FR3125877B1 - Procede de realisation d’un micro-bolometre d’imagerie infrarouge aveugle et micro-bolometre associe - Google Patents
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Abstract
Ce procédé concerne la réalisation d’un micro-bolomètre aveugle d’imagerie infrarouge (10a-10d), ledit micro-bolomètre aveugle (10b) comprenant une membrane (14) et un élément thermo-résistif, ladite membrane étant montée en suspension au-dessus d’un substrat par des clous d’ancrage (15), et un écran d’occultation (19) monté en suspension au-dessus de la membrane (14) et du substrat au moyen d’une structure porteuse (30b) fixée sur le substrat. Ce procédé comprend les étapes suivantes :– réalisation de la membrane (14) sur une première couche sacrificielle déposée sur le substrat ;– dépôt d’une seconde couche sacrificielle réalisée en oxyde de silicium sur la membrane (14) et sur la première couche sacrificielle ;– réalisation d’ouvertures de part et d’autre de la membrane (14) au sein d’au moins ladite seconde couche sacrificielle ;– dépôt chimique en phase vapeur de titane ou de nitrure de titane de sorte à former les parois externes de pieds (20a) d’une structure porteuse (30b, reposant directement ou indirectement sur le substrat ;– dépôt chimique en phase vapeur de tungstène ou de siliciure de tungstène de sorte à former l’âme interne (42b) des pieds (20a) ;– dépôt et structuration d’un écran d’occultation (19) sur les pieds et sur ladite seconde couche sacrificielle ou sur les pieds et sur une plaque de support (46) de la structure porteuse (30b) ; et– retrait des première et seconde couches sacrificielles au moyen d’un fluide de gravure. Figure pour l’abrégé : Fig 2
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