JP2000028461A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】温度特性の悪化を防止した腐食性流体を検出可
能な圧力センサを提供する。 【解決手段】センサエレメント１０は、圧力センサチッ
プをケース１５内に収納し、ケース１５に同時成形され
た圧力導入管１３を介して圧力センサチップに流体の圧
力を導入する。ボディ２０の一面にはセンサエレメント
１０を収納する収納室２１が形成され、収納室２１は連
通孔２５を介して圧力導入孔２４に連通する。圧力導入
管１３は収納室２１側から連通孔２５内に挿入され、圧
力導入孔２４内に突出する圧力導入管１３の先端部には
オイル溜め部材４１が取り付けられており、オイル溜め
部材４１内にはシール剤４３、オイル４４およびゲル状
物質４５が充填される。ここで、オイル溜め部材４１
は、圧力導入孔２４の内面との間に隙間を設けた状態
で、圧力導入孔２４内に挿入される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、腐食性流体の圧力
を検出するための圧力センサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の圧力センサとしては、図５
（ａ）（ｂ）に示す構造を有するものがあった。この圧
力センサは、流体の圧力を検出するセンサエレメント１
０と、樹脂成形品からなりセンサエレメント１０を収納
する収納室２１が一面に形成されたボディ２０とを備え
ている。ボディ２０の収納室２１が形成された面と対向
する面の一側には筒体２２が突設され、他側には略Ｌ字
状の突起２３が突設されている。筒体２２には流体の圧
力が導入される圧力導入孔２４が同心円状に２段に形成
されており、圧力導入孔２４は連通孔２５を介して収納
室２１と連通する。また、突起２３には収納室２１と連
通する大気導入孔２６が形成されている。

【０００３】センサエレメント１０は、樹脂成形品より
なるケース１５の内部に、例えば半導体シリコン基板を
エッチングして凹所を設けることにより形成されたダイ
アフラムにピエゾ抵抗素子が形成された圧力センサチッ
プを納装しており、ダイアフラムに圧力を導入するため
の圧力導入孔が軸方向に沿って形成された金属製の圧力
導入管１３がケース１５に同時成形されている。なお、
ケース１５にはケース１５の内部と外部とを連通する大
気導入口（図示せず）が設けられており、圧力センサチ
ップは圧力導入管１３に伝達される流体の圧力と収納室
２１内の圧力との差圧を検出する。

【０００４】ここで、連通孔２５における収納室２１側
の開口端には段差部２５ａが形成され、この段差部２５
ａにＯリング４０が嵌め込まれており、センサエレメン
ト１０の圧力導入管１３を収納室２１側から連通孔２５
内に挿入すると、Ｏリング４０が連通孔２５及び圧力導
入管１３に密着して、Ｏリング４０により収納室２１と
圧力導入孔２４との間がシールされる。また、圧力導入
孔２４の奥にはシール剤（例えばシリコンゴム系のシー
ル剤や弾性のあるエポキシ系のシール剤）４３が設けら
れ、このシール剤４３によって圧力導入孔２４と連通孔
２５との間がシールされる。さらに、圧力導入管１３の
管内および圧力導入孔２４にフッ素を含んだ粘性を有す
る液状のフッ素オイルからなるオイル４４を充填した
後、シリコンを含むゲル状物質４５を圧力導入孔２４に
充填して、オイル４４が漏れ出すのを防止する。尚、オ
イル４４はシリコンと反応せず安定なので、圧力センサ
チップが腐食することはない。

【０００５】而して、圧力導入孔２４に導入された流体
の圧力はゲル状物質４５およびオイル４４を介して圧力
センサチップに伝達されるので、この圧力センサチップ
により流体の圧力を検出することができる。腐食性流体
（腐食性のオイルやガスなど）の圧力を検出する場合で
も、腐食性流体が圧力センサチップに直接接触しないの
で、圧力センサチップの腐食を防止することができ、腐
食性流体の圧力検出に使用することができる（例えば特
開平９−５４００４号公報参照）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記構成の圧力センサ
では、圧力導入孔２４内に充填されたオイル４４をゲル
状物質４５が封止しているので、圧力導入孔２４に導入
された流体の圧力が正圧であれば、圧力導入孔２４に導
入された流体の圧力がゲル状物質４５およびオイル４４
を介して圧力センサチップに伝達され、オイル４４内に
気泡が入り込むことはない。

【０００７】しかしながら、圧力導入孔２４に導入され
た流体の圧力が負圧になると、図６に示すように、収納
室２１側からＯリング４０と圧力導入管１３或いは連通
孔２５との間の隙間、および、シール剤４３と圧力導入
管１３との間の隙間を介してオイル４４内に空気が侵入
し、オイル４４内に気泡５０が発生する虞があり、オイ
ル４４内に発生した気泡５０が温度変化に応じて膨張又
は収縮することによって、センサエレメント１０の温度
特性が悪化するという問題があった。また、高湿の雰囲
気で使用する場合、ゲル状物質４５を通過した水蒸気が
気泡５０内に水として溜まり、ゲル状物質４５の層を破
って、オイル４４が漏れ出す虞もあった。

【０００８】本発明は上記問題点に鑑みて為されたもの
であり、その目的とするところは、信頼性を向上させた
腐食性流体の圧力を検出可能な圧力センサを提供するこ
とにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明では、流体の圧力を検出する圧力セ
ンサチップと、圧力センサチップを収納する収納室、流
体の圧力が導入される圧力導入孔および収納室と圧力導
入孔とを連通する連通孔が形成されたボディと、連通孔
に挿通され流体の圧力を圧力センサチップに伝達する圧
力伝達手段と、非腐食性のオイルを充填する凹所が形成
されるとともに凹所の底部に圧力伝達手段が接続される
被接続部が形成され、底部を連通孔側とし圧力導入孔の
内面との間に隙間を持たせて圧力導入孔内に挿入される
オイル溜め部材とを備え、凹所および圧力伝達手段にオ
イルを充填し、圧力センサチップがオイルを介して伝達
された腐食性の流体の圧力を検出することを特徴とし、
圧力センサチップはオイルを介して圧力導入孔に導入さ
れた流体の圧力を検出するので、腐食性流体の圧力を検
出する場合でも腐食性流体が圧力センサチップに直接接
触することはなく、腐食性流体によって圧力センサチッ
プが腐食されるのを防止することができ、しかも圧力導
入孔側が負圧になった場合は、収納室から連通孔を介し
て圧力導入孔内に侵入した空気がオイル溜め部材と圧力
導入孔との間の隙間を通って逃げるので、圧力導入孔内
に侵入した空気が圧力伝達手段の接続される被接続部か
ら凹所内に侵入して、オイル内に気泡ができることがな
く、オイル内に気泡が発生することによって圧力センサ
チップの温度特性が変化するのを防止できる。

【００１０】請求項２の発明では、請求項１の発明にお
いて、オイル溜め部材の表面に、圧力導入孔の伸びる方
向に沿って空気抜き用の第１の溝を形成したことを特徴
とし、圧力導入孔側が負圧になった場合に、収納室から
連通孔を介して圧力導入孔内に侵入した空気を第１の溝
を通して逃がすことができる。

【００１１】請求項３の発明では、請求項２の発明にお
いて、オイル溜め部材の底部における連通孔側の面に空
気抜き用の第２の溝を形成したことを特徴とし、圧力導
入孔側が負圧になった場合に、収納室から連通孔を介し
て圧力導入孔内に侵入した空気を第１及び第２の溝を通
して逃がすことができる。

【００１２】請求項４の発明では、請求項１の発明にお
いて、オイル溜め部材が金属製であることを特徴とし、
請求項５の発明では、オイル溜め部材が樹脂成形品から
なることを特徴とし、本発明の望ましい実施態様であ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。

【００１４】（実施形態１）本実施形態の圧力センサの
側断面図を図１（ａ）に、Ａ−Ａ線断面図を図１（ｂ）
に、要部断面図を図２にそれぞれ示す。

【００１５】この圧力センサは、流体の圧力を検出する
センサエレメント１０と、樹脂成形品からなりセンサエ
レメント１０を収納する収納室２１が一面に形成された
ボディ２０とを備えている。

【００１６】ボディ２０の収納室２１が形成された面と
対向する面の一側には筒体２２が突設され、他側には略
Ｌ字状の突起２３が突設されている。筒体２２には流体
の圧力が導入される圧力導入孔２４が同心円状に２段に
形成されており、圧力導入孔２４は連通孔２５を介して
収納室２１と連通する。また、突起２３には収納室２１
と連通する大気導入孔２６が形成されている。

【００１７】センサエレメント１０は、半導体シリコン
基板をエッチングして凹所を設けることにより形成され
たダイアフラム１１にピエゾ抵抗素子（図示せず）が形
成された圧力センサチップ１２と、略円筒状であって一
端側の周面に雄ねじ部１３ａが形成されるとともに他端
側に鍔部１３ｂが形成され、軸方向に圧力導入孔１３ｃ
が形成された圧力伝達手段たる金属製の圧力導入管１３
と、圧力導入管１３およびリード端子１４が同時成形さ
れるとともに圧力センサチップ１２を収納する凹所１５
ａが形成された樹脂成形品よりなるケース１５と、圧力
導入孔１３ｃに連通する貫通孔１７ａが形成され、一面
が圧力導入管１３の鍔部１３ｂに密着固定されるととも
に、他面にダイアフラム１１が貫通孔１７ａを塞ぐよう
にして密着固定されたガラス台座１７と、リード端子１
４に例えばアルミニウム細線よりなるボンディングワイ
ヤ（図示せず）を介して電気的に接続される圧力センサ
チップ１２の電極（図示せず）を保護するために圧力セ
ンサチップ１２の表面に塗布されたＪＣＲ（Junction C
oating Resin）１９とを備えている。

【００１８】収納室２１の内壁には導電性材料から形成
されたシールド板３１が、収納室２１の内壁に設けられ
た突部を熱変形させることによりかしめ固定されてお
り、収納室２１を静電遮蔽する。連通孔２５に対応する
シールド板３１の部位には圧力導入管１３を挿通する孔
３１ａが形成されており、孔３１ａを介して連通孔２５
内にセンサエレメント１０の圧力導入管１３が挿通され
る。この時、圧力導入管１３の外周部が連通孔２５内に
設けられたＯリング４０に密着し、圧力導入管１３の先
端が圧力導入孔２４内に突出する。

【００１９】圧力導入孔２４内に突出する圧力導入管１
３の先端にはステンレス等の金属から形成された有底筒
状のオイル溜め部材４１が取り付けられる。オイル溜め
部材４１は後述するオイルなどが充填される凹所４１ｇ
を有し、凹所４１ｇの底部４１ａには圧力導入管１３が
挿入される被接続部たる挿入孔４１ｆが設けられ、挿入
孔４１ｆには圧力導入管１３の雄ねじ部１３ａと螺合す
る雌ねじ部４１ｂが形成されている。そして、雌ねじ部
４１ｂが形成された底部４１ａを連通孔２５側にしてオ
イル溜め部材４１を圧力導入孔２４内に挿入し、オイル
溜め部材４１の雌ねじ部４１ｂと圧力導入管１３の雄ね
じ部１３ａと互いに螺合することにより、オイル溜め部
材４１が圧力導入管１３にねじ固定される。

【００２０】ここで、オイル溜め部材４１の底部４１ａ
における凹所４１ｇ側の部位には、シール剤（例えばシ
リコンゴム系のシール剤や弾性のあるエポキシ系のシー
ル剤）４３が設けられており、螺合された雄ねじ部１３
ａおよび雌ねじ部４１ｂを気密に封止する。なお、シー
ル剤４３は耐熱性に優れ、温度変化に起因する弾性特性
の変化が小さいので、温度変化によってシール剤４３に
クラックなどが発生することはない。そして、両ねじ部
１３ａ，４１ｂがシール剤４３で封止されたオイル溜め
部材４１の凹所４１ｇ、圧力導入管１３の圧力導入孔１
３ｃおよびガラス台座１７の貫通孔１７ａに、例えばフ
ッ素を含んだフッ素オイルからなる非腐食性のオイル４
４が充填され、オイル４４がダイアフラム１１と接触し
ている。オイル４４は粘性を有した液状であり、シリコ
ンと反応せず安定なので、圧力センサチップ１２を腐食
することはない。したがって、腐食性流体（腐食性のオ
イルやガスなど）の圧力を検出する場合でも、腐食性流
体が圧力センサチップ１２に直接接触しないので、圧力
センサチップ１２の腐食を防止することができ、腐食性
流体の圧力の検出に用いることができる。

【００２１】さらに、オイル溜め部材４１の凹所４１ｇ
内に、例えばフロロシリコンゲルやシリコンゲルなどか
らなるゲル状物質４５が充填され、シール剤４３とゲル
状物質４５との間にオイル４４が挟み込まれる。ゲル状
物質４５はオイル４４と接触するが、オイル４４との境
界部で化学反応をおこすことはなく、オイル４４がオイ
ル溜め部材１３から漏れ出すのを防止するとともに、圧
力導入孔２４に導入された流体の圧力をオイル４４に伝
達し、さらにオイル４４がダイアフラム１１に伝達す
る。

【００２２】また、収納室２１側の大気導入孔２６の端
部には、大気導入孔２６と同心状に大気導入孔２６より
も径の大きい凹部４６が形成される。凹部４６内には略
環状のシールゴム４７と、空気は透過するが水分は透過
しない透過膜４８とが収められ、押さえ部材４９によっ
て固定される。押さえ部材４９には貫通孔４９ａが穿孔
されており、収納室２１に大気導入孔２６を介して大気
が導入される。

【００２３】センサエレメント１０のリード端子１４
は、圧力センサチップ１２の出力を増幅する増幅回路や
出力を調整するためのトリミング用の厚膜抵抗などの回
路が設けられた回路基板（セラミック基板）３２に半田
付けされており、回路基板３２は、収納室２１に突設さ
れたリブ３３上に載置された状態で、収納室２１の内壁
に設けられた突部を熱変形させることによりかしめ固定
される。また、回路基板３２は、導電性材料から形成さ
れた接続片３６を介して、コンデンサ３７などの回路部
品が実装された回路基板３８に電気的に接続される。ボ
ディ２０の側面には凹部３４が設けられ、凹部３４と収
納室２１とを仕切るボディ２０の部位には、先端を凹部
３４の開口に臨ませて複数本のコネクタ用端子３５が植
設されている。そして、収納室２１内に突出するコネク
タ用端子３５の端部が回路基板３８に半田付けされてお
り、センサエレメント１０のリード端子１４はプリント
基板３２，３８および接続片３６を介してコネクタ用端
子３５に電気的に接続される。尚、シールド板３１に設
けられた接続片３１ｂは回路基板３８に半田付けされて
いる。ここで、収納室２１の開口部には蓋２７が封着さ
れており、ボディ２０と蓋２７との接合部、および、コ
ネクタ用端子３５が植設されたボディ２０の部位はシー
ル剤３９によりシールされている。

【００２４】而して、圧力センサチップ１２のダイアフ
ラム１１には、圧力導入孔２４に導入された流体の圧力
と収納室２１内の圧力との差圧が印加され、この差圧に
応じてダイアフラム１１が撓み、ダイアフラム１１に形
成されたピエゾ抵抗素子の抵抗値が撓みの大きさに応じ
て変化する。この抵抗値が電気信号として出力され、回
路基板３２，３８に形成された増幅回路で増幅され、コ
ネクタ用端子３５に出力される。

【００２５】ところで、オイル溜め部材４１の外径は圧
力導入孔２４の内径よりも若干小さい寸法に形成されて
いるので、オイル溜め部材４１の外周面と圧力導入孔２
４の内面との間には隙間４２が設けられている。したが
って、圧力導入孔２４側が負圧になり、収納室２１から
Ｏリング４０と圧力導入管１３或いは連通孔２５との間
の隙間を介して圧力導入孔２４側に空気が侵入したとし
ても、圧力導入孔２４側に侵入した空気は、オイル溜め
部材４１と圧力導入孔２４との間の隙間４２を通って逃
げるので、両ねじ部１３ａ，４１ｂの螺合部からオイル
溜め部材４１の内部に空気が侵入して、オイル４４内に
気泡が発生することは無く、オイル４４内に発生した気
泡によってセンサエレメントの温度特性が悪化したり、
オイル４４が漏れ出すことはなく、圧力センサの信頼性
が向上する。

【００２６】（実施形態２）本実施形態の圧力センサに
用いるオイル溜め部材４１の外観斜視図を図３（ａ）
に、オイル溜め部材４１の取付状態を示す断面図を図３
（ｂ）に夫々示す。本実施形態では、オイル溜め部材４
１の外周面４１ｃに圧力導入孔２４の伸びる方向に沿っ
て空気抜き用の第１の溝４１ｄを形成している。なお、
オイル溜め部材４１以外の構造は実施形態１と同様であ
るので、同一の構成要素には同一の符号を付して、その
説明を省略する。

【００２７】本実施形態では、オイル溜め部材４１の外
周面４１ｃに第１の溝４１ｄを形成しているので、圧力
導入孔２４側が負圧となり、収納室２１からＯリング４
０と圧力導入管１３又は連通孔２５との間の隙間を介し
て圧力導入孔２４側に空気が侵入したとしても、圧力導
入孔２４側に侵入した空気は、オイル溜め部材４１と圧
力導入孔２４との間の隙間や第１の溝４１ｄを通って逃
げるので、両ねじ部１３ａ，４１ｂの螺合部からオイル
溜め部材４１の内部に空気が侵入して、オイル４４内に
気泡が発生することは無く、オイル４４内に発生した気
泡によってセンサエレメントの温度特性が悪化すること
はない。本実施形態では、オイル溜め部材４１の外周面
４１ｃに空気を逃がすための第１の溝４１ｄを形成して
いるので、オイル溜め部材４１と圧力導入孔２４との間
の隙間を通す場合に比べて、圧力導入孔側に侵入した空
気を逃がしやすくできる。

【００２８】（実施形態３）本実施形態の圧力センサに
用いるオイル溜め部材４１の外観斜視図を図４（ａ）
に、オイル溜め部材４１の取付状態を示す断面図を図４
（ｂ）に夫々示す。本実施形態では、オイル溜め部材４
１の外周面４１ｃに圧力導入孔２４の伸びる方向に沿っ
て空気抜き用の第１の溝４１ｄを形成するとともに、底
部４１ａにおける連通孔２５側の面に径方向に走る空気
抜き用の第２の溝４１ｅを形成している。なお、オイル
溜め部材４１以外の構造は実施形態１と同様であるの
で、同一の構成要素には同一の符号を付して、その説明
を省略する。

【００２９】本実施形態では、オイル溜め部材４１の外
周面４１ｃおよび底部４１ａに第１及び第２の溝４１
ｄ，４１ｅをそれぞれ形成しているので、圧力導入孔２
４側が負圧となり、収納室２１からＯリング４０と圧力
導入管１３又は連通孔２５との間の隙間を介して圧力導
入孔２４側に空気が侵入したとしても、圧力導入孔２４
側に侵入した空気は、オイル溜め部材４１と圧力導入孔
２４との間の隙間や第１及び第２の溝４１ｄ，４１ｅを
通って逃げるので、両ねじ部１３ａ，４１ｂの螺合部か
らオイル溜め部材４１の内部に空気が侵入して、オイル
４４内に気泡が発生することは無く、オイル４４内に発
生した気泡によってセンサエレメントの温度特性が悪化
することはない。しかも、本実施形態では、オイル溜め
部材４１の外周面４１ｃおよび底部４１ａに空気を逃が
すための第１及び第２の溝４１ｄ，４１ｅをそれぞれ形
成しているので、オイル溜め部材４１と圧力導入孔２４
との間の隙間を通す場合に比べて、圧力導入孔側に侵入
した空気を逃がしやすくできる。

【００３０】尚、上述した各実施形態では、オイル溜め
部材４１と圧力導入管１３との接続構造がねじ構造とな
っているが、オイル溜め部材４１を圧力導入管１３に接
着固定しても良い。また、オイル溜め部材４１を金属製
としているが、オイル溜め部材４１を樹脂成形品として
も良いことは言うまでもない。

【００３１】

【発明の効果】上述のように請求項１の発明は、流体の
圧力を検出する圧力センサチップと、圧力センサチップ
を収納する収納室、流体の圧力が導入される圧力導入孔
および収納室と圧力導入孔とを連通する連通孔が形成さ
れたボディと、連通孔に挿通され流体の圧力を圧力セン
サチップに伝達する圧力伝達手段と、非腐食性のオイル
を充填する凹所が形成されるとともに凹所の底部に圧力
伝達手段が接続される被接続部が形成され、底部を連通
孔側とし圧力導入孔の内面との間に隙間を持たせて圧力
導入孔内に挿入されるオイル溜め部材とを備え、凹所お
よび圧力伝達手段にオイルを充填し、圧力センサチップ
がオイルを介して伝達された腐食性の流体の圧力を検出
することを特徴とし、圧力センサチップはオイルを介し
て圧力導入孔に導入された流体の圧力を検出するので、
腐食性流体の圧力を検出する場合でも腐食性流体が圧力
センサチップに直接接触することはなく、腐食性流体に
よって圧力センサチップが腐食されるのを防止すること
ができ、しかも圧力導入孔側が負圧になった場合は、収
納室から連通孔を介して圧力導入孔内に侵入した空気が
オイル溜め部材と圧力導入孔との間の隙間を通って逃げ
るので、圧力導入孔内に侵入した空気が圧力伝達手段の
接続される被接続部から凹所内に侵入して、オイル内に
気泡ができることがなく、オイル内に気泡が発生するこ
とによって圧力センサチップの温度特性が変化するのを
防止でき、信頼性が向上するという効果がある。

【００３２】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、オイル溜め部材の表面に、圧力導入孔の伸びる方向
に沿って空気抜き用の第１の溝を形成したことを特徴と
し、圧力導入孔側が負圧になった場合に、収納室から連
通孔を介して圧力導入孔内に侵入した空気を第１の溝を
通して逃がすことができ、オイル溜め部材と圧力導入孔
との間の隙間を通す場合に比べて、空気を逃がし易くで
きるという効果がある。

【００３３】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、オイル溜め部材の底部における連通孔側の面に空気
抜き用の第２の溝を形成したことを特徴とし、圧力導入
孔側が負圧になった場合に、収納室から連通孔を介して
圧力導入孔内に侵入した空気を第１及び第２の溝を通し
て逃がすことができ、オイル溜め部材と圧力導入孔との
間の隙間を通す場合に比べて、空気をさらに逃がし易く
できるという効果がある。

【００３４】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、オイル溜め部材が金属製であることを特徴とし、請
求項５の発明は、オイル溜め部材が樹脂成形品からなる
ことを特徴とし、本発明の望ましい実施態様である。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態１の圧力センサを示し、（ａ）は側断
面図、（ｂ）はＡ−Ａ面断面図である。

【図２】同上の要部断面図である。

【図３】実施形態２の圧力センサに用いるオイル溜め部
材を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は取付状態を示す断
面図である。

【図４】実施形態３の圧力センサに用いるオイル溜め部
材を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は取付状態を示す断
面図である。

【図５】従来の圧力センサを示し、（ａ）は側断面図、
（ｂ）はＢ−Ｂ面断面図である。

【図６】同上の要部断面図である。

【符号の説明】

１０ センサエレメント １３ 圧力導入管 １５ ケース ２０ ボディ ２１ 収納室 ２４ 圧力導入孔 ２５ 連通孔 ４１ オイル溜め部材 ４３ シール剤 ４４ オイル ４５ ゲル状物質

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野原 一也 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 石上 敦史 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Ｆターム(参考） 2F055 AA31 BB20 CC02 DD01 DD11 EE13 FF38 GG25 HH07 HH11

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流体の圧力を検出する圧力センサチップ
   と、圧力センサチップを収納する収納室、流体の圧力が
   導入される圧力導入孔および収納室と圧力導入孔とを連
   通する連通孔が形成されたボディと、連通孔に挿通され
   流体の圧力を圧力センサチップに伝達する圧力伝達手段
   と、非腐食性のオイルを充填する凹所が形成されるとと
   もに凹所の底部に圧力伝達手段が接続される被接続部が
   形成され、底部を連通孔側とし圧力導入孔の内面との間
   に隙間を持たせて圧力導入孔内に挿入されるオイル溜め
   部材とを備え、凹所および圧力伝達手段にオイルを充填
   し、圧力センサチップがオイルを介して伝達された腐食
   性の流体の圧力を検出することを特徴とする圧力セン
   サ。
2. 【請求項２】オイル溜め部材の表面に、圧力導入孔の伸
   びる方向に沿って空気抜き用の第１の溝を形成したこと
   を特徴とする請求項１記載の圧力センサ。
3. 【請求項３】オイル溜め部材の底部における連通孔側の
   面に空気抜き用の第２の溝を形成したことを特徴とする
   請求項２記載の圧力センサ。
4. 【請求項４】オイル溜め部材が金属製であることを特徴
   とする請求項１記載の圧力センサ。
5. 【請求項５】オイル溜め部材が樹脂成形品からなること
   を特徴とする請求項１記載の圧力センサ。