JP2000031784A - 弾性表面波マッチトフィルタ - Google Patents

弾性表面波マッチトフィルタ

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JP2000031784A JP20164898A JP20164898A JP2000031784A JP 2000031784 A JP2000031784 A JP 2000031784A JP 20164898 A JP20164898 A JP 20164898A JP 20164898 A JP20164898 A JP 20164898A JP 2000031784 A JP2000031784 A JP 2000031784A
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    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
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Abstract

(57)【要約】 【課題】スペクトラム拡散通信に使用する弾性表面波マ
ッチトフィルタにおいて、出力復調信号のピークレベル
の低下およびそれに基づくS/Nの低下を防止し、信号
処理回路の簡単化および消費電力の低減を図る。 【解決手段】サファイア基体の表面に圧電性の窒化アル
ミ薄膜を形成した薄膜基板を有する弾性表面波マッチト
フィルタの出力側電極のタップ間隔を、位相速度ではな
く、群速度に基づいて設計することにより、タップ間隔
と入力されたスペクトラム拡散信号との同期がとれ、相
関ピークレベルを改善できる。群速度をv g 、スペクト
ラム拡散信号のチップレートをf1とするとき、タップ間
の間隔Lを、vg /f1 ×0.97 ≦L≦vg /f1 ×1.02と
することにより、位相速度に基づいて設計された従来の
弾性表面波マッチトフィルタの相関ピークのS/Nの低
下が7dBもあったものが、3dB以内に抑えることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電性材料より成
る基板と、この基板の表面上に形成され、スペクトラム
拡散信号が供給される入力側電極と、前記基板の表面上
に形成され、入力側電極から伝搬される弾性表面波を受
けて復調信号を出力するタップ付き遅延線を構成するよ
うに形成された出力側電極とを具える弾性表面波マッチ
トフィルタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】上述した種類の弾性表面波マッチトフィ
ルタは、弾性表面波コリレータとも呼ばれており、スペ
クトラム拡散通信において、スペクトラム拡散信号を復
調するのに用いられている。図1はこのようなスペクト
ラム拡散通信の動作原理を示す線図である。図1Aは伝
送すべきベースバンド信号であり、そのデータレートを
f2(ビット/秒)とする。このベースバンド信号を図1
Bに示すように、ここでは11001 の符号長N=5のPN
符号に変換する。このPN符号のチップレートをf1とす
る。さらにこのPN符号で、キャリア周波数f0を変調し
て得られるスペクトラム拡散信号を図1Cに示す。した
がって、スペクトラム拡散信号の中心周波数はf0とな
る。
【0003】このようにして得られるスペクトラム拡散
信号が伝送され、弾性表面波マッチトフィルタ1の入力
側電極2に供給される様子を図1Dに示す。弾性表面波
マッチトフィルタ1はさらに出力側電極3を具えてお
り、ここから復調信号を得るようにしている。出力側電
極3はタップ付き遅延線で構成されており、弾性表面波
マッチトフィルタの基板表面を伝搬する弾性表面波の速
度をvとするとき、それぞれ周期λがv/f0に等しく、
タップ間隔Lがv/f1に等しく、タップのパターンがP
N符号の極性に応じて決められている電極指の配列を有
している。今、理想的な状態であるとすると、出力側電
極3からは図1Eに示すように、元のベースバンド信号
に対して強い相関を有する復調信号が出力されることに
なる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の弾性表面波マッ
チトフィルタにおいては、上述したように出力側電極3
のタップ間隔Lをv/f1に等しく設計しているが、この
場合の弾性表面波の速度は位相速度である。この位相速
度は、或るシステムを単一周波数の正弦波が伝搬する速
度して定義されるものである。しかしながら、このよう
にして設計した弾性表面波マッチトフィルタにおいて、
入力されたスペクトラム拡散信号との同期がとれず、得
られる出力信号の相関ピークレベルが低下することがあ
ることを確かめた。
【0005】上述したように、出力信号の相関ピークレ
ベルが低下する原因を種々検討した結果、弾性表面波の
位相速度を基準としてタップ間隔を設計しているためで
あることが判明した。すなわち、最近では弾性表面波マ
ッチトフィルタの圧電基板として種々のものが採用され
るようになってきており、特に高周波数化を図るため
に、サファイヤやダイヤモンドなど高い弾性表面波速度
が得られる基体上に、圧電性を示す窒化アルミや酸化亜
鉛などの薄膜を堆積した薄膜基板が検討され、このよう
な薄膜基板を用いる場合に、特に出力信号の相関ピーク
レベルの低下が顕著に発生することを確かめた。
【0006】その理由をさらに検討したところ、上述し
たような薄膜基板は、従来の単結晶で造られた基板がほ
ぼ非分散性であるのに対し分散性を有し、したがってそ
のような基板を伝搬する弾性表面波は位相速度ではなく
群速度が支配的となり、従来の位相速度に基づいて設計
された弾性表面波マッチトフィルタでは、スペクトラム
拡散信号との同期がとれず、出力信号の相関ピークが低
下してしまうためであることが確認された。
【0007】また、上述したように、弾性表面波マッチ
トフィルタのタップ間隔と、スペクトラム拡散信号との
同期外れが原因で出力信号の相関ピークが低下してしま
うことは薄膜基板を用いる場合だけに生じるものではな
く、分散特性を持つ基板を使用する場合に共通に生じる
ものである。このように出力信号の相関ピークレベルの
低下があると、出力信号のS/Nが低下するばかりでは
なく、S/Nの低下に対処するために複雑で高価な信号
処理回路が必要となり、このような弾性表面波マッチト
フィルタを組み込んだ通信機器の消費電力も増大してし
まうという問題もある。ここで、弾性表面波マッチトフ
ィルタの出力信号のS/Nは、〔マッチトフィルタ出力
のピーク値〕と、〔ピーク出力時間以外での出力の最大
値〕との比として表されるものである。
【0008】本発明の目的は、上述した従来の欠点を解
消し、圧電特性を有する基板の分散性に起因するスペク
トラム拡散信号との同期外れに起因する出力復調信号の
相関ピークの低下を有効に防止し、したがって出力信号
のS/Nを向上し、複雑で高価な信号処理回路を必要と
せず、その結果システムの消費電力も小さく抑えること
ができる弾性表面波マッチトフィルタを提供しようとす
るものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電性材料よ
り成る基板と、この基板の表面上に形成され、スペクト
ラム拡散信号が供給される入力側電極と、前記基板の表
面上に形成され、入力側電極から伝搬される弾性表面波
を受けて復調信号を出力するタップ付き遅延線を構成す
るように形成された出力側電極とを具える弾性表面波マ
ッチトフィルタにおいて、前記出力側電極のタップ間の
間隔が、弾性表面波の群速度に基づいて設計した値を有
することを特徴とするものである。
【0010】本発明による弾性表面波マッチトフィルタ
においては、前記スペクトラム拡散信号の中心周波数を
f0、チップレートをf1、データレートをf2とし、弾性表
面波の群速度をV g とするとき、前記タップ間の間隔L
を、 Vg /f1 ×0.97 ≦L≦ Vg /f1 ×1.02 とするのが好適である。タップ間隔Lをこのような範囲
に選択することによって弾性表面波マッチトフィルタの
出力信号のS/Nを最適な値からほぼ3dB低下した範囲
内に収めることができ、実用上十分なS/Nを有する弾
性表面波マッチトフィルタを提供することができる。
【0011】さらに、本発明による弾性表面波マッチト
フィルタにおいては、前記圧電性材料より成る基板を、
サファイア(Al2O3) やダイヤモンド(C) などで形成され
た基体の表面に、窒化アルミ(AlN) または酸化亜鉛(Zn
O) の圧電性薄膜を堆積した薄膜基板とするのが好適で
ある。このような薄膜基板によれば、基体を構成するサ
ファイアやダイヤモンドなどは弾性表面波速度が高いの
で、高周波数化が可能である。さらに、シリコン(Si)の
上に、ダイヤモンド薄膜を堆積した基体の表面に窒化ア
ルミや酸化亜鉛などの圧電性薄膜を堆積した薄膜基板を
使用することもできる。一般に弾性表面波のエネルギー
は表面からそのほぼ1〜2波長以内に殆ど含まれている
ので、上述した薄膜基板においては、表面の薄膜の膜厚
はほぼ1〜2波長以下とすることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】図2は本発明による弾性表面波マ
ッチトフィルタの一実施例の構成を示す線図である。本
例では、圧電性基板11の表面に、入力端子14からのスペ
クトラム拡散信号を受けて弾性表面波に変換する入力側
電極12と、このスペクトラム拡散信号との相関を表す出
力復調信号を出力端子15へ発生する出力側電極13とを設
けている。本例では、基板11は、厚さ0.5mm 程度のサフ
ァイア基体の上に膜厚がほぼ1μm の窒化アルミ(AlN)
より成る薄膜を堆積して形成したものである。このよう
な基板11を使用する場合には、サファイア基体の弾性表
面波伝搬速度が高いので高周波数化が可能となる。
【0013】ここで、出力側電極13の電極指の電極ピッ
チをλとし、タップ間距離、すなわちタップ間隔をLと
し、また、入力スペクトラム拡散信号の中心周波数をf0
とし、信号のチップレートをf1とし、データレートをf2
とする。弾性表面波マッチトフィルタにおいては、従来
から位相速度vs に基づいてタップ間隔Lを設計してい
る。すなわち、タップ間隔Lは、L=vs /f1 で与えら
れるが、λ=vs /f0 の関係があるので次式(1) が得ら
れる。 L=f0λ/f1 ---(1) 例えば、f0=2484 MHz 、f1=22 MHz の場合には、タップ
間隔L=112.9 λとなるように設計していた。しかしな
がら、このように位相速度vs に基づいてタップ間隔L
を設計した弾性表面波マッチトフィルタでは、相関ピー
クのレベルが低下することを確かめた。
【0014】本発明による弾性表面波マッチトフィルタ
においては、タップ間隔Lを、従来のように位相速度v
s で設計せず、群速度vg に基づいて設計する。ここ
で、位相速度vs と群速度vg との間には周知のように
下式(2) で示す関係がある。
【数1】 ただし、k = 2π/λ従来の単一の単結晶より成る圧電
基板は非分散性であり、位相速度vs と群速度vg とは
ほぼ等しいので、位相速度vs に基づいてタップ間隔L
を設計しても群速度vg に基づいて設計しても殆ど差が
なかった。しかし、本例のような薄膜基板11は分散特性
を有しているので、位相速度vs と群速度vg とはかな
り相違している。したがって、従来のように、タップ間
隔Lを位相速度vs に基づいて設計した場合には、最適
な間隔からずれてしまい、相関ピークのレベルが低下し
てしまう。
【0015】図3は、サファイア基体の上に窒化アルミ
の薄膜を形成した基板を用い、25°Cのときの、波長λ
で正規化した窒化アルミの膜厚hと、位相速度v s およ
び群速度vg との関係を示すグラフである。曲線Aおよ
びBは、基板上に厚さ零の導電膜が存在する短絡状態に
おける位相速度vs および群速度vg を示し、曲線Cお
よびDは、そのような導電膜がない開放状態での位相速
度vs および群速度vg を示すものである。弾性表面波
マッチトフィルタでは、電極の総表面積は基板の全面積
に比べて非常に小さいので、開放状態での位相速度vs
および群速度vg を採用することができる。したがっ
て、例えば、窒化アルミの膜厚を1μm としたとき(h/
λ=0.42)の位相速度vs は5854 m/sec であるのに対
し、群速度vg は5575 m/sec である。
【0016】上述した数値例において、位相速度vs
基づいて設計した場合、チップレートf2がどのような値
になるのかを次に計算する。基板を構成する圧電性を有
する窒化アルミの薄膜の膜厚を1μm とすると、位相速
度vs は上述したように5854 m/sec となり、群速度v
g は5575 m/sec となる。したがって、従来の位相速度
s に基づいて設計された弾性表面波マッチトフィルタ
のタップ間隔L(=112.9 λ) に適合したチップレートf1
を求めると、次式(3) のようになる。 f1=vg / L=vg /(112.9λ) =5575/(112.9 ×5854÷2484) =20.953 MHz ---(3) すなわち、従来のように位相速度vs に基づいてタップ
間隔Lを設計した場合には、チップレートf1が正規の22
MHz からずれてしまい、20.953 MHz となってしまう
ことがわかる。
【0017】このような条件で、本発明による弾性表面
波マッチトフィルタを設計する場合には、タップ間隔L
を112.9 λではなく、それよりも小さい107.5 λとする
ことによって所定のチップレートf1に適合したものを得
ることができる。このように群速度vg に基ずいてタッ
プ間隔Lを設計することにより、所定のチップレートf1
に適合させることができ、したがって相関ピークのレベ
ルを向上することができる。
【0018】上述したように群速度に基づいて設計され
た場合のタップ間隔L=107.5 λは以下のようにして求
めることができる。圧電基板の移相速度vs を5854 m/
sec 、中心周波数f0を2484 MHz としたとき、電極ピッ
チλは、λ= vs /f0 = 5848/2484 = 2.357μm とな
る。これに対して、タップ間距離Lは、群速度vg を55
75 m/sec とし、チップレートf1を22 MHz とすると、
L= vg /f1 = 5575/22×106 = 253.4 μm となる。し
たがって、上述したλ=2.357μm の関係から、次式(4)
が得られる。
【数2】
【0019】図4は、従来のように位相速度vs に基づ
いて設計した弾性表面波マッチトフィルタの出力信号を
示すものであり、図5は群速度vg に基づいて設計した
本発明による弾性表面波マッチトフィルタの出力信号を
示すものである。図4に示す従来の弾性表面波マッチト
フィルタでは、チップレートf1は22 MHzではなく、上
述したように20.953 MHz となっている。これらのグラ
フを比較すると分かるように、チップレートが所定の値
からずれている従来の弾性表面波マッチトフィルタにお
ける相関ピークレベルは、本発明による弾性表面波マッ
チトフィルタにおける相関ピークレベルよりも低くなっ
ている。
【0020】図6は、出力側電極のタップ間隔Lを群速
度vg に基づいて設計した場合の出力信号のS/Nを0d
B としたときの、基板音速の群速度からのずれ量に対す
る出力信号のS/Nの変化を示すものである。また、こ
の図6のグラフには、従来の位相速度vs に基づいてタ
ップ間隔Lを設計した弾性表面波マッチトフィルタの群
速度からのずれをも示している。このように従来の弾性
表面波マッチトフィルタでは、群速度からのずれがない
理想的な弾性表面波マッチトフィルタに比べて出力信号
のS/Nは7dBも低下している。本発明においては、種
々の実験検討の結果、群速度からのずれがない理想的な
弾性表面波マッチトフィルタに比べて出力信号のS/N
が3dB以内であれば、実用的に十分な弾性表面波マッチ
トフィルタを得ることができることを確かめた。したが
って、本発明では、タップ間隔Lを、理想的な値から-3
% 〜+2% の範囲内に抑えれば良いことがわかる。すなわ
ち、本発明においては、vg /f1 ×0.97 ≦L≦vg /f
1 ×1.02の範囲内とすることによって特に相関ピークレ
ベルの低下の小さい弾性表面波マッチトフィルタを実現
できることが分かった。
【0021】本発明は上述した実施例にのみ限定される
ものではなく、幾多の変更や変形が可能である。例え
ば、上述した実施例においては、基板としてサファイア
基体の表面に窒化アルミの薄膜を形成したものを使用し
たが、ダイヤモンド基体の表面に窒化アルミや酸化亜鉛
の薄膜を形成したものや、シリコンの表面にダイヤモン
ド薄膜を形成した基体を用い、その表面に窒化アルミや
酸化亜鉛などの圧電性薄膜を形成した基板を使用するこ
ともできる。すなわち、本発明においては、分散特性を
示す薄膜基板を有利に適用できるものである。しかし、
このような薄膜基板だけでなく、分散特性を示すもので
あればどのような基板を使用しても良い。さらに、上述
した種々の数値は単に例として説明したものであり、他
の数値を採用できることは勿論である。
【0022】
【発明の効果】上述した本発明による弾性表面波マッチ
トフィルタにおいては、出力側電極のタップ間隔を位相
速度ではなく群速度に基づいて設計したので、出力復調
信号の相関ピークレベルが改善され、S/Nの高い復調
信号が得られる。したがって、復調信号を処理する回路
も簡単で安価となるとともに消費電力を低減することが
できる利点がある。したがって、本発明の弾性表面波マ
ッチトフィルタは携帯用の小型の通信システムに採用す
る場合に特に有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1A〜1Eは、弾性表面波マッチトフィルタ
の動作を説明するための線図である。
【図2】図2は、本発明による弾性表面波マッチトフィ
ルタの一実施例の構成を示す線図である。
【図3】図3は、弾性表面波マッチトフィルタの基板を
構成する薄膜の相対膜厚と、位相速度および群速度との
関係を示すグラフである。
【図4】図4は、従来の弾性表面波マッチトフィルタに
おける復調信号を示すグラフである。
【図5】図5は、本発明による弾性表面波マッチトフィ
ルタにおける復調信号を示すグラフである。
【図6】図6は、本発明による弾性表面波マッチトフィ
ルタにおいて、理想的なタップ間隔からのずれ量と、復
調信号のS/Nとの関係を示すグラフである。
【符号の説明】
11 圧電性基板、12 入力側電極、13 出力側電極、 1
4 入力端子、15 出力端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀 裕二 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 日 本碍子株式会社内 Fターム(参考) 5J097 AA23 AA35 BB06 CC01 DD12 FF01 FF02 KK01 KK05 5K022 EE02 EE33

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧電性材料より成る基板と、この基板の表
    面上に形成され、スペクトラム拡散信号が供給される入
    力側電極と、前記基板の表面上に形成され、入力側電極
    から伝搬される弾性表面波を受けて復調信号を出力する
    タップ付き遅延線を構成するように形成された出力側電
    極とを具える弾性表面波マッチトフィルタにおいて、前
    記出力側電極のタップ間の間隔が、弾性表面波の群速度
    に基づいて設計した値を有することを特徴とする弾性表
    面波マッチトフィルタ。
  2. 【請求項2】前記スペクトラム拡散信号の中心周波数を
    f0、チップレートをf1、データレートをf2とし、弾性表
    面波の群速度をvg とするとき、前記タップ間の間隔L
    を、 vg /f1 ×0.97 ≦L≦vg /f1 ×1.02 としたことを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波マ
    ッチトフィルタ。
  3. 【請求項3】前記圧電性材料より成る基板を、分散性基
    板としたことを特徴とする請求項1または2に記載の弾
    性表面波マッチトフィルタ。
  4. 【請求項4】前記圧電性材料より成る基板を、弾性表面
    波伝搬速度が高い材料より成る基体と、その表面に形成
    した、圧電性を有する材料より成る薄膜とを具える薄膜
    基板としたことを特徴とする請求項3に記載の弾性表面
    波マッチトフィルタ。
  5. 【請求項5】前記基体を、サファイア(Al2O3) またはダ
    イヤモンド(C) で形成し、前記薄膜を窒化アルミ(AlN)
    または酸化亜鉛(ZnO) で形成したことを特徴とする請求
    項4に記載の弾性表面波マッチトフィルタ。
  6. 【請求項6】前記基体を、シリコン(Si)の上に、ダイヤ
    モンド薄膜を堆積したものとしたことを特徴とする請求
    項4に記載の弾性表面波マッチトフィルタ。
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