JP2000033232A - 溶剤回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】汚液及び廃液中に含まれる溶剤を略完全に分離
回収することができる溶剤回収装置を提供する。 【解決手段】真空発生器及びポンプにより作り出された
真空状態に於いて、加熱ヒータによる加熱時に蓄熱され
た予熱により、廃液貯溜槽に貯溜された廃液中に含まれ
る溶剤を通常の沸点よりも低い温度で蒸発気化して分離
する。凝縮槽内に吸入される溶剤の蒸気を凝縮コイルに
より冷却して凝縮液化し、再生溶剤を再生液貯溜槽に貯
溜するので、汚液中に含まれる溶剤を略完全に分離回収
することができ、ワークを洗浄する作業に何回も使用す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、半導
体、電子機器等のワーク洗浄に使用された汚液又は廃液
から溶剤（有機系溶剤、塩素系溶剤、塩素を含まない溶
剤）を分離回収するのに用いられる溶剤回収装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、上述例のような溶剤を回収する溶
剤回収装置としては、例えば、ワーク洗浄に使用された
汚液（油及び溶剤を含む液）を液再生槽に供給し、液再
生槽に供給された汚液を所定温度に加熱して、汚液中に
含まれる溶剤を蒸発気化すると共に、その蒸気化した溶
剤を冷却手段（冷凍機）により凝縮液化して再生する装
置（実願平２−６５６４４号公報参照）がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した装置
は、汚液中に含まれる溶剤のみを蒸発気化して分離する
ので、新液に近い状態に溶剤を再生することができる
が、蒸発気化せずに残った廃液中には、約１０％程度の
溶剤が含まれており、汚液中から溶剤を完全に回収する
ことができない。

【０００４】また、汚液中に含まれる溶剤を、通常の大
気圧に於いて、通常の沸点温度に加熱して蒸発気化する
と、汚液中の油分が飛散又は蒸発したりして、溶剤の蒸
気中に混入するので、溶剤の純度が低く、回収効率が悪
い。

【０００５】溶剤が含まれる廃液を、産業廃棄物として
廃棄処分するので、ワークの洗浄回数が多くなるほど、
その溶剤の損失量が増加し、コストアップとなる問題点
を有している。

【０００６】この発明は上記問題に鑑み、真空発生手段
により真空状態を作り出し、加熱手段による加熱又は予
熱で汚液中の溶剤を蒸発気化して分離し、その溶剤の蒸
気を冷却手段により凝縮液化して回収するので、汚液中
に含まれる溶剤を略完全に分離回収することができ、溶
剤の損失量を抑えることができる溶剤回収装置の提供を
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ワーク洗浄に使用された汚液中から溶剤のみを分離回収
する溶剤回収装置であって、上記汚液を貯溜する汚液貯
溜槽と、上記溶剤を貯溜する溶剤貯溜槽の間に真空状態
を作り出す真空発生手段を設け、上記汚液貯溜槽に貯液
される汚液中の溶剤を蒸発気化可能に設けると共に、上
記汚液貯溜槽と溶剤貯溜槽の間に、上記溶剤を移送する
移送手段及び該溶剤の蒸気を凝縮液化する冷却手段を設
けた溶剤回収装置であることを特徴とする。

【０００８】請求項２記載の発明は、上記請求項１記載
の構成と併せて、上記汚液貯溜槽に、予め任意温度に蓄
熱された汚液を貯溜可能に設けた溶剤回収装置であるこ
とを特徴とする。

【０００９】請求項３記載の発明は、上記請求項１記載
の構成と併せて、上記汚液貯溜槽に、上記汚液中の溶剤
が蒸発気化する温度に加熱する加熱手段を設けた溶剤回
収装置であることを特徴とする。

【００１０】

【作用】請求項１記載の溶剤回収装置は、真空発生手段
により汚液貯溜槽と溶剤貯溜槽の間に真空状態を作り出
し、真空状態に於いて、任意温度に蓄熱された予熱又は
任意温度に加熱して、汚液貯溜槽に貯液された汚液中
（又は廃液中）の溶剤を、通常の沸点よりも低い温度で
蒸発気化して分離する。その蒸発気化した溶剤の蒸気
を、移送手段により汚液貯溜槽から溶剤貯溜槽に移送
し、冷却手段により溶剤の蒸気を任意温度に冷却及び凝
縮液化して回収するので、汚液中に含まれる溶剤を略完
全に分離回収することができる。

【００１１】請求項２記載の溶剤回収装置は、上記請求
項１記載の作用と併せて、真空状態に於いて、例えば加
熱ヒータ等による加熱時に蓄熱された予熱により、汚液
貯溜槽に貯溜された汚液中に含まれる溶剤を蒸発気化す
るので、汚液中の溶剤が通常の沸点よりも低い温度で蒸
発気化され、回収時に於いて、油分等の異物が混入する
のを確実に防止することができる。且つ、加熱手段を設
ける必要が無く、構成を簡素化することができる。

【００１２】請求項３記載の溶剤回収装置は、上記請求
項１記載の作用と併せて、真空状態に於いて、汚液貯溜
槽に貯溜された汚液を加熱手段により加熱し、汚液中に
含まれる溶剤を蒸発気化するので、汚液中の溶剤が通常
の沸点よりも低い温度で蒸発気化され、回収時に於い
て、油分等の異物が混入するのを確実に防止することが
できる。

【００１３】

【発明の効果】この発明によれば、真空発生手段により
作り出された真空状態に於いて、任意温度に蓄熱された
予熱又は加熱により、汚液中又は廃液中に含まれる溶剤
を蒸発気化して分離した後、その溶剤の蒸気を冷却手段
により凝縮液化して回収するので、汚液中から溶剤が強
制的に抜き取られ、汚液中に含まれる溶剤を略完全に分
離回収することができる。

【００１４】しかも、真空状態に於いて、汚液中に含ま
れる溶剤は、通常の沸点よりも低い温度で蒸発気化する
ため、汚液中の油分が飛散又は蒸発する等して、溶剤の
蒸気中に油分等の異物が混入するのを確実に防止するこ
とができ、新液に近い純度に回復させることができる。

【００１５】さらに、新液に近い状態に溶剤が再生され
るため、ワークを洗浄する作業等に何回も使用すること
ができ、産業廃棄物として廃棄される溶剤の損失量を抑
えることができ、回収効率の向上及びコストの低減を図
ることができる。

【００１６】

【実施例】この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳
述する。図面は、ワーク洗浄に使用した汚液及び廃液か
ら溶剤を分離回収するときに用いられる溶剤回収装置を
示し、図１に於いて、この溶剤回収装置１は、ワーク
（図示省略）の洗浄処理に使用された汚液Ａ（例えば約
４０％の油と、約６０％の溶剤が含まれる液）を貯溜す
る汚液貯溜槽２と、汚液貯溜槽２から供給される汚液Ｂ
中の溶剤Ａを分離して再生する汚液再生槽３と、分離さ
れずに残った廃液Ｃ（例えば約９０％の油と、約１０％
の溶剤が含まれる液）を貯溜する廃液貯溜槽４と、廃液
Ｃから分離された再生溶剤Ａを貯溜する再生液貯溜槽５
と、蒸発気化した溶剤Ａの蒸気Ａａを凝縮液化する冷凍
機６と、新液に近い状態に再生された溶剤Ａを回収する
溶剤回収槽７から構成される。

【００１７】汚液回収槽２の底部と、汚液再生槽３の上
流側壁部は、バルブ９，１０及びポンプ１１を介して汚
液供給路１２で接続され、ポンプ１１の移送力により、
汚液回収槽２に貯溜された汚液Ｂを汚液再生槽３に供給
する。

【００１８】汚液再生槽３の内部には、汚液供給路１２
から吐出される汚液Ｂを流下する流下板１４を斜設して
いる。

【００１９】流下板１４は、汚液再生槽３の上流側（左
側）から下流側（右側）に向けて汚液Ｂを流下する角度
に斜設され、流下板１４の上面側には、複数の突起１４
ａを流下方向に対して所定間隔に隔てて形成すると共
に、その突起１４ａを、汚液Ｂが乗り越えが可能な任意
の大きさ及び形状、高さ、幅に形成している。

【００２０】流下板１４の上流側には、汚液供給路１２
の吐出側と対向して液受け部１５を形成している。

【００２１】液受け部１５は、汚液供給路１２から吐出
される汚液Ｂを、汚液再生槽３の上流側内壁面に沿って
流下させ、流下板１４の上流側に流下又は滴下する。

【００２２】流下板１４の下流側には、蒸発気化せずに
流下した汚液Ｂを貯溜する廃液貯溜部１６を形成し、そ
の廃液貯溜部１６の側部には、後述する凝縮コイル２２
により凝縮液化した溶剤Ａを貯溜する溶剤貯溜部１７を
形成している。

【００２３】貯溜部１６，１７の間に形成した仕切り板
１８は、溶剤Ａ中に汚液Ｂが混入するのを阻止してい
る。

【００２４】流下板１４の下部には、加熱媒体Ｇ（例え
ばオイル、水又はその他の熱伝導性の良い液状の流体）
を貯溜する媒体貯溜部２０を形成している。

【００２５】媒体貯溜部２０の底部には、流下板１４に
沿って流下する汚液Ｂを間接的に加熱（溶剤Ａを蒸発気
化する温度）する加熱ヒータ２１を配設している。

【００２６】加熱ヒータ２１は、媒体貯溜部２０に貯溜
された加熱媒体Ｇを、汚液Ｂ中に含まれる溶剤Ａが蒸発
気化する温度（沸点）に加熱し、その加熱媒体Ｇから伝
導される熱で流下板１４に沿って流下する汚液Ｂを間接
的に加熱し、汚液Ｂ中に含まれる溶剤Ａを蒸発気化す
る。

【００２７】なお、流下板１４の裏面側に装着したヒー
タ（図示省略）の発熱温度を制御して、流下板１４に沿
って流下する汚液Ｂを直接加熱してもよい。

【００２８】溶剤貯溜部１７の上部空間には、蒸発気化
した溶剤Ａの蒸気Ａａを凝縮液化する凝縮コイル２２を
配設している。

【００２９】凝縮コイル２２は、後述する冷凍機６から
供給される冷却媒体（図示省略）により、汚液再生槽３
及び溶剤貯溜部１７の内部空間に放出された溶剤Ａの蒸
気Ａａを凝縮液化する温度に冷却される。

【００３０】廃液貯溜槽４の底部と、廃液貯溜部１６の
底部は、密閉状態を維持するバルブ２４（例えばモータ
バルブ、電磁バルブ又はその他の制御バルブ）を介して
廃液供給路２５で接続され、バルブ２４を開放して、廃
液貯溜部１６に貯溜された廃液Ａを廃液貯溜槽４に供給
する。

【００３１】汚液貯溜槽２に貯溜された全汚液Ｂの供給
が完了し、廃液貯溜部１６から供給される廃液Ｃで廃液
貯溜槽４内が満たされたとき、バルブ２４を閉塞する。

【００３２】廃液貯溜槽４と、再生液貯溜槽５の間に
は、真空度計２７と、凝縮槽２９と、真空発生器３１
と、ポンプ３２を配設している。

【００３３】廃液貯溜槽４の上部と、凝縮槽２９の上部
（吸入側端部）は、真空度計２７を介して再生液供給路
２８で接続され、その真空度計２７により再生液供給路
２８内に生じる真空圧を計測する。

【００３４】凝縮槽２９の内部には、加熱ヒータ２１に
よる加熱時の予熱により蒸発気化した溶剤Ａの蒸気Ａａ
を凝縮液化する凝縮コイル３０を配設している。

【００３５】凝縮コイル３０は、後述する冷凍機６から
供給される冷却媒体（図示省略）により、凝縮槽２９内
に吸入される溶剤Ａの蒸気Ａａを凝縮液化する温度（例
えばマイナス約５℃）に冷却するが、任意の冷却温度に
変更してもよい。

【００３６】再生液貯溜槽５の下部と上部は、真空発生
器３１（例えば商品名＝エダクター）及びポンプ３２を
介して液循環路３３で接続され、上述した凝縮槽２９の
下部（吐出側端部）と、真空発生器３１の吸入側は、液
吸入路３４で接続され、ポンプ３２の移送力により、再
生液貯溜槽５に貯溜された再生溶剤Ａを循環して、真空
発生器３１により廃液貯溜槽４に貯溜された廃液Ｃを吸
引するのに必要な真空圧（例えば約１０Torr）を発生さ
せるが、任意の真空圧に変更してもよい。

【００３７】再生液貯溜槽５の内部（溶剤Ａ中に浸漬さ
れる高さ）には、ポンプ３２を通過するときに加熱され
た溶剤Ａを所定の温度に冷却するための冷却コイル３５
を配設している。

【００３８】冷却コイル３５は、後述する冷凍機６から
供給される冷却媒体（図示省略）により、液循環路３３
を循環する溶剤Ａを所定の温度（例えば沸点よりも低い
温度＝約３０℃）に冷却するが、任意の冷却温度に変更
してもよい。

【００３９】再生液貯溜槽５の上部と、上述した溶剤貯
溜部１７の側部（液面よりも上位）は、液返還路３６で
接続され、再生液貯溜槽５に貯溜された再生溶剤Ａを溶
剤貯溜部１７に返還供給する。

【００４０】なお、真空発生器３１及びポンプ３２に代
えて、例えば真空ポンプ又はその他の真空状態を発生さ
せるための真空発生手段を設けてもよい。

【００４１】溶剤回収槽７の上部と、溶剤貯溜槽１７の
底部（液面よりも上位）は、液回収路３７で接続され、
溶剤貯溜槽１７に貯溜された再生溶剤Ａを溶剤回収槽７
に供給する。

【００４２】冷凍機６は、上述した凝縮コイル２２，３
０と、冷却コイル３５に接続され、適宜温度に冷却され
た冷却媒体（図示省略）を凝縮コイル２２，３０及び冷
却コイル３５に循環供給する。

【００４３】凝縮コイル２２は、汚液再生槽３及び溶剤
貯溜部１７の内部空間に放出された溶剤Ａの蒸気Ａａを
凝縮液化して、溶剤貯溜部１７に滴下する。

【００４４】凝縮コイル３０は、凝縮槽２９内に吸入さ
れる溶剤Ａの蒸気Ａａを凝縮液化して、再生液貯溜槽５
に供給する。

【００４５】冷却コイル３５は、ポンプ３２を通過する
ときに加熱された溶剤Ａを所定の温度に冷却又は保冷す
る。つまり、ポンプ３２を通過するとき、その駆動時に
発生する熱により溶剤Ａが加熱され、温度が徐々に上昇
する。

【００４６】溶剤Ａの温度上昇に伴い、ポンプ３２の移
送能力が低下するので、液循環路３３を循環する溶剤Ａ
を所定の温度に冷却することにより、ポンプ３２の移送
能力を維持又は保持することができる。

【００４７】図示実施例は上記の如く構成するものにし
て、以下、溶剤回収装置１により汚液Ｂ及び廃液Ｃから
溶剤Ａを分離回収する方法を説明する。先ず、図１に示
すように、バルブ９，１０を開放し、ポンプ１１を駆動
して、汚液貯溜槽２に貯溜された汚液Ｂ（例えば約４０
％の油と、約６０％の溶剤が含まれる液）を、汚液再生
槽３に供給する。

【００４８】汚液供給路１２から吐出される汚液Ｂを、
液受け部１５を介して、流下板１４に流下又は滴下する
と共に、流下板１４に形成した突起１４ａ…を乗り越え
させながら流下供給する。

【００４９】流下途中に於いて、媒体貯溜部２０に貯溜
された加熱媒体Ｇを加熱ヒータ２１で加熱し、流下板１
４に沿って流下する汚液Ｂを間接的に加熱して、汚液Ｂ
中に含まれる溶剤Ａのみを蒸発気化させ、その溶剤Ａの
蒸気Ａａを、汚液再生槽３の内部空間に放出する。

【００５０】溶剤貯溜部１７の上方に放出された溶剤Ａ
の蒸気Ａａを凝縮コイル２２で冷却して、凝縮液化した
溶剤Ａを溶剤貯溜部１７に滴下するので、新液に近い状
態に溶剤Ａを再生することができる。

【００５１】一方、蒸発気化せずに流下する汚液Ｂ（約
９０％の油と、約１０％の溶剤が含まれる液）は、加熱
ヒータ２１による加熱時の予熱を蓄熱したまま流下板１
４に沿って流下し、廃液貯溜部１６に貯溜される。

【００５２】バルブ２４を開放して、廃液貯溜部１６に
貯溜された廃液Ｃを廃液貯溜槽４に供給する。

【００５３】汚液貯溜槽２に貯溜された全汚液Ｂの供給
が完了し、廃液貯溜槽４内が廃液Ｃで満たされたとき、
バルブ２４を閉塞し、密閉状態を維持する。

【００５４】廃液貯溜槽４に貯溜された廃液Ｃには、加
熱ヒータ２１による間接加熱時の予熱が蓄熱されている
ので、ポンプ３２を駆動して、再生液貯溜槽５に貯溜さ
れた再生溶剤Ａを循環させ、真空発生器３１により真空
状態（例えば約１０Torr）を作り出したとき、通常の沸
点（例えば約５４℃）よりも低い温度（例えば約２０
℃）で、廃液Ｃ中に含まれる溶剤Ａが蒸発気化して、凝
縮槽２９に吸入される。

【００５５】凝縮槽２９内に吸入された溶剤Ａの蒸気Ａ
ａを、凝縮コイル３０で冷却（約マイナス５℃又は任意
の温度で冷却）して、凝縮液化した再生溶剤Ａを再生液
貯溜槽５に供給すると共に、冷却コイル３５によりポン
プ３２を通過するときに加熱された溶剤Ａを所定の温度
（例えば約３０℃）に冷却して貯溜するので、廃液Ｃ中
に含まれる溶剤Ｂを略完全（約１００％）に分離回収す
ることができる。

【００５６】再生液貯溜槽５に貯溜された再生溶剤Ａ
は、汚液再生槽３の溶剤貯溜部１７に返還供給し、比重
差を利用して溶剤Ａ中に含まれる水分を分離する。

【００５７】溶剤貯溜槽１７の液面よりも下部に貯溜さ
れた純度の高い溶剤Ａを溶剤回収槽７に供給し、その溶
剤Ａを、ワーク（図示省略）を洗浄する作業等に使用す
る。

【００５８】以上のように、真空発生機３１及びポンプ
３２により作り出された真空状態に於いて、加熱ヒータ
２１による加熱時に蓄熱された予熱により廃液Ｃ中に含
まれる溶剤Ａを蒸発気化して分離した後、その溶剤Ａの
蒸気Ａａを凝縮コイル３０により凝縮液化して回収する
ので、廃液Ｃ中から溶剤Ａが強制的に抜き取られ、廃液
Ｃ中に含まれる溶剤Ａを略完全に分離回収することがで
きる。

【００５９】しかも、真空状態に於いて、廃液Ｃ中に含
まれる溶剤Ａは、通常の沸点よりも低い温度で蒸発気化
するため、廃液Ｃ中の油分が飛散又は蒸発する等して、
溶剤Ａの蒸気Ａａ中に油分等の異物が混入するのを確実
に防止することができ、新液に近い純度に回復させるこ
とができる。

【００６０】さらに、新液に近い状態に溶剤Ｂが再生さ
れるため、ワークを洗浄する作業等に何回も使用するこ
とができ、産業廃棄物として廃棄される溶剤Ａの損失量
を抑えることができ、回収効率の向上及びコストの低減
を図ることができる。

【００６１】図２は、溶剤回収装置１により汚液Ｂ中か
ら溶剤Ａのみを分離回収する他の回収方法（例えばバッ
チ方法）を示し、真空発生器３１及びポンプ３２により
真空状態を作り出し、密閉状態の汚液貯溜槽２に貯溜さ
れた汚液Ｂ（例えば約４０％の油と、約６０％の溶剤が
含まれる液）を加熱ヒータ２１により任意温度に加熱し
て、汚液Ｂ中に含まれる溶剤Ａを通常の沸点よりも低い
温度で蒸発気化する。

【００６２】その溶剤Ａの蒸気Ａａを凝縮槽２９に吸入
し、凝縮コイル３０により任意温度に冷却して、凝縮液
化した再生溶剤Ａを再生液貯溜槽５に供給するので、汚
液Ｂ中に含まれる溶剤Ｂを略完全（約１００％）に分離
回収することができ、上述した実施例と同等の作用効果
を奏することができる。

【００６３】且つ、汚液再生槽３又はその他の槽を設け
る必要が無く、装置全体の構成を簡素化することができ
る。なお、上述した実施例と同一構成の部分は同一の符
号を記して、その詳細な説明を省略する。

【００６４】この発明の構成と、上述の実施例との対応
において、この発明の汚液は、実施例の汚液Ｂ及び廃液
Ｃに対応し、以下同様に、汚液貯溜槽は、汚液貯溜槽
２、廃液貯溜槽４に対応し、溶剤貯溜槽は、再生液貯溜
槽５、溶剤回収槽７、溶剤貯溜部１７に対応し、移送手
段は、再生液供給路２８、液循環路３３、液吸入路３
４、ポンプ３２に対応し、加熱手段は、加熱媒体Ｇ、加
熱ヒータ２１に対応し、真空発生手段は、バルブ２４、
真空発生器３１、ポンプ３２に対応し、冷却手段は、凝
縮槽２９、凝縮コイル３０に対応するも、この発明は、
上述の実施例の構成のみに限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 溶剤回収装置による溶剤の回収方法を示す系
統図。

【図２】 溶剤回収装置による溶剤の他の回収方法を示
す系統図。

【符号の説明】

Ａ…溶剤 Ａａ…蒸気 Ｂ…汚液 Ｃ…廃液 １…溶剤回収装置 ２…汚液貯溜槽 ３…汚液再生槽 ４…廃液貯溜槽 ５…再生液貯溜槽 ６…冷凍機 ７…溶剤回収槽 １６…廃液貯溜部 １７…溶剤貯溜部 ２１…加熱ヒータ ２４…バルブ ２９…凝縮槽 ３０…凝縮コイル ３１…真空発生器 ３２…ポンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B201 AA01 BB95 CD21 4D002 AA21 AB03 AC10 BA12 BA13 BA20 EA20 FA01 GA02 GA03 GB03 GB04 4D076 AA12 AA22 BB13 BC01 CA13 CB02 CB03 CB04 CB06 CB12 CD22 DA02 DA14 DA22 EA02X EA04X EA09X EA12X EA14X FA31 HA05

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワーク洗浄に使用された汚液中から溶剤の
   みを分離回収する溶剤回収装置であって、上記汚液を貯
   溜する汚液貯溜槽と、上記溶剤を貯溜する溶剤貯溜槽の
   間に真空状態を作り出す真空発生手段を設け、上記汚液
   貯溜槽に貯液される汚液中の溶剤を蒸発気化可能に設け
   ると共に、上記汚液貯溜槽と溶剤貯溜槽の間に、上記溶
   剤を移送する移送手段及び該溶剤の蒸気を凝縮液化する
   冷却手段を設けた溶剤回収装置。
2. 【請求項２】上記汚液貯溜槽に、任意温度に蓄熱された
   汚液を貯溜可能に設けた請求項１記載の溶剤回収装置。
3. 【請求項３】上記汚液貯溜槽に、上記汚液中の溶剤が蒸
   発気化する温度に加熱する加熱手段を設けた請求項１記
   載の溶剤回収装置。