JP2019537831A - 複数の周波数で発生器と負荷との間のインピーダンス整合をとるための回路、そのような回路を含むアセンブリ、および関連する使用 - Google Patents
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Abstract
Description
インピーダンス整合ステージの負荷インピーダンスに関して並列に配置された負荷回路を含む第1の追加ステージであって、前記負荷回路は少なくとも直列に配置されたインダクタおよびコンデンサを備える、第1の追加ステージと、
インピーダンス整合ステージの同調インピーダンスに関して直列に配置された同調回路を備える第2の追加ステージであって、前記同調回路は少なくとも並列に配置されたインダクタおよびコンデンサを備える、第2の追加ステージと、
を含み、
インピーダンス整合ステージはさらに、第1の追加ステージと第2の追加ステージとの間に配置されていることを特徴としている。
前記第1および第2の周波数とは異なる第3の周波数について、発生器と負荷との間で同時にインピーダンス整合を達成することができる少なくとも1対の補助の追加ステージであって、前記少なくとも1対の補助の追加ステージは:
インピーダンス整合ステージの負荷インピーダンスに関して並列に配置された負荷回路を含む第1の補助の追加ステージであって、前記負荷回路は少なくとも1つの直列に配置されたインダクタおよびコンデンサを備える、第1の補助の追加ステージと、
インピーダンス整合ステージの同調インピーダンスに関して直列に配置された同調回路を含む第2の補助の追加ステージであって、前記同調回路は少なくとも並列に配置されたインダクタおよびコンデンサを備える、第2の補助の追加ステージと、
を含み、
インピーダンス整合ステージおよび1対の追加ステージによって形成されたアセンブリはさらに、第1の補助の追加ステージと第2の補助の追加ステージとの間に配置される;
少なくとも1つの追加ステージのインダクタまたはコンデンサの少なくともいずれかの値は調整可能である;
インピーダンス整合ステージの回路は、発生器と負荷との間に直列に配置されるように意図された同調インピーダンスと、発生器と前記アースとの間に配置されるように意図された負荷インピーダンスとを含む;
同調インピーダンスはコンデンサと直列に配置されたインダクタを含み、負荷インピーダンスはコンデンサを含む;
同調インピーダンスはコンデンサと直列に配置されたインダクタからなり、負荷インピーダンスはコンデンサからなる;
回路は、同調インピーダンスが2つの負荷インピーダンスの間に配置されるように、前記負荷と前記アースとの間に配置されるように意図された別の負荷インピーダンスをさらに含む;
回路は、負荷インピーダンスが2つの同調インピーダンスの間に配置されるように、発生器と負荷との間に直列に配置されるように意図された別の同調インピーダンスをさらに含む。
負荷と、
少なくとも第1の周波数および第2の周波数を含む電源信号を負荷に送信することができる発生器であって、周波数は互いに異なる、発生器と、
を備えたアセンブリを提案し、
前記アセンブリは、発生器と負荷との間に配置された本発明によるインピーダンス整合のための回路をさらに備え、一方では、前記インピーダンス整合のための回路の最も外側の負荷回路を含む第1の追加ステージが発生器に接続され、他方では、前記インピーダンス整合のための回路の最も外側の同調回路を含む第2の追加ステージが負荷に接続されていることを特徴としている。
第1の周波数は前記電源信号の基本周波数であり、第2の周波数、必要に応じて任意の追加の周波数は、その高調波のうちの1つである;
周波数センサが、発生器と前記インピーダンス整合のための回路との間に配置される;
負荷は容量結合プラズマ発生器である。
インピーダンス整合ステージS1の負荷インピーダンスZLOADに関して並列に配置された負荷回路C2(例えば、コンデンサCload)を備える第1の追加ステージS2であって、前記負荷回路C2は、少なくとも直列に配置されたインダクタLload2およびコンデンサCload2を備える、第1の追加ステージS2と、
インピーダンス整合ステージS1の負荷インピーダンスZTUNEに関して直列に配置された同調回路C’2(例えば、コンデンサCtuneと直列のインダクタLtune)を備える第2の追加ステージS’2であって、前記負荷同調C’2は、少なくとも並列に配置されたインダクタL’tune2およびコンデンサC’tune2を備える、第2の追加ステージS’2と、
を含み、
負荷および同調ステージS1はさらに、第1の追加ステージS2と第2の追加ステージS’2との間に配置されている。
インピーダンス整合ステージS1の負荷インピーダンスZLOADに関して並列に配置された負荷回路C3(例えば、コンデンサCload)を備える第1の補助の追加ステージS3であって、前記負荷回路C3は、少なくとも直列に配置されたインダクタLload3およびコンデンサCload3を備える、第1の補助の追加ステージS3と、
インピーダンス整合ステージS1の負荷インピーダンスZTUNEに関して直列に配置された同調回路C’3(例えば、コンデンサCtuneと直列のインダクタLtune)を備える第2の補助の追加ステージS’3であって、前記負荷同調C’3は、少なくとも並列に配置されたインダクタL’tune3およびコンデンサC’tune3を備える、第2の補助の追加ステージS’3と、
を含み、
インピーダンス整合ステージS1および対になった補助の追加ステージS2,S’2によって形成されたアセンブリはさらに、第1の補助の追加ステージS3と第2の補助の追加ステージS’3との間に配置される。
負荷CHと、
少なくとも第1の周波数および第2の周波数を含む電源信号を負荷に送信することができる発生器Gであって、周波数は互いに異なる、発生器Gと、
を備え、
前記アセンブリ200,200’は、発生器Gと負荷CHとの間に配置された前述の請求項のいずれかによるインピーダンス整合のための回路100,100’をさらに備え、一方では、前記インピーダンス整合のための回路100,100’の最も外側の負荷回路C2,C3を含む第1の追加ステージS2,S3が発生器Gに接続され、他方では、前記インピーダンス整合のための回路100,100’の最も外側の同調回路C’2,C’3を含む第2の追加ステージS’2,S’3が負荷CHに接続されている。
負荷の容量CCH=700.10−12(ファラド);
負荷の抵抗RCH=5(オーム);
負荷のインダクタンスLCH=14.10−9(ヘンリー)。
容量Cload=7.10−10(ファラド);
容量Ctune=3.3.10−9(ファラド);
インダクタンスLtune=4.10−7(ヘンリー)。
容量Cload2=5.3.10−12(ファラド);
インダクタンスLload2=6.7.10−6(ヘンリー)。
容量C’load2=1.3.10−8(ファラド);
インダクタンスL’load2=2.7.10−9(ヘンリー)。
容量Cload3=1.9.10−12(ファラド);
インダクタンスLload3=7.9.10−6(ヘンリー)。
容量C’load3=10−8(ファラド);
インダクタンスL’load3=1.5.10−9(ヘンリー)。
Claims (13)
- 互いに異なる少なくとも1つの第1の周波数と1つの第2の周波数とを含む電源信号に対して発生器(G)と負荷(CH)との間で同時にインピーダンス整合を達成することができるインピーダンス整合のための回路(100,100’)において、前記回路(100)は、前記第1の周波数について前記発生器と前記負荷との間でインピーダンス整合を達成することができるインピーダンス整合ステージ(S1)を含み、このステージ(S1)は、前記発生器(G)と前記負荷(CH)との間に直列に配置されるように意図された少なくとも1つの同調インピーダンス(ZTUNE)と、前記発生器(G)とアースとの間に配置されるように意図された負荷インピーダンス(ZLOAD)とを備えた回路(C1)を含み、
インピーダンス整合のための前記回路(100,100’)は、前記第2の周波数について前記発生器と前記負荷との間で同時にインピーダンス整合を達成することができる少なくとも1対の追加ステージ(S2,S’2)をさらに含み、前記1対の追加ステージ(S2,S’2)は、
前記インピーダンス整合ステージ(S1)の前記負荷インピーダンス(ZLOAD)に関して並列に配置された負荷回路(C2)を含む第1の追加ステージ(S2)であって、前記負荷回路(C2)は少なくとも直列に配置されたインダクタンス(Lload2)およびコンデンサ(Cload2)を備える、第1の追加ステージ(S2)と、
前記インピーダンス整合ステージ(S1)の前記同調インピーダンス(ZTUNE)に関して直列に配置された同調回路(C’2)を含む第2の追加ステージ(S’2)であって、前記負荷回路(C’2)は少なくとも並列に配置されたインダクタンス(L’tune2)およびコンデンサ(C’tune2)を備える、第2の追加ステージ(S’2)と、
を含み、
前記インピーダンス整合ステージ(S1)はさらに、前記第1の追加ステージ(S2)と前記第2の追加ステージ(S’2)との間に配置されている
ことを特徴とする、回路(100,100’)。 - 前記回路が、前記第1および第2の周波数とは異なる第3の周波数について、前記発生器と前記負荷との間で同時にインピーダンス整合を達成することができる少なくとも1対の補助の追加ステージ(S3,S’3)を含み、前記少なくとも1対の補助の追加ステージ(S3,S’3)は、
前記インピーダンス整合ステージ(S1)の前記負荷インピーダンス(ZTUNE)に関して並列に配置された負荷回路(C3)を備える第1の補助の追加ステージ(S3)であって、前記負荷回路(C3)は、少なくとも直列に配置されたインダクタンス(Lload3)およびコンデンサ(Cload3)を備える、第1の補助の追加ステージ(S3)と、
前記インピーダンス整合ステージ(S1)の前記同調インピーダンス(ZTUNE)に関して直列に配置された同調回路(C’3)を備える第2の補助の追加ステージ(S’3)であって、前記負荷回路(C’3)は、少なくとも並列に配置されたインダクタンス(L’tune3)およびコンデンサ(C’tune3)を備える、第2の補助の追加ステージ(S’3)と、
を含み、
前記インピーダンス整合ステージ(S1)および前記1対の追加ステージ(S2,S’2)によって形成されたアセンブリはさらに、前記第1の補助の追加ステージ(S3)と前記第2の補助の追加(S’3)ステージとの間に配置される
ことを特徴とする、請求項1に記載の回路(100’)。 - 前記追加ステージ(S2,S’2;S3,S’3)の少なくとも1つの前記インダクタンスまたは前記コンデンサの少なくともいずれかの値を調整することができることを特徴とする、請求項1または2に記載の回路(100,100’)。
- 前記インピーダンス整合ステージ(S1)の前記回路(C1)が、前記発生器(G)と前記負荷(CH)との間に直列に配置されるように意図された同調インピーダンス(ZTUNE)と、前記発生器(G)と前記アースとの間に配置されるように意図された負荷インピーダンス(ZLOAD)とを含むことを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載の回路(100,100’)。
- 前記同調インピーダンス(ZTUNE)が、コンデンサ(Ctune)と直列に配置されたインダクタンス(Ltune)を含み、前記負荷インピーダンス(Zload)がコンデンサ(Cload)を含むことを特徴とする、請求項4に記載の回路(100,100’)。
- 前記同調インピーダンス(ZTUNE)が、コンデンサ(Ctune)と直列に配置されたインダクタ(Ltune)からなり、前記負荷インピーダンス(Zload)がコンデンサ(Cload)からなることを特徴とする、請求項5に記載の回路(100,100’)。
- 前記回路(C1)が、前記負荷(CH)と前記アースとの間に配置されるように意図された別の負荷インピーダンス(Z’LOAD)をさらに含み、前記同調インピーダンス(ZTUNE)が前記2つの負荷インピーダンス(ZLOAD,Z’LOAD)の間に配置されるようにすることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載の回路(100,100’)。
- 前記回路(C1)が、前記発生器(G)と前記負荷(CH)との間に直列に配置されるように意図された別の同調インピーダンス(Z’TUNE)をさらに含み、前記負荷インピーダンス(ZLOAD)が前記2つの同調インピーダンス(ZTUNE,Z’TUNE)の間に配置されるようにすることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載の回路(100,100’)。
- 負荷(CH)と、
少なくとも互いに異なる第1の周波数および第2の周波数を含む電源信号を前記負荷に送信することができる発生器(G)と、
を備えた、アセンブリ(200,200’)において、
前記アセンブリ(200,200’)は、前記発生器(G)と前記負荷(CH)との間に配置された請求項1から8のいずれかによるインピーダンス整合のための回路(100,100’)をさらに備え、一方では、前記インピーダンス整合のための回路(100,100’)の最も外側の負荷回路(C2,C3)を含む第1の追加ステージ(S2,S3)が前記発生器(G)に接続され、他方では、前記インピーダンス整合のための回路(100,100’)の最も外側の同調回路(C’2,C’3)を含む第2の追加ステージ(S’2,S’3)が前記負荷(CH)に接続されている
ことを特徴とする、アセンブリ(200,200’)。 - 前記第1の周波数が前記電源信号の基本周波数であり、前記第2の周波数、および必要に応じて任意の追加の周波数はその高調波のうちの1つであることを特徴とする、請求項9に記載のアセンブリ(200,200’)。
- 前記発生器(G)と前記インピーダンス整合のための回路(100、100’)との間に配置された周波数センサ(CF)を含むことを特徴とする、請求項9または10に記載のアセンブリ(200,200’)。
- 前記負荷(CH)が容量結合プラズマ反応器であることを特徴とする、請求項9から11のいずれか一項に記載のアセンブリ(200,200’)。
- 前記発生器(G)が、単一周波数を含む電源信号を前記容量結合プラズマ発生器に向けて送信し、前記容量結合プラズマ反応器から戻ってきたときに前記周波数センサ(CF)からの周波数データが分析されて、前記プラズマ反応器内で進行中のエッチングプロセスが完了したかどうかが決定される、請求項11または12に記載のアセンブリ(200,200’)の使用。
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