FR3058602B1 - Circuit d'adaptation d'impedance entre un generateur et une charge a des frequences multiples, ensemble comportant un tel circuit et utlisation liee. - Google Patents

Circuit d'adaptation d'impedance entre un generateur et une charge a des frequences multiples, ensemble comportant un tel circuit et utlisation liee. Download PDF

Info

Publication number
FR3058602B1
FR3058602B1 FR1660791A FR1660791A FR3058602B1 FR 3058602 B1 FR3058602 B1 FR 3058602B1 FR 1660791 A FR1660791 A FR 1660791A FR 1660791 A FR1660791 A FR 1660791A FR 3058602 B1 FR3058602 B1 FR 3058602B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
circuit
load
stage
impedance
generator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
FR1660791A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3058602A1 (fr
Inventor
Erik Johnson
Jean-Paul Booth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Ecole Polytechnique
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Ecole Polytechnique
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, Ecole Polytechnique filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Priority to FR1660791A priority Critical patent/FR3058602B1/fr
Priority to EP17808786.2A priority patent/EP3539145B1/fr
Priority to JP2019546074A priority patent/JP7097376B2/ja
Priority to US16/347,736 priority patent/US10796885B2/en
Priority to PCT/EP2017/078673 priority patent/WO2018087189A1/fr
Priority to KR1020197014698A priority patent/KR102494085B1/ko
Publication of FR3058602A1 publication Critical patent/FR3058602A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3058602B1 publication Critical patent/FR3058602B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082Radio frequency generated discharge
    • H01J37/32174Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
    • H01J37/32183Matching circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082Radio frequency generated discharge
    • H01J37/32091Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being capacitively coupled to the plasma
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082Radio frequency generated discharge
    • H01J37/32137Radio frequency generated discharge controlling of the discharge by modulation of energy
    • H01J37/32155Frequency modulation
    • H01J37/32165Plural frequencies
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917Plasma diagnostics
    • H01J37/32935Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917Plasma diagnostics
    • H01J37/32935Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
    • H01J37/32963End-point detection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32917Plasma diagnostics
    • H01J37/3299Feedback systems
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H7/00Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
    • H03H7/38Impedance-matching networks
    • H03H7/40Automatic matching of load impedance to source impedance
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H7/00Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
    • H03H7/38Impedance-matching networks
    • H03H2007/386Multiple band impedance matching

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Amplifiers (AREA)

Abstract

L'invention concerne un circuit d'adaptation d'impédance, un ensemble comportant un tel circuit et une utilisation particulière de cet ensemble. Le circuit d'adaptation d'impédance (100) est apte à réaliser une adaptation d'impédance simultanée entre un générateur (G) et une charge (CH) pour un signal d'alimentation comportant au moins deux fréquences distinctes l'une de l'autre, ledit circuit (100) comprenant un étage (S1) d'adaptation d'impédance apte à réaliser l'adaptation d'impédance entre le générateur et la charge pour la première fréquence, cet étage (S1) comportant un circuit (C1) comprenant au moins une impédance d'accord (ZTUNE) destinée à être montée en série entre le générateur (G) et la charge (CH) et une impédance de charge (ZLOAD) destinée à être montée entre le générateur (G) et une masse, ledit circuit (100) d'adaptation d'impédance comportant, en outre, au moins une paire d'étages additionnels (S2, S'2) apte à réaliser l'adaptation d'impédance, simultanée, entre le générateur et la charge pour la deuxième fréquence, ladite paire d'étages additionnels (S2, S'2) comprenant : - un premier étage additionnel (S2) comportant un circuit de charge (C2) monté en parallèle par rapport à l'impédance de charge (ZLOAD) de l'étage (S1) d'adaptation d'impédance, ledit circuit de charge (C2) comprenant au moins une inductance (Lload2) et un condensateur (Cload2) montés en série, et - un deuxième étage additionnel (S'2) comportant un circuit d'accord (C'2) monté en série par rapport à l'impédance d'accord (ZTUNE) de l'étage (S1) d'adaptation d'impédance, ledit circuit d'accord (C'2) comprenant au moins une inductance (L'tune2) et un condensateur (C'tune2) montés en parallèle, l'étage d'adaptation d'impédance (S1) étant par ailleurs monté entre le premier étage additionnel (S2) et le deuxième étage additionnel (S'2).
FR1660791A 2016-11-08 2016-11-08 Circuit d'adaptation d'impedance entre un generateur et une charge a des frequences multiples, ensemble comportant un tel circuit et utlisation liee. Active FR3058602B1 (fr)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1660791A FR3058602B1 (fr) 2016-11-08 2016-11-08 Circuit d'adaptation d'impedance entre un generateur et une charge a des frequences multiples, ensemble comportant un tel circuit et utlisation liee.
EP17808786.2A EP3539145B1 (fr) 2016-11-08 2017-11-08 Circuit d'adaptation d'impedance entre un générateur et une charge à des fréquences multiples, ensemble comportant un tel circuit et utlisation liée
JP2019546074A JP7097376B2 (ja) 2016-11-08 2017-11-08 複数の周波数で発生器と負荷との間のインピーダンス整合をとるための回路、そのような回路を含むアセンブリ、および関連する使用
US16/347,736 US10796885B2 (en) 2016-11-08 2017-11-08 Circuit for impedance matching between a generator and a load at multiple frequencies, assembly comprising such a circuit and related use
PCT/EP2017/078673 WO2018087189A1 (fr) 2016-11-08 2017-11-08 Circuit d'adaptation d'impedance entre un generateur et une charge a des frequences multiples, ensemble comportant un tel circuit et utlisation liee
KR1020197014698A KR102494085B1 (ko) 2016-11-08 2017-11-08 다중 주파수에서의 제너레이터와 부하 사이의 임피던스 정합을 위한 회로, 이러한 회로를 포함하는 어셈블리 및 관련 용도

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1660791A FR3058602B1 (fr) 2016-11-08 2016-11-08 Circuit d'adaptation d'impedance entre un generateur et une charge a des frequences multiples, ensemble comportant un tel circuit et utlisation liee.
FR1660791 2016-11-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3058602A1 FR3058602A1 (fr) 2018-05-11
FR3058602B1 true FR3058602B1 (fr) 2021-02-12

Family

ID=57963309

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1660791A Active FR3058602B1 (fr) 2016-11-08 2016-11-08 Circuit d'adaptation d'impedance entre un generateur et une charge a des frequences multiples, ensemble comportant un tel circuit et utlisation liee.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10796885B2 (fr)
EP (1) EP3539145B1 (fr)
JP (1) JP7097376B2 (fr)
KR (1) KR102494085B1 (fr)
FR (1) FR3058602B1 (fr)
WO (1) WO2018087189A1 (fr)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220133980A (ko) 2020-01-30 2022-10-05 램 리써치 코포레이션 세장형 (elongated) RF 스트랩을 갖는 임피던스 매칭부
WO2023204995A1 (fr) * 2022-04-19 2023-10-26 Lam Research Corporation Antenne à plasma à couplage inductif spatialement accordable
US20240194447A1 (en) * 2022-12-07 2024-06-13 Applied Materials, Inc. Learning based tuning in a radio frequency plasma processing chamber
DE102023104948A1 (de) * 2023-02-28 2024-08-29 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Impedanzanpassungsschaltung, Plasmaprozessversorgungssystem und Plasmaprozesssystem
DE102023104955A1 (de) * 2023-02-28 2024-08-29 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Impedanzanpassungsschaltung für ein Plasmaprozesssystem und ein Plasmaprozesssystem mit einer solchen Impedanzanpassungsschaltung

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3461372A (en) * 1965-01-22 1969-08-12 Int Standard Electric Corp D.c. to a.c. power converter
US4679007A (en) * 1985-05-20 1987-07-07 Advanced Energy, Inc. Matching circuit for delivering radio frequency electromagnetic energy to a variable impedance load
US4846920A (en) * 1987-12-09 1989-07-11 International Business Machine Corporation Plasma amplified photoelectron process endpoint detection apparatus
JP2002118428A (ja) * 2000-10-06 2002-04-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高周波増幅器
JP4216124B2 (ja) * 2002-12-12 2009-01-28 三菱電機株式会社 2周波整合回路
US7879185B2 (en) * 2003-12-18 2011-02-01 Applied Materials, Inc. Dual frequency RF match
US7340237B2 (en) * 2005-07-25 2008-03-04 Integrated System Solution Corp. Dual-band active filter
US7839234B2 (en) * 2006-10-02 2010-11-23 Skyworks Solutions, Inc. Switching module with harmonic phase tuning filter
JP5453120B2 (ja) * 2009-01-30 2014-03-26 株式会社Nttドコモ マルチバンド整合回路、およびマルチバンド電力増幅器
KR101151414B1 (ko) * 2010-02-23 2012-06-04 주식회사 플라즈마트 임피던스 정합 장치
EP2407998B1 (fr) 2010-07-15 2019-02-13 Ecole Polytechnique Traitement plasma pour réacteur à capacité couplée avec excitation trapézoïdale en forme d'onde
CN102438389B (zh) 2010-09-29 2013-06-05 中微半导体设备(上海)有限公司 单一匹配网络、其构建方法和该匹配网络射频功率源系统
US8611834B2 (en) * 2010-11-01 2013-12-17 Cree, Inc. Matching network for transmission circuitry
KR101767718B1 (ko) * 2011-11-04 2017-08-11 스카이워크스 솔루션즈, 인코포레이티드 전력 증폭기들에 대한 장치 및 방법
EP2675064B1 (fr) 2012-06-15 2020-02-12 Ecole Polytechnique Circuit électrique pour adapter l'impédance d'une source et d'une charge sur une large gamme de fréquences, procédé pour concevoir un tel circuit

Also Published As

Publication number Publication date
US20190393018A1 (en) 2019-12-26
US10796885B2 (en) 2020-10-06
KR102494085B1 (ko) 2023-01-30
JP7097376B2 (ja) 2022-07-07
JP2019537831A (ja) 2019-12-26
EP3539145B1 (fr) 2021-04-28
KR20190086679A (ko) 2019-07-23
EP3539145A1 (fr) 2019-09-18
WO2018087189A1 (fr) 2018-05-17
FR3058602A1 (fr) 2018-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR3058602B1 (fr) Circuit d'adaptation d'impedance entre un generateur et une charge a des frequences multiples, ensemble comportant un tel circuit et utlisation liee.
EP3506499A3 (fr) Élément de résonateur réglable, circuit de filtre et procédé
WO2017123363A3 (fr) Amplificateur à faible bruit d'agrégation de porteuses à diviseur de puissance intégré accordable
GB2420450A (en) Antenna system
EP4087130A4 (fr) Résonateur acoustique de volume avec électrode inférieure comme électrode d'espacement, et filtre et dispositif électronique
WO2003107528A3 (fr) Circuit servant a generer des signaux iq
JP2007512793A5 (fr)
GB2411062B (en) Resonance suppression for power amplifier output network
KR20180084618A (ko) 전력 증폭 모듈
MA40183A (fr) Circuit de charge et terminal mobile
TW200608841A (en) Apparatus and methods for a fixed impedance transformation network for use in connection with a plasma chamber
EP2562897A3 (fr) Affaiblissement actif avec un condensateur commuté
FR3021457B1 (fr) Composant, par exemple transistor nmos, a region active a contraintes en compression relachees, et condensateur de decouplage associe
GB2436493A (en) Tunable or re-configurable dielectric resonator filter
EP3979496A4 (fr) Résonateur acoustique de volume ayant une structure supplémentaire séparée et une électrode supérieure, filtre et dispositif électronique
TWI581167B (zh) 雜訊抑制電路
EP1469623A3 (fr) Récepteur portable de diffusion
TW200607265A (en) Optical receiver
EP1659560A3 (fr) Dispositif d'affichage à plasma et circuit de commande de la charge capacitive
FR3013537A1 (fr) Commande de condensateur bst
CN105897169B (zh) 倍频器
RU2013105499A (ru) Многоцелевой емкостной датчик
EP3182583A3 (fr) Schéma d'oscillateur pouvant réduire le bruit de phase éloigné et le bruit de phase proche
FR3099321B1 (fr) Alimentation à découpage
TW200703892A (en) Filter circuit

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20180511

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 6

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 7

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 8