FR2977590A1 - Article revetu comportant des revetements contenant de l'yttrium appliques par depot physique en phase vapeur et procede de fabrication associe - Google Patents

Article revetu comportant des revetements contenant de l'yttrium appliques par depot physique en phase vapeur et procede de fabrication associe Download PDF

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Wangyang Ni
Ronald M Penich
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Abstract

L'invention concerne un article revêtu (100) comportant un substrat (102) et une combinaison de revêtement (106), qui comprend une région de revêtement DPV (110). La région de revêtement DPV (110) contient de l'aluminium, de l'yttrium, de l'azote et au moins un élément sélectionné dans le groupe constitué du titane, du zirconium, du hafnium, du vanadium, du niobium, du tantale, du chrome, du molybdène, du tungstène et du silicium. La somme des teneurs en aluminium et en yttrium représente un pourcentage atomique d'environ 3 % à environ 55 % de la somme de l'aluminium, de l'yttrium et des autres éléments. La teneur en yttrium représente un pourcentage atomique d'environ 0,5 % à environ 5 % de la somme de l'aluminium, de l'yttrium et des autres éléments. L'invention concerne aussi un procédé de fabrication de l'article revêtu (100), qui comprend les étapes consistant à fournir le substrat (102) et à déposer la combinaison de revêtement ci-dessus (106) avec la région de revêtement DPV (110).

Description

Gl .:11,' lIU l.11. I.I.!,,-, uiMi lA~'ll [Il II1! ft'1 miss ~,' clHilHi ll'~ ,~"'It~ll ,I~' I~Ai.l'lll,'lll pi>\ 1 i`I~'I1~~1 l:Il~ I~'! Il ~ ,l ~'ll ~rrlStltlé' ~;lll~ 1111L1't:1U~~n, diane Vll oltisieurs mais ami( dont 1 i)41l l u.~l Inlérïeui`e C)tt '_ale a enbfron lt)() nai3 oilletres. La 1t 4?l~)11 t reveteni nC DPV a une dureté é1 '\ c de taçon à apport 'I ;I;' I roprretes C1'nsu adt';iU,ll e L 1 pl,,, ;les ;I, dépôt. physique en p!1,1 sapeur (DPV) (qu'on appelle nt si m p Hien( tics procédés en couches minces) sont des rr ac tale c esquels un matériau est vaporisé t partis d'une 20 sort forme d'atomes, puis transporté sous rme de vapeur dans un enn`ïronnement ud IHI. ll~^. 1~1] ll~ra~. [,a^('s DE' \ som lllllls~'~ air (L1)o ayant Il l]lll'~;lll~~ illl11l.l, ;I^.' 1~1,I~lna) sous vid( ui pression i .ul sul-,<u,l(, où il se !ul~' l`IF, ll~ lv~'ll! <<U,',I CUL' Utills tinta l ! nlpos DPV pcto nn V'CI'I71CIltSMUI.IlC 1 Il ~~. I s Ires ([pais et les structures )1'v __ - F i Tif"iC ntuttt 1 ." I'i É a j i Tirl11 {"I'i 55 `rca AI ~'~ ~ U; 1~ . uel~e 2?,d ~ 55? l~l?vl.''~.1"l"tï`W I { l~l ()~) , Al - .l) ~l Î~1t.14It':ïi Cti'leti dt', 3 ~r5. 541 , - - ï'{)LIt~IieS de reéternent alterne es de fl`il~,T et d'Al l'iN AlTi Une. seul, uche 2>.2 3~~~ Olt ~'~ t __ 2,4 5l4 1 {Cr~ ~1 + ' 1 _ ~. ul, , .i,l~: i 1 lt~'i".1 indique n pi tu, ~ po_ -cou n n \ x suivants Zi \ V'( rA. l i \I\~%^\. i \1\%1,A. I i_A\IA. \\ La poolocki Cr`ll~ l~' 'il?l'!1 TL A1,A\ \ I. Al i'1:111! ~CI 2977590 d'yttriun d chrome. I l i de de brevet. PCT publiée sous la réIierc Icc \\-0 2009 OS JOhanssoll conceme un outil de coupe revêtu dom. lc l~ACl~'ill~Ilt coin prcnd au moins une couche structurée cubique de (Ti l _ d:nl s 20 laquelle 0,04 < x < 0,20, et 0 < z < 0,1.0, 11e étant un ou plusi r de 1r, Hf, b, cette ftn, dans Allocl :ll Iotim Lii il clic uri irrt" uli~r~ill~!~l ,u? i_~n!r ia i \homo 1 re etetnent de mu Lm. appellent des «CUIi~lt Uni a~ ~Ltil? )t ptï'~l npose de 40 cca de titans , 56 %a d'aluminium, { Ta, M.o, i\,V Mn., Fe et Zn p t CAS ~iubliée ours l~ numéro 15 20 Nb, Mo et 1 . La demande de brevet. ~Al par \\ ;li,i t al. concerne une clic dC rcA~l~Ill~l',l comportant uneprClll!ck_ ~ itic c I_Inc lÎcu honc c Ln._ ho m [sui \ ou. ni [[twmiiurr de ryttr Uni .' L'H 01118 0lllllll tli 10 si H ri( mas 1 IcHkmi 1)11\v bill clac i iaHeliorcei, dan; quel dc Cicinent DP!i 'aluminium t ~~Vl(iCllt 14 de l')atrium et de toLite et au moins w.i élément sélectionné dans le groupe 15 constitué du titane, du zirconium, du harnium, du vanadium, du niobium, du tantale, du chrome, du molybdène, du tu ni [eu ci du silicium.
PRÉCIS DE L'INV Fi\ 'PION, Sous une fonte, l'invention est un - è tu qui comprend un substrat 20 et une combinrtison de revêtement. La combinaison de revêtement comprend une (Hou de ri neictntait DPV appliquée par dépOt physiquo cn ph:isc \Llpeur, la i n. de lantacilicnt contenant de l'aluminium. et & ct de l'azote et au moins un èlemcnt . n'inné dans r[[upe constitue IL( i (lime, du zirconium., du hafnium. du vanadnim, du niobium. du tantale, du [ii me, du nicil.,OLLI . du 25 tuniasienc cr du silicium. fia ',mime des teneurs el Luninium et en yttrium. ^:;lle d'C > on 55 de la sisnlm'.[ Clé .1iumin11.91 i Al?iIHlll . 30 35 2977590 -5- 1 )x,11- Leiu~ 1 1 .~:I Vttriul.l .~ ~~i .'1'l un 1111 i~ 1)l'l ]LIP e ii; DPV :1'a. LICII;IPL dent{11L~'111:i11 Ll pl ~~~~'li~tll~' n~~l~lll;;ll~~~ 150 577-1:2002 avec une ri. iitdeu1~ ~1~' 1?~ILélratioll 1),i11~ ~:ci:t ans mode tÎ r~':111~,11101L l;l v0111i1h' d,'~ l~1]~lll> en aÎUT111nium et ue d'environ % de t des autres éléments ; et la ré~~ion de 1e\ lement DPV a une dureté supérieure ou. <r al 1 environ 34 GPa, mesurée par uni technique d.enfoncernénl n<lnométrique sé!on la procédure normalisée ISO 14577-1:2002 n cc une proLaidenr de pénétration de 0,25 micron. Dans certains modes rte i alisatiull, la teneur en yttrium rets i Le un 20 pourcentage re d'envir % â de la son ne de l'aluminium, de P.v 1(1 u n et 11 Uite il.11^2 i~ ~1.1~~C11L'LUr d'enlonp1 n~~n,~nlrlr'que sel la proEe,lure nornl~llis,:,, TSf~ 14577-1:2002 aVC 1111 ' 11101 tl;'Llr ll~' l!~'n~'U~;iUt~ll SIC 0.25 P11 l~l»IL D ms r~~1 P 1P, Ill, JL,; 1 1,11 i,J1 i,.11, ,1HI l ~~ élément comprend le titane, et ~CT1le UI ~~ ?rfi`eCnl~l=~' lllqRe C'i'l ouii ;lllllil'l l 111 reps séntti un p urcer 15 ltl er7nln~e de l'aluminium, de l'ytt. et 1.1 r~ )a de \ ~~tcnu at DPV Pa. rnc~llr~~ puni' Lehnique n 34 30 u1111!1I I,ïI'.l. LI l!LU!~' 1 Hic Mulir.~~~Ii. At'.ri u riui,~~ll_ :.1C 1°.i,{ue d'e.,~. ïl tTmrniun v [Puni du ti1,..nc clu -MI, [Hm ÿ ~ ~Iri:ni r,.n~~~.~n~,~ iii-, .~, i~I' `Illim' ,I, ;IItlllllfillllll. ~.I~' vlU~lllill. J {II,L'lL' ~'~, Ill ,1l~1111 1 . 11_Ill1 ~ 111[ HL: lllr'11I inim1`cmi I~ clll-[ ~11tiliun 15 `, <? ] so Dans crt ni 30 GPa a >>émique protol:d ur de pé.né d'envi 20 d'en ne avec une prof() Dans e 1 [ gins prend unc ,r'u . rtrium et de environ 95 I ! !"1 um représ 1i11 1?I~UI~'~1';1a"t' ~l l~!I]li ll~' ~I \ 11011 Incnts, de revétem-nt a une dureté par une technique d'ent«mcement ISO 14577-1:2002 avec une a un module de GPa â envirt>n 525 GPa, mesuré par une technique ique selon la pmeédure normalise ISO 14577-1.2002 1 ccnc'tl lion de 0,25 micron, 1 de ic,disation, la rt_i~~ll de !m.cIc!Hunt DPV 11C ~Iti r~vcicnlcl~t Comprt'n[lni H 11C[ llc 1aluminium, (i [mi 1cp1r-sente un pi :tl[d'environ de Palu 'Minium, d` ! \11rium, et ru titane rr :?l~r_~~ .~mr iluc ~l'envï vurinal i 1 lil,,n ides de rëahsatu7n, iron 35 GPa, mesuré la procédure de 0,25 micron, et Partie -7- fl.tb ~~n~ement nanrnieInque selon la pro~.etIt e normuli,ée ISO 14577-1:2002 avce une protonfleur licib lr.;bon de 0,25 micron. Sous aile :lui ] nue encore, l'invention est un pro,. l~ d'application 20 dune couche de revêtement sur un substrat, comprenant le ,dupés et â : fournir un substrat : t déposer une combinaison de t \ c IeIr, nt sui- le substrub ~Il}l~lll:il~1'ii de ib ,l I1 e it eun1prenuut une I~~ '1 111 i1 r~1L'Iemen.t DPV dep,1. I,;~~,I p'rys'lue en bibis ~~ bu. I.~~ d 1cbeleillénl 1)11\' contiént riurl', 1 ~I/I~ l't :tli Illl~lll~ ll!1 Il l~~lrl:i' i~;llh l~' ne, du L11~ ~'lllulll. leu Îl,lllllt m. du 1.lirun, tlu niobium. llyl ;lb 1n]: :1 _In '. i. il I III_,' ~~~' 1 ,!'lll.11lll n III 1111111. ~II 11: Ill !~ _I I ~nl ~l .'Ill 1~~ 1:.11' 1 D,:11- r~. .rll .I: MI] ~.1:'uuinitll;. ~ 1 t H IA. ~.l d l,i une ,11111'^ l nli;i'1. vHo, i]. ~ I ,iu 1ii:111~ ",111l',111^: cm trou j~' l f2lirium et du 114,ub te un pourcentage atomique 15 dluulinïum, de et du titane ; et li dul té supérieure ou :éulc indu t. el sit? et meut .DP n 27 GIm~ tbee par une technique dru H,. v lI I.l 'll hi ,iC 1 1 11:~' t I',. VIllilllll. I Ill i,11H)~' I~"'. 1',liI 1 1 ~. ~..!l~~il _ (;f'_I. IllL',lll !III_ l`1 Dit)), 1l~ull, 11L~~1~~ ,l,pOl iilllL. 111hlil;t)» 1 1t_I_111','111 IHI)l,'tl,l ~lCll))l ll llll~ IZ' 1i )h\ ~L1lLJ fulHU_ l'lll,liul', 11^'' ILR111L Ill. Il~lÎll~~ lilll~!'~Ul~ ~(llll I?~') de
ll^21.1:Ilh'{'. CIE 11,27') !hl,» 11 unpliunuui llu liunu ~llulullllllilllll, ll~ AllllUlll (.l 11{:LI7~ I~,.pl, ,L111s. VIII 1))l?UI~Clll~i u l~~llll~~ll~' olllnlu ~I~ alunlilliunl. ~1~ I'vlidulu. cl du [nunc l'vllritlul r~I~r~~rn1~ un polllcuilLtud' ult~lllll~ll~~ lf ~Ilv II\111 0,5 % eIly ICI~I] l.~ ll~' lu titlllll\1C dC) l'aluminium, l l~vllriunl ci du tn.tH u ; la ~ fii ulh ch l~ulunliniunl 1'vlu~itHu. 20 ruplicut'nlfv un pcollruuuL ulllul.ieu ll en iron 6 % 3 vu-on -15 dc lu d I ;tluminiunl. ci~ I vlirinnl, rtdu lilunu Ç.« I.I rc~i~,n d r~v~Irru ni f l'V' ~I wu: lllll)L' Ill{~~ll~'tll~' lHU ~'iIVIII~H «df111C,,L11C' UII~' f...h:1111RWL f unro11'muni Il,Illulïldll-lqu~ tiCloll l;l 11IAt L uuu ih! 1nuii 1Y.) \Wb llll11H.L..11l ~l' l?t'll~'ll;;llt~ll d O. 111i~11111. 25 1) -H Il;tlllH il i~~ili'~ dILWL»lllid1l;ll~l~H V'\uk.'11C11', ~tull'f~i'.~l ~I1 duiii..' 'ion du lllulu 1)11\ u 1~1 l'l;~ltn,tïll :lll I:I;uI,'. ils Iuu1111Iuiu -9- 1)1;8( RH'TlO\ ~l ((1\(11.: Ul.S i)LSSI\.ti 1,niieln 1iA Ii \11[\ n 1 2977590 15 l'il~tentic~n ; La FIG. d est un spectlAe de diffrac on. des rayons ( PRIX) montrant le r~ terne nt et le substrat d'une couche de rL v~ teillent (Ti 33.E Al t ' < <I V1 7.8 la couche de ra\ lainent ayant une struaLure amorphe ; La FIG. > est un spectre de diffraction des rayons X (DRX) montrant le 20 rc~ elen.icnt et le substrat d'une couche de revêtement (Ti 37 c:a Al 6 ayant une taille de grain ~'~lIIll(. !1 15 nanoln tres 1-c\ ,Incnlent n énalt 1~~1~ 1111 'll tselon Fin \ L'Il nni ; _.:l IiIG. (, 1 un cH.)IIi.eme montrant 1a ~'ulrtr ((i1'. en ;llummv . et en \ilJlHm (en bouree111:1:'C ,lli~IllllU~ tlt'~ elcnlcnl Il'1 a pour les couches J 1.cye[cillent Ii _A1 1 -~ 1 IG, 7 [- it1C' rhO(~' 1;tl~~ll~ In ,1M 11,111 i 11ti_i)l' ~Il IIC ~;ar Un oUtll de 1 Ici ~I:l~ ~.[ill 1\ 1 SIN\1.A ] ", ~i~~I~ 1 I II La l it ni] I l~l~~,lÏ°i d une e, C le de I~'v lli 1 18, FIG. 3 ene IIII~R~~lll}onll~lll~' ~'Ii ït mi, l ll ll l ) d la suI l a 11 ru tuz d'Une couche ne combinaison de revêtement selon .5 comprend uni r ion de ré. Lia incnt DPy' appliquée par dépôt physiq vapeur, la Mon de re1 `1é incllt contenant dé l'aluminium et de l`yttrium ei Lé. l'azote et au ]Moins un t'léI ént ~t'ie~Lroni)~ Mais L'I1~Hm constitué du titane, du iiiéorlium, du hafnium. Diu \ on,' ium, du niobium, du tantale, du chrome, du «mnme des teneurs en aluminium et en 20 yttrium représente un pouréémage atotni~lue d'environ 3 % â environ 55 r de la ',lluminium, de l' yttrium ét ~nllrés éléments, sauf 1"~1/,im. La Iéné nr III rCi-11C',CI11C un pot rcc'nt,IHI11ItlUC d'environ Oj cm\ non - `r de l; I FumiMun d~ vIIIiUIIv Cl dlc~ JtIl!CL'Il rlll~. ,illl I ~1/0' X71 Pb ?l IIlvCllll~~n ~t~ll~~lllt' IIII I,C,«1' ;1 ;)Il^_ 11^'I1 i ou. cléitb'lll ~,II UIl subsLim, l~'na; ( les t'Lam, ±iU1 ~~?Il~l~ll'CI X11 un st ~~~'I;li l'1 ',CI" lll' Ci I111,I1LII,,,11 ,ur des ni m 7r té(I Plus pi substrat et. une: combh Ilv C011 orne un ;l~ lis l~ rt v L ul qui prend un in dé rév é lélllent, La combinaison de r eut Li1,t~ICi I:I'1: i111t'I- \ II molybdène, du Inné ~lcn~~ ~I diu Dili IJ.IIII:1 ~I,' i Vll 1 I~t1: n'.r.n III.nl. r,till LI(1. 1 r 'ILI,' _1) I11~ 1111 ,tlll'!I.II U13L' 1'111.11 ,IuI unt Dl'\ ullllulll tlu sili'l un iiii l{1ti'--~ r1','~ulil ~ 1' vt1ri Ill tII1.1C11I. I:I lli u uill~ ïl seju,itiont1C da.s lu '__rtia.irC ~~'IltitllUC llU Ill,lnu. du /11uonitun. da 1 hafnium. dt1 v:lntnliulu. du niril~itlnl. du tanl,llu. glu uIlmu. du mol \1.)W21-1, t tln aslunu cl da ~II1CIlllli. [,`~I~I~IItl,~ll ll vdrltml aU ruvul:'Illullt 011111:11110 UII~' I.L.1LItICI1011 de la l:lillc glu ~rlin 1 lu rtiaion glu ruviUtumunI I)l'V'- (~ ~lltralunr nI. unu rUdtluli de Iti ttullu ~1u gain tl l:t uot1cllu glu ruvLtunlunl l~n~~luil Ullt' au ~nlunl~ili~~n ~Ic 11~ JlIrL'IL Ill I:I rrl~l!i~~u 111111-1'ul~'ll. TI,utclois. L1 1 tut I:uru ;IIIu nlioll ;Au 1~Ut quu 20 faddition Itriunl u.n mv;~Icnlcl]t à hauts tunuur et-1 1lluminiunl. u~cst-à-dire une (:'HUM' L'H 111HIllllil11111 1Ill1L'I1ICUI-u <l 1111 11lOtIrL'L'Ilta C <1)111IgLIL dIL'IlAlr^1il F; C11v.II ?1' (h5 `r t-IL.'.,, ,IH111C L'll'Illt'Ill'u ~1111F] 1l/~?IL'. 110111 I~f~l(.ltlllIL' lin IL.'\C1i 111CH( ;IA11111. UIIL' 11II~1 »IItI~lUlu ;Illlill-llllL. l.;l II(~. ~'~l U!?. Ill! plml,~ar1ll~ill~ L.'ll iuiul~`Il1Cll1'~I SIC ;. ~tllla u ~Iu 1111»1UI.. ll t llu '1'i i2. :lAl': llllu ll'~' lis' 11a!~~'Ii t'll' 111111111' ll~ I): l \ -1 I ,' I l l. I I;.~ I 1 `Il~lli,l:'.I Ioda 1 1( i 3 est \ ;Ic I:. 1 Itj, 2. 1)p\ 1 Hic 1k - ,1 1 1 1( i 1 ii pu, in 1.1. à [ 11,'tl 1 :L[111 iàc tic ctir cu ai tiuiiniunl sir; i t. itu,i inc in IICII fit) % à environ 65 1 i ruant ^ctcHiciu
de bic cul. tu structure il.niorph.e. Pans 10 carbure cCiiicute. Ceci. contraste avec la taille de grain d'uiie couche de i Cicinent 15 Ti-A.1-.Ni telle que celle qui cst rcl cscntéc i-ctr la FIG. 5. La FIG. 5 est un spectre de (Iiriiilction des rayons X [tilt rc^etenient et 1c substrat d'une couche de Ris ctement (Ti 37 e,11?iii .-VI ):X dont la taille de grain cst cst.imcc 15 nanorueti Dans la FIG. 5, le substrat. cst du carbure de tuligstenc liant cobalt. 20 Plusieurs exemples ont été préparés en utilisant des techniques DPV pour appliqucr Ja région de rc\etcincffii DPV en Luit que partie de fi co ibiriaisbn lei\ elcIncid sur le sulolrat. recion de rc tcmcHt DPV a été ileposec Lai ubhs L: I)PV 1c pif. hlii[.[ [ '[1111[i)^[ILILIC, t[111,[ [ Ici [),I[.Illk 1 \ iipci.,Iuirc tri' .1 iuciu 1 ;mi \ lobai -100 C à. 25 cm ip 1 D duée dans une [ 1 1 r[l[,'I[:: (litant d'environ x. "o i babas air du sui) ibial clan \ ii. 30 35 l'o. 1\1, is Ica -- 1 H. .iii.i, 2977590 -13- r R r - 2 4,2 1.0 \ 34.3 i 3-9 ! Ti - 0
Le Tableau A [m'escroc chi', données concernant 1 'sicmpIcs rpi s Q région. de revêtement DPV comprend unc seule couchc c nic m
Tableau B Composition et propriétés sélectà ées de revêtements à plusieurs couches + Y (Gl)a) Dureté i» r \ 35,7 39,8 32 473 4,2 15,4 59,3 1 512 4,3 périeure 126 constituée de Liutne ,Iluminiulll-yttrium et d'azote, qui sur la couche de lr unlunt situ~u le plus il l'emérieur de la ré<~ion de 20 e[eluvnt 110. rlluu~ AD'If [1,u:t ] le 1 1-1 qu- vl,l~ llu '..Crlul. ~ Il;t~lllu cul fullllulu uouche de I~'\ulunluill ~Îu ill;Ille-;1 llllllllllllll-\i!I111111 /~'~~ 11 CC Ull d ll me CoUCh~ d~ i u~ ulement d tliail,_ ;IIL1iTii ium-\ l /tale 120, quia une plus haute teneur u;l (Huc. Le reg; revétement 110 conll,reml lruizr 12 l unl :III . cc. nbinaison de ru\-et ment 1.06 comporte une de coach iccc}fade 1 ^_ 1) de s de ru,clunlrnt Ill' de -14- nnu, 1)1", 1 Mus] u,.r Illull~ glu ~'~ ~ll~u u 1- .,'I_l'~Îu 1\ ,I,[II~ 1-~! ~I:., llui_~ Diu 'tu ~I ~II~" Illli:lul~ [mn 1 .. l~ ..~ulul'u ,1..:i III_. I~~ I,.~iu 11»6) sur !,I ,nr~.,~u Ill 1. 1 ullu tÎ Olt°°lulllulil 1u II),1 ~~~ Ililllil~' ;lu [MI 1i' rlu I~_'lt .l tlu u\u u,:llul ~n nie .i[Hem 1Itlu uu),ululq ]u;! I 1(lr 1, i Tableau C Composition et pro: -i lt,1111L'Ct, 1C\ ft'111^.'111', .I I ~ul~~~~~llClïeS 2977590 -15- 1?\ cll lelll6'IIe pieuA tl 1.111(2 Li »1111)111 Il Lttint.' \~Ill~ Cti ll\ 1)6 11,111 llll(t' C'~)'.I11`Ill~ll~i'1) de cieincnt muheuu: hes 1IN-1LMN_ lui tuait 15 st tiid'rd fc>urnï- par Kenntll:1;11 1n VF Conditit1n,t;'p;ll 1111CtI. d coupe etilient les suiv=ants : l'opération d`usinuu Tait un 1u11 ntl_r : lu pluqueH de coupe était de 16 I~Ù SNMAI20408 ; le inutel-iau de la pièce d u,in~ r 'tan ale Vicier 4140 ; la vitesse eulit de 201,17 n'eu s ]in (-, par minute {660 lei ls line,lires par minute), la \ liesse d'avance (.166( d 12 pouce par tour» et la profondeur de coupe était de Une En IL'ICI66 .Ill\ 111N,u,. la (iule,' C1C vie d'outil de 1~1 I~l;lqu lli de couru MIN hile Com1,lliaison de le\ (21: i 1cm 1 l N," l de 16, rllllllll~'~, L~_ ~IIII~_~' ,1~ vie d'outil de la plaquette de COuh~' r ntinil Ivi':;tant Ui ~~~Il -iinaison r, ~ I~ Irt ll~ I )I'\ uni end n HG. Il I;III, I.. iC^.Pil ml LI~i ~I1 I,, Hi cul 1 i \I 1 \ r le li~'r(.`Illl ~_ ry Àu=.ii VII?Itl'I~. ICI Ut,111 <I~' ~'t ~1l A ei imbinais ctenient 11\ 1 varie 1565{). sous .e nom. 20 0,03 usure en »air tour )6 pouce}. Le type de ~I~f~lill~In~~' pour le touniaec rll~rt ~I~ 0,1 mi 111111~11L «1.004 66_ ). i~Illllllll 1ll~lill' t'i? ~'i;ll~!C uii' 11 \I1 N. 1.;I 1 1( uuv Illeuiule 2977590 -16- 1 il tll;lul~ ,I}141 .11. to1!I à Hl ci. )( pouce). L i., déiMiliiiicc le toi cl...a Une. Hic en '_III r~ i..-. de 0,1 rn.l.. u 1.0 «.),i lit i Le Tà t D ci- iius scille les k.suiuils s,
iild lu D 15 ColiqId.i.rSOn de p1c.,luctics de coupe rev-1-1t. es «m.\ cnuonnc. -e p .àLiucu.cs coupe revêtues selon l'invention Exemple Durée dc vie de l'outil (minutes) Conventionnelle 14,5 TiN/TiAIN Conventionnelle AlTiN 12,5 IN d 134 24,4 IN n" 135 n" 136 , '1') I 1\ H" 137 2,7 1.11- 20 "I'itiii et proprn.. ectionnées de revêtements à nanocouches , impie 5'eUt _ 2977590 -1.7- [.i,;.L.IS[111 ,i Il iloUle,111s CSt d'en,. h ui,j). Cl:\ [.1 sornmo teneurs inutimutiiii. en yl.triiiin et er. Haro: IO ou D M011tf,' \ on. [Ocra. LIH \ viirlLllll, -a moi durtio ~lUi t` 1. oeil 1 de 111111ilere l' IN) ;LI \ Hllt'ii~~ lis' eoupe . . etues eu. ounelles, qui portent des revêtements ue. eomeaant pas 1.5 d'yttrium. La description ci-dessus indique que l~l irtiscnlo invention fournit un article renon'. port,ilit un ré \ ctomcnt dur qui prescrite des propisctcs tnnéfiorécs, fattich.- rrv~tu -o [ruilant à uno utilisntion d.ins ciu< appliictilions impliquant une ii. l'usure telles quo. par osoniiiyl..c, los applications de coupe de m.et.il, do 20 formation de métal et tribolooiquos, pour prolonuor la durée de vie utile des piéees d'usure. Icscription ci .Itisstts indique que iii sciim invciuion fournit un toi Il 1 h, \ 1 1 )11,1111 rkll 1^[ ,Itlr .IppliqUu p I°'Islus t`Il pli l t4 vapour sontnnl toit no,onti,in 1, 25 nuit 1 '11,11 de .1i.e. 'Ill 1)P\ 111 1 w[l [ 1)p^ [ [ Ul'le delt'IC 1 1 11,I1I I \ [ILI iil [ Mils :Ini, i l )l'\ 1 30 35 ) [in:, t1 llllL' 1=1~~~' AiC i!~ i tIl\~l~U~'ll U: ,.rI i1,h,ll,H,:l;. ll`III ~i ~~~ ~'\ I~l!i:l'~ -, Ill ~`i~'~l'lll~' pfl'. HIoll,~'I pourcatiirr l'aluminium, 15 r 11I: sentant un pour c n c~I un le de l'aluminium. I 2. Article re u teneurs 45 éléments , et 1a réL, ,.,le aulne de teneur en yttrium qqn 0,5 rl; à environ 5 >r, de la et des aines (lu ide à environ 32 GPa, 'Pique la l~ngO, 11re normalise,' ISO 14577-1:2002 ;I~cc unc I1,1ondeurd' ~ ~1q,akhlon 0,25 n I I e ron. 3. Articl~' qi. [ selon la re ` en ,_il~.'allc~n du n~ '~at~tla' 'a L'Heur en reprcSente lliî p~~urC. litage aman( % à tira! ll~ii 1 Faim au' uns 11P\ ,I I, a llll~' :!!i! n,. ,~ 1~, 11r~ ~'ll ' ~'llv itnum et des autres L'IL'ment~. Ion la revendication 1., dans lequel n ^tirium rehréselne un pourcenta l'aluminium, de 1 tnt DPV (110» a un, In pe par une teehlü~.. ~i cn,nc~l ;~'t1l n

Claims (2)

  1. REVENDICATIONS1. technique d'enfonc ]lent: nanométrigae selon la procé REVENDICATIONS1. technique d'enfonc ]lent: nanométrigae selon la procé Hl]~tenin_I 14577- 1_-2002 avec une plot ]i[deur de pénétra i,.[a ,L«),25 nia. non.
  2. 2. Article re1°ctu selon la re^ nriicati0n 1. dans i~quel. l'antre comprend le tit n e t't dans lequel le titane représente un pourcent.tec al~>mique d'environ 45 C< en i-on 95 % de la somme de l'aluminium, de l'atrium et des autres éléments. . Ardt rev ] u selon la revendi ttit dans lequel 1'.alti- élément. 20 comprend le titane, et dans legncf le titane o. pre ente un llrC:11111 ' 2 atomique iroil 55 en~lron ] `; la ~l[]uno[ ll~ l'aluminiuln, lll' 1 Vlilt!nn? et des '1,,'111CI1l'-, t l~l Il `J 11n'l ~~C rC\ etement DPV {110,) é[ une duretc ~uperi ure ou envi] 34 Gl',I. mes77loir" Une technu-po d'e~lfoncement rl lil é-trique technique ~i l'nllo lcc I'.li'I?l !1;tll?[l'oiirlgcc bal la 11 v~.éClure !St) 1 l ~ 77- )l toc Inc I ll'c penen-atà'i] IC 0,25 micron, et l'art l~ lt'VCou 3 un module iron 450 GPa ~ environ 525 GPa, nrtesurë par une 15 iln que d'enfoncement nanométrique selon la procédure none: li, .0 14577- 1:2002 avec une protc)ndeur de pellet ration de 0,25 micron. 13. Anie le r~ v ~'I U selon I:I revendication 1, dan lequel 1~1 r~ ,qon de ru~etement DPV (110) comprend une seule couche de rCvclCllleni comprenant da titane, de l'alurrlinium, de l'yttrium. e~ de l'azote ; le titane hrescnlc un 20 pourcentage atomique d'environ 45 %c à environ de la mnlc clé, l'alumimu de l'vttrlum, et du titane ; 1'vt.trium 1'1a1 ~'~~'nt~ tut ~nri atomique d'environ 0,5 il environ 1 tic la somme tic I,Ilunlini~+nl. l'vI(rium CI_ du titane mime de l'aluminium et de lvllriu111 prest.mic un lrct'Ill:alomique d' ni IroII â cnvirm 50 la somme de 25 F;'d iii iuiuiu, de 1"yttrium., et ,1,1 l it me : et la i~. ion de Re. I ment DPV { 1 1 l) I unc dur ~t;p-_rieure nu GPa, 1 111'x' l~ iii'. qui' 15 l'yttrium et de I a~~~lc ; le titane repiescllle un pourccnm inique d'en 45 % â environ ô de la ; ~~nnue de l'aluminium, de l' \ 111 i u le, et du titane ; l'yttrium. représente un pou recllta e atomique d'environ 0,5 % environ 4,5 % de la son n c (le l'aluminium. (le .Uurimm et du titane ; la somme de l'aluminium et de l'ytlrïllln RTI. ;^11 un poure aee ;Il Inique d'environ 6 % â environ 45 % de 20 la somme de l'aluminium, des l'yttrium, et du titane ; et. la rév~ion de revêtement DPV (110) a une duret suirïcure ou jea il environ 30 GR-i, incmirée par une mclln quc ~l Cn~~~IlnClllCl~l nall~illClil,~llt' liau dure normail;e<' ISÜ 14577- i:200, av12Ç_ llliP pl )1PHÇiClII iileUIIII1 11 de 0,25 micron, sel n la risAt'llt_ imtllnll dans lequ `Illi~lilal~~~l1 1C~cLcinent (lllt''i 1111plICIli l'l'i }llll,' ~~' 1'lt'll'na DPV {110 ~ tl~ l~t nue de mima la. rC~l:t ~ÎLI il;ill,'. ~a ilillliUnl_ 'l',' 1 v [1111 .i cnA III
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