JP2000015247A

JP2000015247A - 脱気装置

Info

Publication number: JP2000015247A
Application number: JP10204380A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Kayahara; 敏広茅原; Kazuhiro Tateno; 一博舘野; Takeshi Yoneda; 剛米田; Hajime Abe; 元安部; Hiroaki Fujiwara; 浩昭藤原
Original assignee: Miura Co Ltd
Current assignee: Miura Co Ltd
Priority date: 1998-07-02
Filing date: 1998-07-02
Publication date: 2000-01-18

Abstract

(57)【要約】【課題】設置スペースが小さくできるコンパクトな構造
と、脱気モジュールの増設が容易で、さらに封水を冷却
する熱交換器を備えた脱気装置を提供する。【解決手段】給水操作部を備えたベースユニット２
と、原水中の溶存気体を脱気処理する脱気ユニット３
と、制御操作部を備えた制御ユニット４とからなり、前
記ベースユニット２と前記制御ユニット４との間に前記
脱気ユニット３を配置したことを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、液体から溶存気
体を除去する脱気装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、液体から溶存気体を除去
する脱気装置は、酸化の主要因である溶存酸素を除去す
るため、種々の分野において用いられている。たとえ
ば、蒸気ボイラ，温水ボイラ，冷却塔等の冷熱機器自体
やそれらの給水配管の腐食防止として、またビル，マン
ション等の建造物における給水，給湯，空調設備等の配
管の腐食防止（いわゆる、赤水の防止）として、また電
子部品，機械部品等の洗浄工程における被洗浄物や製品
の酸化防止，腐食防止として、それぞれの給水ラインに
設置されている。

【０００３】このような脱気装置としては、気体透過膜
あるいは気体分離膜を用いた，いわゆる膜式脱気装置
が、コンパクトさや取扱の簡便さから多用されている。
この種の膜式脱気装置の一例を図１１に基づいて説明す
る。図１１に例示した脱気装置において、気体透過膜
（図示省略）は、管状，中空糸状，プリーツ状，スパイ
ラル形状（のり巻き形状）等の形状に成形し、この状態
で適宜の容器に収容して１個の構成部材とした，いわゆ
る脱気モジュール５１として使用されている。この脱気
モジュール５１の内部は、液相側と気相側とに区画され
ている。前記液相側には、脱気処理を行う原水（被処理
水）を供給する給水ポンプ（図示省略）と流量制御弁５
２を備えた原水供給ライン５３を接続するとともに、脱
気処理後の処理水を貯留する処理水タンク（図示省略）
へ供給する処理水供給ライン５４が接続されている。ま
た、気相側には、この区画内を真空吸引するための真空
吸引ライン５５が接続されている。そして、前記脱気モ
ジュール５１内における原水の流通過程において、前記
気体透過膜を介して真空吸引することにより、原水中の
溶存気体を吸引除去し、脱気された処理水を処理水供給
ライン５４から前記処理水タンクへ供給する。

【０００４】図１１に示すように、前記真空吸引ライン
５５には、真空吸引手段として、水封式真空ポンプ５６
が接続されている。この水封式真空ポンプ５６は、排気
とともに封水が排出されるため、封水を補充する必要が
あり、封水の使用量が大量なものとなる。このため、前
記流量制御弁５２から分岐した封水供給ライン５７に封
水を貯留する封水タンク５８を設け、この封水タンク５
８に前記水封式真空ポンプ５６の排気ライン５９を接続
し、封水を前記封水タンク５８と前記水封式真空ポンプ
５６との間で循環させ、封水の循環使用を図っている。
そして、前記流量制御弁５２および前記水封式真空ポン
プ５６の運転制御を行う制御器６０を設け、この制御器
６０と前記流量制御弁５２および前記水封式真空ポンプ
５６とを信号線６１を介してそれぞれ接続した構成とな
っている。

【０００５】ところで、前記脱気モジュール５１，前記
水封式真空ポンプ５６および前記制御器６０は、図１１
に示すケーシング６２（一点鎖線で表示）内に、それぞ
れ独立した１個の構成部材として所定の位置に配設され
ており、また各構成部材同士は、各種の配管および前記
信号線６１で接続されている。そのため、前記各構成部
材同士の配置間隔が必要となり、設置スペースが大きく
なる。また、前記脱気モジュール５１を増設する場合
は、前記ケーシング６２も大きくする必要から、さらに
設置スペースが大きくなる。

【０００６】また、前記封水タンク５８内の封水は、前
記水封式真空ポンプ５６を長時間運転した場合には、回
転熱により循環する封水温度が高くなるので、冷却する
ことが必要となる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記問題
点に鑑み、設置スペースが小さくできるコンパクトな構
造と、脱気モジュールの増設が容易で、さらに封水を冷
却する熱交換器を備えた脱気装置を提供することを目的
とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたものであって、請求項１に記載
の発明は、給水操作部を備えたベースユニットと、原水
中の溶存気体を脱気処理する脱気ユニットと、制御操作
部を備えた制御ユニットとからなり、前記ベースユニッ
トと前記制御ユニットとの間に前記脱気ユニットを配置
したことを特徴としている。

【０００９】請求項２に記載の発明は、前記ベースユニ
ットが、流量制御弁と封水貯留部および熱交換器を備え
ていることを特徴としている。

【００１０】請求項３に記載の発明は、前記脱気ユニッ
トが、脱気モジュールと真空ポンプとを備えていること
を特徴としている。

【００１１】請求項４に記載の発明は、前記脱気ユニッ
トが、少なくとも１台または複数台の脱気モジュールを
備えていることを特徴としている。

【００１２】さらに、請求項５に記載の発明は、前記脱
気モジュールを複数台配設し、前記脱気モジュールの真
空吸引ラインを直列に接続したことを特徴としている。

【００１３】

【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態に
ついて説明すると、この発明は、給水操作部を備えたベ
ースユニットと、原水中の溶存気体を脱気処理する脱気
ユニットと、制御操作部を備えた制御ユニットとからな
り、前記ベースユニットと前記制御ユニットとの間に前
記脱気ユニットを配置した構造の脱気装置において実現
される。

【００１４】前記脱気ユニットが、少なくとも脱気モジ
ュールを１台または複数台備えるとともに、前記脱気モ
ジュール内を真空吸引する真空ポンプを備え、前記複数
の脱気モジュールの真空吸引ラインを直列に接続した構
成となっている。

【００１５】前記ベースユニットが、給水操作部として
の流量制御弁と封水貯留部および熱交換器を備え、前記
脱気モジュールおよび前記真空ポンプへそれぞれ配管を
介して接続し、前記脱気ユニットの一側に配置した構成
となっている。

【００１６】前記制御ユニットが、制御操作部としての
制御基板とカバー部材で構成されており、前記制御基板
と、前記真空ポンプおよび前記流量制御弁の制御部とを
信号線を介してそれぞれ接続し、前記脱気ユニットの他
側に配置した構成となっている。

【００１７】また、前記脱気モジュールを複数台設ける
ときは、この複数台分の脱気モジュールを載置するモジ
ュールベットを設けるとともに、隣接する前記脱気モジ
ュール同士の真空吸引ラインを、たとえば吸盤式流路接
合素子により連結し、各脱気モジュール同士の連結間隔
を短くしている。

【００１８】前記流量制御弁は、たとえば前記脱気モジ
ュール１台分の処理水量から複数台の処理水量（この実
施の形態では、最大４台連結したときの処理水量）を制
御できるように構成されている。また、前記封水貯留部
と熱交換器は、ケーシング本体内に熱交換体を収容する
熱交換部を設け、前記熱交換体と連通する封水貯留部を
設けた構成の一体成形部材（以下、「熱交換器」と云
う）としている。そして、前記ベースユニットの上方所
定位置に前記流量制御弁を配置し、この流量制御弁の下
方所定位置に前記熱交換器を配置し、さらに前記熱交換
器の下方に前記真空ポンプを配置し、前記脱気装置のコ
ンパクト化を図っている。

【００１９】ここで、前記脱気モジュールの増設につい
て説明する。たとえば、当初計画においては、前記脱気
モジュールを１台備えた脱気装置を設置したが、設置
後、諸般の情勢の変化から前記脱気モジュール２台分の
処理水量が必要となった場合、この発明の脱気装置で
は、前記脱気モジュールに連結した前記制御ユニットを
取り外した後、前記脱気モジュールの接合口と増設する
脱気モジュールの真空吸引口とを前記吸盤式流路接合素
子を介して連結するとともに、前記増設する脱気モジュ
ールを載置するモジュールベットを配置し、前記制御ユ
ニットを増設した脱気モジュールに所定の手段で装着
し、各種配管を接続して増設工事は完了する。したがっ
て、従来の脱気装置では、同容量の脱気装置を増設する
のに比べて、設置スペースと増設費用を低減することが
できる。さらに、脱気モジュールの増設が容易に対応で
きるので便利である。

【００２０】以上のように、この発明の脱気装置は、前
記ベースユニット，前記脱気ユニットおよび前記制御ユ
ニットにより構成されたものであるから、従来のよう
に、各部材を独立した構成部材として配置した脱気装置
に比べて、大幅にコンパクト化することができる。ま
た、従来のように、前記各ユニットを収容するケーシン
グが不要となり、前記各ユニットの外周壁で代用するの
で、設置スペースと製造コストを低減することができ
る。

【００２１】

【実施例】以下、この発明の具体的実施例を図面に基づ
いて詳細に説明する。図１は、この発明を実施した脱気
装置の主要構成ユニットの配置状態を概略的に示す説明
図である。

【００２２】図１において、この発明における脱気装置
１は、ベースユニット２と脱気ユニット３と制御ユニッ
ト４とからなり、前記ベースユニット２と前記制御ユニ
ット４との間に前記脱気ユニット３を配置し、前記脱気
ユニット３を前記ベースユニット２と前記制御ユニット
４とで挟持した構成となっている。

【００２３】前記脱気ユニット３は、図２に示すような
脱気モジュール５をもって構成されるもので、この脱気
モジュール５により、原水中の溶存気体を脱気処理す
る。前記脱気ユニット３は、図１に示す実施例にあって
は、４台の脱気モジュール５を直列に連結した構成のも
のを図示している。すなわち、第一脱気モジュール〜第
四脱気モジュール５，６，７，８を直列に連結して、一
つの脱気ユニットを構成している。

【００２４】つぎに、前記脱気ユニット３を構成する第
一〜第四脱気モジュール５〜８について説明するが、各
脱気モジュール５〜８は、同一構成となっているので、
第一脱気モジュール５について、以下説明する。前記第
一脱気モジュール５は、図２に示すように、ポンプベッ
ト９および水封式の真空ポンプ１０を一体的に組み立て
ることにより、前記脱気ユニット３を構成する。

【００２５】前記第一脱気モジュール５は、図３に示す
ように、中空糸状気体分離膜の集合体からなるモジュー
ル本体１１と、このモジュール本体１１の両端部に嵌着
するモジュールキャップ１２，１２と、この両モジュー
ルキャップ１２をそれぞれ収納する方形のマニホールド
１３，１３とからなっている。すなわち、前記モジュー
ル本体１１，両モジュールキャップ１２および両マニホ
ールド１３を一体的に組み立てることにより、前記第一
脱気モジュール５を構成している。そして、前記モジュ
ール本体１１には、真空吸引口として、第一および第二
接合口１４，１５が設けられている。また、前記両マニ
ホールド１３は、前記ベースユニット２および前記制御
ユニット４との接合手段，たとえば接合孔，接合ねじ等
（図示省略）をそれぞれ備えるとともに、原水入口，処
理水出口（ともに符号省略）をそれぞれ備えている。

【００２６】そして、前記第一脱気モジュール５にあっ
ては、前記ベースユニット２との連結面および前記制御
ユニット４との連結面あるいは隣接する前記脱気モジュ
ールとの連結面を除いた側面と、前記ポンプベット９に
当接する面とは反対となる面（すなわち、図３に示す実
施例では上面）とを覆うために、図３に示すように、化
粧板機能を有するモジュールケーシング１６が設けられ
ている。このモジュールケーシング１６は、長方形状の
薄板（金属製あるいは合成樹脂製等）を前記第一脱気モ
ジュール５を覆う寸法に折り曲げて形成している。

【００２７】ところで、図１に示す実施例にあっては、
前記第一〜第四脱気装置モジュール５〜８を４台連結し
た構成の脱気ユニット３としており、前記ベースユニッ
ト２側から前記第一〜第四脱気モジュール５〜８を順次
連結している。したがって、この実施例における前記脱
気ユニット３は、その両側面および上面が前記各モジュ
ールケーシング１６により、全体としてカバーされた状
態のものとして構成されている。

【００２８】前記第一〜第四脱気モジュール５〜８の連
結は、まず前記第一脱気モジュール５を構成する前記モ
ジュール本体１１の第二接合口１５と、前記第二脱気モ
ジュール６を構成する前記モジュール本体１１の第一接
合口１４とを、図４に示すような吸盤式流路接合素子１
７（詳細は、本特許出願人の特許出願に係る特願平１０
−２３８５１号を参照。以下、「接合素子１７」と略称
する。）を介して連結する。すなわち、前記第二接合口
１５に前記接合素子１７の流路案内部１８を挿入する。
この状態で前記第二接合口１５の周囲に前記接合素子１
７の第一吸盤部１９を前記第二接合口１５をカバーする
状態で吸着させるとともに、前記第一接合口１４の周囲
に前記接合素子１７の第二吸盤部２０を前記第一接合口
１４をカバーする状態で吸着させる。つぎに、同様の手
順で前記第二脱気モジュール６と前記第三脱気モジュー
ル７とを前記接合素子１７を介して連結し、前記第三脱
気モジュール７と前記第四脱気モジュール８とを前記接
合素子１７を介して連結する。すなわち、前記第一〜第
四脱気モジュール５〜８を同様の手順で順次連結し、そ
の後、前記接合手段（図示省略）により固定するように
している。これにより、前記脱気ユニット３は、一体的
なものとして構成される。

【００２９】前記ポンプベット９は、図２に示すよう
に、略箱形に形成してあって、内部に前記真空ポンプ１
０を所定の手段で装着するようにしている。そして、上
面には前記ベースユニット２および前記脱気モジュール
５が１台分載置できるスペースが備えられている。した
がって、この実施例のように、前記脱気モジュール５を
複数台（４台）連結配置する場合は、前記ポンプベット
９に連結する箱形のモジュールベット２１（図１参照）
を所定数（３台）連結する構成となる。

【００３０】前記ベースユニット２は、図５に示すよう
に、給水操作部としての流量制御弁２２と、処理水貯留
部を備えた熱交換器２３と、ベースプレート２４とによ
り構成されている。

【００３１】前記流量制御弁２２は、たとえば前記脱気
モジュール５の処理水量が１時間当り１０００リットル
とすれば、この流量制御弁２２は、１時間当り１０００
リットルから４０００リットルの処理水量が制御できる
ものである。具体的には、本特許出願人が先に特許出願
した図６に示す流量制御弁（特願平９−３１６１５５号
を参照）を用いている。また、前記熱交換器２３は、図
７に示すように、ケーシング本体２５内に熱交換体２６
を収容する熱交換部２７を設けるとともに、前記熱交換
体２６と連通する処理液貯留部を設けた構成となってい
る（この熱交換器２３については、本特許出願人が先に
特許出願した特願平１０−１７６７３０号を参照）。ま
た、この実施例においては、前記処理液貯留部は、前記
真空ポンプ１０へ封水を供給する封水貯留部２８として
説明する。そして、この封水貯留部２８の上部には、前
記流量制御弁２２から封水を補給する封水補給口２９
と、濃縮した封水と排気ガスを排出するオーバーフロ−
口３０をそれぞれ設けた構成としている。また、前記ベ
ースプレート２４は、図５に示すように、前記流量制御
弁２２および前記熱交換器２３を装着する装着手段（図
示省略）と、前記脱気ユニット３に接続する接続手段
（図示省略）を備えた浅い箱状のプレートに形成されて
いる。そして、前記ベースユニット２の組立は、前記ベ
ースプレート２４の一面（前記脱気ユニット３の取付側
の反対面）に、前記流量制御弁２２を上方所定位置に、
前記熱交換器２３を下方所定位置に前記装着手段（ボル
ト等）でそれぞれ固定している。

【００３２】前記制御ユニット４は、図８に示すよう
に、パネル３１と制御操作部としての制御基板３２とカ
バー部材３３とにより構成されている。前記パネル３１
は、前記脱気ユニット３の連結面に合致する形状に形成
されている。この連結面の反対側の所定位置に前記制御
基板３２を装着し、この制御基板３２を被覆するカバー
部材３３が設けられている。

【００３３】ここで、この発明における脱気装置１の各
構成要素の接続状態を図９に基づいて簡単に説明する。
まず、原水供給部（図示省略）から供給される原水は、
原水供給ライン３４から流量制御弁２２へ導入される。
そして、この流量制御弁２２が原水（以下、「被処理
水」と云う）の流量を所定量（この実施例では、１時間
当り４０００リットル）に制御し、被処理水ライン３５
を介して第一〜第四脱気モジュール５〜８内へそれぞれ
被処理水を導入する。前記各脱気モジュール５〜８内で
脱気処理された処理水は、処理水ライン３６を介して熱
交換部２７内へ流入し、封水と熱交換した後、処理水供
給ライン３７を介して負荷側へ供給される。一方、水封
式の真空ポンプ１０から排出された封水は、封水還流ラ
イン３８を介して封水貯留部２８内へ流入し、接続パイ
プ３９を介して熱交換体２６内へ導入され、前記処理水
と熱交換後、封水供給ライン４０を介して前記真空ポン
プ１０内へ供給される。また、前記流量制御弁２２のホ
ース継手（符号省略）と前記封水補給口２９とをホース
４１で接続し封水を補給する。さらに、前記オーバーフ
ロー口３０にオーバーフローライン４２を接続し、濃縮
した封水と排気ガスを排出するようにしている。

【００３４】つぎに、この発明の脱気装置１の組立手順
について説明する。まず、図１に示すように、ポンプベ
ット９の上面にベースユニット２を載置し、流量制御弁
２２の原水入口４３と原水供給ライン３４を所定の手段
で接続する。そして、熱交換部２７の処理水出口（符号
省略）に処理水供給ライン３７を所定の手段で接続す
る。つづいて、第一脱気モジュール５を前記ポンプベッ
ト９の上面に載置し、図９に示すように、水封式の真空
ポンプ１０と前記第一脱気モジュール５の第一接合部１
４とを真空吸引ライン４４で接続するとともに、封水還
流ライン３８を封水貯留部２８に接続する。また、前記
流量制御弁２２と前記封水貯留部２８とをホース４１で
接続するとともに、前記封水貯留部２８の上部にオーバ
ーフローライン４２を接続する。一方、前記流量制御弁
２２の原水出口４５に接続した被処理水ライン３５を第
一〜第四脱気モジュール５〜８の入口（符号省略）にそ
れぞれ接続し、前記第一〜第四脱気モジュール５〜８の
出口（符号省略）に処理水ライン３６をそれぞれ接続
し、この処理水ライン３６の他端を前記熱交換部２７に
接続する。

【００３５】つぎに、前記第一脱気モジュール５に連結
する第二〜第四脱気モジュール６〜８の組立手順を説明
する。図１に示すように、前記ポンプベット９に前記第
二〜第四脱気モジュール６〜８をそれぞれ載置するモジ
ュールベット２１を３台適宜の手段で連結する。そし
て、前記第二〜第四脱気モジュール６〜８を所定の手段
（ボルト等）で、前記第一脱気モジュール５も一緒に前
記ベースユニット２に固定し、このベースユニット２を
前記ポンプベット９に固定するとともに、前記第二〜第
四脱気モジュール６〜８を前記各モジュールベット２１
に所定の手段で固定し一体化する。

【００３６】つぎに、前記第四脱気モジュール８の正面
（前記第三脱気モジュール７を連結した面とは反対側の
面）に、制御基板３２を装着したパネル３１を所定の手
段で固定し、前記制御基板３２の各接点と、前記流量制
御弁２２，前記真空ポンプ１０およびそのほかの制御機
器（図示省略）の各接点とを信号線（図示省略）を介し
てそれぞれ接続する。そして、前記パネル３１にカバー
部材３３を所定の手段（ネジ等）で装着して組立は完了
する。

【００３７】前記実施例は、前記第一〜第四脱気モジュ
ール５〜８を備えた脱気装置１について説明したが、こ
こで脱気モジュールの増設について説明する。たとえ
ば、当初計画においては、図１０に示すように、前記第
一脱気モジュール５を一台備えた構成の脱気装置を設置
したが、設置後、諸般の情勢の変化から前記脱気モジュ
ール２台分の処理水量が必要となった場合について説明
する。すなわち、前記脱気ユニット３に装着してある前
記制御ユニット４を取り外した後、前記第二脱気モジュ
ール６を載置する前記モジュールベット２１を配置する
とともに、前記第二脱気モジュール６を前述の連結手順
によって、前記第一脱気モジュール５に連結し、前記制
御ユニット４を前記第二脱気モジュール６に所定の手段
で装着し、各種配管を接続して増設工事（増設後の脱気
装置は、図示省略）は完了する。したがって、従来の脱
気装置では、同容量の脱気装置を増設するのに比べて、
設置スペースと増設費用を低減することができる。さら
に、脱気モジュールの増設が容易に対応できるので便利
である。

【００３８】さらに、前記実施例においては、前記各ユ
ニット２〜４を図面の左右方向へ連結する構成として説
明したが、図面の上下方向に連結する構成も前記実施例
と同様に実施することができる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、脱気装置全体がコンパクトで設置スペースが小さ
く、しかも脱気処理する脱気モジュールの増設が容易に
できる。さらに、水封式の真空ポンプの封水冷却手段を
備えた構成としたので、脱気効率を向上させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の脱気装置の主要構成ユニットの配置
状態（脱気モジュールを４台設置したケース）を概略的
に示す側面説明図である。

【図２】図１に示した脱気ユニットの構成を分解した状
態で概略的に示す斜視説明図である。

【図３】図２に示した脱気モジュールの構成を分解した
状態で概略的に示す斜視説明図である。

【図４】隣接する脱気モジュールを連結する吸盤式流路
接合素子の構成を示す断面説明図である。

【図５】図１に示したベースユニットの構成を分解した
状態で概略的に示す斜視説明図である。

【図６】図５に示した流量制御弁の構成を示す断面説明
図である。

【図７】図５に示した熱交換器の構成を示す断面説明図
である。

【図８】図１に示した制御ユニットの構成を分解した状
態で概略的に示す斜視説明図である。

【図９】この発明における脱気装置の接続状態を概略的
に示す説明図である。

【図１０】図１の脱気モジュールを１台設置した脱気装
置の説明図である。

【図１１】従来の脱気装置の構成を概略的に示す説明図
である。

【符号の説明】

１脱気装置２ベースユニット３脱気ユニット４制御ユニット５脱気モジュール１０真空ポンプ２２流量制御弁２３熱交換器２８封水貯留部４４真空吸引ライン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者安部元愛媛県松山市堀江町７番地三浦工業株式会社内 (72)発明者藤原浩昭愛媛県松山市堀江町７番地三浦工業株式会社内Ｆターム(参考） 4D006 GA32 HA01 JA71 KE02Q MA01 PA01 PB02 PB07 PB62 PC01 PC31 PC51 4D011 AA17 AC04 AC06 AD06 4D037 AA01 AA08 AB11 BA23 BB01 BB06 BB07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】給水操作部を備えたベースユニット２
と、原水中の溶存気体を脱気処理する脱気ユニット３
と、制御操作部を備えた制御ユニット４とからなり、前
記ベースユニット２と前記制御ユニット４との間に前記
脱気ユニット３を配置したことを特徴とする脱気装置。
【請求項２】前記ベースユニット２が、流量制御弁２
２と封水貯留部２８および熱交換器２３を備えているこ
とを特徴とする請求項１に記載の脱気装置。
【請求項３】前記脱気ユニット３が、脱気モジュール
５と真空ポンプ１０とを備えていることを特徴とする請
求項１または請求項２に記載の脱気装置。
【請求項４】前記脱気ユニット３が、少なくとも１台
または複数台の脱気モジュール５を備えていることを特
徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の脱気
装置。
【請求項５】前記脱気モジュール５を複数台配設し、
前記脱気モジュール５の真空吸引ライン４４を直列に接
続したことを特徴とする請求項４に記載の脱気装置。