HK1069423B - Method for coating objects - Google Patents

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HK1069423B
HK1069423B HK05102038.5A HK05102038A HK1069423B HK 1069423 B HK1069423 B HK 1069423B HK 05102038 A HK05102038 A HK 05102038A HK 1069423 B HK1069423 B HK 1069423B
Authority
HK
Hong Kong
Prior art keywords
ceramic layer
fluoropolymers
oxide ceramic
process according
layer
Prior art date
Application number
HK05102038.5A
Other languages
German (de)
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
HK1069423A1 (en
Inventor
Josef Heppekausen
Frank Schulte
Original Assignee
Leybold Vacuum Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Vacuum Gmbh filed Critical Leybold Vacuum Gmbh
Priority claimed from PCT/EP2002/014375 external-priority patent/WO2003056187A1/fr
Publication of HK1069423A1 publication Critical patent/HK1069423A1/xx
Publication of HK1069423B publication Critical patent/HK1069423B/xx

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Claims (8)

  1. Procédé permettant de revêtir des objets en un métal valve, choisi parmi aluminium, magnésium, titane, niobium et/ou zirconium et leurs alliages, d'une mince couche barrière en le métal et d'une couche d'oxyde céramique qui est disposée par-dessus et dont la surface est revêtue de polymères fluorés, caractérisé en ce qu'on fait pénétrer ces polymères fluorés, sous forme de solution, par imprégnation sous vide, dans le système de capillaires de la couche d'oxyde céramique, et en ce qu'on fait sécher le tout après avoir éliminé la fraction non mouillante de la solution.
  2. Procédé conforme à la revendication 1, caractérisé en ce que la couche d'oxyde céramique employée se compose d'une couche dense d'oxyde céramique fritté, disposée sur la couche barrière, et d'une autre couche d'oxyde céramique, disposée sur la première couche dense d'oxyde céramique fritté et dotée d'un système de capillaires formant un réseau à larges mailles, qui a été déposée par oxydation anodique au plasma.
  3. Procédé conforme à la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la couche d'oxyde céramique employée est épaisse de 40 à 150 µm, et en particulier de 50 à 120 µm.
  4. Procédé conforme à l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'on emploie des polymères fluorés qui sont choisis parmi les polymères époxydes fluorés, les éthers de silyle, en particulier les éthers de silyle fluoroaliphatiques, les polyacrylates et/ou les polyuréthanes.
  5. Procédé conforme à l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l'on dépose les polymères fluorés en une couche épaisse de 1 à 20 µm, et en particulier de 1 à 5 µm.
  6. Procédé conforme à l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que l'on répète à plusieurs reprises les étapes de pénétration des polymères fluorés et de séchage.
  7. Objet en métal valve, fabriqué selon un procédé conforme à l'une des revendications 1 à 6.
  8. Objet conforme à la revendication 7, caractérisé en ce qu'il s'agit d'un rotor en aluminium ou en alliage d'aluminium pour pompes turbomoléculaires.
HK05102038.5A 2001-12-22 2002-12-17 Method for coating objects HK1069423B (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1063864 2001-12-22
DE20011063864 2001-12-22
PCT/EP2002/014375 WO2003056187A1 (fr) 2001-12-22 2002-12-17 Procede d'enduction d'objets

Publications (2)

Publication Number Publication Date
HK1069423A1 HK1069423A1 (en) 2005-05-20
HK1069423B true HK1069423B (en) 2005-10-07

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