JP2000003585A - ハードディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンチャンバー内に使用されるステンレ
ス鋼からのイオウを含むガスの発生を抑え耐食性低下を
防止しかつステンレス材表面の介在物によるパーティク
ルコンタミネーションを防止する。 【解決手段】 スピンドルモータにより回転されるハー
ドディスク８，これに対してアクセスする磁気ヘッド３
２等をクリーンチャンバー内に収容してなるハードディ
スク装置において、クリーンチャンバーの内部空間で構
成される部材のうち、ステンレス鋼は快削性ステンレス
鋼からなり、この快削性ステンレス鋼は、組成成分に関
してイオウを０．２５％以上含有し、マンガンとイオウ
の比率Ｍｎ／Ｓが１．８以下であり、かつ、快削性ステ
ンレス鋼が脱脂後に化学的な脱錆、スケール除去処理さ
れていることを特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータシス
テムにおける補助記憶装置として用いられるハードディ
スク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、ハードディスク装置は、ベース部
材とカバー部材とでクリーンチャンバーを構成し、クリ
ーンチャンバー内の清浄空間内にハードディスクを収容
し、ヘッドアームにより支持された磁気ヘッドによりハ
ードディスクに対するアクセスを行うように構成されて
いる。

【０００３】より具体的には、クリーンチャンバー内
に、スピンドルモータの少なくともロータハブを回転自
在に収容し、これに１枚或いは複数枚のハードディスク
を装着している。また、クリーンチャンバー内に、ボイ
スコイルモータを含むヘッドアッセンブリが収容され、
ボイスコイルモータにより回動されるアームの先端の磁
気ヘッドをハードディスク表面に対してトレースするこ
とによりデータの読み書きを可能にしている。

【０００４】この種ハードディスク装置においては、ヘ
ッドとディスク表面間への塵埃粒子の噛み込みに起因す
るクラッシュを防止する必要上、クリーンチャンバー内
における空気の清浄度を高いレベルに保持する必要があ
り、大気と遮蔽して塵埃の流入を阻止するだけでなく、
チャンバー内における塵埃粒子いわゆるコンタミネーシ
ョンの発生を抑制する必要がある。

【０００５】クリーンチャンバー内の構成部品，例えば
スピンドルモータにおけるシャフトやロータハブ、ヘッ
ドアッセンブリのシャフトやアーム部材或いは各種の止
めねじ等の部品として、一般的な鉄や構造用鋼に比べて
錆びにくいステンレス鋼が多用されるようになっている
のもこのような理由によるところが大きい。

【０００６】一方、ハードディスク装置のような精密機
械に使用される部品には、高い寸法精度が要求されるこ
とから、材料自体が優れた成形加工性を有することが求
められている。中でも切削加工は最もよく利用される加
工法であり、材料の被削性を改善する為に種々快削元素
を添加した快削鋼が多用されている。上述したステンレ
ス鋼は比較的削りにくい材料であるが、快削元素として
イオウ（Ｓ）や，テルル（Ｔｅ）、セレン（Ｓｅ）等を
添加することにより被削性を改善している。快削性成分
としてイオウを０．２５％以上含有するステンレス鋼は
コストが安くて良好な切削性が得られることから一般に
よく使用されている。このイオウは主にマンガンサルフ
ァイド（ＭｎＳ）として鋼中に存在し、このマンガンと
イオウとの比率Ｍｎ／Ｓは製造安定面，切削加工面から
通常４前後に設定されている。

【発明が解決しようとする課題】

【０００７】ところで、被削性を向上させるために多用
されているイオウは、上述したとおり主にマンガンと結
合してマンガンサルファイドとして存在するが、このマ
ンガンサルファイドは大気中の水分と反応して腐食性ガ
スである硫化水素（Ｈ2Ｓ）を発生することがあり、比
率Ｍｎ／Ｓを４前後に設定した通常のステンレス鋼では
上述したハードディスク装置のクリーンチャンバー内で
の使用に支障がある。

【０００８】一方、比率Ｍｎ／Ｓが１．８以下のステン
レス鋼にあっては、前述したようなイオウを含むガスの
発生はほとんどない。これは比率Ｍｎ／Ｓを下げること
で、Ｍｎの組成が少なく、化学的に活性なマンガンサル
ファイドが生成しにくくなり量が減ると同時に安定なク
ロムサルファイド（ＣｒＳ）が増加するためである。

【０００９】しかし、比率Ｍｎ／Ｓが１．８以下のステ
ンレス鋼の場合、湿潤環境下での化学的安定性が増すも
のの、そのままの状態では錆の発生の問題がある。しか
も、快削性成分であるイオウを含むパーティクルの発生
もあり、腐食性パーティクルによるコンタミネーション
の可能性がある。

【００１０】そこで、上述したような快削性成分として
イオウを０．２５％以上含有し比率Ｍｎ／Ｓが４前後の
ステンレス鋼に対し、パッシベイト処理を施して耐食性
の向上とパーティクルの除去を行い、その後熱処理いわ
ゆるベーキングすれば、イオウガスを強制的に放出さ
せ、コンタミネーションを抑制することはできるが、量
産性が悪く、しかも設備コストに問題がある。また、快
削性ステンレス鋼として、組成成分中のイオウ含有率が
０．２５％以上で、マンガンとイオウの比率Ｍｎ／Ｓが
１．８以下のものを用いても、酸濃度が１５％を超える
ような酸処理を行うと、化学的に安定なＣｒＳの増加し
た快削粒子が溶解し、Ｈ2Ｓが発生するという問題があ
る。

【００１１】本発明は、従来の技術の有するこのような
問題点に留意して成されたものであり、その目的とする
ところは、クリーンチャンバー内に使用されるステンレ
ス鋼からのイオウを含むガスの発生を抑え耐食性低下を
防止でき、しかもステンレス材表面の介在物によるパー
ティクルコンタミネーションを防止したハードディスク
装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のハードディスク装置にあっては、スピンド
ルモータにより回転されるハードディスク、該ハードデ
ィスクに対してアクセスする磁気ヘッド等をクリーンチ
ャンバー内に収容してなるハードディスク装置であっ
て、前記クリーンチャンバーの内部空間に露出する部材
のうち、ステンレス鋼は快削性ステンレス鋼からなり、
該快削性ステンレス鋼は、組成成分としてイオウを０．
２５％以上含有しかつマンガンとイオウの比率Ｍｎ／Ｓ
が１．８以下であり、かつ、該快削性ステンレス鋼が脱
脂洗浄後に化学的な脱錆、スケール除去されていること
を特徴とするものである（請求項１）。

【００１３】快削性ステンレス鋼におけるマンガンとイ
オウの比率Ｍｎ／Ｓを１．８以下に下げることにより、
鋼材中のイオウ化合物が安定化し、大気中の湿気等によ
りイオウ化合物よりイオウガスが発生することが抑えら
れ、耐食性が高まる。また、酸処理による快削成分の溶
解がないので、これによるガス、パーティクルの発生を
防止できることになる。この場合、化学的な脱錆、スケ
ール除去処理は、快削性ステンレス鋼の表面に残存する
汚れ，錆，スケールを除去することが可能で、耐食性を
向上することができる。この場合、快削性ステンレス鋼
中に含まれる快削性成分を溶解しにくい穏やかな条件で
処理すればよく、例えば、３％以下の濃度の酸水溶液で
行うのがよく（請求項２）、或いはアルカリ電解洗浄で
行うのがよい（請求項３）。また、快削性ステンレス鋼
は、前記化学的な脱錆、スケール除去処理後に、クロメ
ート処理すると耐食性がなお一層向上する（請求項
４）。

【００１４】また、本発明のハードディスク装置は、ス
ピンドルモータにより回転されるハードディスク、該ハ
ードディスクに対してアクセスする磁気ヘッド等をクリ
ーンチャンバー内に収容してなるハードディスク装置で
あって、前記クリーンチャンバーの内部空間に露出する
部材のうち、ステンレス鋼は快削性ステンレス鋼からな
り、該快削性ステンレス鋼は、組成成分としてイオウを
０．２５％以上含有しかつマンガンとイオウの比率Ｍｎ
／Ｓが１．８以下であり、かつ、該快削性ステンレス鋼
が脱脂洗浄後にクロメート処理することを特徴とするも
のである（請求項５）。

【００１５】上述したように、快削性ステンレス鋼にお
けるマンガンとイオウの比率Ｍｎ／Ｓを１．８以下に下
げることにより、鋼材中のイオウ化合物が安定化し、耐
食性が高まり、イオウガスの発生が抑えられる。このス
テンレス鋼にクロメート処理を施すことにより、イオウ
化合物からのイオウガスの発生や快削成分の溶解等の影
響を受けることがなく、耐食性を向上することが可能と
なる。この場合、快削性ステンレス鋼の脱脂洗浄前に、
加工時に生じた汚れ、酸化スケールをメカニカルデスケ
ーリングで除去するのがよく（請求項６）、鋼材表面の
スケールを除去でき、その後のクロメート処理による耐
食性がさらに良好となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、図面を参
照しつつ説明する。図１はハードディスク装置の一部
（カバー部材）を取り除いた状態の概略の平面構成を，
図２は断面構成を示している。

【００１７】このハードディスク装置は、ベース部材２
とこの上面を覆うカバー部材４とからなるクリーンチャ
ンバーを有し、このクリーンチャンバー内に清浄環境が
保たれるよう外部より隔離された内部空間６が形成され
ている。クリーンチャンバー内の内部空間６には中央開
口を有する少なくとも１枚（具体例では２枚）のハード
ディスク８がスピンドルモータ１０により回転出来るよ
うに収容されている。

【００１８】スピンドルモータ１０は、ベース部材２に
植設されたシャフト１２と、このシャフト１２の上部に
一対の軸受１４により回転自在に支持されたカップ状の
ロータハブ１６と、シャフト１２の下部に固着されロー
タハブ１６に装着されたロータマグネット１８に僅かな
間隙を介して対向したステータ２０とを備えており、シ
ャフト１２の上端がねじによりカバー部材４に固着され
支持されている。２枚のハードディスク８はその中央開
口をロータハブ１６の外周面に嵌合させ、両者間にスペ
ーサ２２を介在させた状態でクランプ部材２４を用いて
ロータハブ１６に固定されている。

【００１９】また、クリーンチャンバーの内部空間６内
には、ヘッドアッセンブリ２６が収容されている。この
ヘッドアッセンブリ２６は、ベース部材２に植設された
ピボットシャフト２８に複数対（具体例では２対）のヘ
ッドアーム３０を回動自在に支持すると共に、各ヘッド
アーム３０の先端に磁気ヘッド３２を取付け、ヘッドア
ーム３０の基部側に設けたボイスコイル３４への通電に
より上下固定ヨーク板３６に対してヘッドアーム３０を
揺動操作する構成になっており、ヘッドアーム３０が揺
動することにより、磁気ヘッド３２がハードディスク８
表面上をトレースし、ハードディスク８に対するデータ
の読み書きを可能にしている。

【００２０】上記内部空間６内には、上述したように、
ハードディスク８を回転駆動するためのスピンドルモー
タ１０やハードディスク８に対する磁気ヘッド３２のト
レースを駆動制御するヘッドアッセンブリ２６等が収容
されているが、これらの収容部品の内、ロータハブ１６
やシャフト１２，２８等、ステンレス鋼で構成されてい
るもの、つまり内部空間６内で構成されるステンレス部
品には、快削性ステンレス鋼材が用いられている。

【００２１】この快削性ステンレス鋼材は、組成成分と
してイオウ（Ｓ）を０．２５％以上含有し、良好な快削
性を得ている。この快削性元素であるイオウは主にマン
ガンサルファイド（ＭｎＳ）等として鋼中に存在する
が、このマンガン（Ｍｎ）とイオウとの比率Ｍｎ／Ｓは
１．８以下、望ましくは１．５以下に設定され、化学的
に活性なマンガンサルファイドの量が少なくなる状態に
保たれている。

【００２２】さらに上記条件に設定されたステンレス鋼
材は、所望形状になるように切削加工が施された後、塩
化メチレン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレ
ンなどの塩素系溶剤や炭化水素系溶剤あるいは水酸化ナ
トリウム、などのアルカリ水溶液により脱脂洗浄を行う
ことで、ステンレス鋼表面が洗浄される。すなわち加工
時に使用する切削油中の塩素やイオウの除去、加工時に
付着した埃、切り粉の除去、並びに快削成分である硫化
物等の微細子が除去される。しかしこれだけではステン
レス表面に付着したスケール、錆、さらに複雑な加工表
面の凹凸中に存在するパーティクルを完全に除去するこ
とは困難で、充分な耐食性が得られない。

【００２３】そこで前述のごとく脱脂洗浄されたステン
レス鋼材は、第１の発明では、化学的な錆、スケール除
去処理される。この化学的な錆、スケール除去処理は硝
酸、硫酸、塩酸などの酸水溶液、水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム、ケイ酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、
グルコン酸ナトリウムなどのアルカリ水溶液による電解
洗浄を用いることができる。これらの化学的な錆、スケ
ール除去処理を行うことで、前述の汚れ、スケール、パ
ーティクルが完全に除去でき、ステンレス鋼材に特有の
高耐食性が発揮され並びにパーティクルによるコンタミ
ネーションの発生が防止される。

【００２４】ここで化学的な錆、スケール除去は前述に
示す一般的ないずれの手法を用いても良いが、比較的穏
やかな条件で行うことが望ましい。マンガンとイオウの
比率Ｍｎ／Ｓが１．８以下のステンレス鋼を用いること
で、化学的に安定なＣｒＳが増加し、これらの処理によ
ってＨ2Ｓの発生を減少させることができるが、通常に
使用される１５％以上の酸溶液では溶解され、イオウを
含むガスの発生が見られることもある。よって特に３％
以下の酸水溶液により錆、スケール除去することが好ま
しい。またアルカリ水溶液による電解洗浄は一般にイオ
ウを含む快削成分を溶解させにくく好ましい。

【００２５】化学的な錆、スケール除去処理が施された
ステンレス鋼は、上述したように、耐食性を向上し、パ
ーティクルコンタミネーションを防止することが出来る
が、耐食性を更に向上させる場合には、錆、スケール除
去処理後のステンレス鋼に対し、クロメート処理すれ
ば、ステンレス鋼表面に強制的に酸化皮膜を形成でき、
耐食性が格段に高まる。

【００２６】次に、本発明（第１の発明）の効果を以下
の実施例にて説明する。 〔実施例１〕イオウ０．３％，マンガン０．４％（Ｍｎ
／Ｓ＝１．３３）を含有する１８クロムステンレス鋼を
切削加工して、図３に示す形状のロータハブ４０すなわ
ちハードディスク装置のクリーンチャンバー内に収容さ
れるスピンドルモータのロータハブを形成する。このロ
ータハブ４０を塩化メチレンと水酸化ナトリウムで脱脂
洗浄した後、常温の２％塩酸水溶液に３分間浸漬し、脱
錆、スケール除去を行う。その後水洗、純湯洗、純水洗
を行い、熱風乾燥させる。こうして得られたロータハブ
を銀板（ステンレス板に銀メッキしたもの）と共に、密
閉可能な１００ｍｌ容器の内に入れ、純水の水滴２〜３
滴を滴下した後、密閉し、９０℃の雰囲気下に１２時間
保存する。その後銀板を取り出し、変色の度合いを目視
にて調査する（銀板変色実験）。

【００２７】次に、錆、スケール除去処理したロータハ
ブ２０個を８０℃×９０％の雰囲気下に３６０時間保存
した後、ロータハブを取り出し、光学顕微鏡にて錆の有
無を調査する。さらに錆、スケール除去処理したロータ
ハブ３個の表面を導電性テープにて脱着し、テープ上に
付着した異物を任意に５０個走査型電子顕微鏡／エネル
ギー分散Ｘ線解析装置（ＳＥＭ／ＥＤＸ）にて分析し、
イオウを含むパーティクルの数を調査する。以上の評価
を行ったところ図４のａ）の結果を得た。図４におい
て、錆の発生数とは、２０個のロータハブのうち錆を発
生したロータハブの個数のことであり、また、イオウを
含むパーティクル数とは、５０個の異物のうちその異物
がイオウを含むパーティクルであった場合の個数のこと
である。

【００２８】〔実施例２〕実施例１で作成したロータハ
ブをアルカリ脱脂後、陽極に接続し、オルソけい酸ナト
リウム３％、水酸化ナトリウム２％、炭酸ナトリウム２
％から成るアルカリ水溶液によって２分間電解洗浄す
る。その後水洗、純湯洗、純水洗を行い、熱風乾燥させ
る。こうして得られたロータハブを同様に評価したとこ
ろ図４のｂ）の結果を得た。

【００２９】〔実施例３〕実施例２で作成したロータハ
ブを電解洗浄後、７０℃の５％重クロム酸ナトリウム水
溶液に３０分間浸漬し、クロメート処理した後、同様の
評価を行ったところ図４のｃ）の結果を得た。

【００３０】〔実施例４〕実施例１で作成したロータハ
ブを常温の５０％硝酸溶液に２０分間浸漬して錆、スケ
ール除去を行い、水洗、純湯洗、純水洗浄後乾燥させて
同様の評価を行ったところ図４のｄ）の結果を得た。

【００３１】〔比較例１〕イオウ０．３％、マンガン
１．２％（Ｍｎ／Ｓ＝４）を含有する１８クロムステン
レス鋼を用いて切削加工し，実施例１に示すと同様の処
理を行った後評価したところ、図４のｅ）の結果を得
た。 〔比較例２〕イオウ０．３％、マンガン１．２％（Ｍｎ
／Ｓ＝４）を含有する１８クロムステンレス鋼を用いて
切削加工し、実施例２に示すと同様の処理を行った後、
評価したところ図４のｆ）の結果を得た。 〔比較例３〕イオウ０．３％、マンガン１．２％（Ｍｎ
／Ｓ＝４）を含有する１８クロムステンレス鋼を用いて
切削加工し，図３に示す形状のロータハブ４０を作成
し、塩化メチレンにて洗浄したものを同様の評価を行っ
たところ、図４のｇ）の結果を得た。

【００３２】図４ａ）〜図４ｇ）の結果から明らかなよ
うに実施例１〜４は、比較例と比べてイオウガスによる
銀板の変色がなく、あるいは小さく、耐食性が向上して
いる。そして、ハードディスク装置に悪影響のあるイオ
ウを含むガスの発生もなく、本発明の効果は顕著であっ
た。

【００３３】次に、第２の発明を説明する。前述したよ
うに、組成成分としてイオウ（Ｓ）を０．２５％以上含
有すると共にマンガン（Ｍｎ）とイオウとの比率Ｍｎ／
Ｓを１．８以下、望ましくは１．５以下に設定した快削
性ステンレス鋼材を、アルカリ水溶液により脱脂洗浄を
行った後、クロメート処理する。このクロメート処理に
よりステンレス鋼表面に強制的に酸化皮膜を形成でき、
耐食性が格段に高まる。

【００３４】次に、本発明（第２の発明）の効果を以下
の実施例にて説明する。 〔実施例５〕実施例１で作成したロータハブをアルカリ
水溶液により脱脂洗浄を行った後、７０゜Ｃの５％重ク
ロム酸ナトリウム水溶液に３０分間浸漬し、クロメート
処理したものを同様に評価を行ったところ図４のｈ）の
結果を得た。

【００３５】〔実施例６〕実施例１で作成したロータハ
ブを塩化メチレンにて洗浄した後、ディスクを搭載する
側の表面全体を５分間ハブ研磨する。そしてその後脱脂
洗浄を行い、さらに実施例５と同様にクロメート処理し
たものを評価したところ図４のｉ）の結果を得た。

【００３６】図４ｈ）及び図４ｉ）の結果から明らかな
ように実施例５及び６は、比較例と比べてイオウガスに
よる銀板の変色がなく、耐食性が向上している。そし
て、ハードディスク装置に悪影響のあるイオウを含むガ
スの発生もなく、本発明の効果は顕著であった。

【００３７】以上、本発明の具体例について説明した
が、本発明は上記具体例に限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱することなく種々の変更、修正が可能
である。

【００３８】

【発明の効果】本発明のハードディスク装置は、以上説
明したように構成されているので、次に記載の効果を奏
する。請求項１記載のハードディスク装置にあっては、
クリーンチャンバーの内部空間で構成される部材のうち
ステンレス鋼が、快削成分としてイオウを０．２５％以
上含有する快削性ステンレス鋼により構成されているの
で、被削性が良好となり、所望形状の部材が高精度に得
られ、しかも組成成分のマンガンとイオウの比率Ｍｎ／
Ｓが１．８以下に抑えられているので、ステンレス鋼中
における化学的に活性なマンガンサルファイドの量が少
なくなる状態に保たれ、ステンレス鋼単独でのイオウを
含むガスの発生を抑えることができる。加えて、ステン
レス鋼は脱脂洗浄後に化学的な脱錆、スケール除去処理
されるので、加工時のスケールや快削成分である微粒子
をステンレス鋼表面より除去することができ、耐食性の
向上と共にパーティクルによるコンタミネーションを防
止することができる。

【００３９】また、請求項４記載のハードディスク装置
にあっては、脱脂洗浄後に化学的な脱錆、スケール除去
処理された前記快削性ステンレス鋼に対し、クロメート
処理を施すようにしているので、ステンレス鋼の耐食性
を更に向上することができる。

【００４０】請求項５記載のハードディスク装置にあっ
ては、クリーンチャンバーの内部空間で構成される部材
のうちステンレス鋼が、快削成分としてイオウを０．２
５％以上含有する快削性ステンレス鋼により構成されて
いるので、被削性が良好となり、所望形状の部材が高精
度に得られ、しかも組成成分のマンガンとイオウの比率
Ｍｎ／Ｓが１．８以下に抑えられているので、ステンレ
ス鋼中における化学的に活性なマンガンサルファイドの
量が少なくなる状態に保たれ、ステンレス鋼単独でのイ
オウを含むガスの発生を抑えることができる。加えて、
ステンレス鋼は脱脂洗浄後にクロメート処理されるの
で、鋼材表面におけるイオウガス発生や溶解等に影響を
及ぼすことがなく、耐食性が向上する。

【００４１】さらに、請求項６記載のハードディスク装
置にあっては、快削性ステンレス鋼の脱脂洗浄前に、メ
カニカルデスケーリングが行われるので、ステンレス鋼
表面のスケールを除去でき、耐食性を更に向上すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を説明するハードディスク装
置のカバー部材を取り除いた状態の平面図である。

【図２】同ハードディスク装置の切断正面図である。

【図３】実験試料であるスピンドルモータのロータハブ
の一部除去した正面図である。

【図４】実施例及び比較例の実験結果を示す図である。

【符号の説明】

２ ベース部材 ４ カバー部材 ６ 内部空間 ８ ハードディスク １０ スピンドルモータ ４０ ロータハブ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スピンドルモータにより回転されるハー
   ドディスク、該ハードディスクに対してアクセスする磁
   気ヘッド等をクリーンチャンバー内に収容してなるハー
   ドディスク装置であって、 前記クリーンチャンバーの内部空間で構成される部材の
   うち、ステンレス鋼は快削性ステンレス鋼からなり、 該快削性ステンレス鋼は、組成成分に関してイオウを
   ０．２５％以上含有し、マンガンとイオウの比率Ｍｎ／
   Ｓが１．８以下であり、 かつ、該快削性ステンレス鋼が脱脂洗浄後に化学的な脱
   錆、スケール除去処理されていることを特徴とするハー
   ドディスク装置。
2. 【請求項２】 前記化学的な脱錆、スケール除去処理が
   ３％以下の濃度の酸水溶液で行われることを特徴とする
   請求項１記載のハードディスク装置。
3. 【請求項３】 前記化学的な脱錆、スケール除去処理が
   アルカリ電解洗浄で行われることを特徴とする請求項１
   記載のハードディスク装置。
4. 【請求項４】 前記快削性ステンレス鋼が、前記化学的
   な脱錆、スケール除去処理後にさらにクロメート処理さ
   れることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の
   ハードディスク装置。
5. 【請求項５】 スピンドルモータにより回転されるハー
   ドディスク、該ハードディスクに対してアクセスする磁
   気ヘッド等をクリーンチャンバー内に収容してなるハー
   ドディスク装置であって、 前記クリーンチャンバーの内部空間で構成される部材の
   うち、ステンレス鋼は快削性ステンレス鋼からなり、 該快削性ステンレス鋼は、組成成分に関してイオウを
   ０．２５％以上含有し、マンガンとイオウの比率Ｍｎ／
   Ｓが１．８以下であり、 かつ、該快削性ステンレス鋼が脱脂洗浄後にクロメート
   処理されていることを特徴とするハードディスク装置。
6. 【請求項６】 前記快削性ステンレス鋼は、脱脂洗浄前
   に、メカニカルデスケーリング処理されていることを特
   徴とする請求項５記載のハードディスク装置。