JP2000028511A - カンチレバー振幅測定方法および非接触原子間力顕微鏡 - Google Patents
カンチレバー振幅測定方法および非接触原子間力顕微鏡Info
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- JP2000028511A JP2000028511A JP10194762A JP19476298A JP2000028511A JP 2000028511 A JP2000028511 A JP 2000028511A JP 10194762 A JP10194762 A JP 10194762A JP 19476298 A JP19476298 A JP 19476298A JP 2000028511 A JP2000028511 A JP 2000028511A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 非接触原子間力顕微鏡において、カンチレバ
ーの発振振幅を直接正確に求められるようにする。 【解決手段】 非接触原子間力顕微鏡のカンチレバーを
加振して固有周波数で発振させた状態で試料１とカンチ
レバー２間の距離を変化させたときの距離変化に対する
カンチレバー発振周波数の変化特性を、異なるカンチレ
バー加振振幅に対してそれぞれ測定し、各カンチレバー
加振振幅に対する前記変化特性の急激な立ち上がり位置
の差からカンチレバーの発振振幅を求めるものである。
ーの発振振幅を直接正確に求められるようにする。 【解決手段】 非接触原子間力顕微鏡のカンチレバーを
加振して固有周波数で発振させた状態で試料１とカンチ
レバー２間の距離を変化させたときの距離変化に対する
カンチレバー発振周波数の変化特性を、異なるカンチレ
バー加振振幅に対してそれぞれ測定し、各カンチレバー
加振振幅に対する前記変化特性の急激な立ち上がり位置
の差からカンチレバーの発振振幅を求めるものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は非接触原子間力顕微
鏡（以下ＡＦＭという）に関し、特にカンチレバーの発
振振幅を直接求められるようにした方法、および係る方
法を用いた非接触原子間力顕微鏡に関するものである。
鏡（以下ＡＦＭという）に関し、特にカンチレバーの発
振振幅を直接求められるようにした方法、および係る方
法を用いた非接触原子間力顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５に示すように、試料１の表面にカン
チレバー２の先端を原子間力が作用する程度に近接させ
で走査し、試料表面の形状を観察する原子間力顕微鏡が
知られている。このような原子間力顕微鏡においては、
試料１とカンチレバー２の先端を近づけていくと、最初
両者間に引力が働き、さらに接近させると斥力が作用
し、これら作用する力を一定にするように試料１とカン
チレバー２の間の距離を制御することにより試料表面の
形状観察が行われる。
チレバー２の先端を原子間力が作用する程度に近接させ
で走査し、試料表面の形状を観察する原子間力顕微鏡が
知られている。このような原子間力顕微鏡においては、
試料１とカンチレバー２の先端を近づけていくと、最初
両者間に引力が働き、さらに接近させると斥力が作用
し、これら作用する力を一定にするように試料１とカン
チレバー２の間の距離を制御することにより試料表面の
形状観察が行われる。
【０００３】しかし、試料とカンチレバー先端間の斥力
を検出する方式では、試料とカンチレバーが非常に接近
している（実際にはカンチレバーを試料に押しつけた状
態）ために、試料とカンチレバーの相互作用が強くなる
と試料表面を破壊してしまう。そこで、試料とカンチレ
バーが比較的離れた所で働く引力を検出することで、試
料とカンチレバーを接触させることなく、試料の形状を
観察する非接触ＡＦＭが考えられた。しかし、斥力は、
試料とカンチレバー間の距離依存性が強いので、カンチ
レバーの撓みを測定することで検出することができる
が、引力は距離依存性が弱いので、カンチレバーの撓み
から引力を検出することは難しい。そこで、試料とカン
チレバー間の引力を検出する方法の１つとして周波数変
調（ＦＭ）検出法が用いられている。
を検出する方式では、試料とカンチレバーが非常に接近
している（実際にはカンチレバーを試料に押しつけた状
態）ために、試料とカンチレバーの相互作用が強くなる
と試料表面を破壊してしまう。そこで、試料とカンチレ
バーが比較的離れた所で働く引力を検出することで、試
料とカンチレバーを接触させることなく、試料の形状を
観察する非接触ＡＦＭが考えられた。しかし、斥力は、
試料とカンチレバー間の距離依存性が強いので、カンチ
レバーの撓みを測定することで検出することができる
が、引力は距離依存性が弱いので、カンチレバーの撓み
から引力を検出することは難しい。そこで、試料とカン
チレバー間の引力を検出する方法の１つとして周波数変
調（ＦＭ）検出法が用いられている。
【０００４】図６はこのようなＦＭ検出法を説明するブ
ロック図である。試料１は、Ｘ，Ｙドライバー（図示せ
ず）およびＺドライバー５で駆動されるピエゾスキャナ
ー９により、Ｘ，Ｙ方向に２次元走査されるとともに、
Ｚ方向に動かされるようになっている。カンチレバー２
の根元に接続したピエゾ素子４に発振制御アンプ３より
加振信号を加え、カンチレバー２をその共振周波数で振
動させる。カンチレバーの発振による変位は、その先端
にレーザ６からレーザ光を照射し、その反射を２分割光
センサー７で受光し、センサの各受光面の出力の差から
検出する光てこ方式を用いて検出している。発振制御ア
ンプ３は２分割光センサー７の出力が一定となるように
ピエゾ素子４を駆動する。ＦＭ復調器８は２分割光セン
サー７の出力を、その周波数に応じた電圧信号に変換
し、その出力でＺドライバー５を駆動し、カンチレバー
と試料との間の距離が一定に保たれるようにし、この時
のＺ駆動電圧が距離に換算されて画像信号として取り出
される。このようにカンチレバー２は共振周波数で振動
するが、カンチレバー２を試料に接近させ、試料との間
で力を受けると共振周波数が変化する。そこで共振周波
数が一定となるようにＺドライバー５の駆動電圧を変化
させ、カンチレバーと試料と間の距離を一定に保つよう
に制御したときのＺドライバー５の駆動電圧から試料表
面の凹凸の情報が得られて観察される。
ロック図である。試料１は、Ｘ，Ｙドライバー（図示せ
ず）およびＺドライバー５で駆動されるピエゾスキャナ
ー９により、Ｘ，Ｙ方向に２次元走査されるとともに、
Ｚ方向に動かされるようになっている。カンチレバー２
の根元に接続したピエゾ素子４に発振制御アンプ３より
加振信号を加え、カンチレバー２をその共振周波数で振
動させる。カンチレバーの発振による変位は、その先端
にレーザ６からレーザ光を照射し、その反射を２分割光
センサー７で受光し、センサの各受光面の出力の差から
検出する光てこ方式を用いて検出している。発振制御ア
ンプ３は２分割光センサー７の出力が一定となるように
ピエゾ素子４を駆動する。ＦＭ復調器８は２分割光セン
サー７の出力を、その周波数に応じた電圧信号に変換
し、その出力でＺドライバー５を駆動し、カンチレバー
と試料との間の距離が一定に保たれるようにし、この時
のＺ駆動電圧が距離に換算されて画像信号として取り出
される。このようにカンチレバー２は共振周波数で振動
するが、カンチレバー２を試料に接近させ、試料との間
で力を受けると共振周波数が変化する。そこで共振周波
数が一定となるようにＺドライバー５の駆動電圧を変化
させ、カンチレバーと試料と間の距離を一定に保つよう
に制御したときのＺドライバー５の駆動電圧から試料表
面の凹凸の情報が得られて観察される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、非接
触ＡＭＦは試料とカンチレバーを接触させることなしに
観察することから、カンチレバーと試料間の相互作用
（原子間力、静電気力等）の解析に用いられる。これに
は、カンチレバーと試料間の距離を正確に知る必要があ
り、カンチレバーの発振振幅を求めることが必要とな
る。カンチレバーを発振させると、２分割光センサーの
出力も正弦波となる。この正弦波の振幅とカンチレバー
の発振振幅は比例関係にあるが、発振振幅の絶対値に直
接換算することはできず、発振振幅自体の大きさを求め
ることはできない。また、カンチレバーの個体差やレー
ザ光のアライメント等により一定ではないので、カンチ
レバーを交換したり、アライメントを調整したときに
は、求め直す必要がある。
触ＡＭＦは試料とカンチレバーを接触させることなしに
観察することから、カンチレバーと試料間の相互作用
（原子間力、静電気力等）の解析に用いられる。これに
は、カンチレバーと試料間の距離を正確に知る必要があ
り、カンチレバーの発振振幅を求めることが必要とな
る。カンチレバーを発振させると、２分割光センサーの
出力も正弦波となる。この正弦波の振幅とカンチレバー
の発振振幅は比例関係にあるが、発振振幅の絶対値に直
接換算することはできず、発振振幅自体の大きさを求め
ることはできない。また、カンチレバーの個体差やレー
ザ光のアライメント等により一定ではないので、カンチ
レバーを交換したり、アライメントを調整したときに
は、求め直す必要がある。
【０００６】一般的に、コンタクトモードにおけるフォ
ースカーブ（Ｚ方向距離に対する２分割光センサー出
力）により発振振幅を求める方法が考えられる。図７は
コンタクトモードＡＦＭにおけるフォースカーブを示し
ている。フォースカーブとは、カンチレバーを試料に近
づけて接触させ、また遠ざけていった時のＺ方向の距離
の変化に対する２分割光センサーの出力周波数変化をカ
ーブに描いたもので、カンチレバーが試料と接触してい
る部分では直線を描く。この直線部分よりカンチレバー
の変位と２分割光センサーの出力周波数の関係を求める
ことができる。しかしこの方法は、カンチレバーを試料
に押しつけた部分を用いるので、試料表面やカンチレバ
ー先端を破壊する恐れがある。また、柔らかい試料で
は、カンチレバーを押しつけると試料が変形して正確な
関係を求めることができない。本発明は上記課題を解決
するためのもので、非接触原子間力顕微鏡においてカン
チレバーの発振振幅を直接正確に求められるようにする
ことを目的とする。
ースカーブ（Ｚ方向距離に対する２分割光センサー出
力）により発振振幅を求める方法が考えられる。図７は
コンタクトモードＡＦＭにおけるフォースカーブを示し
ている。フォースカーブとは、カンチレバーを試料に近
づけて接触させ、また遠ざけていった時のＺ方向の距離
の変化に対する２分割光センサーの出力周波数変化をカ
ーブに描いたもので、カンチレバーが試料と接触してい
る部分では直線を描く。この直線部分よりカンチレバー
の変位と２分割光センサーの出力周波数の関係を求める
ことができる。しかしこの方法は、カンチレバーを試料
に押しつけた部分を用いるので、試料表面やカンチレバ
ー先端を破壊する恐れがある。また、柔らかい試料で
は、カンチレバーを押しつけると試料が変形して正確な
関係を求めることができない。本発明は上記課題を解決
するためのもので、非接触原子間力顕微鏡においてカン
チレバーの発振振幅を直接正確に求められるようにする
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のカンチレバー振
幅測定方法は、非接触原子間力顕微鏡のカンチレバーを
加振して固有周波数で発振させた状態で試料とカンチレ
バー間の距離を変化させたときの距離変化に対するカン
チレバー発振周波数の変化特性を、異なるカンチレバー
加振振幅に対してそれぞれ測定し、各カンチレバー加振
振幅に対する前記変化特性の急激な立ち上がり位置の差
からカンチレバーの発振振幅を求めることを特徴とす
る。また、本発明の非接触原子間力顕微鏡は、先端が試
料に対向し、一端を加振手段に固定したカンチレバー
と、カンチレバーの変位を検出する変位検出器と、変位
検出器の出力が入力され、該出力を一定にするように前
記加振手段を制御する増幅器と、前記変位検出器出力の
周波数を検出する周波数検出器と、試料を２次元的に駆
動すると共に、前記検出した周波数が一定となるように
試料とカンチレバー先端との距離を変化させる試料駆動
手段とを備えた非接触原子間力顕微鏡において、前記増
幅器を制御して異なる加振電圧で加振手段をそれぞれ駆
動させると共に、各加振電圧における試料とカンチレバ
ー先端との距離変化に対する発振周波数の変化を前記周
波数検出器出力より検出し，各加振電圧における前記発
振周波数の急激な立ち上がり位置の差よりカンチレバー
の発振振幅を算出する制御装置を備えたことを特徴とす
る。
幅測定方法は、非接触原子間力顕微鏡のカンチレバーを
加振して固有周波数で発振させた状態で試料とカンチレ
バー間の距離を変化させたときの距離変化に対するカン
チレバー発振周波数の変化特性を、異なるカンチレバー
加振振幅に対してそれぞれ測定し、各カンチレバー加振
振幅に対する前記変化特性の急激な立ち上がり位置の差
からカンチレバーの発振振幅を求めることを特徴とす
る。また、本発明の非接触原子間力顕微鏡は、先端が試
料に対向し、一端を加振手段に固定したカンチレバー
と、カンチレバーの変位を検出する変位検出器と、変位
検出器の出力が入力され、該出力を一定にするように前
記加振手段を制御する増幅器と、前記変位検出器出力の
周波数を検出する周波数検出器と、試料を２次元的に駆
動すると共に、前記検出した周波数が一定となるように
試料とカンチレバー先端との距離を変化させる試料駆動
手段とを備えた非接触原子間力顕微鏡において、前記増
幅器を制御して異なる加振電圧で加振手段をそれぞれ駆
動させると共に、各加振電圧における試料とカンチレバ
ー先端との距離変化に対する発振周波数の変化を前記周
波数検出器出力より検出し，各加振電圧における前記発
振周波数の急激な立ち上がり位置の差よりカンチレバー
の発振振幅を算出する制御装置を備えたことを特徴とす
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は本発明の非接触原子間力顕
微鏡のブロック構成図、図２〜図４はカンチレバーの発
振振幅を求める方法を説明する図である。図１の構成は
基本的に図６と同様であり、ピエゾ素子４の加振電圧を
変化させ、その時の周波数変位出力から各加振電圧にお
けるフォースカーブを求め、これよりカンチレバーの発
振振幅を求める制御装置１０が付加されている点のみ異
なっている。この制御装置１０による制御を図２〜図４
により説明する。
微鏡のブロック構成図、図２〜図４はカンチレバーの発
振振幅を求める方法を説明する図である。図１の構成は
基本的に図６と同様であり、ピエゾ素子４の加振電圧を
変化させ、その時の周波数変位出力から各加振電圧にお
けるフォースカーブを求め、これよりカンチレバーの発
振振幅を求める制御装置１０が付加されている点のみ異
なっている。この制御装置１０による制御を図２〜図４
により説明する。
【０００９】図２はノンコンタクトモードＡＦＭにおけ
るフォースカーブを示している。発振制御アンプ３の出
力でピエゾ素子４を駆動し、カンチレバー２を共振周波
数で発振させた状態で２分割光センサー７の出力をＦＭ
復調器８で検出し、Ｚドライバー５により試料とカンチ
レバー間の距離（Ｚ方向距離）を変化させた時の発振周
波数の変位量を測定し、フォースカーブを求める。図２
において、横軸はＺ方向の距離、縦軸は周波数の変位量
（ＦＭ復調器８の出力）である。カンチレバーが試料か
ら離れているときには周波数変化はない。このカンチレ
バーを試料に接近させ、カンチレバーに力が加わると、
急激に発振周波数が変化する。
るフォースカーブを示している。発振制御アンプ３の出
力でピエゾ素子４を駆動し、カンチレバー２を共振周波
数で発振させた状態で２分割光センサー７の出力をＦＭ
復調器８で検出し、Ｚドライバー５により試料とカンチ
レバー間の距離（Ｚ方向距離）を変化させた時の発振周
波数の変位量を測定し、フォースカーブを求める。図２
において、横軸はＺ方向の距離、縦軸は周波数の変位量
（ＦＭ復調器８の出力）である。カンチレバーが試料か
ら離れているときには周波数変化はない。このカンチレ
バーを試料に接近させ、カンチレバーに力が加わると、
急激に発振周波数が変化する。
【００１０】図３において、２分割光センサーの出力
（正弦波）の振幅をＡとした時（図３（ａ））、実際の
カンチレバーの発振振幅をａとし（図３（ｂ））、フォ
ースカーブの周波数の急激な立ち上がりのＺ方向位置を
Ｚａとする（図３（ｃ））。いま、図１の制御装置１０
により発振制御アンプ３を制御して、ピエゾ素子４に加
える加振電圧を変化させ、２分割光センサー出力の振幅
Ｂ＝Ａ／２（図４（ａ））としたとき、カンチレバーの
発振振幅は２分割光センサーの出力と比例関係にあるこ
とから、ｂ＝ａ／２となる（図４（ｂ））。また、この
ときのフォースカーブの立ち上がりのＺ方向位置をＺｂ
とする（図４（ｃ））。カンチレバーの発振振幅をａか
らａ／２に変化させたとき、カンチレバー先端の基準位
置（振動方向中心位置）と試料間の距離はａ／４だけ変
化したことになり、これがＺ方向の距離（Ｚａ−Ｚｂ）
に相当するので、 ａ／４＝Ｚａ−Ｚｂ ａ＝４（Ｚａ−Ｚｂ） となる。このように、加振振幅を変化させてフォースカ
ーブを測定することによって、カンチレバーの発振振幅
を求めることができる。制御装置１０では、以上の処理
を自動化して行う機能をもっている。この方法は、図７
に示したようなフォースカーブの直線部分を使用せず、
急激な周波数の変化またはＦＭ復調器の出力の変化を用
いているので、カンチレバーや試料の状態に影響なく、
安定してカンチレバーの発振振幅を正確に求めることが
できる。
（正弦波）の振幅をＡとした時（図３（ａ））、実際の
カンチレバーの発振振幅をａとし（図３（ｂ））、フォ
ースカーブの周波数の急激な立ち上がりのＺ方向位置を
Ｚａとする（図３（ｃ））。いま、図１の制御装置１０
により発振制御アンプ３を制御して、ピエゾ素子４に加
える加振電圧を変化させ、２分割光センサー出力の振幅
Ｂ＝Ａ／２（図４（ａ））としたとき、カンチレバーの
発振振幅は２分割光センサーの出力と比例関係にあるこ
とから、ｂ＝ａ／２となる（図４（ｂ））。また、この
ときのフォースカーブの立ち上がりのＺ方向位置をＺｂ
とする（図４（ｃ））。カンチレバーの発振振幅をａか
らａ／２に変化させたとき、カンチレバー先端の基準位
置（振動方向中心位置）と試料間の距離はａ／４だけ変
化したことになり、これがＺ方向の距離（Ｚａ−Ｚｂ）
に相当するので、 ａ／４＝Ｚａ−Ｚｂ ａ＝４（Ｚａ−Ｚｂ） となる。このように、加振振幅を変化させてフォースカ
ーブを測定することによって、カンチレバーの発振振幅
を求めることができる。制御装置１０では、以上の処理
を自動化して行う機能をもっている。この方法は、図７
に示したようなフォースカーブの直線部分を使用せず、
急激な周波数の変化またはＦＭ復調器の出力の変化を用
いているので、カンチレバーや試料の状態に影響なく、
安定してカンチレバーの発振振幅を正確に求めることが
できる。
【００１１】なお、上記において、試料とカンチレバー
の間に働く力の検出にＦＭ検出法を用いているが、直接
周波数変化を測定する方法等によっても良く、またカン
チレバーの加振方法も加振電圧振幅一定方式や発振振幅
一定方式等があり、これを用いても良い。また、カンチ
レバーの変位の検出に光てこ方式を使用したが、光干渉
法やカンチレバーにバイモルフを使用する等その他の方
法を用いてもよい。
の間に働く力の検出にＦＭ検出法を用いているが、直接
周波数変化を測定する方法等によっても良く、またカン
チレバーの加振方法も加振電圧振幅一定方式や発振振幅
一定方式等があり、これを用いても良い。また、カンチ
レバーの変位の検出に光てこ方式を使用したが、光干渉
法やカンチレバーにバイモルフを使用する等その他の方
法を用いてもよい。
【００１２】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば非接触Ａ
ＦＭによる試料とカンチレバーの間に働く相互作用の解
析に必要なカンチレバーの発振振幅をカンチレバーや試
料の状態に影響なく、安定し、かつ簡便に正確に求める
ことが可能となる。
ＦＭによる試料とカンチレバーの間に働く相互作用の解
析に必要なカンチレバーの発振振幅をカンチレバーや試
料の状態に影響なく、安定し、かつ簡便に正確に求める
ことが可能となる。
【図１】 本発明の非接触原子間力顕微鏡のブロック構
成図である。
成図である。
【図２】 カンチレバーの発振振幅を求める方法を説明
する図である。
する図である。
【図３】 カンチレバーの発振振幅を求める方法を説明
する図である。
する図である。
【図４】 カンチレバーの発振振幅を求める方法を説明
する図である。
する図である。
【図５】 従来の原子間力顕微鏡を示す図である。
【図６】 ＦＭ検出法を説明するブロック図である。
【図７】 接触モードＡＦＭにおけるフォースカーブを
示す図である。
示す図である。
１…試料、２…カンチレバー、３…発振制御アンプ、４
…ピエゾ素子、５…ドライバ、６…レーザ、７…２分割
光センサ、８…ＦＭ復調器、９…ピエゾスキャナ、１０
…制御装置。
…ピエゾ素子、５…ドライバ、６…レーザ、７…２分割
光センサ、８…ＦＭ復調器、９…ピエゾスキャナ、１０
…制御装置。
Claims (2)
- 【請求項１】 非接触原子間力顕微鏡のカンチレバーを
加振して固有周波数で発振させた状態で試料とカンチレ
バー間の距離を変化させたときの距離変化に対するカン
チレバー発振周波数の変化特性を、異なるカンチレバー
加振振幅に対してそれぞれ測定し、各カンチレバー加振
振幅に対する前記変化特性の急激な立ち上がり位置の差
からカンチレバーの発振振幅を求めることを特徴とする
カンチレバー振幅測定方法。 - 【請求項２】 先端が試料に対向し、一端を加振手段に
固定したカンチレバーと、カンチレバーの変位を検出す
る変位検出器と、変位検出器の出力が入力され、該出力
を一定にするように前記加振手段を制御する増幅器と、
前記変位検出器出力の周波数を検出する周波数検出器
と、試料を２次元的に駆動すると共に、前記検出した周
波数が一定となるように試料とカンチレバー先端との距
離を変化させる試料駆動手段とを備えた非接触原子間力
顕微鏡において、 前記増幅器を制御して異なる加振電圧で加振手段をそれ
ぞれ駆動させると共に、各加振電圧における試料とカン
チレバー先端との距離変化に対する発振周波数の変化を
前記周波数検出器出力より検出し，各加振電圧における
前記発振周波数の急激な立ち上がり位置の差よりカンチ
レバーの発振振幅を算出する制御装置を備えたことを特
徴とする非接触原子間力顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19476298A JP3754821B2 (ja) | 1998-07-09 | 1998-07-09 | カンチレバー振幅測定方法および非接触原子間力顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19476298A JP3754821B2 (ja) | 1998-07-09 | 1998-07-09 | カンチレバー振幅測定方法および非接触原子間力顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000028511A true JP2000028511A (ja) | 2000-01-28 |
| JP3754821B2 JP3754821B2 (ja) | 2006-03-15 |
Family
ID=16329824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19476298A Expired - Fee Related JP3754821B2 (ja) | 1998-07-09 | 1998-07-09 | カンチレバー振幅測定方法および非接触原子間力顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3754821B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003067224A1 (en) * | 2002-02-05 | 2003-08-14 | Riken | Scanning probe microscope and specimen surface structure measuring method |
| US7534999B2 (en) | 2004-04-21 | 2009-05-19 | Japan Science And Technology Agency | Quantum beam aided atomic force microscopy and quantum beam aided atomic force microscope |
| JP2009109377A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡 |
| JP2010002291A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Sii Nanotechnology Inc | 原子間力顕微鏡を用いた微細加工方法 |
| EP2031369A3 (en) * | 2007-08-01 | 2010-02-24 | Mitutoyo Corporation | Method and apparatus for detecting measurement position of resonance sensor |
| JP2016520216A (ja) * | 2013-05-23 | 2016-07-11 | アプライド マテリアルズ イスラエル リミテッド | 評価システムおよび基板を評価する方法 |
-
1998
- 1998-07-09 JP JP19476298A patent/JP3754821B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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