JP2000003741A - Connector and circuit board inspecting device using the same - Google Patents

Connector and circuit board inspecting device using the same

Info

Publication number
JP2000003741A
JP2000003741A JP10165535A JP16553598A JP2000003741A JP 2000003741 A JP2000003741 A JP 2000003741A JP 10165535 A JP10165535 A JP 10165535A JP 16553598 A JP16553598 A JP 16553598A JP 2000003741 A JP2000003741 A JP 2000003741A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
connector
circuit board
electrode
insulating sheet
connection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10165535A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazumi Hanawa
一美 塙
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
JSR Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JSR Corp filed Critical JSR Corp
Priority to JP10165535A priority Critical patent/JP2000003741A/en
Publication of JP2000003741A publication Critical patent/JP2000003741A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To surely attain a required electrical connection for a circuit board by providing a conductive part, which is disposed in an insulating sheet with elasticity and has conductivity and elasticity in the thickness direction of the sheet and a wiring part, which is electrically connected with the conductive part and is integrated with the surface of the insulating sheet. SOLUTION: On one surface of an insulating sheet 20, a wiring part 4 of a proper pattern and an electrode for connection 40 are formed. A terminal electrode 30 and the wiring part 4 are electrically connected by a conductive path 42, which penetrates the insulating sheets 20 and extends in the thickness direction. The wiring part 4 and the electrode for connection 40 are electrically connected. When a connector 12 is used for an electrical conducting inspection of a circuit board, all the electrodes for connection 40 and the terminal electrode 30 need not be connected by a one-to-one correspondence relation and various kinds of requested connection states for the terminal electrode 30, the wiring part 4 and the electrodes for connection 40 can be realized. For instance, the electrodes for connection 40 each other can be connected to each other by utilizing the wiring part 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、弾性を有する本体から
なるコネクターおよびそれを用いた回路基板検査装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a connector having an elastic body and a circuit board inspection apparatus using the connector.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にプリント回路基板などの回路基板
においては、第19図に示すように、回路基板90の中
央部に機能素子が高度の集積度で形成された機能素子領
域91が設けられると共に、その周縁部に機能素子領域
91のための多数のリード電極92が配列されてなるリ
ード電極領域93が形成される。そして、現在において
は、機能素子領域91の集積度の増大に伴ってリード電
極領域93のリード電極数が増加し高密度化する傾向に
ある。
2. Description of the Related Art Generally, in a circuit board such as a printed circuit board, as shown in FIG. 19, a functional element region 91 in which functional elements are formed with a high degree of integration is provided at the center of a circuit board 90. A lead electrode region 93 in which a large number of lead electrodes 92 for a functional element region 91 are arranged at the peripheral portion thereof is formed. At present, with the increase in the degree of integration of the functional element region 91, the number of lead electrodes in the lead electrode region 93 tends to increase and the density tends to increase.

【0003】このような回路基板のリード電極と、これ
に接続すべき他の回路端子などとの電気的な接続を検査
するために、従来、プロ−ブピンを用いた電気検査が行
われている。プロ−ブピンとしては、内部にスプリング
を有するスプリングピンやソリッドピンが知られている
が、これらのピンを種々の構成で用いるものが例えば特
開昭61−161460号公報、特開昭62−1422
79号公報、特開昭59−150351号公報、特開昭
56−54096号公報などにより、知られている。
In order to inspect the electrical connection between such a lead electrode of a circuit board and other circuit terminals to be connected thereto, an electrical inspection using a probe pin has been conventionally performed. . As the probe pin, a spring pin or a solid pin having a spring therein is known, and those using these pins in various configurations are disclosed in, for example, JP-A-61-161460 and JP-A-62-1422.
No. 79, JP-A-59-150351, JP-A-56-54096 and the like.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年プ
リント回路基板の集積度の増大により、機能素子領域で
の電極の高密度化及び微細化が進み、従来のプロ−ブピ
ンでの電気的検査が困難になってきている。即ち、微細
化し、狭ピッチ化(互いに隣接するリード電極の中心間
距離が小さくなる)した電極の電気的接続を検査するた
めのプロ−ブピンの加工が困難となる、という問題点、
及び、検査の際のプロ−ブピンの位置精度を保つことが
困難となるという問題点がある。
However, in recent years, due to the increase in the degree of integration of printed circuit boards, the density and miniaturization of electrodes in the functional element region have advanced, making it difficult to perform conventional electrical inspection with probe pins. It is becoming. That is, it is difficult to process a probe pin for inspecting electrical connection of electrodes that are miniaturized and have a narrow pitch (the distance between centers of adjacent lead electrodes is small).
Further, there is a problem that it is difficult to maintain the position accuracy of the probe pin at the time of inspection.

【0005】本発明は、以上のような問題点を解決する
ものであって、その目的は、検査対象である回路基板に
おけるリード電極などの被検査電極が、電極ピッチが微
小であり、かつ微細で高密度の複雑なパターンのもので
ある場合にも、また被検査基板の平面に歪みがあったり
電極の高さ(厚さ)が均一でないものに対しても、当該
回路基板について所要の電気的接続を確実に達成するこ
とができ、接続信頼性の高いコネクターおよびそれを用
いた回路基板検査装置を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a method for inspecting a circuit board to be inspected, such as a lead electrode, having a fine electrode pitch and a fine electrode pitch. The circuit board has a required electric power even if the circuit board has a high-density and complicated pattern, or if the surface of the substrate to be inspected has a distortion or the electrode height (thickness) is not uniform. It is an object of the present invention to provide a connector which can reliably achieve a reliable connection and has high connection reliability and a circuit board inspection apparatus using the connector.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、弾性を有する
絶縁シートとこの中に配設され該シートの厚さ方向に導
電性を有し弾性を有する導電部、および該導電部に電気
的に接続され絶縁シート表面に一体化された配線部を有
することを特徴とするコネクターを提供するものであ
る。また、上記コネクターを回路基板と積層させてなる
コネクター装置を提供するものである。また本発明は、
上記絶縁シート中に存在する導電部が、導電性粒子を有
するものであることを特徴とする上記のコネクターを提
供するものである。更に、本発明は上記のコネクター
を、検査対象の回路基板等の被検査電極と電気的検査装
置とを電気的に接続可能に介在させてなることを特徴と
する回路基板検査装置を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, there is provided an insulating sheet having elasticity, a conductive portion provided in the insulating sheet, having conductivity in the thickness direction of the sheet and having elasticity, and an electrically conductive portion provided on the conductive portion. And a wiring part integrated on the surface of the insulating sheet. Another object of the present invention is to provide a connector device in which the connector is laminated on a circuit board. The present invention also provides
The present invention provides the connector, wherein the conductive portion present in the insulating sheet has conductive particles. Further, the present invention provides a circuit board inspection apparatus characterized in that the above-mentioned connector is provided so that an electrode to be inspected such as a circuit board to be inspected and an electrical inspection apparatus can be electrically connected to each other. It is.

【0007】[0007]

【作用】本発明のコネクターによれば、絶縁シート中に
設けられた導電部が弾性を有しており、しかも配線部が
一体的に設けられたコネクター本体が高い柔軟性を有し
ているため、検査対象である回路基板の被検査電極が、
電極ピッチが微小であり、かつ微細で高密度の複雑なパ
ターンのものである場合にも、また被検査基板の平面に
歪みがあったり電極の高さ(厚さ)が均一でないものに
対しても、当該回路基板について所要の電気的接続を確
実に達成することができ、さらに温度変化による熱履歴
などの環境の変化に対しても良好な電気的接続状態が安
定に維持され、従って高い接続信頼性を得ることができ
る。
According to the connector of the present invention, the conductive portion provided in the insulating sheet has elasticity, and the connector body integrally provided with the wiring portion has high flexibility. The electrode to be inspected of the circuit board to be inspected is
Even if the electrode pitch is very small and the pattern is fine and dense, and the pattern is complicated, it is also possible to use the one where the plane of the substrate to be inspected has a distortion or the electrode height (thickness) is not uniform. Also, the required electrical connection can be reliably achieved for the circuit board, and a good electrical connection state can be stably maintained against environmental changes such as heat history due to temperature changes, and thus high connection can be achieved. Reliability can be obtained.

【0008】また、本発明の製造方法によれば、柔軟性
に富む絶縁性シートの上に回路基板接続用電極部分をフ
ォトリソグラフィ−及び電解メッキ法などにより形成す
ることができるので、微細なサイズの電極でも、またそ
の電極間隔(ピッチ)が狭いものであっても、回路基板
接続用電極部分を検査プロ−ブとして形成することがで
きる。また、絶縁性シートを貫通するように柔軟性に富
む、導電路を形成することができ、上記のような構成の
回路基板検査装置を容易に、かつ有利に製造することが
できる。
Further, according to the manufacturing method of the present invention, an electrode portion for connecting a circuit board can be formed on a highly flexible insulating sheet by photolithography and electrolytic plating. Even if the electrode is used, or the electrode interval (pitch) is narrow, the circuit board connecting electrode portion can be formed as an inspection probe. In addition, a highly flexible conductive path can be formed so as to penetrate the insulating sheet, and the circuit board inspection device having the above-described configuration can be easily and advantageously manufactured.

【0009】以下、本発明をさらに具体的に説明する。
図1、図2および図3は、それぞれ、本発明の一実施例
に係るコネクター、それと被検査基板との組み合わせ、
および回路基板検査装置10の構成を示す説明図であ
る。図1には本発明の一実施例におけるコネクターを示
し、図2には全体が板状のコネクター本体12と、その
端子電極を有する方の表面に一体的に設けられたベース
基板15とにより構成されているコネクター装置を示
す。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically.
FIGS. 1, 2 and 3 respectively show a connector according to an embodiment of the present invention, a combination of the connector and a substrate to be inspected,
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a configuration of a circuit board inspection apparatus 10. FIG. 1 shows a connector according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a connector body 12 having a plate shape as a whole and a base substrate 15 integrally provided on a surface having a terminal electrode. Shows the connector device that is being used.

【0010】図1に示すように、本発明のコネクター
は、絶縁シート20の一方の表面には、検査用テスター
に適宜の手段によって電気的に接続される端子電極30
が格子点上に配置されて設けられると共に、絶縁シート
20のもう一方の表面には適宜のパターンの配線部4及
び回路基板接続用電極40が形成され、端子電極30と
配線部4とは、絶縁シート20をその厚み方向に貫通し
て伸びる導電路42により電気的に接続されており、配
線部4と回路基板接続用電極40とは電気的に接続され
ている。端子電極は、必要に応じて図2に示すように、
ベース基盤15を介して配設されていてもよい。端子電
極30に係る格子点間の距離、すなわち端子電極30の
電極間ピッチPtは、特に限定されるものではなく、検
査の条件およびベース基板の条件に応じて適宜の大きさ
とすることができるが、例えば2.5mm、2mm、
1.8mm、1.5mm、1mmなどである。
As shown in FIG. 1, in the connector of the present invention, a terminal electrode 30 electrically connected to an inspection tester by an appropriate means is provided on one surface of an insulating sheet 20.
Are provided on the lattice points, and the wiring portion 4 and the circuit board connection electrode 40 having an appropriate pattern are formed on the other surface of the insulating sheet 20. The terminal electrode 30 and the wiring portion 4 The wiring section 4 and the circuit board connecting electrode 40 are electrically connected to each other by a conductive path 42 extending through the insulating sheet 20 in the thickness direction thereof. The terminal electrodes are, if necessary, as shown in FIG.
It may be provided via the base board 15. The distance between the lattice points of the terminal electrode 30, that is, the inter-electrode pitch Pt of the terminal electrode 30 is not particularly limited, and may be an appropriate size according to the inspection conditions and the conditions of the base substrate. , For example, 2.5 mm, 2 mm,
1.8 mm, 1.5 mm, 1 mm, etc.

【0011】このように、コネクター本体12において
は、接続用電極40の各々が、配線部4、導電路3を介
して、端子電極30に電気的に接続されている。本発明
のコネクターを回路基板の電気的導通検査に用いる場
合、接続用電極40と端子電極30との電気的な接続は
回路基板の検査目的に応じた態様で達成されればよい。
従って、すべての接続用電極40と端子電極30とが必
ず1対1の対応関係で接続される必要はなく、端子電極
30、配線部4、および接続用電極40について種々の
要請される接続状態を実現することができる。例えば、
配線部4を利用して接続用電極40同士を接続するこ
と、複数の接続用電極40を1つの配線部4に共通に接
続すること、1つの接続用電極40を複数の配線部4と
同時に接続することなどが可能である。上記コネクター
の絶縁シート20においては、検査の性能および導電路
の加工性から、絶縁シートの厚みは0.01〜1mmが
好ましく、さらに好ましくは0.02〜0.5mmであ
り、特に好ましくは、0.05mm〜0.3mmの範囲
である。また、接続用電極40は、プロ−ブとしても用
いられ、その高さは検査対象となる回路基板の形状によ
り異なるが、0.01mm〜0.5mmが好ましく、さ
らに好ましくは0.02〜0.3mm、特に好ましくは
0.03〜0.2mmである。
As described above, in the connector body 12, each of the connection electrodes 40 is electrically connected to the terminal electrode 30 via the wiring portion 4 and the conductive path 3. When the connector of the present invention is used for an electrical continuity test on a circuit board, the electrical connection between the connection electrode 40 and the terminal electrode 30 may be achieved in a manner according to the purpose of the circuit board test.
Therefore, it is not always necessary to connect all the connection electrodes 40 and the terminal electrodes 30 in a one-to-one correspondence, and various required connection states of the terminal electrode 30, the wiring portion 4, and the connection electrode 40 are required. Can be realized. For example,
Connecting the connection electrodes 40 by using the wiring portions 4, connecting the plurality of connection electrodes 40 to one wiring portion 4 in common, and connecting one connection electrode 40 to the plurality of wiring portions 4 simultaneously. It is possible to connect. In the insulation sheet 20 of the connector, the thickness of the insulation sheet is preferably 0.01 to 1 mm, more preferably 0.02 to 0.5 mm, particularly preferably 0.02 to 0.5 mm, from the performance of inspection and workability of the conductive path. It is in the range of 0.05 mm to 0.3 mm. The connection electrode 40 is also used as a probe, and its height varies depending on the shape of the circuit board to be inspected, but is preferably 0.01 mm to 0.5 mm, more preferably 0.02 to 0 mm. 0.3 mm, particularly preferably 0.03 to 0.2 mm.

【0012】コネクター本体12の端子電極を有する面
には、ベース基板15が一体的に接着乃至密着した状態
で形成することができる。実用上、このような構成にす
ることが好ましい。このベース基板15は、図2に示す
ように、絶縁シートの端子電極30と接続された短絡部
3と第2配線部5および第2端子電極31からなる配線
基板である。またこのような構成にすることにより、こ
れを用いて回路基板検査装置としたとき、コネクター本
体の柔軟性が高く、回路基板検査の際にプロ−ブ電極と
して機能する接続電極を微小なサイズで形成することが
出来るため、検査対象回路基板の機能素子領域の電極ピ
ッチ及び電極サイズが微小である場合にも、所要の電気
的接続を確実に達成することができる。また、ベース基
板15がコネクター本体12と一体であるため、温度変
化による熱履歴などの環境の変化に対しても、良好な電
気的接続状態が安定に維持され、従って常に高い接続信
頼性を得ることができる。
The base substrate 15 can be integrally formed on or adhered to the surface of the connector body 12 having the terminal electrodes. In practice, such a configuration is preferable. As shown in FIG. 2, the base substrate 15 is a wiring substrate including the short-circuit portion 3 connected to the terminal electrode 30 of the insulating sheet, the second wiring portion 5, and the second terminal electrode 31. In addition, by adopting such a configuration, when a circuit board inspection apparatus is used, the flexibility of the connector body is high, and the connection electrode functioning as a probe electrode at the time of circuit board inspection has a small size. Since the electrodes can be formed, even when the electrode pitch and the electrode size of the functional element region of the circuit board to be inspected are minute, required electrical connection can be reliably achieved. Further, since the base substrate 15 is integrated with the connector main body 12, a good electrical connection state is stably maintained even with environmental changes such as a heat history due to a temperature change, and therefore always high connection reliability is obtained. be able to.

【0013】本発明のコネクター本体12の導電路42
は、絶縁性の弾性高分子物質7中に導電性粒子8が密に
充填されてなる多数の導電部が、厚さ方向に伸びる状態
で形成されている。この導電部は、厚さ方向に加圧され
て圧縮されたときにさらに抵抗値が減少するように、導
電性粒子8が厚さ方向に並ぶよう配向されたものであっ
てもよい。かかる導電性粒子の配向を行う場合は、磁性
を有する導電性粒子を用い、絶縁シートの厚さ方向に磁
力線が通過するように磁場をかけて配向させるのが好ま
しい。
The conductive path 42 of the connector body 12 of the present invention
Is formed with a large number of conductive portions formed by densely filling conductive particles 8 in an insulating elastic polymer material 7 so as to extend in the thickness direction. The conductive portion may be oriented so that the conductive particles 8 are arranged in the thickness direction such that the resistance value is further reduced when the conductive portion 8 is pressed and compressed in the thickness direction. When such conductive particles are oriented, it is preferable to use conductive particles having magnetism and apply a magnetic field so that lines of magnetic force pass in the thickness direction of the insulating sheet.

【0014】上記コネクター本体の絶縁シート20の導
電路41においては、導電性粒子8の充填率が15体積
%以上であることが好ましく、特に20体積%以上であ
ることが好ましい。導電性粒子の充填率が高いときに
は、確実に所期の電気的接続を達成することができる点
では好ましい。しかし、回路基板の電気的検査の際、繰
り返し加圧下で使用する場合には導電路部の弾性が低下
することになり、柔軟性に欠け、耐久性低下と検査性能
低下のおそれがある。このため、導電路部41における
導電性粒子8の充填率は40体積%以下であることが好
ましい。上記絶縁シートの厚さは、検査装置に応じて適
宜設定することが出来るがこのましくは0.02〜2m
mであり、さらに好ましくは0.03〜1.5mmであ
り、特に好ましくは0.05〜1mmである。
In the conductive path 41 of the insulating sheet 20 of the connector body, the filling rate of the conductive particles 8 is preferably 15% by volume or more, particularly preferably 20% by volume or more. When the filling rate of the conductive particles is high, it is preferable in that the intended electrical connection can be reliably achieved. However, when the circuit board is repeatedly used under pressure during the electrical inspection, the elasticity of the conductive path portion is reduced, and the circuit portion lacks flexibility, and there is a possibility that the durability and the inspection performance are reduced. Therefore, the filling rate of the conductive particles 8 in the conductive path portion 41 is preferably 40% by volume or less. The thickness of the insulating sheet can be appropriately set according to the inspection device, but is preferably 0.02 to 2 m.
m, more preferably 0.03 to 1.5 mm, particularly preferably 0.05 to 1 mm.

【0015】導電路部41の導電性粒子8としては、例
えばニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を示す金属の粒
子もしくはこれらの合金の粒子、またはこれらの粒子に
金、銀、パラジウム、ロジウムなどのメッキを施したも
の、非磁性金属粒子もしくはガラスビーズなどの無機質
粒子またはポリマー粒子にニッケル、コバルトなどの導
電性磁性体のメッキを施したものなどを挙げることがで
きる。
The conductive particles 8 of the conductive path portion 41 include, for example, particles of magnetic metal such as nickel, iron and cobalt or particles of alloys thereof, or particles of gold, silver, palladium, rhodium or the like. Examples thereof include those subjected to plating, inorganic particles such as non-magnetic metal particles or glass beads, or polymer particles plated with a conductive magnetic material such as nickel or cobalt.

【0016】後述する方法においては、ニッケル、鉄、
またはこれらの合金などよりなる導電性磁性体粒子が用
いられ、また接触抵抗が小さいなどの電気的特性の点で
金メッキされた粒子を好ましく用いることができる。ま
た、磁気ヒステリシスを示さない点から、導電性超常磁
性体よりなる粒子も好ましく用いることができる。さら
に、シートの厚さ方向に磁力線が通過するように磁場を
かけることにより、シートの厚さ方向に粒子を配向さ
せ、導電性を向上させることができる。導電性粒子の粒
径は、導電路部3において導電性粒子間に十分な電気的
な接触が得られるよう、1〜200μmであることが好
ましく、特に2〜100μmであることが好ましい。
In the method described below, nickel, iron,
Alternatively, conductive magnetic particles made of an alloy thereof or the like are used, and gold-plated particles can be preferably used in terms of electrical characteristics such as low contact resistance. Further, particles composed of a conductive superparamagnetic material can be preferably used because they do not show magnetic hysteresis. Further, by applying a magnetic field so that the lines of magnetic force pass in the thickness direction of the sheet, the particles can be oriented in the thickness direction of the sheet, and the conductivity can be improved. The particle size of the conductive particles is preferably from 1 to 200 μm, particularly preferably from 2 to 100 μm so that sufficient electrical contact between the conductive particles in the conductive path portion 3 can be obtained.

【0017】絶縁性シート20の材質は弾性高分子物質
またはこれと寸法安定性の高い耐熱性材料であることが
好ましく、各種の弾性高分子物質および/または各種の
樹脂を使用することができる。また、絶縁シート体は、
その柔軟性を損なわない範囲に置いて、複数の材料層か
らなるシートとすることが出来る。
The material of the insulating sheet 20 is preferably an elastic polymer material or a heat-resistant material having high dimensional stability with the elastic polymer material, and various elastic polymer materials and / or various resins can be used. Also, the insulating sheet body is
A sheet composed of a plurality of material layers can be obtained as long as the flexibility is not impaired.

【0018】絶縁シート体を形成する弾性高分子物質お
よび導電路部を形成する弾性高分子物質としては、好ま
しくは硬化処理前には液状であって、硬化処理後にアダ
プター本体12の表面と密着状態または接着状態を保持
して一体となる高分子物質用材料が好ましい。このよう
な観点から、本発明に好適な高分子物質用材料として
は、液状シリコーンゴム、液状ウレタンゴム、軟質液状
エポキシ樹脂などを挙げることができる。高分子物質用
材料には、ベース基板等に対する接着性を向上させるた
めに、シランカップリング剤、チタンカップリング剤な
どの添加剤を添加することができる。絶縁シート体の弾
性高分子物質には耐熱性硬質樹脂物質を併用することが
できる。かかる耐熱性硬質樹脂物質としてはポリイミド
樹脂及びガラス繊維補強型エポキシ樹脂軟質液状エポキ
シ樹脂が最適である。
The elastic polymer material forming the insulating sheet body and the elastic polymer material forming the conductive path are preferably in a liquid state before the hardening treatment, and are in close contact with the surface of the adapter body 12 after the hardening treatment. Alternatively, it is preferable to use a material for a polymer substance that is integrated while maintaining an adhesive state. From such a viewpoint, examples of the material for a polymer substance suitable for the present invention include liquid silicone rubber, liquid urethane rubber, and soft liquid epoxy resin. Additives such as a silane coupling agent and a titanium coupling agent can be added to the polymer substance material in order to improve adhesion to a base substrate or the like. A heat-resistant hard resin material can be used in combination with the elastic polymer material of the insulating sheet body. As the heat-resistant hard resin material, polyimide resin and glass fiber reinforced epoxy resin soft liquid epoxy resin are most suitable.

【0019】絶縁シート20を構成する材料としては、
導電露42を構成する高分子物質と同一のものまたは異
なるものを用いることができるが、硬化処理後に両者が
密着状態または接着状態を保持して一体となるものが好
ましく用いられる。このようにすることにより、絶縁シ
ートと導電路の一体性が高くなるため、導電路部が繰り
返し圧縮に対して優れた耐久性を得ることができる。
As a material for forming the insulating sheet 20,
The same or a different polymer material as the conductive dew 42 can be used, but it is preferable to use one in which the two maintain a close contact state or an adhered state after the curing treatment. By doing so, the integrity of the insulating sheet and the conductive path is increased, so that the conductive path portion can obtain excellent durability against repeated compression.

【0020】本発明のコネクターは、たとえば次のよう
な構成により回路基板の電気的導通検査等を行うことが
できる。例えば図3に示すように、本発明のコネクター
は、その下面に検査対象である回路基板64が配置され
て接続用電極40に回路基板の被検査電極64Aが対接
されると共に、アダプタ−本体のもう一方の表面上の端
子電極30がベース基板15を介して検査電極に接続さ
れテスターに接続される。更にアダプター本体12全体
が厚み方向に圧縮するよう加圧された状態とされる。こ
の状態においては、接続電極40と被検査電極が導電状
態となり、これにより、被検査電極とテスターとの所要
の電気的な接続が達成される。
The connector of the present invention can perform an electrical continuity test of a circuit board, for example, by the following configuration. For example, as shown in FIG. 3, the connector of the present invention has a circuit board 64 to be inspected on its lower surface, an electrode 64A to be inspected of the circuit board being in contact with the connection electrode 40, and an adapter-body. Is connected to the inspection electrode via the base substrate 15 and to the tester. Further, the entire adapter body 12 is in a state of being pressed so as to be compressed in the thickness direction. In this state, the connection electrode 40 and the electrode under test are brought into a conductive state, whereby a required electrical connection between the electrode under test and the tester is achieved.

【0021】次に、本発明に係るコネクターの好ましい
製造方法について説明する。この方法は、コネクターの
ベース基板を形成する第1プロセスと、このベース基板
の端子電極を有しない方の表面上にコネクター本体を一
体的に形成する第2プロセスとよりなる。
Next, a preferred method of manufacturing the connector according to the present invention will be described. This method includes a first process of forming a base substrate of a connector and a second process of integrally forming a connector main body on a surface of the base substrate having no terminal electrode.

【0022】第1プロセスは、以下の第1工程と第2工
程を含む。 第1工程 この第1工程は、ベース基板の両面に金属薄層を形成す
る工程である。具体的には、図4に示すように、例えば
銅などよりなる金属薄層30Aおよび4Aが両面に積層
して設けられた弾性高分子物質および/または硬質樹脂
よりなる平板状の積層体15が形成される工程である。
The first process includes the following first step and second step. First Step This first step is a step of forming thin metal layers on both surfaces of the base substrate. Specifically, as shown in FIG. 4, a flat laminate 15 made of an elastic polymer material and / or a hard resin provided with thin metal layers 30A and 4A made of, for example, copper is laminated on both surfaces. This is the step to be formed.

【0023】第2工程 この第2工程は、ベース基板15を貫通する導電路を形
成する工程である。具体的には、図5に示すように、例
えば銅などよりなる金属薄層30Aおよび4Aが両面に
積層して設けられた硬質樹脂よりなる平板状の基板20
が用意され、この基板15に対し、例えば数値制御型ド
リリング装置により、スルーホール用貫通穴3が形成さ
れる。このスルーホール用貫通穴3Hのピッチは例えば
2.54mm、孔径は例えば0.3mmである。次に、
上記基板15に対し、図6に示すように、無電解銅メッ
キ法、電解銅メッキ法によりスルーホール用貫通穴3が
銅メッキされて基板15を貫通して伸びる短絡部32が
形成される。また、基板15の下面の金属薄層30Aが
フォトエッチング処理されて、格子点上に配置された端
子電極30が形成される。
Second Step This second step is a step of forming a conductive path penetrating the base substrate 15. More specifically, as shown in FIG. 5, a flat substrate 20 made of a hard resin provided with thin metal layers 30A and 4A made of, for example, copper is laminated on both sides.
The through hole 3 for a through hole is formed in the substrate 15 by, for example, a numerically controlled drilling device. The pitch of the through holes 3H is, for example, 2.54 mm, and the hole diameter is, for example, 0.3 mm. next,
As shown in FIG. 6, the through holes 3 for through holes are plated with copper by the electroless copper plating method or the electrolytic copper plating method on the substrate 15 to form short-circuit portions 32 extending through the substrate 15. Further, the thin metal layer 30A on the lower surface of the substrate 15 is subjected to a photo-etching process to form the terminal electrodes 30 arranged on the lattice points.

【0024】第2プロセスは、以下の第1工程と第2工
程を含む。 第1工程 この第1工程は、ベース基板上に絶縁シートを形成し、
この絶縁シートを貫通する導電路を形成する工程であ
る。具体的には、図7に示すように、例えば銅などより
なる金属薄層30Aおよび絶縁シート20がベース基板
の一方の面に積層して設けられる。次にこの積層体に対
して、例えばパルス式炭酸ガスレーザー加工装置によ
り、図8に示すように導電路用ブラインド穴42Aが形
成される。
The second process includes the following first and second steps. 1st process This 1st process forms an insulating sheet on a base substrate,
This is a step of forming a conductive path penetrating the insulating sheet. Specifically, as shown in FIG. 7, a thin metal layer 30A made of, for example, copper or the like and the insulating sheet 20 are provided on one surface of the base substrate. Next, a blind hole 42A for a conductive path is formed in the laminated body as shown in FIG. 8 by, for example, a pulsed carbon dioxide laser processing apparatus.

【0025】次に、上記絶縁シートの導電路用穴42A
に対し、図9および図10に示すように、導電性粒子8
を含有した高分子物質7からなる導電路形成用材料9が
充填され、絶縁シート20を貫通して伸びる導電路42
が形成される。上記工程においては、絶縁性の弾性高分
子物質となる高分子物質用材料中に導電性粒子を分散さ
せて流動性の混合物よりなる導電路形成用材料9が調製
され、これが図9に示すように上記導電路用の穴に充填
され、硬化処理される。硬化処理は、使用される材料に
よって適宜選定されるが、通常、熱処理によって行われ
る。具体的な加熱温度および加熱時間は、コネクター本
体絶縁シートに使用される材料によって適宜選定され
る。例えば、高分子物質用材料が室温硬化型シリコーン
ゴムである場合には、硬化処理は室温で24時間程度、
40℃で2時間程度、80℃で30分間程度で行われ
る。
Next, the conductive path hole 42A of the insulating sheet is formed.
On the other hand, as shown in FIG. 9 and FIG.
A conductive path 42 is filled with a conductive path forming material 9 made of a polymer substance 7 containing
Is formed. In the above step, the conductive particles are dispersed in a polymer material to be an insulating elastic polymer material to prepare a conductive path forming material 9 made of a fluid mixture, as shown in FIG. Is filled in the holes for the conductive paths and hardened. The curing treatment is appropriately selected depending on the material used, but is usually performed by heat treatment. The specific heating temperature and heating time are appropriately selected depending on the material used for the connector body insulating sheet. For example, when the polymer material is a room temperature-curable silicone rubber, the curing process is performed at room temperature for about 24 hours,
The reaction is performed at 40 ° C. for about 2 hours and at 80 ° C. for about 30 minutes.

【0026】第2工程 この第2工程は、絶縁シートの表面に当該端子電極と電
気的に接続された配線部および接続電極部を形成する工
程である。図7と同様にして、図9の絶縁シート20上
の金属薄膜30Aを、フォトリソグラフィ−と電解メッ
キの手法により、不要部分を除去して配線部4を形成
し、これは導電路42と電気的に接続される。さらにこ
の配線部4に接続して検査対象である回路基板の被検査
電極に対応したパターンの接続用電極40が形成され、
斯くしてアダプター本体12が製造される。接続用電極
40を形成する金属層の厚みを大きくする場合には、必
要な厚みに対応する膜厚のフォトレジスト膜を形成して
パターニングを行うことにより、当該金属層を形成する
部分に孔を形成し、この孔内に金属を電解メッキ法など
によって充填し、然る後にフォトレジスト膜を除去すれ
ばよい。このような方法により、表面から突出した状態
の接続用電極40(図11)を形成することができる。
Second Step This second step is a step of forming a wiring portion and a connection electrode portion electrically connected to the terminal electrode on the surface of the insulating sheet. In the same manner as in FIG. 7, the metal thin film 30A on the insulating sheet 20 in FIG. Connected. Further, a connection electrode 40 having a pattern corresponding to the electrode to be inspected of the circuit board to be inspected is formed by being connected to the wiring portion 4.
Thus, the adapter body 12 is manufactured. When the thickness of the metal layer forming the connection electrode 40 is increased, a photoresist film having a thickness corresponding to the required thickness is formed and patterned to form a hole in a portion where the metal layer is formed. Then, a metal may be filled in the holes by an electrolytic plating method or the like, and then the photoresist film may be removed. By such a method, the connection electrode 40 (FIG. 11) protruding from the surface can be formed.

【0027】以上のようにしてコネクターを製造するこ
とができる。なお、コネクターとしては、図1に示すよ
うにアダプター本体15の形成を単独で行い、しかる後
にベース基板上に接合ないしは接続して、コネクター本
体とべース基板を一体化することも出来る。
The connector can be manufactured as described above. As the connector, as shown in FIG. 1, the adapter main body 15 can be formed independently, and then the connector main body and the base substrate can be integrated by joining or connecting to the base substrate.

【0028】〔実施例〕以下、本発明の実施例を説明す
るが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。 実施例 (イ)第1プロセス 第1工程 各々の厚みが18μmの銅金属薄層(30A,4A)を
厚さ0.2mmのガラス繊維補強型エポキシ樹脂よりな
る基板(15)の両面に積層してなる材料を用意し、こ
れを縦200mm、横250mmの矩形状に裁断し、こ
れに、2軸ドリリング装置を用いてピッチが2.54m
mの格子点上に配置された状態となるよう、各々の内径
が0.2mmのスルーホール用貫通穴(3)を形成した
(図4および図5参照)。
Embodiments Embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these embodiments. Examples (A) First Process First Step Each of 18 μm thick copper metal thin layers (30A, 4A) is laminated on both sides of a substrate (15) made of a glass fiber reinforced epoxy resin having a thickness of 0.2 mm. The material is prepared and cut into a rectangular shape having a length of 200 mm and a width of 250 mm, and the pitch is 2.54 m using a biaxial drilling device.
Through-holes (3) for through holes each having an inner diameter of 0.2 mm were formed so as to be arranged on m lattice points (see FIGS. 4 and 5).

【0029】第2工程 次に、銅メッキにより、スルーホール内に短絡部32を
形成すると共に、基板20の両面の金属薄層に対してフ
ォトエッチング処理をして不要部分を除去することによ
り、検査対象回路基板の被検査電極に対応するパターン
に従って、下面には端子電極(30)を形成した。さら
に、上面には短絡部(32)を介して電気的に接続され
た配線部(5)を形成しベース基板を製造した(図6参
照)。
Second Step Next, a short-circuit portion 32 is formed in the through hole by copper plating, and unnecessary portions are removed by performing a photo-etching process on the thin metal layers on both surfaces of the substrate 20. A terminal electrode (30) was formed on the lower surface according to the pattern corresponding to the electrode to be inspected on the circuit board to be inspected. Further, a wiring portion (5) electrically connected via a short-circuit portion (32) was formed on the upper surface to manufacture a base substrate (see FIG. 6).

【0030】第2プロセス 第1工程 ベース基板の端子電極を形成しない方の面に、液状の室
温硬化型シリコンゴムを200μの厚さに塗布しその上
に、35μの支持銅箔上に形成された9μ厚さの銅箔3
0Aをシリコーンゴムと接するように配置し、この状態
で80℃で4時間放置して硬化させた。これにより、厚
さが0.244mmの絶縁シート(コネクター本体部)
と厚さ0.5mmのベース基板部が一体となった縦20
cm横25cmのアダプタ−装置基材を製造した。次い
で、NC制御のドリル装置により、銅箔30Aに直径
0.15mmの開口部を形成し、これをコンフォーマル
マスクとして、パルス式炭酸ガスレーザー加工機で、絶
縁シート20を貫通し配線部5に接続する導電路用穴4
2のブラインド穴を形成した(図8)。このブラインド
穴に、室温硬化型シリコーンゴムに導電粒子を体積分率
30%含むように混合した導電路形成用材料9からなる
ペーストをスキージーで充填した後、100℃で50分
加熱処理し、室温硬化型シリコーンゴムを硬化させ導電
路部を形成した。
Second Process First Process A liquid room temperature-curable silicone rubber is applied to a thickness of 200 μm on the surface of the base substrate on which the terminal electrodes are not formed, and is formed on a 35 μm supporting copper foil. 9μ thick copper foil 3
OA was placed so as to be in contact with the silicone rubber, and was left to cure at 80 ° C. for 4 hours in this state. As a result, the insulation sheet (connector body) having a thickness of 0.244 mm
And a base substrate with a thickness of 0.5 mm and a length of 20
An adapter-device substrate measuring 25 cm in width and 25 cm in width was manufactured. Next, an opening having a diameter of 0.15 mm is formed in the copper foil 30A by a drill device controlled by NC, and the opening is formed as a conformal mask. Hole 4 for conductive path to be connected
Two blind holes were formed (FIG. 8). The blind hole is filled with a paste made of a conductive path forming material 9 obtained by mixing conductive particles in a room-temperature-curable silicone rubber so as to contain a volume fraction of 30% with a squeegee, and then heated at 100 ° C. for 50 minutes. The curable silicone rubber was cured to form a conductive path.

【0031】第2工程 配線部に電気的に接続された接続用電極を形成する工程
である。第1プロセスの第2工程と同様にして、絶縁シ
ート15上の金属薄層30Aに対し、フォトリソグラフ
ィ−と電解メッキの手法により、不要部分を除去し、検
査対象である回路基板の被検査電極に対応したパターン
の配線部を形成させ、さらにそれに接続して接続用電極
40が形成され、斯くしてコネクター装置10が製造さ
れる。
Second Step This is a step of forming a connection electrode electrically connected to the wiring portion. In the same manner as in the second step of the first process, unnecessary portions of the thin metal layer 30A on the insulating sheet 15 are removed by photolithography and electrolytic plating, and the electrode to be inspected of the circuit board to be inspected is removed. Is formed, and a connection electrode 40 is formed by connecting to the wiring portion. Thus, the connector device 10 is manufactured.

【0032】実験例1 本発明のコネクターを用いて、図3に示すような構成
で、機能素子領域にICチップをハンダ接続するため
の、4列に並んだ0.25mmピッチの接点を部分的に
有する回路基板の検査を行った。プリント回路基板検査
装置を用いた電気的検査の結果は、回路基板の接点全て
が、検査上の電気抵抗値が100Ω以下となり、当該コ
ネクターを用いた回路基板導通検査が行えることが確認
された。本実験を通し、検査対象の回路基板の接点と端
子電極と接続用電極との間の電気的な接続が十分に達成
されていることが確認された。
EXPERIMENTAL EXAMPLE 1 Using the connector of the present invention, in the configuration as shown in FIG. 3, contacts of 0.25 mm pitch arranged in four rows for solder connection of an IC chip to a functional element region were partially formed. Was inspected. As a result of the electrical inspection using the printed circuit board inspection apparatus, it was confirmed that all the contacts of the circuit board had an electrical resistance of 100Ω or less in the inspection, and that the circuit board continuity inspection using the connector could be performed. Through this experiment, it was confirmed that the electrical connection between the contact of the circuit board to be inspected, the terminal electrode, and the connection electrode was sufficiently achieved.

【0033】実験例2 更に当該コネクターについて、実験例1の構成のうち、
回路基板の部分に電気絶縁性のガラス繊維強化型エポキ
シ基板を配し、互いに絶縁状態とされるべき隣接する接
続用電極の間の電気抵抗値を測定したところ、電気抵抗
値はいずれも10MΩ以上と非常に大きく、当該コネク
ターの隣接する接続用電極の間十分な絶縁状態が達成さ
れていることが確認された。
Experimental Example 2 Further, regarding the connector, of the configuration of Experimental Example 1,
An electrically insulating glass fiber reinforced epoxy substrate was placed on the circuit board, and the electrical resistance between adjacent connecting electrodes to be insulated from each other was measured. It was confirmed that a sufficient insulating state was achieved between the connection electrodes adjacent to the connector.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明のコネクターによれば、コネクタ
ー本体に一体的かつその変形に追随できるように配線部
が形成され、その表面には、検査対象回路基板の被検査
電極に対応して配置された接続用電極が形成されると共
に、コネクターのもう一方の表面には格子点に配置され
た端子電極が形成されており、配線層部分には接続用電
極と端子電極とを電気的に接続するための弾性を有する
導電路が形成されており、接続用電極が弾性を有する絶
縁性基板の上に形成されている。このため基板の柔軟性
が十分高く、回路基板の被検査電極が、電極ピッチが微
小であり、かつ微細で高密度の複雑なパターンのもので
ある場合にも、当該回路基板について所要の電気的接続
を確実に達成することができ、また温度変化による熱履
歴などの環境の変化に対しても良好な電気的接続状態が
安定に維持され、従って高い接続信頼性を得ることがで
きる。
According to the connector of the present invention, the wiring portion is formed integrally with the connector body so as to be able to follow the deformation thereof, and is arranged on the surface corresponding to the electrode to be inspected of the circuit board to be inspected. The connection electrodes are formed, and terminal electrodes arranged at lattice points are formed on the other surface of the connector, and the connection electrodes and the terminal electrodes are electrically connected to the wiring layer portion. An elastic conductive path is formed for the connection, and the connection electrode is formed on an elastic insulating substrate. For this reason, the flexibility of the substrate is sufficiently high, and even if the electrodes to be inspected on the circuit board have a fine electrode pitch and a complicated pattern of fine and high density, the required electrical The connection can be reliably achieved, and a good electrical connection state can be stably maintained against environmental changes such as heat history due to temperature changes, and thus high connection reliability can be obtained.

【0035】[0035]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の一実施例に係わるコネクターの説明
用断面図である。
FIG. 1 is an explanatory sectional view of a connector according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の一実施例に係わるコネクターとベー
ス基板とを一体化したコネクター装置、および被検査基
板との配置の状態を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view showing a connector device according to one embodiment of the present invention in which a connector and a base substrate are integrated, and a state of arrangement of a substrate to be inspected.

【図3】 本発明の一実施例において製作したコネクタ
ーを用いて回路基板の電気的検査を行う装置の構成を示
す説明用断面図である。
FIG. 3 is an explanatory cross-sectional view showing a configuration of an apparatus for performing an electrical inspection of a circuit board using a connector manufactured in one embodiment of the present invention.

【図4】 本発明の一実施例における、コネクター装置
の製造に用いられるベース基板材料の説明用断面図であ
る。
FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining a base substrate material used for manufacturing a connector device in one embodiment of the present invention.

【図5】 ベース基板材料にスルホ−ル用貫通穴が形成
された状態の説明用断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining a state in which a through hole for a through hole is formed in a base substrate material.

【図6】 ベース基板材料における、端子電極と短絡部
と配線が形成された状態の説明用断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a state in which a terminal electrode, a short-circuit portion, and a wiring are formed in a base substrate material.

【図7】 ベース基板の一方の表面に、コネクター本体
を形成する絶縁シートが形成された状態の説明用断面図
である。
FIG. 7 is an explanatory cross-sectional view illustrating a state where an insulating sheet forming a connector main body is formed on one surface of a base substrate.

【図8】 ベース基板の一方の表面に形成された絶縁シ
ートに、導電路形成用のブラインド穴が形成された状態
の説明用断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining a state in which a blind hole for forming a conductive path is formed in an insulating sheet formed on one surface of a base substrate.

【図9】 本発明の一実施例において、導電性粒子と高
分子材料の混合物からなる導電路 形成用材料を、絶縁
シートの導電路用穴に充填した状態を示す説明用断面図
である。
FIG. 9 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which a conductive path forming material composed of a mixture of conductive particles and a polymer material is filled in a conductive path hole of an insulating sheet in one embodiment of the present invention.

【図10】 本発明の一実施例において、導電路に接続
されて絶縁シート上に配線部が形成された状態を示す説
明用断面図である。
FIG. 10 is an explanatory cross-sectional view showing a state where a wiring portion is formed on an insulating sheet by being connected to a conductive path in one embodiment of the present invention.

【図11】 本発明のコネクター本体とベース基板とが
一体的に形成された、コネクター装置の説明用断面図で
ある。
FIG. 11 is an explanatory sectional view of a connector device in which a connector main body and a base substrate of the present invention are formed integrally.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被検査基板(回路基板) 2 被検
査電極 3 スルホ−ル 4 配線
部 4A 金属薄層 5 第2
配線部 7 絶縁性で弾性を有する高分子物質 8 導電
性粒子 9 導電路形成用材料 10 コネ
クター装置 12 コネクター 15 ベ
ース基板 20 絶縁性シート 30 端
子電極 30A 金属薄層 31 第
2端子電極 32 短絡部 40 接
続用電極 42 導電路 42A 導
電路用穴 61 検査ヘッド 62 異方導電性シ−ト(厚さ方向に導電性を有す
る) 63 オフグリッドアダプタ− 64 プ
リント回路基板 64A 被検査部(電極) 65 検査
電極 66 変換ボード
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection board (circuit board) 2 Inspection electrode 3 Sulfur 4 Wiring part 4A Thin metal layer 5 Second
Wiring portion 7 Insulating and elastic polymer material 8 Conductive particles 9 Conductive path forming material 10 Connector device 12 Connector 15 Base substrate 20 Insulating sheet 30 Terminal electrode 30A Metal thin layer 31 Second terminal electrode 32 Short-circuit portion 40 Connection electrode 42 Conductive path 42A Conductive path hole 61 Inspection head 62 Anisotropic conductive sheet (having conductivity in the thickness direction) 63 Off-grid adapter 64 Printed circuit board 64A Inspected part (electrode) 65 Inspection Electrode 66 conversion board

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 弾性を有する絶縁シートとこの中に配設
され該シートの厚さ方向に導電性を有し弾性を有する導
電部、および該導電部に電気的に接続され絶縁シート表
面に一体化された配線部を有することを特徴とするコネ
クター。
1. An insulating sheet having elasticity, a conductive part disposed therein and having conductivity in the thickness direction of the sheet and having elasticity, and electrically connected to the conductive part and integrated with the surface of the insulating sheet. A connector characterized by having a wiring portion formed into a connector.
【請求項2】 絶縁シート中に存在する導電部が、導電
性粒子を有するものであることを特徴とする請求項1記
載のコネクター。
2. The connector according to claim 1, wherein the conductive portion present in the insulating sheet has conductive particles.
【請求項3】 配線部が、絶縁シートの変形に追随して
一体的に変形可能であることを特徴とする請求項1記載
のコネクター。
3. The connector according to claim 1, wherein the wiring portion is integrally deformable following deformation of the insulating sheet.
【請求項4】 請求厚のコネクターに回路基板が積層さ
れてなるコネクター装置。
4. A connector device in which a circuit board is laminated on a connector having a required thickness.
【請求項5】 (1)弾性を有する絶縁シートをその厚
さ方向に貫通するように、導電粒子を含有する導電路形
成材料を配設して導電路を形成するプロセスと、(2)
当該絶縁シートの一方の表面に端子電極を形成すると共
に、他方の表面に当該端子電極と電気的に接続された配
線部及び接続用電極を絶縁シートと一体的に形成する工
程を有することを特徴とする請求項1記載のコネクター
の製造方法。
5. A process for forming a conductive path by disposing a conductive path forming material containing conductive particles so as to penetrate an elastic insulating sheet in a thickness direction thereof, and (2)
Forming a terminal electrode on one surface of the insulating sheet and forming a wiring portion and a connection electrode electrically connected to the terminal electrode on the other surface integrally with the insulating sheet. The method for manufacturing a connector according to claim 1, wherein
【請求項6】 請求項1記載のコネクターもしくは請求
項4のコネクター装置を、検査対象回路基板の被検査電
極と電気的検査装置とを電気的に接続可能に介在させて
なることを特徴とする回路基板検査装置。
6. The connector according to claim 1 or the connector device according to claim 4, wherein an electrode to be inspected of a circuit board to be inspected and an electrical inspection device are interposed so as to be electrically connectable. Circuit board inspection equipment.
JP10165535A 1998-06-12 1998-06-12 Connector and circuit board inspecting device using the same Pending JP2000003741A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10165535A JP2000003741A (en) 1998-06-12 1998-06-12 Connector and circuit board inspecting device using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10165535A JP2000003741A (en) 1998-06-12 1998-06-12 Connector and circuit board inspecting device using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000003741A true JP2000003741A (en) 2000-01-07

Family

ID=15814241

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10165535A Pending JP2000003741A (en) 1998-06-12 1998-06-12 Connector and circuit board inspecting device using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000003741A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003298208A (en) * 2002-04-05 2003-10-17 Nippon Mektron Ltd Manufacturing method of circuit board
WO2009113486A1 (en) * 2008-03-14 2009-09-17 富士フイルム株式会社 Probe guard
JP2009224146A (en) * 2008-03-14 2009-10-01 Fujifilm Corp Laminated plate having anisotropic conductive member and method of manufacturing the same
JP2012255700A (en) * 2011-06-08 2012-12-27 Saunders & Associates Llc Electronic component measuring apparatus
CN110546517A (en) * 2017-02-27 2019-12-06 迪睿合株式会社 Inspection jig for electrical characteristics

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003298208A (en) * 2002-04-05 2003-10-17 Nippon Mektron Ltd Manufacturing method of circuit board
WO2009113486A1 (en) * 2008-03-14 2009-09-17 富士フイルム株式会社 Probe guard
JP2009224146A (en) * 2008-03-14 2009-10-01 Fujifilm Corp Laminated plate having anisotropic conductive member and method of manufacturing the same
CN101971037A (en) * 2008-03-14 2011-02-09 富士胶片株式会社 Probe guard
JP2012255700A (en) * 2011-06-08 2012-12-27 Saunders & Associates Llc Electronic component measuring apparatus
CN110546517A (en) * 2017-02-27 2019-12-06 迪睿合株式会社 Inspection jig for electrical characteristics

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI281984B (en) Connector for measuring resistance, apparatus and method for measuring resistance of circuit board
WO2007043350A1 (en) Anisotropic conductive connector and inspection equipment of circuit device
JPS61250906A (en) Conductive elastomer sheet
EP1607751A1 (en) Connector for measurement of electric resistance, connector device for measurement of electric resistance and production process thereof, and measuring apparatus and measuring method of electric resistance for circuit board
JP2004342597A (en) Anisotropic conductive sheet and its manufacturing method, adapter device and its manufacturing method as well as electrical testing device of circuit device
WO2006009144A1 (en) Anisotropic conductive connector and production method therefor, adaptor device and electric inspection device for circuit device
JP2002289277A (en) Anisotropic conductive connector and applied product thereof
JP3185452B2 (en) Manufacturing method of circuit board inspection adapter device, circuit board inspection adapter device, and circuit board inspection method and apparatus using the same
JP3820603B2 (en) Connector device
JP3558298B2 (en) Electrode assembly, IC socket, IC tester, and method of manufacturing electrode assembly
JP2000003741A (en) Connector and circuit board inspecting device using the same
JP4380373B2 (en) Electrical resistance measurement connector, electrical resistance measurement connector device and manufacturing method thereof, and circuit board electrical resistance measurement device and measurement method
JP2000058158A (en) Connector, its manufacture and circuit device inspecting adaptor device
JP6756996B1 (en) Manufacturing method of conductive member
JP2007087709A (en) Anisotropic conductive connector and method of manufacturing same, and electric inspection device of adapter and circuit device
JPH10229270A (en) Composite board
JPH1164377A (en) Lamination-type connector and adaptor device for inspecting circuit board
JP3111688B2 (en) Manufacturing method of circuit board inspection adapter device, circuit board inspection method and inspection device
JPH11231010A (en) Layered connector and adapter device for inspecting circuit board
JPH0915263A (en) Adapter unit for circuit board inspection
JPH10189088A (en) Laminated connector and adapter device for inspection of circuit board
JP3360679B2 (en) Circuit board inspection adapter device, circuit board inspection method and inspection device
JPH052867Y2 (en)
JPH10197591A (en) Circuit board inspection device
JP2007040952A (en) Adapter device, method for manufacturing the same, and electrical inspection device for circuit device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060314

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060711