JP2000007084A - 汚染防止用保管運搬容器 - Google Patents
汚染防止用保管運搬容器Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 評価・分析を目的とした試料としての電子工
業分野、医薬工業分野、及び化学工業分野、又はこれら
の研究開発における製品、原材料、及び製造装置若しく
はそれらの部品の保管及び運搬に使用する保管容器で、
その保管や運搬する際にその間の汚染状態の変化を最小
限に防止して、イオン類汚染の正確な評価・分析を可能
にし、又は運搬又は保管する内容物の環境空気からの汚
染を最小限としてその性能の劣化を防止する。 【解決手段】 上記の課題・目的を解決するため、本発
明の汚染防止用保管運搬容器は、環境中の空気等からの
汚染を防止する必要がある材料若しくは部品の保管及び
運搬に使用する試料等の保管又は運搬容器において、該
容器内部の表面部分が有機物吸着材料部分を除いて金
属、ガラス、セラミックス、石英のいずれか又はそれら
の組み合わせからなる形態とし、その構成部品間に柔ら
かい金属材料を押圧封止材として用いた形態として、か
つ該容器内部と外部とを有機物吸着用材料を介して空気
が通過できる貫通部分を装備した構成を有する。
業分野、医薬工業分野、及び化学工業分野、又はこれら
の研究開発における製品、原材料、及び製造装置若しく
はそれらの部品の保管及び運搬に使用する保管容器で、
その保管や運搬する際にその間の汚染状態の変化を最小
限に防止して、イオン類汚染の正確な評価・分析を可能
にし、又は運搬又は保管する内容物の環境空気からの汚
染を最小限としてその性能の劣化を防止する。 【解決手段】 上記の課題・目的を解決するため、本発
明の汚染防止用保管運搬容器は、環境中の空気等からの
汚染を防止する必要がある材料若しくは部品の保管及び
運搬に使用する試料等の保管又は運搬容器において、該
容器内部の表面部分が有機物吸着材料部分を除いて金
属、ガラス、セラミックス、石英のいずれか又はそれら
の組み合わせからなる形態とし、その構成部品間に柔ら
かい金属材料を押圧封止材として用いた形態として、か
つ該容器内部と外部とを有機物吸着用材料を介して空気
が通過できる貫通部分を装備した構成を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子工業用原材料
及び電子工業用製造装置材料若しくは部品などの環境中
の空気等からの汚染を防止する必要がある材料若しくは
部品の保管又は運搬に使用する汚染防止用保管運搬容器
に関する。
及び電子工業用製造装置材料若しくは部品などの環境中
の空気等からの汚染を防止する必要がある材料若しくは
部品の保管又は運搬に使用する汚染防止用保管運搬容器
に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子工業分野、医薬工業分野、及び化学
工業分野又はこれらの研究開発においてはその発達とと
もに、製品、原材料及び製造装置若しくはそれらの部品
は、汚染を可能な限り低減した清浄なものが必要とされ
ている。特に電子工業分野では半導体等の集積度が増加
するに従い、有機物汚染・無機イオン汚染が半導体、液
晶表示デバイスまたはハードディスク等の製造に重大な
障害を与えることが明らかになってきており、そのため
に上記材料や部品の汚染量のレベルを正確に評価・測定
することが重要になってきている。この有機物汚染の評
価・分析方法としては、ガスクロマトグラフィ、ガスク
ロマトグラフ質量分析法、Ｘ線光電子分光法、飛行時間
型二次イオン質量分析法又はイオンモービリティ・スペ
クトロスコピー等の機器分析法が知られている。また、
無機イオン汚染の評価・分析方法としては、イオンクロ
マトグラフィー、液体クロマトグラフィー、キャピラリ
ー電気泳動等の機器分析法が知られている。また、評価
・分析に供される試料としての原材料及び製造装置材
料、又はそれらの部品の保管や運搬にはその間の有機物
やイオン類からの汚染を最小限に抑える保管又は運搬容
器が必要とされる。
工業分野又はこれらの研究開発においてはその発達とと
もに、製品、原材料及び製造装置若しくはそれらの部品
は、汚染を可能な限り低減した清浄なものが必要とされ
ている。特に電子工業分野では半導体等の集積度が増加
するに従い、有機物汚染・無機イオン汚染が半導体、液
晶表示デバイスまたはハードディスク等の製造に重大な
障害を与えることが明らかになってきており、そのため
に上記材料や部品の汚染量のレベルを正確に評価・測定
することが重要になってきている。この有機物汚染の評
価・分析方法としては、ガスクロマトグラフィ、ガスク
ロマトグラフ質量分析法、Ｘ線光電子分光法、飛行時間
型二次イオン質量分析法又はイオンモービリティ・スペ
クトロスコピー等の機器分析法が知られている。また、
無機イオン汚染の評価・分析方法としては、イオンクロ
マトグラフィー、液体クロマトグラフィー、キャピラリ
ー電気泳動等の機器分析法が知られている。また、評価
・分析に供される試料としての原材料及び製造装置材
料、又はそれらの部品の保管や運搬にはその間の有機物
やイオン類からの汚染を最小限に抑える保管又は運搬容
器が必要とされる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来から使用
されている保管や運搬用の容器は少なくとも部分的に樹
脂等のポリマーや有機材料が使用されており、有機物や
イオン類の評価・分析ではその容器自体が試料に対する
汚染源となるため、これら容器を試料の保管や運搬に用
いることは、有機物汚染やイオン類汚染の正確な評価・
分析において重大な問題となっていた。すなわち、たと
えば有機物又はイオン類の評価・分析を目的とした試料
としての電子工業用原材料及び電子工業用製造装置材料
若しくは部品の保管又は運搬に使用する容器において、
その保管運搬時に容器自体から発生する有機汚染物質に
より汚染状態が変化するため、その試料の有機物汚染を
正確に評価・分析することができないという問題があっ
た。
されている保管や運搬用の容器は少なくとも部分的に樹
脂等のポリマーや有機材料が使用されており、有機物や
イオン類の評価・分析ではその容器自体が試料に対する
汚染源となるため、これら容器を試料の保管や運搬に用
いることは、有機物汚染やイオン類汚染の正確な評価・
分析において重大な問題となっていた。すなわち、たと
えば有機物又はイオン類の評価・分析を目的とした試料
としての電子工業用原材料及び電子工業用製造装置材料
若しくは部品の保管又は運搬に使用する容器において、
その保管運搬時に容器自体から発生する有機汚染物質に
より汚染状態が変化するため、その試料の有機物汚染を
正確に評価・分析することができないという問題があっ
た。
【０００４】そのため本発明は、上記の材料若しくは部
品の汚染物質を評価・分析するに際し、汚染物質測定に
供するまでの間にその保管又は運搬時になされる容器及
び外気等による汚染物質の汚染状態の変化という重大な
問題を解決し、よって、上記材料若しくは部品の汚染物
質の変化を最小にして、正確に評価・分析し得る簡便な
汚染防止用保管運搬容器を提供することを目的とするも
のである。すなわち、本発明が解決しようとする課題
は、環境空気中等からの有機物やイオン類の汚染を防止
し、かつ汚染物を除去、減失させることもなく、容器内
の保管又は運搬するものの状態を極力維持して保管又は
運搬する課題である。
品の汚染物質を評価・分析するに際し、汚染物質測定に
供するまでの間にその保管又は運搬時になされる容器及
び外気等による汚染物質の汚染状態の変化という重大な
問題を解決し、よって、上記材料若しくは部品の汚染物
質の変化を最小にして、正確に評価・分析し得る簡便な
汚染防止用保管運搬容器を提供することを目的とするも
のである。すなわち、本発明が解決しようとする課題
は、環境空気中等からの有機物やイオン類の汚染を防止
し、かつ汚染物を除去、減失させることもなく、容器内
の保管又は運搬するものの状態を極力維持して保管又は
運搬する課題である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題・目的を解決
するため、本発明の汚染防止用保管運搬容器は、環境中
の空気等からの汚染を防止する必要がある材料若しくは
部品の保管及び運搬に使用する汚染防止用保管運搬容器
において、該容器内部の表面部分が有機物吸着材料部分
を除いてすべて金属、ガラス、セラミックス、石英のい
ずれか又はそれらの組み合わせからなる形態とし、その
構成部品間に柔らかい金属材料を押圧封止材として用い
た形態として、かつ該容器内部と外部とを有機物吸着用
材料を介して空気が通過できる貫通部分を装備したもの
である。
するため、本発明の汚染防止用保管運搬容器は、環境中
の空気等からの汚染を防止する必要がある材料若しくは
部品の保管及び運搬に使用する汚染防止用保管運搬容器
において、該容器内部の表面部分が有機物吸着材料部分
を除いてすべて金属、ガラス、セラミックス、石英のい
ずれか又はそれらの組み合わせからなる形態とし、その
構成部品間に柔らかい金属材料を押圧封止材として用い
た形態として、かつ該容器内部と外部とを有機物吸着用
材料を介して空気が通過できる貫通部分を装備したもの
である。
【０００６】すなわち、本発明の最大の特徴は該容器内
部の表面部分が有機物吸着材料部分を除いて金属、ガラ
ス、セラミックス、石英のいずれか又はそれらの組み合
わせからなる形態とし、特に外気の侵入による外気中有
機物やメタルイオンを除くイオン類による試料の汚染を
防止するために、容器内部と外部とを有機物吸着用材料
を介して空気が通過できる貫通部分を装備した点にあ
る。
部の表面部分が有機物吸着材料部分を除いて金属、ガラ
ス、セラミックス、石英のいずれか又はそれらの組み合
わせからなる形態とし、特に外気の侵入による外気中有
機物やメタルイオンを除くイオン類による試料の汚染を
防止するために、容器内部と外部とを有機物吸着用材料
を介して空気が通過できる貫通部分を装備した点にあ
る。
【０００７】本発明は容器の内面の空気にさらされる表
面部分が金属、ガラス、セラミックス、石英のいずれか
又はそれらの組み合わせである汚染防止用保管運搬容器
を用いることによって、試料の保管運搬時に容器自体か
らの有機物汚染が防止でき、一方、本発明は容器内部と
外部とを有機物吸着材料を介して空気が通過できる貫通
部分を装備することによって試料の出し入れに必要な開
閉部が存在するために完全な密閉が不十分になる場合で
保管時の外気圧の変動によって開閉部のわずかな間隙か
ら外気の一部が汚染防止用保管運搬容器に漏れこんで外
気中の有機物によって試料が汚染されるを防止すること
ができる。
面部分が金属、ガラス、セラミックス、石英のいずれか
又はそれらの組み合わせである汚染防止用保管運搬容器
を用いることによって、試料の保管運搬時に容器自体か
らの有機物汚染が防止でき、一方、本発明は容器内部と
外部とを有機物吸着材料を介して空気が通過できる貫通
部分を装備することによって試料の出し入れに必要な開
閉部が存在するために完全な密閉が不十分になる場合で
保管時の外気圧の変動によって開閉部のわずかな間隙か
ら外気の一部が汚染防止用保管運搬容器に漏れこんで外
気中の有機物によって試料が汚染されるを防止すること
ができる。
【０００８】本発明において、表面部分とは好ましくは
８０％、望ましくは９５％以上を意味し、この範囲内に
おいては発明の効果がある物と考える。
８０％、望ましくは９５％以上を意味し、この範囲内に
おいては発明の効果がある物と考える。
【０００９】本発明における汚染防止用保管運搬容器の
金属材料としては、特に制限は設けられないが、アルミ
ニウム、銅、鉛、ニッケル若しくは白金、又はそれらの
合金を挙げることができる。特に本発明の優れた効果を
十分に享受し得るものとしてはアルミニウム又はアルミ
ニウム合金が好ましい。しかしながら、容器全体が金
属、ガラス、セラミックス、石英のいずれか又はそれら
の組み合わせからなる形態であることは必ずしも必要で
はなく、容器内部の空気にさらされる表面が金属、ガラ
ス、セラミックス、石英のいずれか又はそれらの組み合
わせからなる形態であればよく、そのため容器の内面に
金属、ガラス、セラミックス、石英のいずれかの板若し
くは金属箔による内貼り、又は金属、ガラス、セラミッ
クス、石英のいずれかのコーティングが施されたもので
あっても良い。
金属材料としては、特に制限は設けられないが、アルミ
ニウム、銅、鉛、ニッケル若しくは白金、又はそれらの
合金を挙げることができる。特に本発明の優れた効果を
十分に享受し得るものとしてはアルミニウム又はアルミ
ニウム合金が好ましい。しかしながら、容器全体が金
属、ガラス、セラミックス、石英のいずれか又はそれら
の組み合わせからなる形態であることは必ずしも必要で
はなく、容器内部の空気にさらされる表面が金属、ガラ
ス、セラミックス、石英のいずれか又はそれらの組み合
わせからなる形態であればよく、そのため容器の内面に
金属、ガラス、セラミックス、石英のいずれかの板若し
くは金属箔による内貼り、又は金属、ガラス、セラミッ
クス、石英のいずれかのコーティングが施されたもので
あっても良い。
【００１０】本発明において、構成部品間の柔らかい金
属製押圧封止材として、好ましくはプリネル硬さ２０以
下の金属を使用する。
属製押圧封止材として、好ましくはプリネル硬さ２０以
下の金属を使用する。
【００１１】本発明の有機物吸着用材料としては、活性
炭、グラファイトカーボン、カーボンモレキュラーシー
ブ、モレキュラーシーブ、若しくは有機物吸着用ポリマ
ー、又はこれらの混合物を使用する。有機物吸着用ポリ
マーとしては特に制限は設けられないが、ポリスチレン
・ジビニルベンゼン共重合体ポリマービーズ、エチルビ
ニルベンゼン・ジビニルベンゼン共重合体ポリマービー
ズ、ビニルピロリドンポリマービーズ、ビニルピリジン
重合体ポリマービーズ、ジビニルベンゼン・エチルビニ
ルベンゼン・エチレングリコールジメタクリレート共重
合体ポリマービーズ、架橋ポリスチレン重合体ポリマー
ビーズ、ポリアロマチックポリマービーズ、又は架橋ア
クリル酸エステルポリマービーズを挙げることができ
る。
炭、グラファイトカーボン、カーボンモレキュラーシー
ブ、モレキュラーシーブ、若しくは有機物吸着用ポリマ
ー、又はこれらの混合物を使用する。有機物吸着用ポリ
マーとしては特に制限は設けられないが、ポリスチレン
・ジビニルベンゼン共重合体ポリマービーズ、エチルビ
ニルベンゼン・ジビニルベンゼン共重合体ポリマービー
ズ、ビニルピロリドンポリマービーズ、ビニルピリジン
重合体ポリマービーズ、ジビニルベンゼン・エチルビニ
ルベンゼン・エチレングリコールジメタクリレート共重
合体ポリマービーズ、架橋ポリスチレン重合体ポリマー
ビーズ、ポリアロマチックポリマービーズ、又は架橋ア
クリル酸エステルポリマービーズを挙げることができ
る。
【００１２】有機物吸着用材料の形状は特に制限は設け
られないが、粉末状、粒状、繊維状、ポーラス材料への
担持、又は蜂の巣状の成形体を挙げることができる。有
機物吸着用材料を汚染防止用保管運搬容器の貫通部分に
装着固定する方法は特に制限は設けられないが、例えば
金属製の２枚のメッシュ板によるサンドイッチ構造にし
て有機物吸着用材料を固定することができ、又は金属製
の円筒状カラムに有機物吸着用材料を充填してその両端
をガラス繊維等で固定する方法が挙げられる。
られないが、粉末状、粒状、繊維状、ポーラス材料への
担持、又は蜂の巣状の成形体を挙げることができる。有
機物吸着用材料を汚染防止用保管運搬容器の貫通部分に
装着固定する方法は特に制限は設けられないが、例えば
金属製の２枚のメッシュ板によるサンドイッチ構造にし
て有機物吸着用材料を固定することができ、又は金属製
の円筒状カラムに有機物吸着用材料を充填してその両端
をガラス繊維等で固定する方法が挙げられる。
【００１３】本発明の汚染防止用保管運搬容器の内部に
試料保持具を装備しても良い。この試料保持具は試料を
内部に収容しかつ個々に保持する金属製保護具か、又は
各試料間に挿入され試料と組み合わされて容器内部に保
持固定される金属製スペーサーであり、その材料として
は、上記と同様に特に制限はないが、アルミニウム、ニ
ッケル若しくは白金又はその合金を挙げることができ
る。
試料保持具を装備しても良い。この試料保持具は試料を
内部に収容しかつ個々に保持する金属製保護具か、又は
各試料間に挿入され試料と組み合わされて容器内部に保
持固定される金属製スペーサーであり、その材料として
は、上記と同様に特に制限はないが、アルミニウム、ニ
ッケル若しくは白金又はその合金を挙げることができ
る。
【００１４】本発明におけるイオン成分としては、フッ
素イオン、塩化物イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオン、
りん酸イオン、硫酸イオン、及びアンモニウムイオンを
あげることが出来る。
素イオン、塩化物イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオン、
りん酸イオン、硫酸イオン、及びアンモニウムイオンを
あげることが出来る。
【００１５】本発明の汚染防止用保管運搬容器の構成部
品間に装備される柔らかい金属製の押圧封止材としては
特に制限はないが、アルミニウム、高純度アルミニウ
ム、白金、鉛、スズ、又はこれらの合金を挙げることが
できる。
品間に装備される柔らかい金属製の押圧封止材としては
特に制限はないが、アルミニウム、高純度アルミニウ
ム、白金、鉛、スズ、又はこれらの合金を挙げることが
できる。
【００１６】本発明は、有機物吸着用材料部分を除い
て、容器の内面の空気にさらされる表面部分に金属を用
いることであり、外気の侵入による外気中有機物の試料
への汚染を防止のために、容器内部と外部とを有機物吸
着用材料を介して空気が通過できる貫通部分を装備した
点にある。
て、容器の内面の空気にさらされる表面部分に金属を用
いることであり、外気の侵入による外気中有機物の試料
への汚染を防止のために、容器内部と外部とを有機物吸
着用材料を介して空気が通過できる貫通部分を装備した
点にある。
【００１７】本発明の対象とする電子工業用原材料及び
電子工業用製造装置材料若しくは部品は、本発明の優れ
た効果を十分に享有し得るものとして、特にシリコンウ
エハを適用されるのが好ましい。
電子工業用製造装置材料若しくは部品は、本発明の優れ
た効果を十分に享有し得るものとして、特にシリコンウ
エハを適用されるのが好ましい。
【００１８】次に、実施例により本発明を説明するが、
実施例によって本発明方法が制限されるものではない。
実施例によって本発明方法が制限されるものではない。
【００１９】
【実施例１】図１に本発明による実施例１の汚染防止用
保管運搬容器の斜視図を示す。図２は図１のＡ−Ａ線に
よる断面図である。この実施例１においては、本体部分
１は箱形のアルミニウム製ケースで試料出し入れ用の開
閉部扉２もアルミニウム製である。内部に縦置きで設置
されるウエハ３の金属製保持具４はステンレス鋼で製造
されており、ウエハ相互の接触を防止するためウエハ１
枚ごとに対応した溝がある。開閉式の扉２と本体１の間
を密閉化するためパッキン５は高純度アルミニウムのガ
スケットが使用される。扉２と本体１は図１で示される
尾錠６により締付け固定されている。８は箱内部と外部
との貫通部であり、貫通部８には２枚のステンレス製金
属メッシュ板９によって固定された有機物吸着用材料と
しての粉末活性炭１０が充填されている。
保管運搬容器の斜視図を示す。図２は図１のＡ−Ａ線に
よる断面図である。この実施例１においては、本体部分
１は箱形のアルミニウム製ケースで試料出し入れ用の開
閉部扉２もアルミニウム製である。内部に縦置きで設置
されるウエハ３の金属製保持具４はステンレス鋼で製造
されており、ウエハ相互の接触を防止するためウエハ１
枚ごとに対応した溝がある。開閉式の扉２と本体１の間
を密閉化するためパッキン５は高純度アルミニウムのガ
スケットが使用される。扉２と本体１は図１で示される
尾錠６により締付け固定されている。８は箱内部と外部
との貫通部であり、貫通部８には２枚のステンレス製金
属メッシュ板９によって固定された有機物吸着用材料と
しての粉末活性炭１０が充填されている。
【００２０】以下にこの汚染防止用保管運搬容器を使用
した実験例を示す。
した実験例を示す。
【００２１】予め４００℃で１時間保持して有機物を除
去して清浄にしたシリコンウエハの表面を、加熱脱離−
ガスクロマトグラフ−質量分析法により、表面付着有機
物の測定を行った。その結果、有機物表面濃度は０．０
０４ｎｇ／ｃｍ３であった。
去して清浄にしたシリコンウエハの表面を、加熱脱離−
ガスクロマトグラフ−質量分析法により、表面付着有機
物の測定を行った。その結果、有機物表面濃度は０．０
０４ｎｇ／ｃｍ３であった。
【００２２】次に、活性炭を取り外した汚染防止用保管
運搬容器及び保持具をアセトンで洗浄し、次いで８０℃
で２時間加熱乾燥し、容器内面に汚染している有機物を
除去クリーニングした。その後で活性炭を充填して、こ
の清浄化した汚染防止用保管運搬容器に、前述の有機物
を除去したシリコンウエハを収納し、室温で７日間保持
した後、容器に収納していたシリコンウエハの表面付着
有機物の測定を行った。その結果、有機物表面濃度は
０．００６ｎｇ／ｃｍ３であった。このことから、本発
明を用いることにより試料保管運搬時の有機物汚染はほ
とんど無いことがわかった。
運搬容器及び保持具をアセトンで洗浄し、次いで８０℃
で２時間加熱乾燥し、容器内面に汚染している有機物を
除去クリーニングした。その後で活性炭を充填して、こ
の清浄化した汚染防止用保管運搬容器に、前述の有機物
を除去したシリコンウエハを収納し、室温で７日間保持
した後、容器に収納していたシリコンウエハの表面付着
有機物の測定を行った。その結果、有機物表面濃度は
０．００６ｎｇ／ｃｍ３であった。このことから、本発
明を用いることにより試料保管運搬時の有機物汚染はほ
とんど無いことがわかった。
【００２３】
【実施例２】実施例１と同様に、活性炭を取り外した容
器及び保持具をアセトンで洗浄し、次いで８０℃で２時
間加熱乾燥し、容器内面に汚染している有機物を除去ク
リーニングした。その後で活性炭を充填して、この清浄
化した汚染防止用保管運搬容器に、前述の実施例１と同
様に処理して有機物を除去したシリコンウエハを収納
し、東京−大分間往復空輸した後、容器に収納していた
シリコンウエハの表面付着有機物の測定を行った。その
結果、有機物表面濃度は０．００６ｎｇ／ｃｍ３であっ
た。このことから、本発明を用いることにより試料保管
運搬時の有機物汚染はほとんど無いことがわかった。
器及び保持具をアセトンで洗浄し、次いで８０℃で２時
間加熱乾燥し、容器内面に汚染している有機物を除去ク
リーニングした。その後で活性炭を充填して、この清浄
化した汚染防止用保管運搬容器に、前述の実施例１と同
様に処理して有機物を除去したシリコンウエハを収納
し、東京−大分間往復空輸した後、容器に収納していた
シリコンウエハの表面付着有機物の測定を行った。その
結果、有機物表面濃度は０．００６ｎｇ／ｃｍ３であっ
た。このことから、本発明を用いることにより試料保管
運搬時の有機物汚染はほとんど無いことがわかった。
【００２４】
【実施例３】有機物吸着用材料として、活性炭の代わり
にポリスチレン・ジビニルベンゼン共重合体ポリマービ
ーズを用いた以外は実施例１と同様に試験した結果、有
機物表面濃度は０．００７ｎｇ／ｃｍ３であった。この
ことから、本発明を用いることにより試料保管運搬時の
有機物汚染はほとんど無いことがわかった。
にポリスチレン・ジビニルベンゼン共重合体ポリマービ
ーズを用いた以外は実施例１と同様に試験した結果、有
機物表面濃度は０．００７ｎｇ／ｃｍ３であった。この
ことから、本発明を用いることにより試料保管運搬時の
有機物汚染はほとんど無いことがわかった。
【００２５】
【比較例】予め４００℃で１時間保持して有機物を除去
して清浄にしたシリコンウエハをポリプロピレン製のウ
エハキャリアケースに収納し、室温で１週間保持した
後、加熱脱離−ガスクロマトグラフ−質量分析法によ
り、表面付着有機物の測定を行った。その結果、有機物
表面濃度は３．２ｎｇ／ｃｍ３であった。この結果か
ら、従来のポリプロピレン製のウエハキャリアケースに
収納保存した場合には、シリコンウエハ表面への有機物
汚染が起こり、正確なシリコンウエハ表面有機物分析が
不可能であった。
して清浄にしたシリコンウエハをポリプロピレン製のウ
エハキャリアケースに収納し、室温で１週間保持した
後、加熱脱離−ガスクロマトグラフ−質量分析法によ
り、表面付着有機物の測定を行った。その結果、有機物
表面濃度は３．２ｎｇ／ｃｍ３であった。この結果か
ら、従来のポリプロピレン製のウエハキャリアケースに
収納保存した場合には、シリコンウエハ表面への有機物
汚染が起こり、正確なシリコンウエハ表面有機物分析が
不可能であった。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明では、有機
物の評価・分析に供される試料である電子工業用原材料
及び電子工業用製造装置材料若しくは部品の保管及び運
搬に、有機物吸着用材料部分を除いてその内部の空気に
さらされる表面部分が全て金属であり、また該容器内部
と外部とを有機物吸着用材料を介して空気が通過できる
貫通部分を装備した構成を有する汚染防止用保管運搬容
器を使用することによって、試料の保管又は運搬の間の
容器自体及び外気による有機物汚染という重大な問題を
解消して、有機物汚染やイオン成分汚染を評価・分析す
るための汚染状態の変化を最小限に防止することができ
る。
物の評価・分析に供される試料である電子工業用原材料
及び電子工業用製造装置材料若しくは部品の保管及び運
搬に、有機物吸着用材料部分を除いてその内部の空気に
さらされる表面部分が全て金属であり、また該容器内部
と外部とを有機物吸着用材料を介して空気が通過できる
貫通部分を装備した構成を有する汚染防止用保管運搬容
器を使用することによって、試料の保管又は運搬の間の
容器自体及び外気による有機物汚染という重大な問題を
解消して、有機物汚染やイオン成分汚染を評価・分析す
るための汚染状態の変化を最小限に防止することができ
る。
【図１】本発明による実施例１の汚染防止用保管運搬容
器の斜視図。
器の斜視図。
【図２】図１の実施例１のＡ−Ａ線による断面図。
【図３】図２の押圧封止材の拡大図
１ 本体 ２ 扉 ３ ウエハ ４ 金属製保持具 ５ パッキン ６ 尾錠 ７ 押えピン ８ 貫通部分 ９ 金属製メッシュ １０ 有機物吸着用材料
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年９月４日（１９９８．９．４）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図３
【補正方法】削除
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 勝正 東京都千代田区神田須田町２丁目７番 タ ームスビル３階 株式会社住化分析センタ ー内 (72)発明者 井上 芳夫 東京都千代田区神田須田町２丁目７番 タ ームスビル３階 株式会社住化分析センタ ー内 (72)発明者 大塚 好恭 東京都千代田区神田須田町２丁目７番 タ ームスビル３階 株式会社住化分析センタ ー内 Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA16 BB04 CA02 CB03 DA30 DB06 EA06X EA10X FA40 GA03 5F031 CA02 DA08 EA18 EA19 MA33 NA20
Claims (5)
- 【請求項１】 環境中の空気等からの汚染を防止する必
要がある材料若しくは部品の保管及び運搬に使用する試
料等の保管又は運搬容器において、該容器内部の表面部
分が金属、ガラス、セラミックス、石英のいずれか又は
それらの組み合わせからなる形態とし、その構成部品間
に柔らかい金属材料を押圧封止材として用いた形態とし
て、かつ該容器内部と外部とを有機物吸着用材料を介し
て空気が通過できる貫通部分を装備した汚染防止用保管
運搬容器。 - 【請求項２】 請求項１の汚染防止用保管運搬容器を構
成する有機物吸着用材料が活性炭、グラファイトカーボ
ン、カーボンモレキュラーシーブ、モレキュラーシー
ブ、若しくは有機物吸着用ポリマー、又はこれらの混合
物であることを特徴とする請求項１に記載の汚染防止用
保管運搬容器。 - 【請求項３】 請求項１又は２の汚染防止用保管運搬容
器がウエハ等の電子産業部品又は電子産業部材、クリー
ンルームの建設部材、又はクリーンルーム内にて使用す
る帳票、備品類を運搬又は保管するための請求項１又は
２に記載の汚染防止用保管運搬容器。 - 【請求項４】 請求項１，２又は３の汚染防止用保管運
搬容器が電子産業部材のウエハを運搬又は保管するため
の請求項１，２又は３に記載の汚染防止用保管運搬容
器。 - 【請求項５】 請求項１，２，３又は４の汚染防止用保
管運搬容器が、その運搬内容物又は保管物の表面又は表
面部近郊内部の、有機物又はメタルイオン以外のイオン
類の測定分析を実施するために環境中の空気等又は容器
からの汚染を防止又は最小化することが必要な物を運搬
又は保管するための請求項１，２，３又は４に記載の汚
染防止用保管運搬容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20420298A JP2000007084A (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 汚染防止用保管運搬容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20420298A JP2000007084A (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 汚染防止用保管運搬容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000007084A true JP2000007084A (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=16486533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20420298A Pending JP2000007084A (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 汚染防止用保管運搬容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000007084A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023004128A1 (en) * | 2021-07-22 | 2023-01-26 | Entegris, Inc. | Adsorbents and methods for reducing contamination in wafer container microenvironments |
| WO2024126973A1 (en) * | 2022-12-16 | 2024-06-20 | Victrex Manufacturing Limited | Semiconductor pods and carriers |
-
1998
- 1998-06-15 JP JP20420298A patent/JP2000007084A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| TWI829262B (zh) * | 2021-07-22 | 2024-01-11 | 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 | 用於減少晶圓容器微環境中之汙染之吸附劑及方法 |
| WO2024126973A1 (en) * | 2022-12-16 | 2024-06-20 | Victrex Manufacturing Limited | Semiconductor pods and carriers |
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