JP2000007085A - 保管運搬用の容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 環境雰囲気からの汚染を防止する必要がある
原材料、部品、製品又は部品の保管又は運搬に際し、運
搬又は保管する内容物の環境雰囲気からの汚染を最小限
としてその性能の劣化を防止し、又その保管や運搬する
際の汚染状態の変化を最小限に防止して、有機成分汚染
又は無機イオン成分汚染の正確な評価・分析を可能にす
る。 【解決手段】 上記の課題・目的を解決するため、本発
明の保管運搬用の容器は、環境雰囲気からの汚染を防止
する必要がある原材料、部品、製品又は部品の保管又は
運搬に使用する保管運搬用の容器において、該容器内部
の表面部分がフッ素ポリマー材料を除いて金属、ガラ
ス、セラミックス、若しくは石英のいずれか又はそれら
の組み合わせからなる形態とし、その構成部品間にフッ
素ポリマー材料を押圧封止材を装備した構成を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子工業分野、医
薬工業分野、若しくは化学工業分野、又はこれら工業分
野の研究開発における原材料、部材、製品又は部品の環
境雰囲気中の空気等からの汚染を防止する必要がある原
材料、部材、製品又は部品の保管又は運搬に使用する保
管運搬用の容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子工業分野、医薬工業分野、若しくは
化学工業分野、又はこれら工業分野の研究開発において
は、その技術発達とともに、原材料、部材若しくは製造
装置等の製品、又はこれらの部品は汚染を可能な限り低
減した清浄なものが必要とされている。特に電子工業分
野では半導体等の集積度が増加するに従い、有機成分汚
染や無機イオン成分汚染が半導体、液晶表示デバイス又
はハードディスク等の製造に重大な障害を与えることが
明らかになってきており、そのために上記原材料、部材
若しくは製造装置等の製品、又はこれら部品の有機成分
汚染や無機イオン成分汚染を防止して保管又は運搬する
ことが重要になっており、又これらの汚染レベルを保管
又は運搬中に変化させることなく正確に評価・分析する
ことが重要になってきている。従って、原材料、部材若
しくは製造装置等の製品、又はこれらの部品が環境雰囲
気中の空気等からの汚染を防止できる保管運搬用の容器
が必要とされている。又、評価・分析に供される試料と
しての原材料、部材若しくは製造装置等の製品、又はこ
れらの部品の保管や運搬には、その間の有機汚染成分や
無機イオン汚染成分からの汚染を最小限に抑える保管運
搬用の容器が必要とされる。評価・分析に供される試料
の有機成分汚染の評価・評価分析方法としては、ガスク
ロマトグラフィ、ガスクロマトグラフィー質量分析法、
加熱脱離−ガスクロマトグラフィー質量分析法、Ｘ線光
電子分光法、飛行時間型二次イオン質量分析法、又はイ
オンモービリティ・スペクトロスコピー等の機器分析法
が知られている。また無機イオン成分汚染の評価・分析
方法としては、イオンクロマトグラフィー、液体クロマ
トグラフィー、又はキャピラリー電気泳動法等の機器分
析法が知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来から使用されてい
る原材料、部材若しくは製造装置等の製品、又はこれら
の部品の保管や運搬用の容器主要部は樹脂等のポリマー
や有機材料が使用されており、有機成分や無機イオン成
分による汚染の評価・分析では、その容器自体が原材
料、部材若しくは製造装置等の製品、又はこれらの部品
に対する汚染源となるため、これら容器を原材料、部材
若しくは製造装置等の製品、又はこれらの部品の保管や
運搬に用いることは、有機成分汚染や無機イオン成分汚
染を防止して保管又は運搬したり、原材料、部材若しく
は製造装置等の製品、又はこれらの部品の有機成分汚染
や無機イオン成分汚染の正確な評価・分析において重大
な問題となっていた。すなわち、例えば有機成分の分析
・評価を目的とした試料として電子工業分野、医薬工業
分野、若しくは化学工業分野、又はこれら工業分野の研
究開発における原材料、部材若しくは製造装置等の製
品、又はこれらの部品の保管や運搬に使用する容器にお
いて、その保管・運搬時に容器自体から発生する有機成
分汚染物質により原材料、部材若しくは製造装置等の製
品、又はこれらの部品の汚染状態が変化するため、その
試料の有機成分汚染を正確に評価・分析することができ
ないという問題があった。

【０００４】そのため本発明は、上記の原材料、部材若
しくは製造装置等の製品、又はこれらの部品の保管又は
運搬中での汚染を防止し、又原材料、部材若しくは製造
装置等の製品、又はこれらの部品の汚染物質を正確に評
価・分析するに際し、汚染物質測定に供するまでの間に
その保管又は運搬時になされる容器及び外気等による汚
染物質の汚染状態の変化という重大な問題を解決し、よ
って上記の原材料、部材若しくは製造装置等の製品、又
はこれらの部品の汚染物質の変化を最小にして、正確に
評価・分析し得る簡便な保管運搬用の容器を提供するこ
とを目的とするものである。すなわち、本発明が解決し
ようとする課題は、雰囲気空気等の環境雰囲気からの有
機成分や無機イオン成分の汚染を防止し、かつ汚染成分
を除去、減失させることもなく、容器内で保管又は運搬
する原材料、部材若しくは製造装置等の製品、又はこれ
らの部品の汚染状態を極力維持して保管又は運搬する課
題である。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の課題・目的を解決
するため、本発明の保管運搬用の容器は、環境雰囲気か
らの汚染を防止する必要がある原材料、部材、製品又は
部品の保管又は運搬に使用する保管運搬用の容器におい
て、該容器内部の表面部分がその容器構成部品間に用い
る押圧封止材のフッ素ポリマー材料を除いて、金属、ガ
ラス、セラミックス、若しくは石英のいずれか１種又は
それらの組み合わせからなる形態とし、その構成部品間
にフッ素ポリマー材料を押圧封止材として用いた形態、
又は該容器内部の表面部分がフッ素ポリマーを除く全表
面積の９０％以上が金属、ガラス、セラミックス、若し
くは石英のいずれか１種又はそれらの組み合わせからな
る形態とし、その構成部品間にフッ素ポリマー材料を押
圧封止材として用いたものである。

【０００６】すなわち、本発明の最大の特徴は該容器内
部の表面部分がフッ素ポリマー材料部分を除いてすべて
又は大部分が金属、ガラス、セラミックス、若しくは石
英のいずれか１種又はそれらの組み合わせからなる形態
とし、特にその密閉化のために、容器を構成する本体と
扉又は蓋の間の押圧封止材にフッ素ポリマー材料を使用
する点にある。

【０００７】本発明の保管運搬用の容器の構成におい
て、容器内面の空気にさらされる表面部分に金属、ガラ
ス、セラミックス、若しくは石英のいずれか１種又はそ
れらの組み合わせを用いることであり、容器を構成する
本体及び開閉扉又は蓋からは有機成分又は無機イオン成
分の汚染物質は発生されないため、容器内部に保管され
ている試料はこの容器に収容された時の汚染状態からの
変化が最少とされ、その後の成分汚染測定における、よ
り正確な評価・分析を可能とするものである。

【０００８】本発明における保管運搬用の容器の金属材
料としては、特に制限は設けられないが、アルミニウ
ム、銅、鉛、ニッケル若しくは白金、又はそれらの合金
を挙げることができる。また本発明における保管運搬用
の容器のガラス材料としては、特に制限は設けられない
が、ケイ酸ガラス、ケイ酸アルカリガラス、ソーダ石灰
ガラス、カリ石灰ガラス、鉛ガラス、バリウムガラス、
ホウケイ酸ガラス、リン酸塩ガラス、ホウ酸塩ガラス挙
げることができる。また本発明における保管運搬用の容
器としてセラミックス又は石英を用いることができる。
特に本発明の優れた効果を十分に享受し得る保管運搬用
の容器としてはアルミニウム又はアルミニウム合金が好
ましい。しかしながら、容器全体が金属、ガラス、セラ
ミックス、若しくは石英のいずれか１種又はそれらの組
み合わせであることは必ずしも必要ではなく。容器内部
の空気にさらされる表面が金属、ガラス、セラミック
ス、若しくは石英のいずれか１種又はそれらの組み合わ
せであればよく、そのため容器の内面に金属板若しくは
金属箔による内貼り、金属コーティング、ガラスコーテ
イング、又はセラミックコーテイングが施されたもので
あっても良い。

【０００９】本発明における保管運搬用の容器の内面の
空気にさらされる表面は全体が金属、ガラス、セラミッ
クス、若しくは石英のいずれか１種又はそれらの組み合
わせであることが好ましいが、容器内面の表面積の９０
％以上が金属、ガラス、セラミックス、若しくは石英の
いずれか１種又はそれらの組み合わせであれば本発明の
効果が享受できる。

【００１０】本発明の保管運搬用の容器は、試料の出し
入れの為に容器本体と開閉部から成り、容器本体と開閉
部の間にフッ素ポリマー材料の押圧封止材を使用する。

【００１１】本発明の保管運搬用の容器の内部には試料
を保持するための試料保持具を装備しても良い。試料を
内部に収容しかつ個々に保持するための試料保持具は金
属製やフッ素ポリマー製保持具か、又は各試料間に挿入
され試料と組み合わされて容器内部に保持固定される金
属製やフッ素ポリマー製スペーサーが用いられる。

【００１２】本発明は、容器の内面の空気にさらされる
表面部分に金属、ガラス、セラミックス、若しくは石英
のいずれか１種又はそれらの組み合わせを用いることで
あり、特に容器を密閉するために本体と開閉部の間にフ
ッ素ポリマー材料の押圧封止材を使用することによって
本発明の優れた効果を発揮することができる。例えばパ
ッキンにフッ素ポリマー製のガスケットを使用すること
によって容器の密閉化をはかる。

【００１３】本発明におけるフッ素ポリマーはフッ素プ
ラスチック、フッ素ゴム、又はフッ素熱可塑性エラスト
マーを挙げることができる。

【００１４】フッ素プラスチックとしては、ポリテトラ
フルオロエチレン、テトラフルオロエチレン−パーフル
オロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロ
エチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリク
ロロトリフルオロエチレン、エチレン−テトラフルオロ
エチレン共重合体、エチレン−クロロトリフルオロエチ
レン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニ
ルを挙げることができる。

【００１５】フッ素ゴムとしては、フッ化ビニリデン−
三フッ化クロロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−
六フッ化プロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−六フ
ッ化プロピレン−四フッ化エチレン共重合体、四フッ化
エチレン−六フッ化プロピレン共重合体、テトラフルオ
ロエチレン−ペルフルオロメチルビニルエーテル共重合
体、四フッ化エチレン−プロピレンゴムを挙げることが
できる。

【００１６】本発明の対象とする電子工業分野、医薬工
業分野、若しくは化学工業分野、又はこれら工業分野の
研究開発における原材料、部材、製品又は部品で、本発
明の優れた効果を十分に享有し得るものとして、ウェー
ハ等の電子産業部品、電子産業部材、クリーンルーム建
設部材、又はクリーンルーム内で使用する帳票、備品を
挙げることができる。特に本発明の優れた効果を十分に
享有し得るものとしてシリコンウェーハを適用されるの
が好ましい。

【００１７】本発明は、本発明の保管運搬用の容器に収
容された内容物の表面又は表面部近郊内部の有機成分又
は無機イオン成分の評価・分析を実施するために環境中
の空気等又は該容器自体からの汚染を防止又は最小化す
ることが必要なものを保管又は運搬する際に優れた効果
を発揮する。

【００１８】次に、実施例により本発明を説明するが、
実施例によって本発明方法が制限されるものではない。

【００１９】

【実施例１】図１に本発明による実施例１の保管運搬用
の容器の斜視図を示す。図２は図１のＡ−Ａ線による断
面図である。この実施例１においては、本体部分１は箱
形のアルミニウム製ケースで試料出し入れ用の開閉部扉
２もアルミニウム製である。内部に縦置きで設置される
ウェーハ３の金属製保持具４はステンレス鋼であり、ウ
ェーハ相互の接触を防止するためウェーハ１枚ごとに対
応した溝がある。開閉式の扉２と本体１の間を密閉化す
るために押圧封止材５はフッ化ビニリデン−六フッ化プ
ロピレン共重合体のガスケットが使用される。扉２と本
体１は図１で示される尾錠６により締付け固定されてい
る。本体部分１と金属製保持具４を固定するためにステ
ンレス鋼で製造した押えピン７を使用してある。

【００２０】以下にこの保管運搬用の容器を使用した実
施例を示す。

【００２１】

【実施例１】予め４００℃で１時間保持して有機物を除
去して清浄にしたシリコンウェーハの表面を、加熱脱離
−ガスクロマトグラフィー質量分析法により、表面付着
有機物の測定を行った。その結果、有機物表面濃度は
０．０１２ｎｇ／ｃｍ^３であった。

【００２２】次に、保管運搬用の容器及び保持具をアセ
トンで洗浄し、次いで水洗後、８０℃で２時間加熱乾燥
し、容器内面に汚染している有機物を除去クリーニング
した。この清浄化した保管運搬用の容器に、前述の有機
物を除去したシリコンウェーハを収納し、室温で７日間
保持した後、容器に収納していたシリコンウェーハの表
面付着有機物の測定を行った。その結果、有機物表面濃
度は０．０１４ｎｇ／ｃｍ^３であった。このことから、
本発明を用いることにより保管運搬時の有機物汚染はほ
とんど無いことがわかった。

【００２３】

【実施例２】実施例１と同様に、保管運搬用の容器及び
保持具をアセトンで洗浄し、次いで水洗後、８０℃で２
時間加熱乾燥し、容器内面に汚染している有機物を除去
クリーニングした。この清浄化した保管運搬用の容器
に、前述の実施例１と同様に処理して有機物を除去した
シリコンウェーハを収納し、東京−大分間往復空輸した
後、容器に収納していたシリコンウェーハの表面付着有
機物の測定を行った。その結果、有機物表面濃度は０．
０１３ｎｇ／ｃｍ^３であった。このことから、本発明を
用いることにより保管運搬時の有機物汚染はほとんど無
いことがわかった。

【００２４】

【比較例１】予め４００℃で１時間保持して有機物を除
去して清浄にしたシリコンウェーハをポリプロピレン製
のウェーハキャリアケースに収納し、室温で１週間保持
した後、加熱脱離−ガスクロマトグラフィー−質量分析
法により、表面付着有機物の測定を行った。その結果、
有機物表面濃度は３．２ｎｇ／ｃｍ^３であった。この結
果から、従来のポリプロピレン製のウェーハキャリアケ
ースに収納保存した場合には、シリコンウェーハ表面へ
の有機物汚染が起こり、正確なシリコンウェーハ表面有
機物分析が不可能であった。

【００２５】

【実施例３】シリコンウェーハを薄いフッ化水素水（５
重量％）にて充分に洗浄してイオン類汚染を除去して清
浄にしたシリコンウェーハの表面を、イオンクロマトグ
ラフィ分析法により、表面付着イオンの測定を行った。
その結果表面付着イオン濃度は、フッ素イオン０．０５
ｎｇ／ｃｍ^２未満、塩化物イオン０．０３ｎｇ／ｃｍ^２
未満、硝酸イオン０．０３ｎｇ／ｃｍ^２未満、りん酸イ
オン０．０５ｎｇ／ｃｍ^２未満、硫酸イオン０．０３ｎ
ｇ／ｃｍ^２未満、及びアンモニウムイオン０．０５ｎｇ
／ｃｍ^２未満であった。

【００２６】

【実施例４】次に実施例１と同様の保管運搬用の容器を
アセトンで洗浄した後、純水で洗浄し、次いで８０℃で
１時間加熱乾燥して保管運搬用の容器を清浄化した。こ
の清浄化した保管運搬用の容器に、実施例３と同様の清
浄化シリコンウェーハを収納し、そのまま室温で７日間
保持したシリコンウェーハの表面付着イオンの測定をイ
オンクロマトグラフィ分析法により行った。その結果表
面付着イオン濃度は、フッ素イオン０．０５ｎｇ／ｃｍ
^２未満、塩化物イオン０．０３ｎｇ／ｃｍ^２未満、硝酸
イオン０．０３ｎｇ／ｃｍ^２未満、りん酸イオン０．０
５ｎｇ／ｃｍ^２未満、硫酸イオン０．０３ｎｇ／ｃｍ^２
未満、及びアンモニウムイオン０．０５ｎｇ／ｃｍ^２未
満であった。このことから、本発明を用いることにより
保管運搬時のイオン成分汚染はほとんど無いことがわか
った。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明では、電子
工業分野、医薬工業分野、若しくは化学工業分野、又は
これらの工業分野の研究開発における原材料、部材、製
品又は部品の保管又は運搬に、その内部の空気にさらさ
れる表面部分が金属、ガラス、セラミックス、若しくは
石英のいずれか１種又はそれらの組み合わせからなる保
管運搬用の容器であり、また保管運搬用の容器を構成す
る開閉部と本体の間に配置される密閉化のためのフッ素
ポリマー材料の押圧封止材を装備した保管運搬用の容器
を使用することによって、原材料、部材、製品又は部品
の保管又は運搬の間の容器自体及び外気による有機成分
汚染又は無機イオン成分汚染という重大な問題を解消す
ることができ、又これら原材料、部材、製品又は部品の
有機成分汚染又は無機イオン成分汚染を評価・分析する
ための原材料、部材、製品又は部品の汚染状態の変化を
最小限に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による実施例１の保管運搬用の容器の斜
視図。

【図２】図１の実施例１のＡ−Ａ線による断面図。

【図３】図２の押圧封止材の拡大図

【符号の説明】 １ 本体 ２ 扉 ３ ウエハ ４ 金属製保持具 ５ パッキン ６ 尾錠 ７ 押えピン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大塚 好恭 東京都千代田区神田須田町２丁目７番 タ ームスビル３階 株式会社住化分析センタ ー内 (72)発明者 井上 芳夫 東京都千代田区神田須田町２丁目７番 タ ームスビル３階 株式会社住化分析センタ ー内 (72)発明者 阿部 勝正 東京都千代田区神田須田町２丁目７番 タ ームスビル３階 株式会社住化分析センタ ー内 Ｆターム(参考） 3E096 AA05 BA16 BB04 CA02 EA06X EA06Y EA10Y FA01 GA03 5F031 AA10 BB04 BC03 KK09

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 環境雰囲気からの汚染を防止する必要が
   ある原材料、部材、製品又は部品の保管又は運搬に使用
   する保管運搬用の容器において、該容器内部の表面部分
   が金属、ガラス、セラミックス、若しくは石英のいずれ
   か１種又はそれらの組み合わせからなる形態とし、その
   構成部品間にフッ素ポリマー材料を押圧封止材として用
   いた形態の保管運搬用の容器。
2. 【請求項２】 容器内部の表面部分が金属からなる請求
   項１に記載の保管運搬用の容器。
3. 【請求項３】 容器内部の表面部分がアルミニウムから
   なる請求項１に記載の保管運搬用の容器。