JP2000022043A - 高周波素子搭載基板の実装構造および高周波用モジュール構造 - Google Patents

高周波素子搭載基板の実装構造および高周波用モジュール構造

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JP2000022043A JP10183946A JP18394698A JP2000022043A JP 2000022043 A JP2000022043 A JP 2000022043A JP 10183946 A JP10183946 A JP 10183946A JP 18394698 A JP18394698 A JP 18394698A JP 2000022043 A JP2000022043 A JP 2000022043A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】外部基板への実装においてアライメントが容易
に行うことができ、高周波信号の伝送損失を低減した高
周波素子搭載基板の実装構造を提供する。 【解決手段】誘電体基板1の一方の表面に搭載された高
周波素子2と、一端が高周波素子2と接続された第1の
高周波用線路3と、高周波素子2と第1の高周波用線路
3の周囲に設けられた枠体5と、誘電体基板1の他表面
に形成された第2の高周波用線路7とを具備し、第1の
線路3と第2の線路7とを電磁結合してなる高周波素子
搭載基板Aを、接続端子13を具備する外部基板Bに実
装する構造であって、基板Aの枠体5を外部基板Bと接
合して高周波素子2を誘電体基板1、枠体5、外部基板
Bによって形成されるキャビティ12内に気密に封止
し、基板Aの第2の高周波用線路7と接続端子13とを
ワイヤ、リボン、TAB用テープ等の接続部材16によ
って接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ波帯から
ミリ波帯領域の高周波素子を搭載した高周波素子搭載基
板を所定の外部基板に実装してなる構造、および複数の
高周波素子搭載基板を所定の外部基板に配列実装してな
る高周波用モジュール構造に関し、高周波信号の特性劣
化を低減して外部基板に接続するための改良に関するも
のである。
【0002】
【従来技術】従来、マイクロ波やミリ波の信号を取り扱
う高周波用パッケージ30は、図6(a)に示すよう
に、誘電体基板31と、枠体32および蓋体33により
形成されるキャビティ34内に高周波素子35が搭載さ
れて気密に封止され、高周波信号の入出力及び他の高周
波用パッケージとの接続は、誘電体基板31の表面に形
成され、一端が高周波素子35と接続されたマイクロス
トリップ線路等の高周波用線路36を枠体32を通して
キャビティ34外に引き出し、これを誘電体基板31の
側面を経由して裏面に引回して形成し、パッケージ30
の裏面の高周波用線路36と外部回路基板37の高周波
用線路38とを半田等の接着材を介して接続していた。
また、モジュール化する場合も、外部回路基板37の高
周波用線路38を経由して他の高周波用パッケージ3
0’と相互接続していた。
【0003】また、他の高周波用パッケージ40は、図
6(b)に示すように、キャビティ34内の誘電体基板
31の表面に、一端が高周波素子35と接続された高周
波用線路41を形成し、また誘電体基板31の裏面に高
周波用線路42を形成し、高周波用線路41と42とを
スルーホール導体43を介して接続していた。そして、
この高周波用パッケージ40も図4(a)の高周波用パ
ッケージ30と同様に、外部回路基板37の高周波用線
路38とを半田等の接着材39を介して接続され、また
この高周波用線路38を介して他の高周波用パッケージ
40’と相互接続していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図6
(a)において、高周波用線路36が枠体32内を通過
する場合、通過部で線路がマイクロストリップ線路から
ストリップ線路へと変換されるため、信号線路幅を狭く
する必要があり、その結果、通過部で反射損、放射損が
発生しやすいため高周波信号の特性劣化が起こりやすく
なるという問題があった。また、高周波用線路36が誘
電体基板31の側面で曲折することから、ミリ波帯で用
いた場合、伝送線路が曲折することにより反射が大きく
なり信号を送受することが困難となる場合があった。
【0005】これに対して、図6(b)は、スルーホー
ル導体43によって接続されるために図6(a)のよう
な枠体32通過部での反射損や放射損は低減されるが、
信号周波数が40GHz以上になるとスルーホール導体
43での透過損失が急激に大きくなるために、マイクロ
波帯からミリ波帯領域の信号を特性劣化なく伝送するこ
とが困難であった。
【0006】また、図6(a)(b)のように、高周波
用パッケージの外部回路基板37への実装を、パッケー
ジの底面に形成された高周波用線路36、42と高周波
用線路38とを半田等の接着材39によって行うと、パ
ッケージ側の高周波用線路と、外部回路基板側の高周波
用線路とのパターンとのアライメントが難しく、信号の
周波数によっては半田実装部でインピーダンス不整合に
よって反射損が生じ伝送損失が大きくなり、伝送自体が
困難となる場合もあった。
【0007】従って、本発明は、高周波素子を搭載する
基板を気密に封止するとともに、外部基板への実装にお
いてアライメントが容易に行うことができ、高周波信号
の伝送損失を低減した高周波素子搭載基板の実装構造を
提供することを目的とするものである。
【0008】また、本発明は、高周波素子を搭載する基
板を気密に封止するとともに、外部基板への実装と同時
に他の高周波素子搭載基板の接続を容易にし、且つ高周
波信号の伝送損失を低減したモジュール構造を提供する
ことを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的に対して検討を重ねた結果、高周波素子と接続された
高周波用線路と、他の回路との接続を担う高周波用線路
とを電磁的に結合すること、そして、高周波素子の気密
封止を外部基板への実装によって行うことによって他の
回路との接続用の高周波用線路を上面側に設けることに
より、接続用の高周波用線路と、他の回路との接続を容
易ならしめることができることを見いだし、本発明に至
った。
【0010】即ち、本発明の高周波素子搭載基板は、誘
電体基板と、該誘電体基板の一方の表面に搭載された高
周波素子と、前記誘電体基板の一方の表面に被着形成さ
れ一端が前記高周波素子と接続された第1の高周波用線
路と、前記高周波素子および前記第1の高周波用線路の
周囲に設けられた枠体と、前記誘電体基板の他方の表面
に形成された第2の高周波用線路とを具備し、前記第1
の高周波用線路と前記第2の高周波用線路とを電磁的に
結合してなるものであって、かかる高周波素子搭載基板
を、接続端子を具備する外部基板に実装するにあたり、
前記高周波素子搭載基板の前記枠体を前記外部基板と接
合することにより前記高周波素子を誘電体基板、枠体お
よび外部基板によって形成されるキャビティ内に気密に
封止するとともに、前記高周波素子搭載基板の前記第2
の高周波用線路と前記接続端子とを接続してなることを
特徴とするものである。
【0011】また、複数の高周波素子搭載基板を相互接
続してモジュール化するにあたり、前記高周波素子搭載
基板における前記枠体をそれぞれ前記外部基板と接合す
ることにより前記高周波素子を誘電体基板、枠体および
外部基板によって形成されるキャビティ内に気密に封止
するとともに、前記複数の高周波素子搭載基板の各第2
の高周波用線路同士を相互接続してなることを特徴とす
るものである。
【0012】なお、上記実装構造およびモジュール構造
において、前記高周波素子搭載基板における前記誘電体
基板内部にグランド層が形成され、前記第1の高周波用
線路と前記第2の高周波用線路とが、前記グランド層内
に形成されたスロット孔を介して電磁的に結合してなる
ことが望ましい。
【0013】また、前記実装構造における第2の高周波
用線路と接続端子との接続、前記第2の高周波用線路同
士の接続を、ワイヤボンディング、リボン、金属層付き
テープのうちのいずれかによって接続することが望まし
い。
【0014】
【作用】本発明によれば、高周波素子搭載基板におい
て、高周波素子と接続された高周波用線路と、他の回路
との接続を担う高周波用線路とを電磁的に結合すること
によって、従来の図6(a)(b)に示したような高周
波線路の引回しやスルーホール導体による接続に比較し
て反射損や透過損などによる伝送特性の劣化を大幅に低
減することができる。
【0015】また、外部基板への実装にあたり、高周波
素子搭載基板の高周波素子搭載面側に枠体を形成し、こ
の枠体を外部基板と接合することにより高周波素子を誘
電体基板、枠体および外部基板によって形成されるキャ
ビティ内に気密に封止することができる。
【0016】しかも、外部基板への実装面を高周波素子
搭載面側とすることにより、接続用の高周波用線路が上
面に配置されるために、この接続用の高周波用線路と外
部基板の接続端子や、モジュール構造においては、他の
高周波素子搭載基板の接続用高周波用線路とを、リボ
ン、ワイヤ、又はTAB(Tape Automated Bonding)テ
ープなどの金属層付きテープなどで接続することがで
き、これによりアライメントを容易に行うことができる
とともに、接続時の伝送損失をも低減できる。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明における高周波素子搭載基
板の実装構造の一例を示す図1乃至図2をもとに説明す
る。図1は、本発明の実装構造の概略断面図、図2は、
その平面図である。図1および図2によれば、高周波素
子搭載基板Aは、誘電体材料からなる誘電体基板1の表
面にMMIC,MICなどの高周波素子2が搭載されて
いる。また、誘電体基板1の表面には、高周波素子2に
対して信号の入出力を担う一対の第1の高周波用線路3
が被着形成されている。
【0018】また、図1の高周波素子搭載基板Aにおい
ては、誘電体基板1の内部には、グランド層4がほぼ全
面にわたり形成されており、前記第1の高周波用線路3
は、グランド層4とともにマイクロストリップ線路を形
成している。なお、第1の高周波用線路の一端は、ワイ
ヤボンディング、リボン、TAB(Tape Automated Bon
ding)用テープなどの金属層付きテープ(以下、単にT
AB用テープという。)やフリップチップ実装等によっ
て高周波素子2と電気的に接続されている。
【0019】さらに、誘電体基板1の高周波素子2およ
び第1の高周波用線路3の周囲には、所定の高さを有す
る枠体5が設けられている。この枠体5は、後述する外
部基板への実装時に高周波素子2を気密に封止するため
のキャビティを形成する部材である。この枠体5は、キ
ャビティからの電磁波が外部に漏洩するのを防止できる
材料から構成されることが望ましく、金属、セラミック
ス、セラミックス金属複合材料、ガラスセラミックス等
が使用できるが、これらの材料中に電磁波を吸収させる
ことのできるカーボン等の電磁波吸収物質を分散させた
り、表面にこれらの電磁波吸収物質を塗布することもで
きる。特に枠体5は、金属からなることが最も望まし
い。その場合、金属製枠体は、誘電体基板1の表面にロ
ウ材6等によって接合されている。
【0020】また、誘電体基板1の高周波素子2搭載面
の反対側の表面には、一対の第2の高周波用線路7が被
着形成されており、グランド層4とともにマイクロスト
リップ線路を形成している。
【0021】さらに、グランド層4内には、導体層が形
成されないスロット孔8が形成されている。このスロッ
ト孔8は、いずれも長辺L、短辺Mの略長方形、または
長径L、短径Mの楕円径からなり、スロット孔8を介し
て第1の高周波用線路3と第2の高周波用線路7の各終
端部を対照的に対峙する位置に形成することによって線
路3と線路7とを電磁的に結合することができる。
【0022】第1の高周波用線路3と第2の高周波用線
路7とのスロット孔8による電磁結合構造は、図3に示
すように、スロット孔8の長辺長さLは、信号の伝送効
率を上げる点で伝送信号の波長λの1/2相当の長さに
するのが望ましく、スロット孔8の短辺の長さMは伝送
信号の波長λの1/5相当の長さから1/50相当の長
さに設定するのが望ましい。
【0023】そして、第1の高周波用線路3および第2
の高周波用線路7の終端部を、スロット孔8に対して、
平面的にみてスロット孔8の中心から、互いに長さXの
分だけ突き出るように配設される。この突き出し長さX
は伝送信号の波長λの約1/4相当の長さが望ましい。
【0024】本発明における高周波素子搭載基板Aにお
ける誘電体基板1の底面において、第2の高周波用線路
7端部には、図2に示すようにその両側にグランド層9
が形成されたグランド付きコプレーナ線路からなる接続
部が形成されている。この接続部は、基板Aと外部基板
の回路と接続するためのものである。なお、グランド層
9は、誘電体基板1内のグランド層4とビアホール導体
10あるいは誘電体基板1の側面に形成したキャスタレ
ーション(図示せず)によって電気的に接続され、グラ
ンド層4と同電位に保たれている。
【0025】本発明の実装構造によれば、図1及び図2
に示すように、外部基板Bに対して上記高周波素子搭載
基板Aの枠体5を外部基板Bの実装部に、半田もしくは
AuSn等の接着剤11を用いて接合することにより高
周波素子2を誘電体基板1、枠体5および外部基板Bに
よって形成されるキャビティ12内に気密に封止され
る。
【0026】かかる封止構造によれば、キャビティ12
内は、電磁的にも封止された構造からなることが望まし
く、そのために、外部基板Bにおける高周波素子搭載基
板A実装部におけるキャビティ12形成部は、枠体5と
同様に、電磁波が外部に漏洩するのを防止できる、金
属、セラミックス、セラミックス金属複合材料、ガラス
セラミックス等の材料から構成されることが望ましく、
また、電磁波吸収物質をキャビティ12形成面の内壁に
塗布することもできる。
【0027】また、外部基板Bの高周波素子搭載基板A
における接続部と対向する箇所には、第3の高周波用線
路13と、一対のグランド層14とからなる接続端子1
5が設けられており、高周波素子搭載基板Aの第2の高
周波用線路7と接続端子15の第3の高周波用線路13
と、また一対のグランド層9と一対のグランド層14と
が、それぞれリボン、ワイヤ、TAB用テープ等の金属
層付きテープ等の接続部材16によってそれぞれ電気的
に接続されている。
【0028】このように、本発明によれば、外部基板へ
の実装によって、高周波素子2を気密に封止する構造と
なし、且つ高周波素子搭載基板Aと、外部基板Bとの接
続を半田等の接着材を用いることなく、リボン、ワイ
ヤ、TAB用テープ等の接続部材16によって接続する
ことにより、両接続部間のアライメントを容易にならし
めるとともに、半田などによる実装に比較して接続部に
おける信号の反射損を低減することができる。
【0029】次に、本発明の高周波用モジュール構造に
ついて図4の概略断面図および図5の平面図をもとに説
明する。本発明によれば、高周波モジュール構造は、基
本的に、前記図1乃至図3に示したような構造からなる
2個以上の複数の高周波素子搭載基板Aをそれぞれ外部
基板の表面に実装配列し、それらを相互接続してなるも
のである。
【0030】図4および図5に示されるように、2つの
高周波素子搭載基板A,A’は、外部基板Bにおける第
2の高周波用線路7,7’の接続部が互いに近接する位
置に、図1および図2にて説明したように2つの基板
A、A’がそれぞれの枠体5、5’を外部基板Bと半田
もしくはAuSn等の接着材11、11’によって接合
されており、それぞれの高周波素子2、2’は、各誘電
体基板1、1’、枠体5,5’および外部基板Bによっ
て形成されるキャビティ12,12’内にそれぞれ気密
に封止されている。
【0031】そして、上記2つの高周波素子搭載基板
A,A’は、その各第2の高周波用線路7、7’同士、
および一対のグランド層9、9’同士をそれぞれリボ
ン、ワイヤ、TAB用テープ等の接続部材16によって
それぞれ電気的に接続されている。
【0032】かかるモジュール構造においても、各高周
波素子搭載基板A、A’同士は、外部基板に対する実装
によって、それぞれ高周波素子2を気密に封止する構造
となし、且つ2つの高周波素子搭載基板A、A’との接
続を半田等の接着材を用いることなく、リボン、ワイ
ヤ、TAB用テープ等によって接続することにより、両
接続部間のアライメントを容易にならしめるとともに、
半田などによる実装に比較して接続部における信号の反
射損を低減することができる。
【0033】なお、上記の高周波素子搭載基板Aにおい
ては、入力用および出力用の1対の高周波用線路が形成
された場合について説明したが、基板A内においては、
高周波用線路は、3つ以上の高周波用線路が形成され、
さらに3つ以上の電磁結合部が存在していてもよい。
【0034】また、上記高周波素子搭載基板Aにおいて
は、信号伝送用の線路のみについて説明したが、この基
板Aには、信号伝送用の線路のみならず、他の目的の線
路あるいは高周波素子2に対する電源供給用等の低周波
用配線層が形成されていてもよい。その場合、電源供給
用配線層も誘電体基板1の第2の高周波用線路7形成面
に引き回され、第2の高周波用線路7の接続部の接続形
態と同様に、外部基板Bの電源回路とリボン、ワイヤ、
TAB用テープ等によって接続すればよい。
【0035】さらに、高周波素子搭載基板Aにおける第
1の高周波用線路、第2の高周波用線路として、マイク
ロストリップ線路を例にして説明したが、かかる線路
は、ストリップ線路、グランド付コプレーナ線路によっ
て構成されていてもよい。
【0036】さらに、本発明の実装構造およびモジュー
ル構造においては、外部基板Bは、プリント基板などか
らなるマザーボード、ハウジング、ヒートシンク等の機
能を兼ね備えていてもよい。
【0037】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の高周波素子
搭載基板の実装構造およびモジュール構造においては、
高周波素子搭載基板における信号伝送線路間を電磁結合
させ、しかも高周波素子の気密封止を外部回路基板への
枠体の接合によって行い、外部基板との接続部をワイ
ヤ、リボン、TAB用テープなどによって接続すること
により、アライメントを容易に行うことができるととも
に従来の半田などによる実装での特性劣化を低減しなが
ら高周波素子に入出力することが可能な高信頼性で実装
およびモジュール化が容易な実装構造およびモジュール
構造を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の高周波素子搭載基板の実装構造の概略
断面図である。
【図2】図1の実装構造の平面図である。
【図3】本発明における高周波素子搭載基板の電磁結合
部の構造を説明するための平面図(a)および断面図
(b)である。
【図4】本発明の高周波素子搭載基板のモジュール構造
の概略断面図である。
【図5】図4のモジュール構造の平面図である。
【図6】従来の高周波用パッケージの実装構造を説明す
るための概略断面図である。
【符号の説明】
A 高周波素子搭載基板 B 外部基板 1 誘電体基板 2 高周波素子 3 第1の高周波用線路 4 グランド層 5 枠体 7 第2の高周波用線路 8 スロット孔 12 キャビティ 13 接続端子 16 接続部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E344 AA01 AA15 AA19 BB02 BB06 BB08 CC03 CD01 CD09 DD01 DD02 EE08 5J014 CA11 CA22 CA23 CA41

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】誘電体基板と、該誘電体基板の一方の表面
    に搭載された高周波素子と、前記誘電体基板の一方の表
    面に被着形成され一端が前記高周波素子と接続された第
    1の高周波用線路と、前記高周波素子および前記第1の
    高周波用線路の周囲に設けられた枠体と、前記誘電体基
    板の他方の表面に形成された第2の高周波用線路とを具
    備し、前記第1の高周波用線路と前記第2の高周波用線
    路とを電磁的に結合してなる高周波素子搭載基板を、接
    続端子を具備する外部基板に実装する構造であって、前
    記高周波素子搭載基板の前記枠体を前記外部基板と接合
    することにより前記高周波素子を誘電体基板、枠体およ
    び外部基板によって形成されるキャビティ内に気密に封
    止するとともに、前記高周波素子搭載基板の前記第2の
    高周波用線路と前記接続端子とを接続してなることを特
    徴とする高周波素子搭載基板の実装構造。
  2. 【請求項2】前記高周波素子搭載基板における前記誘電
    体基板内部にグランド層が形成され、前記第1の高周波
    用線路と前記第2の高周波用線路とが、前記グランド層
    内に形成されたスロット孔を介して電磁的に結合してな
    る請求項1記載の高周波素子搭載基板の実装構造。
  3. 【請求項3】前記第2の高周波用線路と、前記接続端子
    とを、ワイヤボンディング、リボン、金属層付きテープ
    のうちのいずれかによって接続してなる請求項1または
    請求項2記載の高周波素子搭載基板の実装構造。
  4. 【請求項4】誘電体基板と、該誘電体基板の一方の表面
    に搭載された高周波素子と、前記誘電体基板の一方の表
    面に被着形成され一端が前記高周波素子と接続された第
    1の高周波用線路と、前記高周波素子および前記第1の
    高周波用線路の周囲に設けられた枠体と、前記誘電体基
    板の他方の表面に形成された第2の高周波用線路とを具
    備し、前記第1の高周波用線路と前記第2の高周波用線
    路とを電磁的に結合してなる複数の高周波素子搭載基板
    を外部基板の表面に実装配列してなる高周波用モジュー
    ル構造であって、 前記高周波素子搭載基板における前記枠体をそれぞれ前
    記外部基板と接合することにより前記高周波素子を誘電
    体基板、枠体および外部基板によって形成されるキャビ
    ティ内に気密に封止するとともに、前記複数の高周波素
    子搭載基板の各第2の高周波用線路同士を相互接続して
    なることを特徴とする高周波用モジュール構造。
  5. 【請求項5】前記高周波素子搭載基板における前記誘電
    体基板内部にグランド層が形成され、前記第1の高周波
    用線路と前記第2の高周波用線路とが、前記グランド層
    内に形成されたスロット孔を介して電磁的に結合してな
    る請求項1記載の高周波用モジュール構造。
  6. 【請求項6】前記第2の高周波用線路同士を、ワイヤボ
    ンディング、リボン、および金属層付きテープのうちの
    いずれかによって相互接続してなる請求項4または請求
    項5記載の高周波用モジュール構造。
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