JP2000017821A

JP2000017821A - 床パネル及び床パネル補強方法

Info

Publication number: JP2000017821A
Application number: JP10186112A
Authority: JP
Inventors: Mikio Yamagishi; 幹雄山岸
Original assignee: EIMUBARU KK
Current assignee: EIMUBARU KK
Priority date: 1998-07-01
Filing date: 1998-07-01
Publication date: 2000-01-18

Abstract

(57)【要約】【課題】支持脚１０７の上台座１０５との摩擦によっ
ても摩耗しにくいグレーチング１０を提供すること、及
びグレーチング１０を上台座１０５との摩擦によっても
摩耗しにくくするグレーチング１０の補強方法を提供す
ること。【解決手段】本体１５のコーナー部分１６の裏側に補
強部材１４を固定することにより、グレーチング１０を
構成する。補強部材１４は、本体１５よりも耐摩耗性に
優れる材料から構成される。グレーチング１０が振動し
て支持脚１０７の上台座１０５と擦れ合っても、グレー
チング１０が摩耗することがない。補強部材１４の材質
としては、高炭素鋼や鋳鉄やスズ合金やチタン合金等の
耐摩耗性材料、クロムやモリブデンやタングステンやニ
オブやタンタルやコバルト等の合金元素を含む合金、超
硬合金、サーメット、セラミクス等が用いられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は床パネル及び床パネ
ル補強方法に関するものであり、特に支持機構との摩擦
によっても摩耗しにくい床パネル、及び床パネルを支持
機構との摩擦によっても摩耗しにくくする床パネル補強
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場用や大型コンピュータ用
のクリーンルームには、空調等の目的で、支持脚等の支
持機構上に床パネルの一種であるグレーチングが敷設さ
れた二重床が採用されている。従来の二重床の構造を、
図５を参照しつつ説明する。コンクリート等の床下地Ｇ
の上に、下台座１０１、支柱１０３及び上台座１０５よ
りなる支持脚１０７が所定間隔を隔てて多数個設置さ
れ、支持機構が構成される。この支持脚１０７の上に、
グレーチング１０９が敷設される。通常、一つの支持脚
１０７には、隣接する４枚のグレーチング１０９のコー
ナー部分１１１が載置されるが、図５では説明の便宜上
紙面垂直方向奥寄りの２枚のグレーチング１０９のみの
コーナー部分１１１が示されている。両グレーチング１
０９、１０９は、その出来上がり外寸のばらつきを吸収
する等の目的で、所定間隔の間隙１１３を隔てて載置さ
れる。

【０００３】なお、支持脚１０７の上に縦横に床フレー
ム（図示されず）を張りめぐらせてこれら支持脚１０７
と床フレームとで支持機構を構成し、床フレームにグレ
ーチング１０９が載置される二重床もある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この二重床
が採用される半導体製造工場のクリーンルームでは、材
料の搬入や出来上がった製品の搬出等にＡＧＶと称され
る自動搬送機が用いられる。この自動搬送機にはキャス
ターが設けられており、このキャスターが転動すること
により、あらかじめ自動搬送路として設定されたグレー
チング１０９の上を自動搬送機が往来する。自動搬送機
はある程度の重量物であり、この自動搬送機の往来によ
りグレーチング１０９には振動が加えられる。そして、
コーナー部分１１１が微少な振幅ではあるが振動し、コ
ーナー部分１１１の底面のうち支持脚の上台座１０５と
の当接箇所がこの上台座の上面と擦れ合い、当接箇所が
摩耗してしまうことがある。特に、グレーチング１０９
がアルミニウム等の耐摩耗性に劣る材料で構成されてい
る場合は、摩耗の程度が激しくなる。図５における二点
鎖線は、振動により摩耗した後のグレーチング１０９の
底面を示す線である。

【０００５】このようにグレーチング１０９が摩耗を起
こすと、金属粉等の粉塵がクリーンルーム内に散乱して
製造される半導体の不良率を高めてしまうという問題が
ある。また、摩耗を起こしたグレーチング１０９は、鉛
直方向の高さが部位によりばらついていて、いわゆる
「ガタツキ」が生じている。従ってこのグレーチング１
０９を使用し続けると作業者や自動搬送機の往来により
生じる振動が大きくなり、精密機器である半導体製造設
備の運転に支障が生じることがある。しかも、振動が大
きくなるとグレーチング１０９の摩耗が促進され、粉塵
の悪影響とガタツキが助長されてしまうという悪循環を
繰り返すこととなる。この悪循環を断ち切るにはグレー
チング１０９を張り替える必要があり、グレーチング１
０９の耐用年数が短くなってしまうとともに張り替え作
業に多大の労力を要してしまうという問題がある。

【０００６】なお、自動搬送機が往来しない大型コンピ
ュータ用のクリーンルーム等においても、作業者の往来
等によりグレーチング１０９のコーナー部分１１１の裏
面が摩耗することがある。

【０００７】本発明はこれらの問題に鑑みてなされたも
のであり、支持機構との摩擦によっても摩耗しにくい床
パネルを提供すること、及び床パネルを支持機構との摩
擦によっても摩耗しにくくする床パネル補強方法を提供
することをその目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記した問題を解決する
ためになされた発明は、支持機構の上に載置される床パ
ネルであって、少なくともその支持機構に当接する箇所
に、本体よりも耐摩耗性に優れる材料からなる補強部材
が設けられることを特徴とする床パネル、である（請求
項１）。

【０００９】この発明によれば、支持機構に当接する箇
所に補強部材が設けられているためこの補強部材と支持
機構とが当接し、本体と支持機構とが直接当接すること
が少ない。従って、本体の摩耗を抑えることができる。
しかも、補強部材は本体よりも耐摩耗性に優れる材料か
ら構成されるため、この補強部材が摩耗することがほと
んどない。従って、粉塵の散乱や床パネルのガタツキを
抑えることができる。

【００１０】また、上記した問題を解決するためになさ
れた他の発明は、支持機構の上に載置される床パネルの
部位のうち少なくともその支持機構に当接する箇所に、
本体よりも耐摩耗性に優れる材料からなる補強部材を配
設する床パネル補強方法、である（請求項５）。

【００１１】この発明によれば、摩耗しにくい床パネル
を得ることができ、また、使用されて摩耗が発生してし
まった床パネルを補修することができる。

【００１２】補強部材の材質としては、高炭素鋼、鋳
鉄、スズ合金及びチタン合金からなる群より選択された
１又は２以上の耐摩耗性材料（請求項２）；クロム、モ
リブデン、タングステン、ニオブ、タンタル及びコバル
トからなる群より選択された１又は２以上の合金元素を
含む合金（請求項３）；又は超硬合金、サーメット及び
セラミクスからなる群より選択された１又は２以上の耐
摩耗性材料（請求項４）が好ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明を
詳説する。

【００１４】図１には、本発明の一実施形態にかかる床
パネルとしてのグレーチング１０が示されている。この
グレーチング１０の本体１５は、上下一対のエンドバー
１１、１１間に所定間隔を隔てて多数個のメインバー１
２が橋設されるとともに、メインバー１２と直交する方
向（すなわちエンドバー１１と平行な方向）に伸びるル
ーバー１３が６本設けられることにより構成される。本
体１５の材質はアルミニウムであり、エンドバー１１、
メインバー１２及びルーバー１３はダイキャストにより
一体的に成形されている。

【００１５】このグレーチング１０の裏面（支持機構に
載置した際の下側面）の四隅のコーナー部分１６には、
略正方形の板状の補強部材１４が設けられている。補強
部材１４は、接着剤によりエンドバー１１及びメインバ
ー１２の下側面に固定されている。もちろん、接着剤を
用いず、ビス止め等により補強部材１４を固定してもよ
い。

【００１６】補強部材１４の材質としては、本体１５の
材質よりも耐摩耗性に優れるものであればよい。耐摩耗
性に優れる材料としては、高炭素鋼、鋳鉄、スズ合金、
チタン合金等が挙げられる。また、クロム、モリブデ
ン、タングステン、ニオブ、タンタル、コバルト等の合
金元素を含む合金を用いることもできる。さらに、粉体
を焼結して得られる超硬合金、サーメット、セラミクス
等を用いることもできる。もちろん、補強部材１４の材
質は前述のように本体１５の材質よりも耐摩耗性に優れ
る材料であればよく、例えば本実施形態のようなアルミ
ニウム製のグレーチング１０の場合は、通常の炭素鋼か
らなる補強部材１４を設けても耐摩耗性の向上を図るこ
とができる。

【００１７】図２には、このグレーチング１０が支持機
構としての支持脚１０７の上に載置された様子が示され
ている。この図から明らかなように、支持脚１０７の上
台座１０５にはグレーチング１０の補強部材１４のみが
当接し、本体１５は直接には支持脚１０７の上台座１０
５に当接しない。従って、自動搬送機の往来等によりグ
レーチング１４が振動した場合でも本体１５が摩耗する
ことがない。しかも、補強部材１４は本体１５よりも耐
摩耗性に優れる材料から構成されるため、この補強部材
１４が摩耗することもほとんどない。従って、粉塵の散
乱やグレーチング１０のガタツキを抑えることができ
る。

【００１８】図３には、本発明の他の実施形態にかかる
床パネルとしてのグレーチング２０が示されている。こ
のグレーチング２０は、使用されて既にコーナー部分２
６の裏面が摩耗したものを本体２５とし、この本体２５
の摩耗部分２７に補強部材２４を固定したものである。
この補強部材２４の材質及び固定方法は、図２に示され
た補強部材１４と同様である。このように既に摩耗を起
こした摩耗部分２７に補強部材２４を固定することによ
り、さらなる本体２５の摩耗を防ぐことができ、粉塵の
発生を防ぐことが可能となる。しかも、摩滅した本体２
５の高さを補強部材２４により補填して、グレーチング
２０のガタツキを抑えることができる。

【００１９】摩耗部分２７に補強部材２４を固定する際
には、あらかじめ厚みの異なる補強部材２４を複数種類
用意しておき、改修しようとする摩耗部分２７の摩耗の
程度に応じて適切な厚みの補強部材２４を選択して用い
ればよい。こうすれば、改修後のグレーチング２０の高
さが均一となって、ガタツキをより確実に抑えることが
可能となる。

【００２０】図４には、本発明のさらに他の実施形態に
かかる床パネルとしてのグレーチング３０が示されてい
る。このグレーチング３０は、支持脚１０７と床フレー
ム（図示されず）とから支持機構が構成され、この床フ
レーム上に床パネルが載置される二重床に用いられるも
のである。このグレーチング３０の本体３５（すなわち
エンドバー３１、メインバー３２及びルーバー３３）の
構成は、図１に示されたグレーチング１０と同様であ
る。

【００２１】このグレーチング３０では、周辺部分に略
長方形の板状の補強部材３４が固定されている。補強部
材３４の材質及び固定方法は、図１に示されたグレーチ
ング１０の補強部材１４と同様である。このグレーチン
グ３０を支持機構上に載置すると補強部材３４が床フレ
ームに当接し、本体３５は直接には床フレームに当接し
ない。従って、自動搬送機の往来等によりグレーチング
３０が振動した場合でも本体３５が摩耗することがな
い。しかも、補強部材３４は本体３５よりも耐摩耗性に
優れる材料から構成されるため、この補強部材３４が摩
耗することもほとんどない。従って、粉塵の散乱やグレ
ーチング３０のガタツキを抑えることができる。

【００２２】図１及び図４に示されたグレーチング１
０、３０では板状の補強部材１４、３４を接着剤により
固定しているが、例えば本体１５、３５に溶融金属を溶
射することにより、凝固した金属材料を肉盛りして補強
部材１４、３４を形成することもできる。

【００２３】以上、アルミニウム製のグレーチング１
０、２０、３０を例にとり本発明を説明したが、本発明
はアルミニウム以外の材料からなる床パネルにも適用で
きる。また、本発明はグレーチング１０、２０、３０以
外の、開口部を有さない床パネルにも適用でき、また、
クリーンルーム以外のあらゆる用途の二重床に適用可能
である。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の床パネル
は振動により支持機構と擦れ合った場合でも摩耗するこ
とがほとんどなく、粉塵の散乱や床パネルのガタツキを
有効に防止することができる。従って、床パネルの耐用
年数が向上し、床パネルを頻繁に取り替える必要がなく
なる。

【００２５】また、本発明のように耐摩耗性の補強部材
を設けることにより、床パネルの本体に耐摩耗性の材料
を用いる必要がなくなり、床パネルの製造コストを大幅
に下げることもできる。

【００２６】しかも、もし補強部材が摩耗した場合でも
この補強部材のみを取り替えればよく、本体を取り替え
る必要がないので経済的である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の一実施形態にかかる床パネル
であるグレーチングが示された底面図である。

【図２】図２は、図１に示されたグレーチングが支持機
構に載置された様子が示された正面図である。

【図３】図３は、本発明の他の実施形態にかかる床パネ
ルであるグレーチングが支持機構に載置された様子が示
された正面図である。

【図４】図４は、本発明のさらに他の実施形態にかかる
床パネルであるグレーチングが示された底面図である。

【図５】図５は、従来の床パネルであるグレーチングが
支持機構に載置された様子が示された正面図である。

【符号の説明】

１０、２０、３０・・・グレーチング１１、３１・・・エンドバー１２、３２・・・メインバー１３、３３・・・ルーバー１４、２４、３４・・・補強部材１５、２５、３５・・・本体１６、２６・・・コーナー部分２７・・・摩耗部分１０５・・・上台座１０７・・・支持脚

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持機構の上に載置される床パネルであ
って、少なくともその支持機構に当接する箇所に、本体よりも
耐摩耗性に優れる材料からなる補強部材が設けられるこ
とを特徴とする床パネル。
【請求項２】上記補強部材が、高炭素鋼、鋳鉄、スズ
合金及びチタン合金からなる群より選択された１又は２
以上の耐摩耗性材料からなる請求項１に記載の床パネ
ル。
【請求項３】上記補強部材が、クロム、モリブデン、
タングステン、ニオブ、タンタル及びコバルトからなる
群より選択された１又は２以上の合金元素を含む合金か
らなる請求項１に記載の床パネル。
【請求項４】上記補強部材が、超硬合金、サーメット
及びセラミクスからなる群より選択された１又は２以上
の耐摩耗性材料からなる請求項１に記載の床パネル。
【請求項５】支持機構の上に載置される床パネルの部
位のうち少なくともその支持機構に当接する箇所に、本
体よりも耐摩耗性に優れる材料からなる補強部材を配設
する床パネル補強方法。