JP2000033313A - ダイヘッドの洗浄方法及びそれに使用する着脱式ブロック並びに該洗浄方法を行うためのダイヘッド - Google Patents
ダイヘッドの洗浄方法及びそれに使用する着脱式ブロック並びに該洗浄方法を行うためのダイヘッドInfo
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- JP2000033313A JP2000033313A JP10200196A JP20019698A JP2000033313A JP 2000033313 A JP2000033313 A JP 2000033313A JP 10200196 A JP10200196 A JP 10200196A JP 20019698 A JP20019698 A JP 20019698A JP 2000033313 A JP2000033313 A JP 2000033313A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ダイヘッドを分解することなく、内部の洗浄
が行えるようにする。 【解決手段】 ダイヘッド本体１におけるスリット６先
端部を着脱式ブロック１０により閉じた状態とし、この
状態でダイヘッド側部とスリット先端部のうちの少なく
とも何れかから洗浄溶剤を注入し、ダイヘッド本体内部
のマニホールド５及びスリット６に存在する汚れを塗料
の入口３から連続的に押し出す。洗浄時間が大幅に短縮
でき、段取り時間の短縮化が図れる。また、密閉系での
洗浄であるため、洗浄溶剤が飛散することなく安全な洗
浄が可能となる。
が行えるようにする。 【解決手段】 ダイヘッド本体１におけるスリット６先
端部を着脱式ブロック１０により閉じた状態とし、この
状態でダイヘッド側部とスリット先端部のうちの少なく
とも何れかから洗浄溶剤を注入し、ダイヘッド本体内部
のマニホールド５及びスリット６に存在する汚れを塗料
の入口３から連続的に押し出す。洗浄時間が大幅に短縮
でき、段取り時間の短縮化が図れる。また、密閉系での
洗浄であるため、洗浄溶剤が飛散することなく安全な洗
浄が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エクストルージョ
ン型の塗布装置に用いられるダイヘッドの技術分野に属
し、詳しくはダイヘッドの洗浄技術に関する。
ン型の塗布装置に用いられるダイヘッドの技術分野に属
し、詳しくはダイヘッドの洗浄技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、この種のダイヘッドとしては、塗
料供給方式で分けてコートハンガー式のものと横入れ式
のものがある。そして、このようなダイヘッドを洗浄す
る場合、従来はいずれもダイヘッドに塗料を送液するた
めの配管を利用し、そこに洗浄溶剤を注入してスリット
先端から排出することにより内部の汚れを除去する方法
が採られていた。
料供給方式で分けてコートハンガー式のものと横入れ式
のものがある。そして、このようなダイヘッドを洗浄す
る場合、従来はいずれもダイヘッドに塗料を送液するた
めの配管を利用し、そこに洗浄溶剤を注入してスリット
先端から排出することにより内部の汚れを除去する方法
が採られていた。
【０００３】図１はコートハンガー式のダイヘッドを示
す断面図である。このダイヘッドは、ダイヘッド本体１
とその両サイドを覆う側板２とからなり、塗料は後部中
央の入口３からマニホールド５を経てスリット６の先端
から吐出するようになっている。そして、洗浄時には、
図示のように、洗浄溶剤をポンプＰにより後部中央の入
口３から注入しスリット６の先端から排出する。
す断面図である。このダイヘッドは、ダイヘッド本体１
とその両サイドを覆う側板２とからなり、塗料は後部中
央の入口３からマニホールド５を経てスリット６の先端
から吐出するようになっている。そして、洗浄時には、
図示のように、洗浄溶剤をポンプＰにより後部中央の入
口３から注入しスリット６の先端から排出する。
【０００４】図２は横入れ式のダイヘッドを示す断面図
である。このダイヘッドはダイヘッド本体１とその両サ
イドを覆う側板２とからなり、塗料は一方の側板２に設
けられた入口４からマニホールド５を経てスリット６の
先端から吐出するようになっている。そして、洗浄時に
は、図示のように、洗浄溶剤をポンプＰによりダイヘッ
ド側部の入口４から注入しスリット６の先端から排出す
る。
である。このダイヘッドはダイヘッド本体１とその両サ
イドを覆う側板２とからなり、塗料は一方の側板２に設
けられた入口４からマニホールド５を経てスリット６の
先端から吐出するようになっている。そして、洗浄時に
は、図示のように、洗浄溶剤をポンプＰによりダイヘッ
ド側部の入口４から注入しスリット６の先端から排出す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術で述べたようなダイヘッドの洗浄方法では、次のよ
うな問題点がある。 （１）ダイヘッドへの塗料供給方式がコートハンガー式
の場合、マニホールド及びスリットのセンター部は洗浄
されるが、洗浄溶剤の粘性が低いため両端に洗浄溶剤が
十分に供給されず両端部の洗浄が困難となる。この傾向
は塗料の粘性が高いほど顕著である。 （２）ダイヘッドへの塗料供給方式が横入れ式の場合、
マニホールド及びスリットの塗料供給側は洗浄される
が、洗浄溶剤の粘性が低いため他端に洗浄溶剤が十分供
給されず他端の洗浄が困難となる。この傾向は塗料の粘
性が高いほど顕著である。
技術で述べたようなダイヘッドの洗浄方法では、次のよ
うな問題点がある。 （１）ダイヘッドへの塗料供給方式がコートハンガー式
の場合、マニホールド及びスリットのセンター部は洗浄
されるが、洗浄溶剤の粘性が低いため両端に洗浄溶剤が
十分に供給されず両端部の洗浄が困難となる。この傾向
は塗料の粘性が高いほど顕著である。 （２）ダイヘッドへの塗料供給方式が横入れ式の場合、
マニホールド及びスリットの塗料供給側は洗浄される
が、洗浄溶剤の粘性が低いため他端に洗浄溶剤が十分供
給されず他端の洗浄が困難となる。この傾向は塗料の粘
性が高いほど顕著である。
【０００６】このように、塗料の送液用配管を利用し、
そこに洗浄溶剤を注入してスリットの先端から排出する
洗浄方法では、端部の洗浄が十分に行われないため、洗
浄後にダイヘッドを分解して端部の汚れを手作業で洗浄
している。この手作業による洗浄は、ダイヘッド本体が
非常に重いために、分解、組立に長い時間を費やしてし
まうという問題点がある。また、作業自体に危険が伴う
上に、作業中に塗料及び洗浄溶剤が身体に触れるという
問題点もある。
そこに洗浄溶剤を注入してスリットの先端から排出する
洗浄方法では、端部の洗浄が十分に行われないため、洗
浄後にダイヘッドを分解して端部の汚れを手作業で洗浄
している。この手作業による洗浄は、ダイヘッド本体が
非常に重いために、分解、組立に長い時間を費やしてし
まうという問題点がある。また、作業自体に危険が伴う
上に、作業中に塗料及び洗浄溶剤が身体に触れるという
問題点もある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めに、本発明は、ダイヘッド本体におけるスリット先端
部を着脱式ブロックにより閉じた状態とし、この状態で
ダイヘッド側部とスリット先端部のうちの少なくとも何
れかから洗浄溶剤を注入し、ダイヘッド本体内部のマニ
ホールド及びスリットに存在する汚れを塗料の入口から
連続的に押し出すこととしている。そして、このような
洗浄方法を採ることにより、ダイヘッドを分解すること
なく、内部の洗浄を行うことができる。
めに、本発明は、ダイヘッド本体におけるスリット先端
部を着脱式ブロックにより閉じた状態とし、この状態で
ダイヘッド側部とスリット先端部のうちの少なくとも何
れかから洗浄溶剤を注入し、ダイヘッド本体内部のマニ
ホールド及びスリットに存在する汚れを塗料の入口から
連続的に押し出すこととしている。そして、このような
洗浄方法を採ることにより、ダイヘッドを分解すること
なく、内部の洗浄を行うことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の実施形態について説明する。
明の実施形態について説明する。
【０００９】図３はコートハンガー式のダイヘッドの洗
浄を実施している一例を示す断面図である。ダイヘッド
本体１には図の点線で示す位置に着脱式ブロック１０が
取り付けられており、この着脱式ブロック１０によって
スリット６の先端部が閉じられている。そして、このス
リット先端部を閉じた状態で、洗浄溶剤がポンプＰ1に
より注入用配管１１を通って両側の側板２に向けて送ら
れ、各側板２にそれぞれ取り付けられたスプレーノズル
１２によってダイヘッド内部に高圧で噴霧され、マニホ
ールド５及びスリット６にある汚れを洗い流した後、後
部中央にある塗料の入口３から排出用配管１３を通って
排出される。洗浄溶剤の噴霧形状はどのような形でもよ
いが、楕円形が最も効果的である。
浄を実施している一例を示す断面図である。ダイヘッド
本体１には図の点線で示す位置に着脱式ブロック１０が
取り付けられており、この着脱式ブロック１０によって
スリット６の先端部が閉じられている。そして、このス
リット先端部を閉じた状態で、洗浄溶剤がポンプＰ1に
より注入用配管１１を通って両側の側板２に向けて送ら
れ、各側板２にそれぞれ取り付けられたスプレーノズル
１２によってダイヘッド内部に高圧で噴霧され、マニホ
ールド５及びスリット６にある汚れを洗い流した後、後
部中央にある塗料の入口３から排出用配管１３を通って
排出される。洗浄溶剤の噴霧形状はどのような形でもよ
いが、楕円形が最も効果的である。
【００１０】図４は横入れ式のダイヘッドの洗浄を実施
している一例を示す断面図である。ダイヘッド本体１に
は図の点線で示す位置に着脱式ブロック１０が取り付け
られており、この着脱式ブロック１０によってスリット
６の先端部が閉じられている。そして、このスリット先
端部を閉じた状態で、洗浄溶剤がポンプＰ1 により注入
用配管１１を通って右側の側板２に向けて送られ、その
側板２に取り付けられたスプレーノズル１２によってダ
イヘッド内部に高圧で噴霧され、マニホールド５及びス
リット６にある汚れを洗い流した後、左側の側板２にあ
る塗料の入口４から排出用配管１３を通って排出され
る。洗浄溶剤の噴霧形状はどのような形でもよいが、楕
円形が最も効果的である。
している一例を示す断面図である。ダイヘッド本体１に
は図の点線で示す位置に着脱式ブロック１０が取り付け
られており、この着脱式ブロック１０によってスリット
６の先端部が閉じられている。そして、このスリット先
端部を閉じた状態で、洗浄溶剤がポンプＰ1 により注入
用配管１１を通って右側の側板２に向けて送られ、その
側板２に取り付けられたスプレーノズル１２によってダ
イヘッド内部に高圧で噴霧され、マニホールド５及びス
リット６にある汚れを洗い流した後、左側の側板２にあ
る塗料の入口４から排出用配管１３を通って排出され
る。洗浄溶剤の噴霧形状はどのような形でもよいが、楕
円形が最も効果的である。
【００１１】図５はコートハンガー式のダイヘッドの洗
浄を実施している別の例を示す断面図、図６は図５のＡ
−Ａに対応した断面図である。これらの図に示すよう
に、ダイヘッド本体１にはそのスリット先端部を閉じる
状態で着脱式ブロック１０が取り付けられている。図６
から分かるように、着脱式ブロック１０は、ダイヘッド
本体１のスリット６の先端部を覆って密着状態で閉じる
形状に加工してあり、ネジ１４によりダイヘッド本体１
に固定されているため、シール性が高く漏れが生じな
い。そして、ここで使用する着脱式ブロック１０は、ダ
イヘッド本体１のスリット６の先端部に通じる液路を有
しており、その途中には液溜まり１５が設けられてい
る。この着脱式ブロック１０を固定するため、ダイヘッ
ド本体１にはネジ孔がスリット先端部の両側に設けられ
ている。洗浄溶剤は、ポンプＰ2 より注入用配管１６を
通って着脱式ブロック１０に送られ、その液溜まり１５
からスリット６に向けて噴射される。そして、洗浄溶剤
はスリット６及びマニホールド５にある汚れを洗い流し
た後、後部中央にある塗料の入口から排出用配管１３を
通って排出される。
浄を実施している別の例を示す断面図、図６は図５のＡ
−Ａに対応した断面図である。これらの図に示すよう
に、ダイヘッド本体１にはそのスリット先端部を閉じる
状態で着脱式ブロック１０が取り付けられている。図６
から分かるように、着脱式ブロック１０は、ダイヘッド
本体１のスリット６の先端部を覆って密着状態で閉じる
形状に加工してあり、ネジ１４によりダイヘッド本体１
に固定されているため、シール性が高く漏れが生じな
い。そして、ここで使用する着脱式ブロック１０は、ダ
イヘッド本体１のスリット６の先端部に通じる液路を有
しており、その途中には液溜まり１５が設けられてい
る。この着脱式ブロック１０を固定するため、ダイヘッ
ド本体１にはネジ孔がスリット先端部の両側に設けられ
ている。洗浄溶剤は、ポンプＰ2 より注入用配管１６を
通って着脱式ブロック１０に送られ、その液溜まり１５
からスリット６に向けて噴射される。そして、洗浄溶剤
はスリット６及びマニホールド５にある汚れを洗い流し
た後、後部中央にある塗料の入口から排出用配管１３を
通って排出される。
【００１２】図７はコートハンガー式のダイヘッドの洗
浄を実施しているさらに別の例を示す断面図である。ダ
イヘッド本体１には着脱式ブロック１０が取り付けられ
ており、この着脱式ブロック１０によってスリット６の
先端部が閉じられている。そして、タンク２０内の洗浄
溶剤は、独立したポンプＰ1 ，Ｐ2 によりそれぞれダイ
ヘッド側部とスリット先端部に供給されるようになって
いる。ポンプＰ1 により供給される洗浄溶剤は、注入用
配管１１を通って両側の側板２に送られ、各側板２にそ
れぞれ取り付けられたスプレーノズル１２によってダイ
ヘッド内部に高圧で噴霧され、マニホールド５及びスリ
ット６にある汚れを洗い流した後、後部中央にある塗料
の入口３から排出用配管１３を通って排出される。この
例では注入用配管１１に三方弁バルブ１７が設けられて
いるので切替えが可能である。また、ポンプＰ2 により
供給される洗浄溶剤は、注入用配管１６を通って着脱式
ブロック１０に送られ、その液溜まりからスリット６に
向けて噴射される。そして、洗浄溶剤はスリット６及び
マニホールド５にある汚れを洗い流した後、後部中央に
ある塗料の入口３から排出用配管１３を通って排出され
る。
浄を実施しているさらに別の例を示す断面図である。ダ
イヘッド本体１には着脱式ブロック１０が取り付けられ
ており、この着脱式ブロック１０によってスリット６の
先端部が閉じられている。そして、タンク２０内の洗浄
溶剤は、独立したポンプＰ1 ，Ｐ2 によりそれぞれダイ
ヘッド側部とスリット先端部に供給されるようになって
いる。ポンプＰ1 により供給される洗浄溶剤は、注入用
配管１１を通って両側の側板２に送られ、各側板２にそ
れぞれ取り付けられたスプレーノズル１２によってダイ
ヘッド内部に高圧で噴霧され、マニホールド５及びスリ
ット６にある汚れを洗い流した後、後部中央にある塗料
の入口３から排出用配管１３を通って排出される。この
例では注入用配管１１に三方弁バルブ１７が設けられて
いるので切替えが可能である。また、ポンプＰ2 により
供給される洗浄溶剤は、注入用配管１６を通って着脱式
ブロック１０に送られ、その液溜まりからスリット６に
向けて噴射される。そして、洗浄溶剤はスリット６及び
マニホールド５にある汚れを洗い流した後、後部中央に
ある塗料の入口３から排出用配管１３を通って排出され
る。
【００１３】このように、独立したポンプＰ1 ，Ｐ2 に
よりそれぞれダイヘッド側部とスリット先端部に供給さ
れるようになっており、さらにポンプＰ1 の注入用配管
１１に三方弁バルブ１７を取り付けてあることから、こ
のポンプ作動とバルブを切り替えることにより洗浄溶剤
を注入させるタイミングを変更することによって様々な
パターンの洗浄が可能である。選択できる注入パターン
は次の５つである。 （１）ダイヘッド側部両側からの注入 （２）ダイヘッド側部から左右交互に注入 （３）スリット先端部からの注入 （４）ダイヘッド側部両側からの注入＋スリット先端部
からの注入 （５）ダイヘッド側部から左右交互に注入＋スリット先
端部からの注入
よりそれぞれダイヘッド側部とスリット先端部に供給さ
れるようになっており、さらにポンプＰ1 の注入用配管
１１に三方弁バルブ１７を取り付けてあることから、こ
のポンプ作動とバルブを切り替えることにより洗浄溶剤
を注入させるタイミングを変更することによって様々な
パターンの洗浄が可能である。選択できる注入パターン
は次の５つである。 （１）ダイヘッド側部両側からの注入 （２）ダイヘッド側部から左右交互に注入 （３）スリット先端部からの注入 （４）ダイヘッド側部両側からの注入＋スリット先端部
からの注入 （５）ダイヘッド側部から左右交互に注入＋スリット先
端部からの注入
【００１４】図８は横入れ式のダイヘッドの洗浄を実施
しているさらに別の例を示す断面図である。ダイヘッド
本体１には着脱式ブロック１０が取り付けられており、
この着脱式ブロック１０によってスリット６の先端部が
閉じられている。そして、タンク２０内の洗浄溶剤は、
独立したポンプＰ1 ，Ｐ2 によりそれぞれダイヘッド側
部とスリット先端部に供給されるようになっている。ポ
ンプＰ1 により供給される洗浄溶剤は、注入用配管１１
を通って右側の側板２に送られ、その側板２に取り付け
られたスプレーノズル１２によってダイヘッド内部に高
圧で噴霧され、マニホールド５及びスリット６にある汚
れを洗い流した後、左側の側板２にある塗料の入口４か
ら排出用配管１３を通って排出される。また、ポンプＰ
2 により供給される洗浄溶剤は、注入用配管１６を通っ
て着脱式ブロック１０に送られ、その液溜まりからスリ
ット６に向けて噴射される。そして、洗浄溶剤はスリッ
ト６及びマニホールド５にある汚れを洗い流した後、左
側の側板２にある塗料の入口４から排出用配管１３を通
って排出される。
しているさらに別の例を示す断面図である。ダイヘッド
本体１には着脱式ブロック１０が取り付けられており、
この着脱式ブロック１０によってスリット６の先端部が
閉じられている。そして、タンク２０内の洗浄溶剤は、
独立したポンプＰ1 ，Ｐ2 によりそれぞれダイヘッド側
部とスリット先端部に供給されるようになっている。ポ
ンプＰ1 により供給される洗浄溶剤は、注入用配管１１
を通って右側の側板２に送られ、その側板２に取り付け
られたスプレーノズル１２によってダイヘッド内部に高
圧で噴霧され、マニホールド５及びスリット６にある汚
れを洗い流した後、左側の側板２にある塗料の入口４か
ら排出用配管１３を通って排出される。また、ポンプＰ
2 により供給される洗浄溶剤は、注入用配管１６を通っ
て着脱式ブロック１０に送られ、その液溜まりからスリ
ット６に向けて噴射される。そして、洗浄溶剤はスリッ
ト６及びマニホールド５にある汚れを洗い流した後、左
側の側板２にある塗料の入口４から排出用配管１３を通
って排出される。
【００１５】このように、独立したポンプＰ1 ，Ｐ2 に
よりそれぞれダイヘッド側部とスリット先端部に供給さ
れるようになっていることから、このポンプ作動を切り
替えて洗浄溶剤を注入させるタイミングを変更すること
により様々なパターンの洗浄が可能である。選択できる
注入パターンは次の３つである。 （１）ダイヘッド側部からの注入 （２）スリット先端部からの注入 （３）ダイヘッド側部からの注入＋スリット先端部から
の注入
よりそれぞれダイヘッド側部とスリット先端部に供給さ
れるようになっていることから、このポンプ作動を切り
替えて洗浄溶剤を注入させるタイミングを変更すること
により様々なパターンの洗浄が可能である。選択できる
注入パターンは次の３つである。 （１）ダイヘッド側部からの注入 （２）スリット先端部からの注入 （３）ダイヘッド側部からの注入＋スリット先端部から
の注入
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイヘッドを分解することなく、内部の洗浄を行うこと
ができ、洗浄時間が大幅に短縮できるため、段取り時間
の短縮化が図れる。また、密閉系での洗浄であるため、
洗浄溶剤が飛散することなく安全な洗浄が可能となる。
ダイヘッドを分解することなく、内部の洗浄を行うこと
ができ、洗浄時間が大幅に短縮できるため、段取り時間
の短縮化が図れる。また、密閉系での洗浄であるため、
洗浄溶剤が飛散することなく安全な洗浄が可能となる。
【図１】コートハンガー式のダイヘッドを示す断面図で
ある。
ある。
【図２】横入れ式のダイヘッドを示す断面図である。
【図３】コートハンガー式のダイヘッドの洗浄を実施し
ている一例を示す断面図である。
ている一例を示す断面図である。
【図４】横入れ式のダイヘッドの洗浄を実施している一
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図５】コートハンガー式のダイヘッドの洗浄を実施し
ている別の例を示す断面図である。
ている別の例を示す断面図である。
【図６】図５のＡ−Ａに対応した断面図である。
【図７】コートハンガー式のダイヘッドの洗浄を実施し
ているさらに別の例を示す断面図である。
ているさらに別の例を示す断面図である。
【図８】横入れ式のダイヘッドの洗浄を実施しているさ
らに別の例を示す断面図である。
らに別の例を示す断面図である。
１ ダイヘッド本体 ２ 側板 ３ 入口 ４ 入口 ５ マニホールド ６ スリット １０ 着脱式ブロック １１ 注入用配管 １２ スプレーノズル １３ 排出用配管 １４ ネジ １５ 液溜まり １６ 注入用配管 １７ 三方弁バルブ Ｐ1 ，Ｐ2 ポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川原 清章 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4F041 AA11 AB01 BA05 BA60 CA02 4F042 AA22 CC10
Claims (4)
- 【請求項１】 ダイヘッド本体におけるスリット先端部
を着脱式ブロックにより閉じた状態とし、この状態でダ
イヘッド側部とスリット先端部のうちの少なくとも何れ
かから洗浄溶剤を注入し、ダイヘッド本体内部のマニホ
ールド及びスリットに存在する汚れを塗料の入口から連
続的に押し出すことを特徴とするダイヘッドの洗浄方
法。 - 【請求項２】 ダイヘッド本体のスリット先端部を覆っ
て閉じる形状で、ネジによりダイヘッド本体に固定され
ることを特徴とする着脱式ブロック。 - 【請求項３】 ダイヘッド本体のスリット先端部に通じ
る液路を有する請求項２に記載の着脱式ブロック。 - 【請求項４】 請求項１に記載の洗浄方法を実施するた
めのダイヘッドであって、着脱式ブロックを固定するた
めのネジ孔をスリット先端部の両側に設けたことを特徴
とするダイヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20019698A JP4236018B2 (ja) | 1998-07-15 | 1998-07-15 | ダイヘッドの洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20019698A JP4236018B2 (ja) | 1998-07-15 | 1998-07-15 | ダイヘッドの洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000033313A true JP2000033313A (ja) | 2000-02-02 |
| JP4236018B2 JP4236018B2 (ja) | 2009-03-11 |
Family
ID=16420408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20019698A Expired - Fee Related JP4236018B2 (ja) | 1998-07-15 | 1998-07-15 | ダイヘッドの洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4236018B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007253093A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | スリットノズル洗浄方法 |
| JP2008149273A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ノズルの洗浄方法 |
| JP2012016675A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-26 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置およびノズルのメンテナンス方法 |
| WO2015025636A1 (ja) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | オリジン電気株式会社 | ダイヘッド及び塗工液塗布方法 |
| WO2024185089A1 (ja) * | 2023-03-08 | 2024-09-12 | 株式会社 東芝 | 塗布ヘッド、塗布装置および塗布方法 |
-
1998
- 1998-07-15 JP JP20019698A patent/JP4236018B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007253093A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | スリットノズル洗浄方法 |
| JP2008149273A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ノズルの洗浄方法 |
| JP2012016675A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-26 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置およびノズルのメンテナンス方法 |
| KR101760951B1 (ko) | 2010-07-09 | 2017-07-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액처리장치 및 노즐의 메인터넌스 방법 |
| WO2015025636A1 (ja) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | オリジン電気株式会社 | ダイヘッド及び塗工液塗布方法 |
| JP2015039683A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | オリジン電気株式会社 | ダイヘッド及び塗工液塗布方法 |
| WO2024185089A1 (ja) * | 2023-03-08 | 2024-09-12 | 株式会社 東芝 | 塗布ヘッド、塗布装置および塗布方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4236018B2 (ja) | 2009-03-11 |
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