JPH11147581A - 金属製保管運搬容器 - Google Patents
金属製保管運搬容器Info
- Publication number
- JPH11147581A JPH11147581A JP31057897A JP31057897A JPH11147581A JP H11147581 A JPH11147581 A JP H11147581A JP 31057897 A JP31057897 A JP 31057897A JP 31057897 A JP31057897 A JP 31057897A JP H11147581 A JPH11147581 A JP H11147581A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 評価・分析を目的とした試料としての電子工
業用原材料及び電子工業用製造装置材料若しくは部品の
保管及び運搬に使用する保管運搬容器で、その保管や運
搬する際にその間の汚染状態の変化を最小限に防止し
て、有機物汚染の正確な評価・分析を可能とする。 【解決手段】 保管運搬容器を、その内部の空気にさら
される表面部分を全て金属製とし、その内部に保管・運
搬中の試料間の接触及び破損を防止する為の金属製保持
具又は金属製スペーサーを装備した構成を有する。
業用原材料及び電子工業用製造装置材料若しくは部品の
保管及び運搬に使用する保管運搬容器で、その保管や運
搬する際にその間の汚染状態の変化を最小限に防止し
て、有機物汚染の正確な評価・分析を可能とする。 【解決手段】 保管運搬容器を、その内部の空気にさら
される表面部分を全て金属製とし、その内部に保管・運
搬中の試料間の接触及び破損を防止する為の金属製保持
具又は金属製スペーサーを装備した構成を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、成分分析を目的と
した電子工業用原材料及び電子工業用製造装置材料若し
くはそれらの部品の保管及び運搬に使用する金属製の保
管運搬容器に関し、特に、有機成分の分析を目的とした
金属製保管運搬容器で、その容器内部に保管・運搬中の
試料間の接触及び破損を防止する為の金属製保持具又は
金属製スペーサーを装備した金属製保管運搬容器に関す
る。
した電子工業用原材料及び電子工業用製造装置材料若し
くはそれらの部品の保管及び運搬に使用する金属製の保
管運搬容器に関し、特に、有機成分の分析を目的とした
金属製保管運搬容器で、その容器内部に保管・運搬中の
試料間の接触及び破損を防止する為の金属製保持具又は
金属製スペーサーを装備した金属製保管運搬容器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】電子工業分野においてはその発達と共
に、原材料及び製造装置材料若しくはそれらの部品に、
汚染を可能な限り低減した清浄なものが必要とされてき
ている。特に半導体等の集積度が増加するに従い、有機
物汚染が半導体や液晶表示デバイス及びハードディスク
等の製造に重大な障害を与えることが明らかになってき
て、そのため最近では上記の材料や部品の有機物汚染の
レベルを正確に評価・測定することが重要視されてきて
いる。この有機物汚染の評価方法としては、ガスクロマ
トグラフィ、ガスクロマトグラフ質量分析法又は二次イ
オン質量分析法等の機器分析法が知られている。一方、
評価・分析に供される試料としての原材料及び製造装置
材料またはそれらの部品の保管や運搬には、その間の有
機物からの汚染を最小限に抑える運搬保管容器が必要と
される。
に、原材料及び製造装置材料若しくはそれらの部品に、
汚染を可能な限り低減した清浄なものが必要とされてき
ている。特に半導体等の集積度が増加するに従い、有機
物汚染が半導体や液晶表示デバイス及びハードディスク
等の製造に重大な障害を与えることが明らかになってき
て、そのため最近では上記の材料や部品の有機物汚染の
レベルを正確に評価・測定することが重要視されてきて
いる。この有機物汚染の評価方法としては、ガスクロマ
トグラフィ、ガスクロマトグラフ質量分析法又は二次イ
オン質量分析法等の機器分析法が知られている。一方、
評価・分析に供される試料としての原材料及び製造装置
材料またはそれらの部品の保管や運搬には、その間の有
機物からの汚染を最小限に抑える運搬保管容器が必要と
される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来から使用
されている保管や運搬用の容器は少なくとも部分的に樹
脂等の有機材料が使用されており、有機物汚染の評価・
分析ではその容器自体が試料に対する汚染源となるた
め、これら容器を試料の保管や運搬に用いることは、有
機物汚染の評価・分析において重大な問題となってい
た。すなわち、有機物の評価・分析を目的とした試料と
して電子工業用原材料及び電子工業用製造装置材料若し
くはそれらの部品の保管及び運搬に使用する容器におい
て、その保管運搬時に容器自体から発生する汚染物質に
より汚染状態が変化するため、その試料の有機物汚染を
正確に評価・分析することができないという問題があっ
た。また、特開平０５−１６０２４２号のように、試料
を内部にセットした後、容器を完全に密閉して内部の空
気を抜いて真空とし、汚染を防止するものも考慮された
が、構成が複雑で操作性も悪く、また容器も高価とな
り、有機分析においてより簡便に使用できる容器が求め
られていた。
されている保管や運搬用の容器は少なくとも部分的に樹
脂等の有機材料が使用されており、有機物汚染の評価・
分析ではその容器自体が試料に対する汚染源となるた
め、これら容器を試料の保管や運搬に用いることは、有
機物汚染の評価・分析において重大な問題となってい
た。すなわち、有機物の評価・分析を目的とした試料と
して電子工業用原材料及び電子工業用製造装置材料若し
くはそれらの部品の保管及び運搬に使用する容器におい
て、その保管運搬時に容器自体から発生する汚染物質に
より汚染状態が変化するため、その試料の有機物汚染を
正確に評価・分析することができないという問題があっ
た。また、特開平０５−１６０２４２号のように、試料
を内部にセットした後、容器を完全に密閉して内部の空
気を抜いて真空とし、汚染を防止するものも考慮された
が、構成が複雑で操作性も悪く、また容器も高価とな
り、有機分析においてより簡便に使用できる容器が求め
られていた。
【０００４】そのため本発明は、上記の材料若しくは部
品の有機物汚染を評価・分析するに際し、有機物汚染測
定に供するまでの間にその保管又は運搬時になされる容
器及び外気等による有機物の汚染状態の変化という重大
な問題を解消し、よって、上記材料若しくは部品の有機
物汚染の変化を最小にして、正確に評価・分析し得る簡
便な金属製保管運搬容器を提供することを目的とするも
のである。
品の有機物汚染を評価・分析するに際し、有機物汚染測
定に供するまでの間にその保管又は運搬時になされる容
器及び外気等による有機物の汚染状態の変化という重大
な問題を解消し、よって、上記材料若しくは部品の有機
物汚染の変化を最小にして、正確に評価・分析し得る簡
便な金属製保管運搬容器を提供することを目的とするも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題・目的を解決
するため、本発明の保管運搬容器は、この容器内部の空
気にさらされている表面部分が全て金属であり、またそ
の容器内部に保管・運搬中の試料間の接触及び破損を防
止する為の金属製保持具又は金属製スペーサーを装備し
た構成を有するものである。
するため、本発明の保管運搬容器は、この容器内部の空
気にさらされている表面部分が全て金属であり、またそ
の容器内部に保管・運搬中の試料間の接触及び破損を防
止する為の金属製保持具又は金属製スペーサーを装備し
た構成を有するものである。
【０００６】すなわち、本発明の最大の特徴は、容器の
内面の空気にさらされる表面部分に金属を用いることで
あり、特にその密閉化のために、容器を構成する本体と
扉または蓋の間のパッキン部品に軟らかい金属、好まし
くはブリネル硬さ２０以下の金属を使用する点にある。
内面の空気にさらされる表面部分に金属を用いることで
あり、特にその密閉化のために、容器を構成する本体と
扉または蓋の間のパッキン部品に軟らかい金属、好まし
くはブリネル硬さ２０以下の金属を使用する点にある。
【０００７】この本発明の金属製容器の構成において、
容器内部の空気にさらされている表面部分が全て金属で
あり、容器を構成する本体及び開閉部からは勿論、その
間に使用されるパッキン材や試料の保持具からさえも有
機物の汚染物質は発生されないため、容器内部に保管さ
れている試料はこの容器に収容された時の汚染状態から
の変化を最小とされ、その後の有機物汚染測定における
より正確な評価・分析を可能とするものである。
容器内部の空気にさらされている表面部分が全て金属で
あり、容器を構成する本体及び開閉部からは勿論、その
間に使用されるパッキン材や試料の保持具からさえも有
機物の汚染物質は発生されないため、容器内部に保管さ
れている試料はこの容器に収容された時の汚染状態から
の変化を最小とされ、その後の有機物汚染測定における
より正確な評価・分析を可能とするものである。
【０００８】本発明における金属製保管運搬容器の材料
としては、特に制限は設けられないが、アルミニウム、
銅、鉛、ニッケル若しくは白金、又はそれらの合金を挙
げることができる。特に本発明の優れた効果を十分に享
有し得るものとして、アルミニウム又はアルミニウム合
金が好ましい。しかしながら容器全体が金属であること
は必ずしも必要ではなく、容器内部の空気にさらされる
表面が金属であれば良く、そのため容器の内面に金属板
若しくは金属箔による内貼り、又は金属コーテイングが
施されたものであってもよい。
としては、特に制限は設けられないが、アルミニウム、
銅、鉛、ニッケル若しくは白金、又はそれらの合金を挙
げることができる。特に本発明の優れた効果を十分に享
有し得るものとして、アルミニウム又はアルミニウム合
金が好ましい。しかしながら容器全体が金属であること
は必ずしも必要ではなく、容器内部の空気にさらされる
表面が金属であれば良く、そのため容器の内面に金属板
若しくは金属箔による内貼り、又は金属コーテイングが
施されたものであってもよい。
【０００９】更に、本発明の金属製保管運搬容器内部に
装備される試料保持具は試料を内部に収容しかつ個々に
保持する金属製保持具か、又は各試料間に挿入され試料
と組み合わされて容器内部に保持固定される金属製スペ
ーサーであり、その材料としては、上記と同様に特に制
限はないが、アルミニウム、ニッケル若しくは白金又は
その合金を挙げることができる。
装備される試料保持具は試料を内部に収容しかつ個々に
保持する金属製保持具か、又は各試料間に挿入され試料
と組み合わされて容器内部に保持固定される金属製スペ
ーサーであり、その材料としては、上記と同様に特に制
限はないが、アルミニウム、ニッケル若しくは白金又は
その合金を挙げることができる。
【００１０】本発明は、特に容器を密閉する為に本体と
開閉部の間のパッキンに軟らかい高純度アルミニウム製
のガスケットを使用することによって本発明の優れた効
果を発揮することができる。
開閉部の間のパッキンに軟らかい高純度アルミニウム製
のガスケットを使用することによって本発明の優れた効
果を発揮することができる。
【００１１】本発明の対象とする電子工業用原材料及び
電子工業用製造装置材料若しくは部品は、本発明の優れ
た効果を十分に享有し得るものとして、特にシリコンウ
エハを適用されるのが好ましい。
電子工業用製造装置材料若しくは部品は、本発明の優れ
た効果を十分に享有し得るものとして、特にシリコンウ
エハを適用されるのが好ましい。
【００１２】
【実施例】以下に本発明による実施例に基づいてより詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１３】図１に本発明による第１実施例の金属製保
管運搬容器の斜視図を示す。図２は図１のＡ−Ａ線によ
る断面図で、図３は図２のパッキン部分の拡大図であ
る。この実施例においては、本体部分１は箱形のアルミ
ニウム製ケースで開閉部の扉２もアルミニウム製であ
る。図２で示される、内部に縦置きで設置されるウエハ
３の金属製保持具４はステンレス鋼で製造され、ウエハ
設置用の複数の縦方向溝とウエハのストッパーを向かい
合った面に備える二枚の板部材を、丸棒で複数箇所接続
して構成され、ウエハを上方から収容して載置した後、
頂部のウエハ押えでウエハを固定し容器内に収容され
る。開閉式の扉２と本体１の間を密閉化するためパッキ
ン５は軟らかい高純度アルミニウムのガスケットが使用
される。扉２と本体１は図１で示される尾錠６により締
付け固定され、扉２の内側には容器内に保持具４を保持
する押えピン７が設けられる。
管運搬容器の斜視図を示す。図２は図１のＡ−Ａ線によ
る断面図で、図３は図２のパッキン部分の拡大図であ
る。この実施例においては、本体部分１は箱形のアルミ
ニウム製ケースで開閉部の扉２もアルミニウム製であ
る。図２で示される、内部に縦置きで設置されるウエハ
３の金属製保持具４はステンレス鋼で製造され、ウエハ
設置用の複数の縦方向溝とウエハのストッパーを向かい
合った面に備える二枚の板部材を、丸棒で複数箇所接続
して構成され、ウエハを上方から収容して載置した後、
頂部のウエハ押えでウエハを固定し容器内に収容され
る。開閉式の扉２と本体１の間を密閉化するためパッキ
ン５は軟らかい高純度アルミニウムのガスケットが使用
される。扉２と本体１は図１で示される尾錠６により締
付け固定され、扉２の内側には容器内に保持具４を保持
する押えピン７が設けられる。
【００１４】以下にこの第１実施例を使用した実験例
と、清浄な状態のウエハを測定して標準とした比較例
と、従来の樹脂製の容器を使用した場合の比較例とを示
す。
と、清浄な状態のウエハを測定して標準とした比較例
と、従来の樹脂製の容器を使用した場合の比較例とを示
す。
【００１５】［比較例１］予め４００℃で３０分保持し
て有機物を除去したシリコンウエハの表面を、加熱脱離
−ガスクロマトグラフ−質量分析法により評価した。得
られたクロマトグラムから有機物汚染量を定量すると、
０．００５ｎｇ／ｃｍ2 であった。図４にこのクロマト
グラムを示し、その横軸は保持時間、縦軸はアバンダン
スを表す。
て有機物を除去したシリコンウエハの表面を、加熱脱離
−ガスクロマトグラフ−質量分析法により評価した。得
られたクロマトグラムから有機物汚染量を定量すると、
０．００５ｎｇ／ｃｍ2 であった。図４にこのクロマト
グラムを示し、その横軸は保持時間、縦軸はアバンダン
スを表す。
【００１６】［実験例１］第１実施例の容器及び保持具
をアセトンで洗浄し、次いで８０℃で２時間加熱乾燥
し、容器を作成した時の有機物の汚染をクリーニングし
た。このクリーニングした金属製保管運搬容器に、前述
の比較例１で使用した有機物を除去したシリコンウエハ
を収納し、８０℃の恒温槽中で１２時間保持し、その後
３時間室温で放冷した後、容器に収納していたシリコン
ウェハの表面に付着した有機物を加熱脱離−ガスクロマ
トグラフ−質量分析法により測定した。得られたクロマ
トグラムから有機物汚染量を定量すると、０．００７ｎ
ｇ／ｃｍ2 であった。この時のクロマトグラムを図５に
示す。縦軸、横軸は図４と同じである。これらから、本
発明を用いることにより保管時の有機物汚染はほとんど
無いことがわかる。
をアセトンで洗浄し、次いで８０℃で２時間加熱乾燥
し、容器を作成した時の有機物の汚染をクリーニングし
た。このクリーニングした金属製保管運搬容器に、前述
の比較例１で使用した有機物を除去したシリコンウエハ
を収納し、８０℃の恒温槽中で１２時間保持し、その後
３時間室温で放冷した後、容器に収納していたシリコン
ウェハの表面に付着した有機物を加熱脱離−ガスクロマ
トグラフ−質量分析法により測定した。得られたクロマ
トグラムから有機物汚染量を定量すると、０．００７ｎ
ｇ／ｃｍ2 であった。この時のクロマトグラムを図５に
示す。縦軸、横軸は図４と同じである。これらから、本
発明を用いることにより保管時の有機物汚染はほとんど
無いことがわかる。
【００１７】［実験例２］予め４００℃で３０分保持し
有機物を除去したシリコンウエハを第１実施例の金属製
保管運搬容器に収納し、室温で１週間保持した以外は実
験例１と同様に試験を行った。１週間保持した後のシリ
コンウエハの有機物汚染量は０．００６ｎｇ／ｃｍ2 で
あった。
有機物を除去したシリコンウエハを第１実施例の金属製
保管運搬容器に収納し、室温で１週間保持した以外は実
験例１と同様に試験を行った。１週間保持した後のシリ
コンウエハの有機物汚染量は０．００６ｎｇ／ｃｍ2 で
あった。
【００１８】［実験例３］予め４００℃で３０分保持し
有機物を除去したシリコンウエハを第１実施例の金属製
保管運搬容器に収納し、室温で１週間保持した後、該容
器を自動車で千葉−大分間を往復運搬した以外は、実験
例１と同様に試験を行った。運搬後のシリコンウエハの
有機物汚染量は０．００７ｎｇ／ｃｍ2 であった。
有機物を除去したシリコンウエハを第１実施例の金属製
保管運搬容器に収納し、室温で１週間保持した後、該容
器を自動車で千葉−大分間を往復運搬した以外は、実験
例１と同様に試験を行った。運搬後のシリコンウエハの
有機物汚染量は０．００７ｎｇ／ｃｍ2 であった。
【００１９】［比較例２］予め４００℃で３０分保持し
有機物を除去したシリコンウエハをポリプロピレン製の
ウエハキャリアケースに収納し、室温で１週間保持した
以外は実験例１と同様に試験した。１週間保持した後の
シリコンウエハの有機物汚染量は２．５２ｎｇ／ｃｍ2
であった。図６にこのクロマトグラムを示す。縦軸、横
軸は図４と同じである。この結果より従来のポリプロピ
レン製のウエハキャリアケースに収納して保存した場
合、シリコンウエハ表面への有機物汚染は著しいことが
わかった。
有機物を除去したシリコンウエハをポリプロピレン製の
ウエハキャリアケースに収納し、室温で１週間保持した
以外は実験例１と同様に試験した。１週間保持した後の
シリコンウエハの有機物汚染量は２．５２ｎｇ／ｃｍ2
であった。図６にこのクロマトグラムを示す。縦軸、横
軸は図４と同じである。この結果より従来のポリプロピ
レン製のウエハキャリアケースに収納して保存した場
合、シリコンウエハ表面への有機物汚染は著しいことが
わかった。
【００２０】これらの実験結果から、本発明による金属
容器での保管・運搬では、従来使用されていた容器と比
較すると、その有機物汚染はほとんど影響されないこと
がはっきりと理解される。
容器での保管・運搬では、従来使用されていた容器と比
較すると、その有機物汚染はほとんど影響されないこと
がはっきりと理解される。
【００２１】図７、図８に本発明による第２実施例の概
略図を示す。図７は第２実施例の斜視図であり、図８は
その断面図である。第２実施例では、第１実施例におい
て縦置きしたウエハ３を、図７、図８に示すように、水
平に重ねて置いて保管運搬可能としている。その容器は
アルミニウム製の開閉部である蓋１０と鍋型の本体１１
からなり、第１実施例でパッキンに使用した軟らかい金
属の高純度アルミニウムを環状クッション材１２として
各ウエハ３の間にセットしてスペーサーとなし、蓋１０
の内部にはセットされたウエハ３を蓋をした状態で固定
するアルミニウム製のウエハ押え１３が複数個設けら
れ、これらにより内部の試料間の接触及び破損を防止す
る。もちろん蓋１０と本体１１のシール材１４としては
実施例１と同様の軟らかい金属、好ましくは高純度アル
ミニウムのガスケットが使用されており、これら内部の
空気にさらされる部分に金属を適用することによって、
保存・運搬時の試料への有機物汚染を減少することが可
能となる。
略図を示す。図７は第２実施例の斜視図であり、図８は
その断面図である。第２実施例では、第１実施例におい
て縦置きしたウエハ３を、図７、図８に示すように、水
平に重ねて置いて保管運搬可能としている。その容器は
アルミニウム製の開閉部である蓋１０と鍋型の本体１１
からなり、第１実施例でパッキンに使用した軟らかい金
属の高純度アルミニウムを環状クッション材１２として
各ウエハ３の間にセットしてスペーサーとなし、蓋１０
の内部にはセットされたウエハ３を蓋をした状態で固定
するアルミニウム製のウエハ押え１３が複数個設けら
れ、これらにより内部の試料間の接触及び破損を防止す
る。もちろん蓋１０と本体１１のシール材１４としては
実施例１と同様の軟らかい金属、好ましくは高純度アル
ミニウムのガスケットが使用されており、これら内部の
空気にさらされる部分に金属を適用することによって、
保存・運搬時の試料への有機物汚染を減少することが可
能となる。
【００２２】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明では、有
機物の評価・分析に供される試料である電子工業用原材
料及び電子工業用製造装置材料若しくは部品の保管及び
運搬に、金属製保管運搬容器を使用することにより、試
料の保管又は運搬の間の容器自身による有機物汚染とい
う重大な問題を解消して、有機物汚染を評価・分析する
為の汚染状態の変化を最小限に防止することができる。
機物の評価・分析に供される試料である電子工業用原材
料及び電子工業用製造装置材料若しくは部品の保管及び
運搬に、金属製保管運搬容器を使用することにより、試
料の保管又は運搬の間の容器自身による有機物汚染とい
う重大な問題を解消して、有機物汚染を評価・分析する
為の汚染状態の変化を最小限に防止することができる。
【図１】本発明による第１実施例の金属製保管運搬容器
の斜視図。
の斜視図。
【図２】図１の第１実施例のＡ−Ａ線による縦断面図。
【図３】図２のパッキン部分の拡大図。
【図４】予め有機物を除去したシリコンウエハの表面を
加熱脱離−ガスクロマトグラフ−質量分析法により分析
した比較例１の結果のクロマトグラム。
加熱脱離−ガスクロマトグラフ−質量分析法により分析
した比較例１の結果のクロマトグラム。
【図５】第１実施例を使用した実験例１で加熱脱離−ガ
スクロマトグラフ−質量分析法により分析した結果のク
ロマトグラム。
スクロマトグラフ−質量分析法により分析した結果のク
ロマトグラム。
【図６】従来の樹脂製容器を使用した比較例２で加熱脱
離−ガスクロマトグラフ−質量分析法により分析した結
果のクロマトグラム。
離−ガスクロマトグラフ−質量分析法により分析した結
果のクロマトグラム。
【図７】本発明による第２実施例の金属製保管運搬容器
の斜視図。
の斜視図。
【図８】図７の第２実施例のＢ−Ｂ線における縦断面
図。
図。
１ 本体 ２ 扉 ３ ウエハ ４ 金属製保護具 ５ パッキン ６ 尾錠 ７ 押えピン １０ 蓋 １１ 本体 １２ クッション材 １３ ウエハ押え １４ シール材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 勝正 東京都千代田区神田須田町２丁目７番 タ ームスビル３階 株式会社住化分析センタ ー内 (72)発明者 井上 芳夫 東京都千代田区神田須田町２丁目７番 タ ームスビル３階 株式会社住化分析センタ ー内
Claims (3)
- 【請求項１】 有機物の評価・分析を目的とした電子工
業用原材料及び電子工業用製造装置材料若しくは部品の
保管及び運搬に使用する金属製保管運搬容器において、
該容器内部の空気にさらされている表面部分が全て金属
であり、またその内部に保管・運搬中の試料間の接触及
び破損を防止する為の金属製保持具又は金属製スぺ一サ
ーを装備した金属製保管運搬容器。 - 【請求項２】 前記金属製保管運搬容器を構成する開閉
部と本体の間に配置される、密閉化のためのパッキン部
分に、ブリネル硬度２０以下の柔らかい金属を適用する
ことを特徴とする請求項１に記載の金属製保管運搬容
器。 - 【請求項３】 容器密閉の為の前記パッキンに高純度ア
ルミニウム製のガスケットを使用することを特徴とする
請求項２に記載の金属製保管運搬容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31057897A JPH11147581A (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | 金属製保管運搬容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31057897A JPH11147581A (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | 金属製保管運搬容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11147581A true JPH11147581A (ja) | 1999-06-02 |
Family
ID=18006932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31057897A Pending JPH11147581A (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | 金属製保管運搬容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11147581A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010265004A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Sumco Corp | ウェーハケース |
| TWI396653B (zh) * | 2010-12-10 | 2013-05-21 | Au Optronics Corp | 儲存盒 |
-
1997
- 1997-11-12 JP JP31057897A patent/JPH11147581A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010265004A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Sumco Corp | ウェーハケース |
| TWI396653B (zh) * | 2010-12-10 | 2013-05-21 | Au Optronics Corp | 儲存盒 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20060130 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060203 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060530 |