IT1118013B - Processo di attacco anodico er la rivelazione di difetti elettricamente attivi in cristalli di silico - Google Patents

Processo di attacco anodico er la rivelazione di difetti elettricamente attivi in cristalli di silico

Info

Publication number
IT1118013B
IT1118013B IT2066677A IT2066677A IT1118013B IT 1118013 B IT1118013 B IT 1118013B IT 2066677 A IT2066677 A IT 2066677A IT 2066677 A IT2066677 A IT 2066677A IT 1118013 B IT1118013 B IT 1118013B
Authority
IT
Italy
Prior art keywords
detection
electrically active
silicon crystals
attack process
active defects
Prior art date
Application number
IT2066677A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Ibm
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibm filed Critical Ibm
Application granted granted Critical
Publication of IT1118013B publication Critical patent/IT1118013B/it

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607—Circuits therefor
    • G01R31/2637—Circuits therefor for testing other individual devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Weting (AREA)
IT2066677A 1976-03-15 1977-02-25 Processo di attacco anodico er la rivelazione di difetti elettricamente attivi in cristalli di silico IT1118013B (it)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US66723276A 1976-03-15 1976-03-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
IT1118013B true IT1118013B (it) 1986-02-24

Family

ID=24677379

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
IT2066677A IT1118013B (it) 1976-03-15 1977-02-25 Processo di attacco anodico er la rivelazione di difetti elettricamente attivi in cristalli di silico

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JPS52111373A (it)
CA (1) CA1069221A (it)
DE (1) DE2707372C2 (it)
FR (1) FR2344847A1 (it)
GB (1) GB1514697A (it)
IT (1) IT1118013B (it)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2532760A1 (fr) * 1982-09-08 1984-03-09 Comp Generale Electricite Procede et dispositif pour obtenir des caracteristiques physiques d'un materiau semi-conducteur
JPS6066920A (ja) * 1983-09-22 1985-04-17 北興化工機株式会社 可搬式サイレ−ジ容器
DE59006874D1 (de) * 1989-05-31 1994-09-29 Siemens Ag Verfahren zur Bestimmung der Rekombinationsgeschwindigkeit von Minoritätsträgern an Grenzflächen zwischen Halbleitern und anderen Substanzen.
DE3917702A1 (de) * 1989-05-31 1990-12-06 Siemens Ag Verfahren zur ortsaufgeloesten bestimmung der diffusionslaenge von minoritaetsladungstraegern in einem halbleiterkristallkoerper mit hilfe einer elektrolytischen zelle
DE59010140D1 (de) * 1989-05-31 1996-03-28 Siemens Ag Verfahren zum grossflächigen elektrischen Kontaktieren eines Halbleiterkristallkörpers mit Hilfe von Elektrolyten
DE4328083A1 (de) * 1993-08-20 1994-03-31 Ignaz Eisele Verfahren zur mikroskopischen Messung von Topographie und lateralen Potentialverteilungen an einer Oberfläche mit einer Feldeffektanordnung
JP4916249B2 (ja) * 2006-08-10 2012-04-11 新電元工業株式会社 半導体基板の検査方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3655540A (en) * 1970-06-22 1972-04-11 Bell Telephone Labor Inc Method of making semiconductor device components
US3902979A (en) * 1974-06-24 1975-09-02 Westinghouse Electric Corp Insulator substrate with a thin mono-crystalline semiconductive layer and method of fabrication

Also Published As

Publication number Publication date
GB1514697A (en) 1978-06-21
DE2707372A1 (de) 1977-09-22
FR2344847A1 (fr) 1977-10-14
JPS52111373A (en) 1977-09-19
FR2344847B1 (it) 1979-09-28
DE2707372C2 (de) 1985-08-22
CA1069221A (en) 1980-01-01
JPS5320380B2 (it) 1978-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
IT1083014B (it) Procedimento e dispositivo per l'esecuzione di processi elettrolitici
IT1075569B (it) Processo per riciclare la pasta e l'elettrolita di accumulatori al piombo fuori uso
IT1093902B (it) Processo per la preparazione di ottafluorofropano
IT1085879B (it) Processo per la preparazione di chetoni superiori
IT1068285B (it) Processo pr la crescita di cristalli
IT1080658B (it) Processo per la purificazione di peptidi macromolecolari
IT1080795B (it) Processo e apparecchio per la determinazione continua della concentrazione di un substrato enzimatico
IT1075671B (it) Processo per la separazione di fluorocarburi
IT1074698B (it) Processo per la preparazione di metaarilossi-benzaldeidi
IT1088820B (it) Processo di purificazione di clorosilani impiegabili nella preparazione di silicio per elettronica
IT1118013B (it) Processo di attacco anodico er la rivelazione di difetti elettricamente attivi in cristalli di silico
IT1114836B (it) Processo per la preparazione di monoesteri solforici
IT1066731B (it) Dispositivo per la determinazione analitica di sostanze in soluzione
IT1095372B (it) Polimeri liquidi contenenti ossidrili e processo per la loro preparazione
IT1166710B (it) Processo per la determinazione di alfa-amilasi
IT1089011B (it) Processo per la preparazione di 2-metil-1-epten-6-one
IT1099550B (it) Processo per la determinazione di ferritina
BR7801106A (pt) Processo para preparacao de catodos ativos para aplicacao em processos eletroquimicos
IT1085296B (it) Processo per la preparazione di abrasivi
IT1094954B (it) Processo per la preparazione di 1-amino-2-bromo-4-idrossiantrachinone
IT1097048B (it) Processo per la preparazione di clorozincati di azo-coloranti di benzotiazolio
IT1075421B (it) Procedimento per ridurre il grado di concentrazione di sodio in bagni fusi di alluminio
IT1089001B (it) Processo per la preparazione di alchilfenoli
IT1087095B (it) Processo per la preparazione di 4-fenossi-fenoli
IT1067342B (it) Processo per la preparazione di 6-aminocapronamide