等
が搭載されている。なお、CTはホスト側と接続するコ
ネクタ、TCONはホスト側から入力する表示信号に基
づいて液晶パネルPNLに画像を表示するための信号処
理、タイミング信号等を生成する制御回路である。
Driving circuit boards PCB1, PCB1 are provided around the liquid crystal panel PNL constituting the liquid crystal display module.
2, a PCB 3, an inverter power supply IV for backlight, and the like. Note that CT is a connector connected to the host, and TCON is a control circuit that generates signal processing for displaying an image on the liquid crystal panel PNL and a timing signal based on a display signal input from the host.

【0141】本発明による液晶表示装置は、図27に示
したようなノート型等の可搬型パソコンに限らず、ディ
スクトップ型モニター等の据え置き型パソコン、その他
の機器の表示デバイスにも使用できることは言うまでも
ない。
The liquid crystal display device according to the present invention can be used not only for a portable personal computer such as a notebook type as shown in FIG. Needless to say.

【0142】なお、本発明は上記した駆動IC(集積回
路チップ)の実装をTCPを用いた縦電界方式のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置に限って適用されるもの
ではなく、横電界方式のアクティブマトリクス型液晶表
示装置、液晶パネルの一方の基板に駆動ICを直接搭載
したチップオングラス方式の液晶表示装置。あるいは単
純マトリクス方式の液晶表示装置にも同様に適用でき
る。
The present invention is not limited to the application of the above-described driving IC (integrated circuit chip) to a vertical electric field type active matrix type liquid crystal display device using TCP, but to a horizontal electric field type active matrix type liquid crystal display device. Chip-on-glass type liquid crystal display device in which a driving IC is directly mounted on one substrate of a liquid crystal display device or a liquid crystal panel. Alternatively, the present invention can be similarly applied to a simple matrix type liquid crystal display device.

【0143】[0143]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
少なくとも線状ランプの設置側に切り欠きを有する導光
板を使用したバックライトの当該切り欠きに起因する輝
度むらの発生を防止して高画質の画像表示を可能とした
液晶表示装置を提供することができる。
As described above, according to the present invention,
Provided is a liquid crystal display device capable of displaying a high-quality image by preventing the occurrence of luminance unevenness due to the notch of a backlight using a light guide plate having a notch at least on the installation side of the linear lamp. Can be.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による液晶表示装置の第1実施例の概略
構造を説明するバックライトの平面模式図である。
FIG. 1 is a schematic plan view of a backlight illustrating a schematic structure of a first embodiment of a liquid crystal display device according to the present invention.

【図2】本発明の実施例における効果を説明する図1の
A部分の拡大模式図である。
FIG. 2 is an enlarged schematic view of a portion A in FIG. 1 for explaining effects in the embodiment of the present invention.

【図3】本発明による液晶表示装置の実施例の全体構成
を説明する展開斜視図である。
FIG. 3 is an exploded perspective view illustrating an overall configuration of an embodiment of a liquid crystal display device according to the present invention.

【図4】本発明によるアクティブ・マトリクス方式カラ
ー液晶表示装置を構成する一画素とブラックマトリクス
BMの遮光領域およびその周辺を示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing one pixel and a light-shielding region of a black matrix BM and its periphery, which constitute an active matrix type color liquid crystal display device according to the present invention.

【図5】図4の3−3切断線における一画素とその周辺
を示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing one pixel and its surroundings taken along section line 3-3 in FIG. 4;

【図6】図4の4ー4切断線における付加容量素子Ca
ddの断面図である。
FIG. 6 shows an additional capacitance element Ca taken along the line 4-4 in FIG. 4;
It is sectional drawing of dd.

【図7】図4の画素を複数配置した液晶表示部の要部平
面図である。
FIG. 7 is a plan view of a main part of a liquid crystal display unit in which a plurality of pixels of FIG. 4 are arranged.

【図8】表示パネルのマトリクス周辺部の構成を説明す
るための平面図である。
FIG. 8 is a plan view for explaining a configuration of a matrix peripheral portion of the display panel.

【図9】図8の周辺部をやや誇張し更に具体的に説明す
るための平面図である。
FIG. 9 is a plan view for a more specific explanation by slightly exaggerating the peripheral portion of FIG. 8;

【図10】上下の透明ガラス基板の電気的接続部を含む
液晶パネルの角部の拡大平面図である。
FIG. 10 is an enlarged plan view of a corner of a liquid crystal panel including an electrical connection between upper and lower transparent glass substrates.

【図11】マトリクスの画素部を中央に、両側に液晶パ
ネルの角付近と映像信号端子付近を示す断面図である。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing the vicinity of a corner of a liquid crystal panel and the vicinity of a video signal terminal on both sides with a pixel portion of a matrix in the center.

【図12】左側に走査信号端子を、右側に外部接続端子
の無い液晶パネル縁部分を示す断面図である。
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a scanning signal terminal on the left side and a liquid crystal panel edge portion without an external connection terminal on the right side.

【図13】駆動回路を構成する集積回路チップがフレキ
シブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッケージ
の構造を示す断面図である。
FIG. 13 is a cross-sectional view showing a structure of a tape carrier package in which an integrated circuit chip constituting a driving circuit is mounted on a flexible wiring board.

【図14】テープキャリアパッケージを液晶パネルの映
像信号回路用端子に接続した状態を示す要部断面図であ
る。
FIG. 14 is a cross-sectional view of a main part showing a state where the tape carrier package is connected to a video signal circuit terminal of the liquid crystal panel.

【図15】図4に示した画素の導電層g2とi型半導体
層ASのみを描いた平面図である。
FIG. 15 is a plan view illustrating only a conductive layer g2 and an i-type semiconductor layer AS of the pixel illustrated in FIG. 4;

【図16】図4に示した画素の導電層d1、d2、d3
のみを描いた平面図である。
FIG. 16 shows conductive layers d1, d2, and d3 of the pixel shown in FIG.
It is the top view which drew only.

【図17】図4に示した画素の画素電極層、遮光膜およ
びカラーフィルタ層のみを描いた平面図である。
FIG. 17 is a plan view illustrating only a pixel electrode layer, a light shielding film, and a color filter layer of the pixel illustrated in FIG. 4;

【図18】図7に示した画素配列の画素電極層、遮光膜
およびカラーフィルタ層のみを描いた要部平面図であ
る。
FIG. 18 is a plan view of an essential part showing only a pixel electrode layer, a light shielding film, and a color filter layer of the pixel array shown in FIG. 7;

【図19】ゲート端子とゲート配線の接続部近辺の説明
図である。
FIG. 19 is an explanatory diagram near a connection portion between a gate terminal and a gate wiring.

【図20】ドレイン端子と映像信号線との接続部付近の
説明図である。
FIG. 20 is an explanatory diagram near a connection portion between a drain terminal and a video signal line.

【図21】アクティブ・マトリクス方式のカラー液晶表
示装置の液晶表示部を示す等価回路図である。
FIG. 21 is an equivalent circuit diagram showing a liquid crystal display unit of an active matrix type color liquid crystal display device.

【図22】図4に示した画素の等価回路図である。FIG. 22 is an equivalent circuit diagram of the pixel shown in FIG.

【図23】下側透明ガラス基板側の製造工程の説明図で
ある。
FIG. 23 is an explanatory diagram of a manufacturing process on the lower transparent glass substrate side.

【図24】下側透明ガラス基板側の製造工程の図23に
続く説明図である。
FIG. 24 is an explanatory view following FIG. 23 of the manufacturing process for the lower transparent glass substrate.

【図25】下側透明ガラス基板側の製造工程の図24に
続く説明図である。
FIG. 25 is an explanatory view following FIG. 24 of the manufacturing process on the lower transparent glass substrate side;

【図26】液晶パネルと駆動回路基板とを接続した状態
を示す平面図である。
FIG. 26 is a plan view showing a state where a liquid crystal panel and a drive circuit board are connected.

【図27】本発明の液晶表示装置を実装した電子機器の
一例を説明するノートパソコンの外観図である。
FIG. 27 is an external view of a notebook computer illustrating an example of an electronic device on which the liquid crystal display device of the present invention is mounted.

【図28】従来のサイドエッジ型バックライトの概略構
造を説明する平面模式図である。
FIG. 28 is a schematic plan view illustrating a schematic structure of a conventional side edge type backlight.

【図29】輝度むらの発生を説明する図28のA部分の
拡大模式図である。
FIG. 29 is an enlarged schematic diagram of a portion A in FIG. 28 for explaining the occurrence of uneven brightness.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

LP 線状ランプ(冷陰極蛍光管) GLB 導光板 CUTC 曲壁をもつ切り欠き SHD シールドケース(メタルフレーム) WD 表示窓 INS1〜3 絶縁シート PCB1〜3 回路基板 JN1〜3 ジョイナ TCP1,TCP2 テープキャリアパッケージ PNL 液晶表示パネル GC ゴムクッション ILS 遮光スペーサ PRS プリズムシート SPS 拡散シート RFS 反射シート MCA 下側ケース(モールドフレーム) MO MCAの開口 LPC ランプケーブル GB 蛍光管LPを支持するゴムブッシュ BAT 両面粘着テープ PJ 凸部 BL バックライト MDL 液晶表示装置(液晶表示モジュール)。 LP Linear lamp (cold-cathode fluorescent tube) GLB Light guide plate Cut notch with curved wall SHD Shield case (metal frame) WD Display window INS1-3 Insulation sheet PCB1-3 Circuit board JN1-3 Joiner TCP1, TCP2 Tape carrier package PNL Liquid crystal display panel GC Rubber cushion ILS Light shielding spacer PRS Prism sheet SPS Diffusion sheet RFS Reflection sheet MCA Lower case (mold frame) MO MCA opening LPC Lamp cable GB Rubber bushing supporting fluorescent tube LP BAT Double-sided adhesive tape PJ Convex part BL backlight MDL Liquid crystal display (liquid crystal display module).

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H038 AA41 AA51 BA06 2H091 FA02Y FA23Z FA35Y FA41Z FB06 FC01 GA03 GA07 GA11 GA13 LA18 5G435 AA02 BB12 BB16 EE02 EE27 EE30 EE31 EE32 EE34 FF08 FF13 GG01 GG03 GG24 HH12 KK10  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H038 AA41 AA51 BA06 2H091 FA02Y FA23Z FA35Y FA41Z FB06 FC01 GA03 GA07 GA11 GA13 LA18 5G435 AA02 BB12 BB16 EE02 EE27 EE30 EE31 EE32 EE34 FF08 FF13 GG01H03 GG01GG

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】第1基板と第2基板を所定の間隙で対向さ
せ、表示領域外周をシール材で接着すると共に、前記間
隙に液晶層を封入してなる液晶パネルと、導光板の少な
くとも一側縁に沿って設置した線状ランプとからなり前
記液晶パネルの背面に設置して当該液晶パネルを裏面か
ら照明するバックライトと、前記バックライトを構成す
る導光板を保持するモールド部材を具備した液晶表示装
置において、 前記導光板の前記線状ランプと対向する前記一側縁の端
部に曲壁をもつ切り欠きを有することを特徴とする液晶
表示装置。
1. A liquid crystal panel having a first substrate and a second substrate opposed to each other with a predetermined gap therebetween, and a periphery of a display area adhered with a sealant, and a liquid crystal layer sealed in the gap, and at least one of a light guide plate and a liquid crystal panel. A backlight comprising a linear lamp installed along a side edge and installed on the back of the liquid crystal panel to illuminate the liquid crystal panel from the back, and a mold member for holding a light guide plate constituting the backlight were provided. A liquid crystal display device, comprising: a notch having a curved wall at an end of the one side edge of the light guide plate facing the linear lamp.
【請求項2】前記導光板の曲壁をもつ切り欠き部を含め
て前記線状ランプからの光の入射部としたことを特徴と
する請求項1に記載の液晶表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the light guide plate includes a cut-out portion having a curved wall as a light incident portion from the linear lamp.
【請求項3】前記導光板の曲壁をもつ切り欠き部が、当
該導光板または液晶表示装置の固定用の部材の設置用ス
ペースであることを特徴とする請求項1または2に記載
の液晶表示装置。
3. The liquid crystal according to claim 1, wherein the cutout portion having a curved wall of the light guide plate is a space for installing the light guide plate or a fixing member of the liquid crystal display device. Display device.
JP10201897A 1998-07-16 1998-07-16 Liquid crystal display device Pending JP2000035573A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10201897A JP2000035573A (en) 1998-07-16 1998-07-16 Liquid crystal display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10201897A JP2000035573A (en) 1998-07-16 1998-07-16 Liquid crystal display device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000035573A true JP2000035573A (en) 2000-02-02

Family

ID=16448643

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10201897A Pending JP2000035573A (en) 1998-07-16 1998-07-16 Liquid crystal display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000035573A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003141919A (en) * 2001-11-02 2003-05-16 Stanley Electric Co Ltd Plane light source device and light guide member
JP2003151333A (en) * 2001-11-09 2003-05-23 Fujitsu Kasei Kk Surface lighting device and liquid crystal display device
CN1329770C (en) * 2003-09-19 2007-08-01 夏普株式会社 Light guide body, lighting device, liquid crystal display device, and electronic device
CN100405172C (en) * 2003-11-13 2008-07-23 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 Back light module
JP2013026215A (en) * 2011-07-21 2013-02-04 Samsung Electronics Co Ltd Light guide plate and backlight assembly including the same
CN102998737A (en) * 2010-03-12 2013-03-27 欧姆龙株式会社 Light guide plate and liquid crystal display device
WO2020238026A1 (en) * 2019-05-31 2020-12-03 昆山国显光电有限公司 Display control method and display control device for display panel, and display apparatus

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003141919A (en) * 2001-11-02 2003-05-16 Stanley Electric Co Ltd Plane light source device and light guide member
JP2003151333A (en) * 2001-11-09 2003-05-23 Fujitsu Kasei Kk Surface lighting device and liquid crystal display device
CN1329770C (en) * 2003-09-19 2007-08-01 夏普株式会社 Light guide body, lighting device, liquid crystal display device, and electronic device
CN100405172C (en) * 2003-11-13 2008-07-23 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 Back light module
CN102998737A (en) * 2010-03-12 2013-03-27 欧姆龙株式会社 Light guide plate and liquid crystal display device
JP2013026215A (en) * 2011-07-21 2013-02-04 Samsung Electronics Co Ltd Light guide plate and backlight assembly including the same
KR101796175B1 (en) * 2011-07-21 2017-11-13 삼성디스플레이 주식회사 Light guide plate and backlight assembly comprising the same
EP2549307B1 (en) * 2011-07-21 2018-04-11 Samsung Display Co., Ltd. Light guide plate and backlight assembly including the same
WO2020238026A1 (en) * 2019-05-31 2020-12-03 昆山国显光电有限公司 Display control method and display control device for display panel, and display apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3205373B2 (en) Liquid crystal display
JP3184853B2 (en) Liquid crystal display
JP3136200B2 (en) Liquid crystal display
JPH06347827A (en) Liquid crystal display device and its production
JPH11183904A (en) Liquid crystal display device
JPH07146481A (en) Liquid crystal display substrate
JPH07281185A (en) Liquid crystal display device
JP3125411B2 (en) Liquid crystal display
JPH06102536A (en) Thin film transistor array
JP2000035573A (en) Liquid crystal display device
JPH10133218A (en) Equipment mounting tape carrier package and liquid crystal display device
JPH0720463A (en) Liquid crystal display device
JPH07248493A (en) Liquid crystal display device
JP3311838B2 (en) Liquid crystal display
JP3406586B2 (en) Liquid crystal display
JPH07191339A (en) Liquid crystal display device
JP3276628B2 (en) Liquid crystal display
JPH0792489A (en) Liquid crystal display device
JP3252139B2 (en) Liquid crystal display
JPH06258647A (en) Liquid crystal display device and its production
JPH11194336A (en) Liquid crystal display device
JPH06265919A (en) Liquid crystal display device
JP2000029045A (en) Liquid crystal display device
JPH11126028A (en) Liquid crystal display device
JP3595327B2 (en) Liquid crystal display

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20040405

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20070828

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Effective date: 20071026

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080603

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080804

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Effective date: 20080804

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

A02 Decision of refusal

Effective date: 20080902

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02