JP2000028460A - 圧力センサおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】組立作業を容易に行える腐食性流体の圧力を検
出可能な圧力センサ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】ボディ２０には、センサエレメント１０を
収納する収納室２１と、収納室２１に連通する圧力導入
孔２４とが形成されている。センサエレメント１０は内
部に収納する圧力センサチップに圧力を導入する圧力導
入管１３を有し、圧力導入管１３にＯリング４０および
オイル溜め部材４１を装着し、オイル溜め部材４１にシ
ール剤４３、オイル４４、およびゲル状物質４５に充填
して、センサエレメント１０に回路基板３２を取り付
け、回路基板３２に形成されたトリミング用の厚膜抵抗
をトリミングして出力を調整した後、オイル溜め部材４
１を収納室２１側から圧力導入孔２４に挿入して、セン
サエレメント１０をボディ２０に取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、腐食性流体の圧力
を検出することのできる圧力センサに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】この種の圧力センサとしては、腐食性流
体（例えば、ガソリン等の腐食性のオイルやガス）の圧
力を検出するために用いられるものがあり、図３（ａ）
（ｂ）に示す構造を有するものが提案されている。この
圧力センサは、流体の圧力を検出するセンサエレメント
１０と、センサエレメント１０およびセンサエレメント
１０の出力を増幅する増幅回路や増幅回路の出力を調整
するためのトリミング用の厚膜抵抗が設けられた回路基
板３２を収納する収納室２１が一面に形成された樹脂成
形品からなるボディ２０とを備えている。ボディ２０の
収納室２１が形成された面と対向する面の一側には筒体
２２が突設され、他側には略Ｌ字状の突起２３が突設さ
れている。筒体２２には流体の圧力が導入される圧力導
入孔２４が同心円状に２段に形成されており、圧力導入
孔２４は、圧力導入孔２４と同心で圧力導入孔２４より
も孔径の小さい連通孔２５を介して収納室２１と連通す
る。また、突起２３には収納室２１と連通する大気導入
孔２６が形成されている。

【０００３】センサエレメント１０は、樹脂成形品より
なるケース１５の内部に、例えば半導体シリコン基板を
エッチングして凹所を設けることにより形成されたダイ
アフラムにピエゾ抵抗素子が形成された圧力センサチッ
プ（図示せず）を納装しており、ダイアフラムに圧力を
導入するための圧力導入孔が軸方向に沿って形成された
圧力伝達手段たる金属製の圧力導入管１３がケース１５
に同時成形されている。なお、ケース１５にはケース１
５の内部と外部とを連通する大気導入口（図示せず）が
設けられており、圧力センサチップは圧力導入管１３に
導入される流体の圧力と収納室２１内の圧力との差圧を
検出する。

【０００４】ここで、連通孔２５にはＯリング４０が嵌
め込まれており、センサエレメント１０の圧力導入管１
３を収納室２１側から連通孔２５内に挿入すると、Ｏリ
ング４０が圧力導入管１３および連通孔２５に密着し、
Ｏリング４０により収納室２１と圧力導入孔２４との間
がシールされる。有底筒状のオイル溜め部材４１は底部
４１ａには雌ねじ部４１ｂが設けられており、底部４１
ａを連通孔２５側にして圧力導入孔２４内に挿入され
る。そして、圧力導入管１３の雄ねじ部１３ａとオイル
溜め部材４１の雌ねじ部４１ｂとが互いに螺合して、圧
力導入管１３とオイル溜め部材４１とがねじ固定され
る。

【０００５】この時、オイル溜め部材４１の底部４１ａ
における凹所４１ｇ側の部位には、シール剤（例えばシ
リコンゴム系のシール剤や弾性のあるエポキシ系のシー
ル剤）４３が設けられており、螺合した両ねじ部１３
ａ，４１ｂを気密に封止する。なお、シール剤４３は耐
熱性に優れ、温度変化に起因する弾性特性の変化が小さ
いので、温度変化によってシール剤４３にクラックなど
が発生することはない。そして、両ねじ部１３ａ，４１
ｂがシール剤４３で封止されたオイル溜め部材４１の凹
所４１ｇおよび圧力導入管１３の内部には例えばフッ素
を含んだフッ素オイルからなる非腐食性のオイル４４が
充填され、オイル４４が圧力センサチップと接触する。
さらに、凹所４１ｇには例えばフロロシリコンゲルやシ
リコンゲルなどからなるゲル状物質４５が充填され、シ
ール剤４３とゲル状物質４５との間にオイル４４が挟み
込まれる。ゲル状物質４５はオイル４４と接触するが、
オイル４４との境界部で化学反応をおこすことはなく、
オイル４４がオイル溜め部材１３から漏れ出すのを防止
するとともに、圧力導入孔２４に導入された流体の圧力
をオイル４４に伝達し、さらにオイル４４が圧力センサ
チップに伝達する。ここに、オイル４４は粘性を有した
液状であり、シリコンと反応せず安定なので、圧力セン
サチップを腐食することはない。したがって、腐食性流
体（腐食性のオイルやガスなど）の圧力を検出する場合
でも、腐食性流体が圧力センサチップに直接接触しない
ので、圧力センサチップの腐食を防止することができ、
腐食性流体の検出に用いることができる。

【０００６】ところで、図４に示すように、圧力導入孔
２４内が負圧になり、Ｏリング４０と圧力導入管１３又
は連通孔２５との間の隙間から圧力導入孔２４側に空気
が侵入したとしても、圧力導入孔２４内に侵入した空気
は図４中に矢印で示すようにオイル溜め部材４１と圧力
導入孔２４との間の隙間４２を通るから、圧力導入孔２
４内に侵入した空気が両ねじ部１３ａ，４１ｂの螺合部
からオイル溜め部材４１の凹所４１ｇ内に侵入して、オ
イル４４内に気泡が発生することはなく、オイル４４内
に発生した気泡が温度変化に応じて膨張、収縮すること
により圧力センサの温度特性が悪化するのを防止するこ
とができる（例えば特開平９−５４００４号公報参
照）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記構成の圧力センサ
を組み立てる際は、連通孔２５にセンサエレメント１０
の圧力導入管１３を挿入して、圧力導入管１３と連通孔
２５との間をＯリング４０によりシールし、底部４１ａ
を連通孔２５側にしてオイル溜め部材４１を圧力導入孔
２４内に挿入し、オイル溜め部材４１を圧力導入管１３
にねじ固定する。次に、両ねじ部１３ａ，４１ｂの螺合
部をシール剤４３でシールし、オイル溜め部材４１の凹
所４１ｇ内にオイル４４を充填し、ゲル状物質４５で封
止する。その後、センサエレメント１０のリード端子１
４を回路基板３２に半田付けし、回路基板３２に設けら
れたトリミング用の抵抗をレーザでトリミングすること
により、センサエレメント１０や増幅回路の出力の温度
特性、オフセット値の調整、ゲイン調整などを行ってい
た。

【０００８】上述のように、この圧力センサでは圧力導
入孔２４内にオイル溜め部材４１を挿入した状態で、オ
イル溜め部材４１の凹所４１ｇ内にオイル４４やゲル状
物質４５を充填しているので、オイル４４やゲル状物質
４５を充填する際に、圧力導入孔２４の内面にオイル４
４やゲル状物質４５が付着する虞があった。また、セン
サエレメント１０をボディ２０に取り付けた状態で、セ
ンサエレメント１０にオイル溜め部材４１をねじ固定し
たり、オイル溜め部材４１の凹所４１ｇ内にシール剤４
３やオイル４４やゲル状物質４５を充填し、さらにセン
サエレメント１０に回路基板３２を接続した状態で、ト
リミング調整を行っており、ボディ２０の大きさが大き
いため、ボディ２０を扱いにくく、組立作業の作業性が
悪いという問題もあった。

【０００９】本発明は上記問題点に鑑みて為されたもの
であり、その目的とするところは、組立作業を容易にし
た腐食性流体の圧力を検出可能な圧力センサおよびその
製造方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明では、流体の圧力を検出する圧力セ
ンサチップと、圧力センサチップの出力を増幅する増幅
回路や出力を調整するためのトリミング用の抵抗が形成
された回路基板と、圧力センサチップや回路基板を収納
する収納室および流体の圧力が導入され前記収納室に連
通する圧力導入孔が形成されたボディと、圧力導入孔に
挿入され流体の圧力を圧力センサチップに伝達する圧力
伝達手段と、圧力伝達手段に装着され圧力導入孔の内面
に密着するシール部材と、外寸が収納室側の圧力導入孔
の開口端よりも小さい寸法に形成され、非腐食性のオイ
ルが充填される凹所が形成されるとともに凹所の底に圧
力伝達手段が接続される被接続部が形成されたオイル溜
め部材とを備え、オイル溜め部材の凹所および圧力伝達
手段にオイルを充填し、圧力センサチップがオイルを介
して圧力導入孔に導入された腐食性の流体の圧力を検出
することを特徴とし、圧力センサチップはオイルを介し
て圧力導入孔に導入された流体の圧力を検出しており、
腐食性流体の圧力を検出する場合でも圧力センサチップ
は腐食性流体に直接接触していないので、圧力センサチ
ップが腐食するのを防止することができ、しかもオイル
溜め部材の外寸は収納室側の圧力導入孔の開口端よりも
小さい寸法に形成されているので、オイル溜め部材に圧
力伝達手段を接続した状態でオイル溜め部材を収納室側
から圧力導入孔内に挿入することができ、オイル溜め部
材をボディに取り付ける前に、圧力伝達手段にシール部
材およびオイル溜め部材を装着し、オイル溜め部材にオ
イルを充填した後、圧力センサチップと回路基板とを電
気的に接続して、トリミング用の抵抗をトリミング調整
することができるから、オイルの充填を圧力導入孔に挿
入する前に行うからオイルが圧力導入孔に付着すること
はなく、これらの作業をボディに取り付ける前に行うか
ら取り回しが容易であり、組立作業の作業性が向上す
る。

【００１１】請求項２の発明では、請求項１の発明にお
いて、オイル溜め部材が金属製であることを特徴とし、
請求項３の発明では、オイル溜め部材が樹脂成形品から
なることを特徴とし、請求項４の発明では、圧力伝達手
段と被接続部との接続構造がねじ構造であることを特徴
とし、本発明の望ましい実施態様である。

【００１２】請求項５の発明では、流体の圧力を検出す
る圧力センサチップと、圧力センサチップの出力を増幅
する増幅回路や出力を調整するためのトリミング用の抵
抗が形成された回路基板と、圧力センサチップや回路基
板を収納する収納室および流体の圧力が導入され前記収
納室に連通する圧力導入孔が形成されたボディと、圧力
導入孔に挿入され流体の圧力を圧力センサチップに伝達
する圧力伝達手段と、圧力伝達手段に装着され圧力導入
孔の内面に密着するシール部材と、外寸が圧力導入孔に
おける収納室側の開口よりも小さい寸法に形成され、非
腐食性のオイルが充填される凹所が形成されるとともに
凹所の底に圧力伝達手段が接続される被接続部が形成さ
れたオイル溜め部材とを備え、オイル溜め部材の凹所お
よび圧力伝達手段にオイルを充填し、圧力センサチップ
がオイルを介して圧力導入孔に導入された腐食性の流体
の圧力を検出する圧力センサの製造方法であって、圧力
センサチップが取り付けられた圧力伝達手段にシール部
材およびオイル溜め部材を装着し、オイル溜め部材の凹
所にオイルを充填して、圧力センサチップに回路基板を
接続し、トリミング用の抵抗をトリミングして出力を調
整した後、オイル溜め部材を収納室側から圧力導入孔に
挿入し、ボディに取り付けることを特徴とし、圧力セン
サチップはオイルを介して圧力導入孔に導入された流体
の圧力を検出しており、腐食性流体の圧力を検出する場
合でも圧力センサチップは腐食性流体に直接接触してい
ないので、圧力センサチップが腐食するのを防止するこ
とができ、しかもオイル溜め部材の外寸は収納室側の圧
力導入孔の開口端よりも小さい寸法に形成されているの
で、オイル溜め部材に圧力伝達手段を接続した状態でオ
イル溜め部材を収納室側から圧力導入孔内に挿入するこ
とができ、オイル溜め部材をボディに取り付ける前に、
圧力伝達手段にシール部材およびオイル溜め部材を装着
し、オイル溜め部材にオイルを充填した後、圧力センサ
チップと回路基板とを電気的に接続して、トリミング用
の抵抗をトリミング調整することができるから、オイル
の充填を圧力導入孔に挿入する前に行うからオイルが圧
力導入孔に付着することはなく、これらの作業をボディ
に取り付ける前に行うから取り回しが容易であり、組立
作業の作業性が向上する。

【００１３】請求項６の発明では、請求項５の発明にお
いて、圧力伝達手段とオイル溜め部材とが互いに接着固
定されること特徴とし、本発明の望ましい実施態様であ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】本実施形態の圧力センサの側断面
図を図１（ａ）に示し、Ａ−Ａ線断面図を図１（ｂ）に
示す。

【００１５】この圧力センサは、流体の圧力を検出する
センサエレメント１０と、センサエレメント１０および
センサエレメント１０の出力を増幅する増幅回路（図示
せず）や出力を調整するためのトリミング用の抵抗（図
示せず）が形成された回路基板（セラミック基板）３２
などを収納する収納室２１が一面に形成された樹脂成形
品からなるボディ２０とを備えている。

【００１６】ボディ２０の収納室２１が形成された面と
対向する面の一側には筒体２２が突設され、他側には略
Ｌ字状の突起２３が突設されている。筒体２２には流体
の圧力が導入され収納室２１と連通する圧力導入孔２４
が同心円状に２段に形成されており、突起２３には収納
室２１と連通する大気導入孔２６が形成されている。

【００１７】センサエレメント１０は、図２に示すよう
に、半導体シリコン基板をエッチングして凹所１１ａを
設けることにより形成されたダイアフラム１１にピエゾ
抵抗素子（図示せず）が形成された圧力センサチップ１
２と、略円筒状であって一端側の周面に雄ねじ部１３ａ
が形成されるとともに他端側に鍔部１３ｂが形成され、
軸方向に沿って圧力導入孔１３ｃが形成された圧力伝達
手段たる金属製の圧力導入管１３と、圧力導入管１３お
よびリード端子１４が同時成形されるとともに、圧力導
入管１３の突出する面と対向する面に開口する凹所１５
ａが形成された樹脂成形品よりなるケース１５と、凹所
１５ａの開口部に封着される蓋１６と、圧力導入孔１３
ｃに連通する貫通孔１７ａが形成され、一面が圧力導入
管１３の鍔部１３ｂに密着固定されるとともに、他面に
ダイアフラム１１が貫通孔１７ａを塞ぐようにして密着
固定されたガラス台座１７と、圧力センサチップ１２の
電極（図示せず）とリード端子１４とを電気的に接続す
る例えばアルミニウム細線からなるボンディングワイヤ
１８と、圧力センサチップ１２の電極とボンディングワ
イヤ１８との接合部を保護するために圧力センサチップ
１２の表面に塗布されたＪＣＲ（Junction Coating Res
in）１９とから構成される。なお、センサエレメント１
０内部の凹所１５ａは図示しない大気導入口を介して収
納室２１に開放されている。

【００１８】圧力導入管１３にはシール部材たるＯリン
グ４０と、ステンレス等の金属から形成され、外径が収
納室２１側の圧力導入孔２４の開口端の寸法すなわち圧
力導入孔２４の内径よりも小さい寸法に形成された有底
筒状のオイル溜め部材４１とが装着される。オイル溜め
部材４１は、後述するオイルなどが充填される凹所４１
ｇの底部４１ａには被接続部たる挿入孔４１ｆが形成さ
れ、挿入孔４１ｆの端面には雌ねじ部４１ｂが形成され
ており、オイル溜め部材４１の雌ねじ部４１ｂと圧力導
入管１３の雄ねじ部１３ａとが互いに螺合することによ
り、オイル溜め部材４１が圧力導入管１３にねじ固定さ
れる。

【００１９】ここで、オイル溜め部材４１の底部４１ａ
における凹所４１ｇ側の部位には、シール剤（例えばシ
リコンゴム系のシール剤や弾性のあるエポキシ系のシー
ル剤）４３が設けられており、螺合された雄ねじ部１３
ａおよび雌ねじ部４１ｂを気密に封止する。なお、シー
ル剤４３は耐熱性に優れ、温度変化に起因する弾性特性
の変化が小さいので、温度変化によってシール剤４３に
クラックなどが発生することはない。そして、両ねじ部
１３ａ，４１ｂがシール剤４３で封止されたオイル溜め
部材４１の凹所４１ｇ、圧力導入管１３の圧力導入孔１
３ｃおよびガラス台座１７の貫通孔１７ａには例えばフ
ッ素を含んだフッ素オイルからなる非腐食性のオイル４
４が充填され、オイル４４がダイアフラム１１と接触す
る。オイル４４は粘性を有した液状であり、シリコンと
反応せず安定なので、圧力センサチップ１２を腐食する
ことはない。したがって、腐食性流体（腐食性のオイル
やガスなど）の圧力を検出する場合でも、腐食性流体が
圧力センサチップ１２に直接接触しないので、圧力セン
サチップ１２の腐食を防止することができ、腐食性流体
の圧力の検出に用いることができる。

【００２０】さらに、オイル溜め部材１３の筒内部に、
例えばフロロシリコンゲルやシリコンゲルなどからなる
ゲル状物質４５が充填され、シール剤４３とゲル状物質
４５との間にオイル４４が挟み込まれる。ゲル状物質４
５はオイル４４と接触するが、オイル４４との境界部で
化学反応をおこすことはなく、オイル４４がオイル溜め
部材１３から漏れ出すのを防止するとともに、圧力導入
孔２４に導入された流体の圧力をオイル４４に伝達し、
さらにオイル４４がダイアフラム１１に伝達する。

【００２１】また、収納室２１の内壁には、導電性材料
から形成されたシールド板３１が、収納室２１の内壁に
設けられた突部を熱変形させることによりかしめ固定さ
れており、収納室２１を静電遮蔽する。圧力導入孔２４
に対応するシールド板３１の部位には圧力導入管１３を
挿通する孔３１ａが形成されており、Ｏリング４０およ
びオイル溜め部材４１が装着された圧力導入管１３が孔
３１ａを介して圧力導入孔２４に挿入される。この時、
センサエレメント１０のリード端子１４に半田付けされ
た回路基板３２は、収納室２１の内壁に突設されたリブ
３３上に載置され、収納室２１の内壁に設けられた突部
を熱変形させることにより、収納室２１内にかしめ固定
される。

【００２２】ボディ２０の側面には凹部３４が設けら
れ、凹部３４と収納室２１とを仕切るボディ２０の部位
には、先端を凹部３４の開口に臨ませて複数本のコネク
タ用端子３５が植設される。回路基板３２は、導電性材
料から形成された接続片３６を介して、コンデンサ３７
などの回路部品が実装された回路基板３８に電気的に接
続されている。また、回路基板３８には収納室２１内に
突出するコネクタ用端子３５の端部が半田付けされてお
り、センサエレメント１０のリード端子１４が回路基板
３２，３８および接続片３６を介してコネクタ用端子３
５に電気的に接続される。尚、シールド板３１に一体的
に形成された接続片３１ｂは回路基板３８に電気的に接
続されている。ここで、収納室２１の開口には蓋２７が
封着されており、ボディ２０と蓋２７との接合部、およ
び、コネクタ用端子３５が植設されたボディ２０の部位
はシール剤３９によりシールされている。

【００２３】また、収納室２１側の大気導入孔２６の端
部には、大気導入孔２６と同心状に大気導入孔２６より
も径の大きい凹部４６が形成される。凹部４６内には略
環状のシールゴム４７と、空気は透過するが水分は透過
しない透過膜４８とが収められ、押さえ部材４９によっ
て固定される。押さえ部材４９には貫通孔４９ａが穿孔
されており、収納室２１に大気導入孔２６を介して大気
が導入される。

【００２４】而して、圧力センサチップ１２のダイアフ
ラム１１には、圧力導入孔２４に導入された流体の圧力
と収納室２１内の圧力との差圧が印加され、この差圧に
応じてダイアフラム１１が撓み、ダイアフラム１１に形
成されたピエゾ抵抗素子の抵抗値が撓みの大きさに応じ
て変化し、この抵抗値が電気信号として出力され、回路
基板３２に形成された増幅回路で増幅されて、コネクタ
用端子３６に出力される。

【００２５】ここで、オイル溜め部材４１の外径は圧力
導入孔２４の内径よりも若干小さい寸法に形成されてい
るので、オイル溜め部材４１の外周面と圧力導入孔２４
の内面との間には隙間が設けられる。したがって、圧力
導入孔２４側が負圧になり、収納室２１からＯリング４
０と圧力導入管１３又は圧力導入孔２４との間の隙間を
介して圧力導入孔２４側に空気が侵入したとしても、圧
力導入孔２４側に侵入した空気は、オイル溜め部材４１
と圧力導入孔２４との間の隙間を通って逃げるので、両
ねじ部１３ａ，４１ｂの螺合部からオイル溜め部材４１
の内部に空気が侵入して、オイル４４内に気泡が発生す
ることは無く、オイル４４内に発生した気泡が温度変化
に応じて膨張、収縮することにより、圧力センサの温度
特性が悪化することはなく、圧力センサの信頼性が向上
する。

【００２６】ところで、この圧力センサを組み立てる際
は、先ずセンサエレメント１０の圧力導入管１３にＯリ
ング４０を装着し、さらに底部４１ａをセンサエレメン
ト１０側にして、圧力導入管１３の雄ねじ部１３ａにオ
イル溜め部材４１の雌ねじ部４１ｂを螺合させることに
より、オイル溜め部材４１を圧力導入管１３にねじ固定
する。

【００２７】次に、オイル溜め部材４１の底部４１ａに
おける凹所４１ｇ側の部位にシール剤４３を設け、螺合
された雄ねじ部１３ａおよび雌ねじ部４１ｂを気密に封
止した後、オイル溜め部材４１の凹所４１ｇ、圧力導入
管１３の圧力導入孔１３ｃおよびガラス台座１７の貫通
孔１７ａにオイル４４を充填する。さらにゲル状物質４
５をオイル溜め部材４１の凹所４１ｇに充填し、シール
材とゲル状物質４５との間にオイル４４を封止する。

【００２８】その後、センサエレメント１０のリード端
子１４を回路基板３２に半田付けし、回路基板３２に設
けられたトリミング用の厚膜抵抗をレーザでトリミング
することにより、センサエレメント１０や増幅回路の出
力の温度特性、オフセット値、ゲインなどの調整を行
う。そして、オイル溜め部材４１を収納室２１側から圧
力挿入孔２４内に挿入し、回路基板３２を収納室２１に
突設されたリブ３３上に載置した状態で収納室２１の内
壁に設けた突部を熱変形させ、回路基板３２を収納室２
１内にかしめ固定する。

【００２９】このように、オイル溜め部材４１の外径は
圧力導入孔２４の内径よりも小さい寸法に形成されてい
るので、オイル溜め部材４１を収納室２１側から圧力導
入孔２４に挿入することができ、したがって、予めセン
サエレメント１０の圧力導入管１３にＯリング４０およ
びオイル溜め部材４１を装着し、オイル溜め部材４１の
筒内部にシール剤４３、オイル４４、およびゲル状物質
４４を充填した状態で、オイル溜め部材４１を収納室２
１側から圧力導入孔２４内に挿入することができるか
ら、シール材４３やオイル４４やゲル状物質４５をオイ
ル溜め部材４１に充填する際に、シール材４３やオイル
４４やゲル状物質４５が圧力導入孔に付着することはな
い。

【００３０】しかも、センサエレメント１０をボディ２
０に取り付けていない状態で、センサエレメント１０の
圧力導入管１３に、Ｏリング４０およびオイル溜め部材
４１を装着し、オイル溜め部材４１内にシール剤４３、
オイル４４およびゲル状物質４５を充填した後、センサ
エレメント１０に回路基板３２を取り付けて、トリミン
グ用の厚膜抵抗をレーザでトリミングすることができ、
これらの作業をセンサエレメント１０がボディ２０に取
り付けられていない状態で行うことができるから、セン
サエレメント１０をボディ２０に取り付けた状態で作業
する場合に比べて、センサエレメント１０の取り回しが
容易になり、組立作業を容易に行うことができる、尚、
本実施形態では、オイル溜め部材４１と圧力導入管１３
との接続構造がねじ構造となっているが、オイル溜め部
材４１を圧力導入管１３に接着固定しても良い。また、
本実施形態ではオイル溜め部材４１を金属製としたが、
オイル溜め部材４１を樹脂成形品としても良いことは言
うまでもない。

【００３１】

【発明の効果】上述のように、請求項１の発明は、流体
の圧力を検出する圧力センサチップと、圧力センサチッ
プの出力を増幅する増幅回路や出力を調整するためのト
リミング用の抵抗が形成された回路基板と、圧力センサ
チップや回路基板を収納する収納室および流体の圧力が
導入され前記収納室に連通する圧力導入孔が形成された
ボディと、圧力導入孔に挿入され流体の圧力を圧力セン
サチップに伝達する圧力伝達手段と、圧力伝達手段に装
着され圧力導入孔の内面に密着するシール部材と、外寸
が収納室側の圧力導入孔の開口端よりも小さい寸法に形
成され、非腐食性のオイルが充填される凹所が形成され
るとともに凹所の底に圧力伝達手段が接続される被接続
部が形成されたオイル溜め部材とを備え、オイル溜め部
材の凹所および圧力伝達手段にオイルを充填し、圧力セ
ンサチップがオイルを介して圧力導入孔に導入された腐
食性の流体の圧力を検出することを特徴とし、圧力セン
サチップはオイルを介して圧力導入孔に導入された流体
の圧力を検出しており、腐食性流体の圧力を検出する場
合でも圧力センサチップは腐食性流体に直接接触してい
ないので、圧力センサチップが腐食するのを防止するこ
とができ、しかもオイル溜め部材の外寸は収納室側の圧
力導入孔の開口端よりも小さい寸法に形成されているの
で、オイル溜め部材に圧力伝達手段を接続した状態でオ
イル溜め部材を収納室側から圧力導入孔内に挿入するこ
とができ、オイル溜め部材をボディに取り付ける前に、
圧力伝達手段にシール部材およびオイル溜め部材を装着
し、オイル溜め部材にオイルを充填した後、圧力センサ
チップと回路基板とを電気的に接続して、トリミング用
の抵抗をトリミング調整することができるから、オイル
の充填を圧力導入孔に挿入する前に行うからオイルが圧
力導入孔に付着することはなく、これらの作業をボディ
に取り付ける前に行うから取り回しが容易であり、組立
作業の作業性が向上するという効果がある。

【００３２】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、オイル溜め部材が金属製であることを特徴とし、請
求項３の発明は、オイル溜め部材が樹脂成形品からなる
ことを特徴とし、請求項４の発明は、圧力伝達手段と被
接続部との接続構造がねじ構造であることを特徴とし、
本発明の望ましい実施態様である。

【００３３】請求項５の発明は、流体の圧力を検出する
圧力センサチップと、圧力センサチップの出力を増幅す
る増幅回路や出力を調整するためのトリミング用の抵抗
が形成された回路基板と、圧力センサチップや回路基板
を収納する収納室および流体の圧力が導入され前記収納
室に連通する圧力導入孔が形成されたボディと、圧力導
入孔に挿入され流体の圧力を圧力センサチップに伝達す
る圧力伝達手段と、圧力伝達手段に装着され圧力導入孔
の内面に密着するシール部材と、外寸が圧力導入孔にお
ける収納室側の開口よりも小さい寸法に形成され、非腐
食性のオイルが充填される凹所が形成されるとともに凹
所の底に圧力伝達手段が接続される被接続部が形成され
たオイル溜め部材とを備え、オイル溜め部材の凹所およ
び圧力伝達手段にオイルを充填し、圧力センサチップが
オイルを介して圧力導入孔に導入された腐食性の流体の
圧力を検出する圧力センサの製造方法であって、圧力セ
ンサチップが取り付けられた圧力伝達手段にシール部材
およびオイル溜め部材を装着し、オイル溜め部材の凹所
にオイルを充填して、圧力センサチップに回路基板を接
続し、トリミング用の抵抗をトリミングして出力を調整
した後、オイル溜め部材を収納室側から圧力導入孔に挿
入し、ボディに取り付けることを特徴とし、圧力センサ
チップはオイルを介して圧力導入孔に導入された流体の
圧力を検出しており、腐食性流体の圧力を検出する場合
でも圧力センサチップは腐食性流体に直接接触していな
いので、圧力センサチップが腐食するのを防止すること
ができ、しかもオイル溜め部材の外寸は収納室側の圧力
導入孔の開口端よりも小さい寸法に形成されているの
で、オイル溜め部材に圧力伝達手段を接続した状態でオ
イル溜め部材を収納室側から圧力導入孔内に挿入するこ
とができ、オイル溜め部材をボディに取り付ける前に、
圧力伝達手段にシール部材およびオイル溜め部材を装着
し、オイル溜め部材にオイルを充填した後、圧力センサ
チップと回路基板とを電気的に接続して、トリミング用
の抵抗をトリミング調整することができるから、オイル
の充填を圧力導入孔に挿入する前に行うからオイルが圧
力導入孔に付着することはなく、これらの作業をボディ
に取り付ける前に行うから取り回しが容易であり、組立
作業の作業性が向上するという効果がある。

【００３４】請求項６の発明は、請求項５の発明におい
て、圧力伝達手段とオイル溜め部材とが互いに接着固定
されること特徴とし、本発明の望ましい実施態様であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施形態の圧力センサを示し、（ａ）は側断
面図、（ｂ）はＡ−Ａ線断面図である。

【図２】同上の要部断面図である。

【図３】従来の圧力センサを示し、（ａ）は側断面図、
（ｂ）はＢ―Ｂ線断面図である。

【図４】同上の要部断面図である。

【符号の説明】

１０ センサエレメント １３ 圧力導入管 ２０ ボディ ２１ 収納室 ２４ 圧力導入孔 ３２ 回路基板 ４０ Ｏリング ４１ オイル溜め部材４１ ４３ シール剤 ４４ オイル ４５ ゲル状物質

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石上 敦史 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Ｆターム(参考） 2F055 AA31 BB20 CC02 DD05 EE13 FF38 GG01 GG25 HH07 HH11

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流体の圧力を検出する圧力センサチップ
   と、圧力センサチップの出力を増幅する増幅回路や出力
   を調整するためのトリミング用の抵抗が形成された回路
   基板と、圧力センサチップや回路基板を収納する収納室
   および流体の圧力が導入され前記収納室に連通する圧力
   導入孔が形成されたボディと、圧力導入孔に挿入され流
   体の圧力を圧力センサチップに伝達する圧力伝達手段
   と、圧力伝達手段に装着され圧力導入孔の内面に密着す
   るシール部材と、外寸が圧力導入孔における収納室側の
   開口よりも小さい寸法に形成され、非腐食性のオイルが
   充填される凹所が形成されるとともに凹所の底に圧力伝
   達手段が接続される被接続部が形成されたオイル溜め部
   材とを備え、オイル溜め部材の凹所および圧力伝達手段
   にオイルを充填し、圧力センサチップがオイルを介して
   圧力導入孔に導入された腐食性の流体の圧力を検出する
   ことを特徴とする圧力センサ。
2. 【請求項２】オイル溜め部材が金属製であることを特徴
   とする請求項１記載の圧力センサ。
3. 【請求項３】オイル溜め部材が樹脂成形品からなること
   を特徴とする請求項１記載の圧力センサ。
4. 【請求項４】圧力伝達手段と被接続部との接続構造がね
   じ構造であることを特徴とする請求項１記載の圧力セン
   サ。
5. 【請求項５】流体の圧力を検出する圧力センサチップ
   と、圧力センサチップの出力を増幅する増幅回路や出力
   を調整するためのトリミング用の抵抗が形成された回路
   基板と、圧力センサチップや回路基板を収納する収納室
   および流体の圧力が導入され前記収納室に連通する圧力
   導入孔が形成されたボディと、圧力導入孔に挿入され流
   体の圧力を圧力センサチップに伝達する圧力伝達手段
   と、圧力伝達手段に装着され圧力導入孔の内面に密着す
   るシール部材と、外寸が圧力導入孔における収納室側の
   開口よりも小さい寸法に形成され、非腐食性のオイルが
   充填される凹所が形成されるとともに凹所の底に圧力伝
   達手段が接続される被接続部が形成されたオイル溜め部
   材とを備え、オイル溜め部材の凹所および圧力伝達手段
   にオイルを充填し、圧力センサチップがオイルを介して
   圧力導入孔に導入された腐食性の流体の圧力を検出する
   圧力センサの製造方法であって、圧力センサチップが取
   り付けられた圧力伝達手段にシール部材およびオイル溜
   め部材を装着し、オイル溜め部材の凹所にオイルを充填
   して、圧力センサチップに回路基板を接続し、トリミン
   グ用の抵抗をトリミングして出力を調整した後、オイル
   溜め部材を収納室側から圧力導入孔に挿入し、ボディに
   取り付けることを特徴とする圧力センサの製造方法。
6. 【請求項６】圧力伝達手段とオイル溜め部材とが互いに
   接着固定されること特徴とする請求項５記載の圧力セン
   サの製造方法。