FR2894676A1 - Capteur d'humidite avec element de reglage pour regler la quantite maximale d'humidite dans l'element sensible a l'humidite - Google Patents

Abstract

Un capteur d'humidité comprend : un substrat (11); une paire d'électrodes (15) sur le substrat (11); un élément sensible à l'humidité (17) ayant une capacité qui change en fonction de l'humidité; un élément de sortie (18) émettant un signal qui correspond à la capacité; et un élément de réglage (13) pour régler une quantité maximale d'humidité dans l'élément sensible à l'humidité (17) de façon qu'elle soit une quantité maximale d'humidité standard. L'élément sensible à l'humidité (17) peut absorber de l'humidité jusqu'à la quantité maximale d'humidité. L'élément de réglage (13) comprend au moins un d'un élément (13) pour réduire la quantité maximale d'humidité, et d'un élément pour augmenter la quantité maximale d'humidité.

Description

CAPTEUR D'HUMIDITE AVEC ELEMENT DE REGLAGE POUR REGLER LA QUANTITE

MAXIMALE D'HUMIDITE DANS L'ELEMENT SENSIBLE A L'HUMIDITE La présente invention concerne un capteur 5 d'humidité avec un élément de réglage pour régler une quantité maximale d'humidité dans un élément sensible à l'humidité. Un capteur d'humidité pour détecter l'humidité dans l'atmosphère est exposé par exemple dans le 10 document JP-A-H02-140654. Ce capteur d'humidité comprend une pellicule sensible à l'humidité constituée d'un haut polymère ayant des caractéristiques d'ab-sorption d'humidité. La pellicule sensible à l'humidité a de multiples pores fins, dont les dimensions 15 sont environ de quelques nanomètres. L'humidité est absorbée dans les pores fins et désorbée à partir des pores fins. La constante diélectrique de la pellicule sensible à l'humidité est changée conformé-ment à l'absorption et à la désorption de l'humidi- 20 té. De façon générale, la constante diélectrique de l'humidité est supérieure à celle du haut polymère. Par conséquent, lorsque la pellicule sensible à l'humidité absorbe l'humidité, la constante diélectrique de la pellicule augmente. En détectant une 25 capacité de la pellicule sensible à l'humidité, on détecte l'humidité de l'atmosphère. Les figures 6A à 6D montrent des caractéristiques de capteur du capteur d'humidité, en référence à la quantité maximale d'humidité dans la pel- 30 licule sensible à l'humidité. Ici, la quantité maxi-male d'humidité est définie en considérant que la pellicule sensible à l'humidité F est capable d'ab-sorber une humidité égale ou inférieure à la quanti-té maximale d'humidité. Les figures 6A à 6C sont des coupes expliquant un changement de la quantité maxi-male d'humidité dans la pellicule sensible à l'humi-dité, conformément au changement d'humidité. La figure 6D montre des caractéristiques de capteur du capteur d'humidité dans chaque condition d'humidité. Ici, les caractéristiques de capteur concernent une relation entre un signal de sortie de capteur et une hu- midité relative dans l'atmosphère. Pour ce capteur, lorsque le capteur est fabriqué, la caractéristique du capteur est réglée de façon à être une ligne DB sur la figure 6B. La figure 6A montre le capteur lorsque l'humidité est relativement basse, et la fi- gure 6C montre le capteur lorsque l'humidité est relativement élevée. Lorsque l'humidité devient plus élevée, la pellicule F gonfle, et par conséquent le capteur passe d'un état de la figure 6B à un état de la figure 6C. Lorsque l'humidité devient inférieure, la pellicule F se rétracte et par conséquent le capteur passe d'un état de la figure 6B à un état de la figure 6A. Lorsque le capteur vient d'être fabriqué, le diamètre du pore fin P dans la pellicule sensible à l'humidité F est défini comme DB, et la quantité maximale d'humidité dans la pellicule F est définie comme VB. Lorsque le capteur est maintenu dans une condition d'humidité relativement élevée, la pelli-cule F gonfle conformément à l'absorption d'humidi- té. Dans ce cas, le diamètre du pore fin P passe de DB à DC. Par conséquent, la moyenne de la distribu- tion de diamètres des pores fins P devient plus grande. Dans ce cas, la quantité maximale d'humidité dans la pellicule F augmente de VB à VC. Par conséquent, l'humidité dans l'atmosphère est aisément absorbée dans la pellicule F. Il en résulte que, même lorsque l'humidité est la même, le changement de ca- pacité de la pellicule F devient plus grand. De ce fait, comme représenté sur la figure 6D, le signal de sortie du capteur devient plus grand, ce qui fait que la caractéristique du capteur passe de DB à DC. De façon spécifique, la sensibilité du capteur visà-vis de l'humidité devient plus grande. Dans ce cas, les problèmes suivants apparais-sent. Par exemple, lorsque l'humidité dans l'atmosphère est RH2 sur la figure 6D, le signal de sortie du capteur est V2 dans un cas dans lequel le capteur a la caractéristique de capteur DB, qui est la caractéristique de capteur initiale. Cependant, la quantité maximale d'humidité dans la pellicule F augmente, ce qui fait que la caractéristique de capteur change pour devenir la caractéristique DC. Le signal de sortie du capteur change donc de V2 à V3. Dans ce cas, du fait que la caractéristique de capteur est réglée de façon à être DB, le capteur d'humidité calcule pour l'humidité la valeur RH3, qui correspond au signal de sortie V3. Bien que l'humi- dité réelle soit RH2, l'humidité détectée est RH3, qui est supérieure à l'humidité réelle. Lorsque le capteur est maintenu dans une condition d'humidité relativement faible, comme re- présenté sur la figure 6A, l'humidité est désorbée à partir de la pellicule F. Dans ce cas, le diamètre du pore fin P change de DB à DA. Par conséquent, la moyenne de la distribution de diamètres des pores fins P devient plus faible. Dans ce cas, la quantité maximale d'humidité dans la pellicule F diminue de VB à VA. Par conséquent:, l'humidité dans l'atmosphère n'est pas aisément absorbée dans la pellicule F. Il en résulte que, même lorsque l'humidité est la même, le changement de capacité de la pellicule F devient plus faible. Par conséquent, comme représenté sur la figure 6D, le signal de sortie de capteur devient plus faible, ce qui fait que la caractéristique de capteur change de DB à DA. De façon spéci- fique, la sensibilité du capteur vis-à-vis de l'humidité devient plus faible. Dans ce cas, les problèmes suivants apparais-sent. Par exemple, lorsque l'humidité dans l'atmosphère est RH2 sur la figure 6D, le signal de sortie du capteur est V2 dans un cas où le capteur a la caractéristique de capteur DB, qui est la caractéristique de capteur initiale. Cependant, la quantité maximale d'humidité dans la pellicule F augmente, ce qui fait que la caractéristique de capteur change pour devenir la caractéristique DA. Par conséquent, le signal de sortie du capteur change de V2 à V1. Dans ce cas, du fait que la caractéristique de capteur est réglée de façon à être DB, le capteur d'humidité calcule pour l'humidité la valeur RH1, qui correspond au signal de sortie V1. Bien que l'humidité réelle soit RH2, l'humidité détectée est RH1, qui est inférieure à l'humidité réelle. Par conséquent, la caractéristique de capteur change conformément à l'environnement dans lequel le capteur est disposé avant la détection d'humidité. On peut donc observer une erreur de détection. Compte tenu du problème décrit ci-dessus, un but de la présente invention est de procurer un cap- teur d'humidité. Conformément à un aspect de la présente invention, un capteur d'humidité comprend : un substrat; une paire d'électrodes disposées sur le subs- trat d'une manière telle que les électrodes soient mutuellement séparées d'une distance prédéterminée entre elles; un élément sensible à l'humidité disposé entre les électrodes, l'élément sensible à l'humidité ayant une capacité qui peut changer conformé- ment à l'humidité; un élément de sortie connecté aux électrodes dans le but de détecter une capacité de l'élément sensible à l'humidité, et d'émettre un signal correspondant à la capacité; et un élément de réglage pour régler une quantité maximale d'humidité dans l'élément sensible à. l'humidité, de façon que ce soit une quantité maximale d'humidité standard. L'élément sensible à l'humidité est capable d'absorber de l'humidité jusqu'à la quantité maximale d'humidité. L'élément de réglage comprend au moins un d'un élément pour réduire la quantité maximale d'humidité et d'un élément pour augmenter la quantité maximale d'humidité. Avantageusement, le capteur est monté dans un véhicule automobile; et l'élément de réglage règle la quantité maximale d'humidité de façon qu'elle soit la quantité maximale d'humidité standard au mo- ment de la fermeture d'un interrupteur de démarrage du véhicule, ou le capteur est monté dans un véhi- cule automobile; et l'élément de réglage règle la quantité maximale d'humidité de façon qu'elle soit la quantité maximale d'humidité standard, au moment de l'ouverture d'un interrupteur de démarrage du vé- hicule. De même, la quantité maximale d'humidité standard peut être une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité, ou approximativement une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité. Avantageusement, l'élément pour réduire la quan- tité maximale d'humidité est un élément chauffant pour chauffer l'élément sensible à l'humidité, de façon que la quantité maximale d'humidité soit réglée à la quantité maximale d'humidité standard. En variante, la quantité maximale d'humidité standard est une limite supérieure de la quantité maximale d'humidité, ou approximativement une limite supérieure de la quantité maximale d'humidité. L'élément pour augmenter la quantité maximale d'humidité peut être un élément de fourniture d'humidité pour four- nir de l'humidité à l'élément sensible à l'humidité, de façon que la quantité maximale d'humidité soit réglée à la quantité maximale d'humidité standard. Le capteur peut en outre comprendre un élément chauffant pour chauffer l'élément sensible à l'humi- dité, et l'élément sensible à l'humidité peut consister en un poly-imide. En outre, chaque électrode peut avoir une partie en dents de peigne, de façon que les parties en dents de peigne des électrodes soient mutuelle- ment interdigitées. Dans ce cas, avantageusement, l'élément de réglage est un élément chauffant pour chauffer l'élément sensible à l'humidité, de façon que la quantité maximale d'humidité standard soit réglée à une limite inférieure de la quantité maxi- male d'humidité, ou approximativement à une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité; et l'élément chauffant a une forme en méandres de façon que la partie en dents de peigne de chaque électrode soit en recouvrement avec la forme en méandres de l'élément chauffant. De préférence, l'élément chauffant, l'électrode et l'élément sensible à l'humidité sont superposés sur le substrat dans cet ordre. En variante, l'élément de réglage peut être un élément de fourniture d'humidité pour fournir de l'humidité à l'élément sensible à l'humidité, de façon que la quantité maximale d'humidité standard soit réglée à une limite supérieure de la quantité maximale d'hu- midité, ou approximativement à une limite supérieure de la quantité maximale d'humidité; et l'élément de réglage est disposé sur une pellicule sensible à l'humidité. Dans ce cas, de préférence, le capteur comprend en outre un élément chauffant pour chauffer l'élément sensible à l'humidité; et en ce que l'élément chauffant a une forme en méandres de façon que la partie en dents de peigne de chaque électrode soit en recouvrement avec la forme en méandres de l'élément chauffant, et l'élément chauffant, l'élec- trode et l'élément sensible à l'humidité sont super-posés sur le substrat, dans cet ordre. Dans le capteur ci-dessus, avant la détection de l'humidité, la caractéristique du capteur re-tourne de façon reproductible à la caractéristique standard, de façon à améliorer l'exactitude de détection du capteur. Les buts, caractéristiques et avantages de la présente invention mentionnés ci-dessus, ainsi que d'autres, ressortiront davantage de la description détaillée suivante, faite en référence aux dessins annexés. Dans les dessins . La figure 1 est une vue en plan montrant un capteur d'humidité; La figure 2 est une coupe montrant le capteur selon une ligne II-II sur la figure 1; La figure 3 est une représentation graphique montrant des caractéristiques de capteur du capteur 5 de la figure 1; La figure 4 est une coupe montrant un autre capteur d'humidité; La figure 5 est une représentation graphique montrant des caractéristiques de capteur du capteur 10 de la figure 4; La figure 6A est une coupe montrant un capteur d'humidité dans une condition de faible humidité, la figure 6B est une coupe montrant le capteur à un stade de fabrication, la figure 6C est une coupe 15 montrant le capteur dans une condition d'humidité élevée, et la figure 6D est une représentation graphique montrant des caractéristiques de capteur du capteur des figures 6A à 6C, en conformité avec l'art antérieur. (Premier Mode de réalisation) Un capteur d'humidité 10 est représenté sur les figures 1-3. Le capteur 10 comprend une première pellicule isolante 12, un élément chauffant 13, une seconde pellicule isolante 14, une électrode de dé- 25 tection 15, une pellicule de protection 16 et une pellicule sensible à l'humidité 17, qui sont super-posés dans cet ordre sur un substrat 11. L'élément chauffant 13 est connecté électriquement à un élément de commande d'élément chauffant 30 19 par l'intermédiaire d'une plage d'électrode d'élément chauffant 13a. L'élément de commande d'élément chauffant 19 est connecté électriquement à un interrupteur de démarrage 31, par exemple d'un 20 véhicule automobile. L'électrode de détection 15 est connectée électriquement à un élément de sortie 18 par l'intermédiaire d'une plage d'électrode 15b. L'élément de sortie 18 émet un signal de tension correspondant à une capacité détectée de la pellicule sensible à l'humidité 17. Le substrat 11 est constitué d'un matériau semiconducteur tel que le silicium. La première pellicule isolante 12 est formée sur une face du subs- trat 11. La première pellicule isolante 12 est constituée d'oxyde de silicium. L'élément chauffant 13 est formé sur la première pellicule isolante 12. L'élément chauffant 13 consiste par exemple en une pellicule mince de silicium polycristallin. La pre- mière pellicule isolante 12 a une forme en méandres ayant une largeur prédéterminée. La largeur de la première pellicule isolante 12 est presque la même que celle d'une partie en dents de peigne 15a de l'électrode de détection 15. La première pellicule isolante 12 est disposée au-dessous de la partie en dents de peigne 15a de l'électrode de détection 15. La seconde pellicule isolante 14 est formée, par exemple, par un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) par plasma, de façon à couvrir l'élément chauffant 13 et la première pellicule isolante 12. La seconde pellicule isolante 14 consiste en oxyde de silicium. Ici, l'épaisseur de la seconde pellicule isolante 14 est uniforme sur l'étendue de l'élément chauffant 13 et de la seconde pellicule isolante 14. Par conséquent, une concavité 14a est formée entre des lignes voisines de l'élément chauffant 13. L'électrode de détection 15 comprend une paire de parties en dents de peigne 15a, qui se font face et sont disposées sur la seconde pellicule isolante 14. L'électrode de détection 15 est formée de façon qu'une pellicule d'aluminium soit déposée sur la seconde pellicule isolante 14, en utilisant par exemple un procédé de pulvérisation cathodique. En-suite, on définit un motif dans la pellicule d'aluminium de façon à avoir un motif en dents de peigne sur l'élément chauffant 13, ce qui achève la forma- tion de l'électrode de détection 15. Les parties en dents de peigne 15a sont interdigitées. De façon spécifique, une partie en dents de peigne 15a est disposée entre les dents de l'autre partie en dents de peigne 15a. L'électrode de détection 15 peut être constituée d'un matériau métallique à faible résistance, tel que le cuivre, l'or et le platine. La pellicule de protection 16 est formée sur la seconde pellicule isolante 14 de façon à recouvrir l'électrode de détection 15, pour que la pelli- cule de protection 16 protège l'électrode de détection 15 contre l'érosion due à l'humidité. La pellicule de protection 16 est constituée d'une pellicule de nitrure de silicium, qui est formée par exemple par le procédé de CVD par plasma. L'épaisseur de la pellicule de protection 16 est homogène de façon à couvrir la seconde pellicule isolante 14. Par conséquent, une concavité 16a est formée entre les par-ties en dents de peigne 15a. La pellicule sensible à l'humidité 17 est formée sur la pellicule de protection 16. La capaci- té de la pellicule sensible à l'humidité 17 peut changer conformément à l'humidité dans l'atmosphère. La pellicule sensible à l'humidité 17 recouvre l'électrode de détection 15 et un intervalle entre les parties en dents de peigne 15a de l'électrode de détection 15. La pellicule sensible à l'humidité 17 est formée d'une manière selon laquelle une pelli- cule de résine polyimide est appliquée sur la pellicule de protection 16 en utilisant un procédé de re-vêtement par centrifugation, un procédé d'impression, ou autres. Ensuite, la pellicule de résine de poly-imide est chauffée à une température prédéter- minée de façon à durcir la pellicule de résine polyimide. Par conséquent, la pellicule de résine polyimide a une épaisseur de l'ordre de quelques micro-mètres. La pellicule sensible à l'humidité 17 a de multiples pores fins ayant une dimension de quelques nanomètres. Le pore fin est capable d'absorber l'humidité dans l'atmosphère et de désorber vers l'atmosphère l'humidité dans le pore, ce qui a pour effet de changer la constante diélectrique de la pellicule sensible à l'humidité 17. La constante dié- lectrique de l'humidité est plus grande que celle de la pellicule de résine de polyimide. Par conséquent, la constante diélectrique de la pellicule sensible à l'humidité 17 devient plus grande en conformité avec l'humidité absorbée dans les pores fin, lorsque la pellicule sensible à l'humidité 17 absorbe l'humidité conformément à l'humidité dans l'atmosphère. Il en résulte que la capacité d'un condensateur formé par l'électrode de détection 15 et la pellicule sensible à l'humidité 17 entre des parties en dents de peigne 15a, est changée. La capacité est mesurée par l'élément de sortie 18, et un signal de tension correspondant à la capacité est émis à partir de l'élément de sortie 18. L'humidité dans l'atmosphère est détectée sur la base du signal de tension et de la caractéristique du capteur 10. Du fait que l'électrode de détection 15 a le motif en dents de peigne, une aire en regard totale des parties en dents de peigne 15a devient grande, bien qu'une aire plane de l'électrode de détection 15 soit faible. Par conséquent, le changement de capacité du condensateur conformément au changement d'humidité dans l'atmosphère devient plus grand, ce qui fait que la sensibilité du capteur 10 est améliorée. En outre, la concavité 16a est formée sur la pellicule de protection 16, de façon que la quantité de la pellicule sensible à l'humidité 17 qui se trouve entre les parties en dents de peigne 15a, augmente. Par conséquent, la sensibilité du capteur 10 est améliorée, en comparaison avec un cas dans lequel l'élément chauffant 13 n'est pas disposé au-dessous des parties en dents de peigne 15a, et le capteur 10 n'a pas de concavité 16a entre les par-ties en dents de peigne 15a. La figure 3 montre une variation de la carac- téristique du capteur 10 en fonction de la quantité maximale d'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17. Ici, la quantité maximale d'humidité est définie de façon que la pellicule sensible à l'humidité 17 soit capable d'absorber une humidité égale ou inférieure à la quantité maximale d'humidi- té. Sur la figure 3, par exemple, une courbe M re- présente la caractéristique de capteur lorsque le capteur 10 vient d'être fabriqué, c'est-à-dire que la courbe M est la caractéristique de capteur ini- tiale au moment de la fabrication. Ici, la caracté- ristique de capteur est une relation entre le changement d'humidité, c'est-à-dire le changement d'humidité relative, et le signal de sortie du capteur 10.

Lorsque le capteur 10 est déplacé dans un certain environnement ayant une certaine humidité, qui est différente de l'humidité d'environnement initiale, la caractéristique de capteur est changée à partir de la caractéristique initiale M, pour de- venir une autre caractéristique. Par conséquent, la quantité maximale d'humidité est changée à partir de la quantité maximale initiale vers une certaine quantité maximale, c'est-à-dire que la moyenne du diamètre des pores fins dans la pellicule sensible à l'humidité 17 est changée à partir du diamètre initial vers un certain diamètre. Par conséquent, dans un capteur classique, le capteur émet le signal correspondant à l'humidité sur la base de la caractéristique changée, et l'humidité est détectée en uti- lisant le signal et la caractéristique initiale M, ce qui fait qu'on peut observer une erreur de détection de l'humidité. Compte tenu de cette difficulté, avant que le capteur ne détecte l'humidité, la caractéristique changée du capteur 10 est ramenée à la caractéristique initiale M. Pour effectuer ce re-tour, il est nécessaire de régler la caractéristique initiale M de façon qu'elle soit une caractéristique de capteur aisément reproductible. Dans ce mode de réalisation, lorsque la ca- ractéristique initiale du capteur 10 est réglée juste après que le capteur a été fabriqué, la quan-tité maximale initiale d'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 est réglée de façon à être une limite inférieure de la quantité maximale d'hu- midité, ou à être une valeur proche de la limite in-férieure. Ensuite, le signal de sortie du capteur 10 est détecté conjointement à un changement de l'humi- dité. Par conséquent, la caractéristique de capteur standard L sur la figure 3 est obtenue et mémorisée dans l'élément de sortie 18 sur la base de la rela- tion entre l'humidité et le signal de sortie. Ici, lorsque la pellicule sensible à l'humidité 17 est 10 maintenue dans la condition de faible humidité, la moyenne des pores fins dans la pellicule sensible à l'humidité 17 devient plus faible, ce qui fait que la quantité d'humidité dans les pores fins est ré- duite. Par conséquent, le signal de sortie du cap-15 teur 10 est également réduit, et la sensibilité vis-à-vis de l'humidité est réduite. La caractéristique de capteur est donc changée à partir de la caractéristique initiale M pour devenir la caractéristique standard L. Par exemple, le capteur 10 est maintenu dans une condition prédéterminée pendant un temps prédé- terminé, en utilisant une chambre à température constante ou autres. Ici, la condition est par exem- ple telle que la température soit de 85 C, l'humidi- 25 té soit égale ou inférieure à 10% d'humidité rela- tive, et le temps prédéterminé soit, par exemple, de 200 heures. Dans ce cas, la quantité maximale d'hu- midité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 devient la limite inférieure ou approximativement la 30 limite inférieure. Cette condition est définie comme la condition standard. Ensuite, la caractéristique de capteur standard L est mesurée et réglée sur la base d'une relation entre l'humidité et le signal de 20 sortie du capteur 10. Lorsque la quantité maximale d'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 est la limite inférieure de la quantité maximale d'humidité, la moyenne du diamètre des pores fins dans la pellicule 17 est minimisée, ce qui fait que la caractéristique standard L montre la limite inférieure de sensibilité vis-à-vis de l'humidité. Par conséquent, la caractéristique standard L est réglée de façon à être la limite inférieure de la quantité maximale d'humidité. Dans ce cas, lors-que le capteur détecte l'humidité, l'humidité est éliminée le plus possible avant la détection de l'humidité. La caractéristique de capteur devient la caractéristique standard L. Après ceci, l'humidité est détectée par le capteur 10 avec la caractéristique de capteur standard L. Dans ce cas, l'humidité est détectée de manière exacte et avec une reproductibilité élevée. Ici, la pellicule sensible à l'humidité 17 peut être chauffée par l'élément chauffant 13 juste après que le capteur 10 a été fabriqué, de façon que la quantité maximale d'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 devienne la limite inférieure, c'est-à-dire que la caractéristique de cap- teur devient la caractéristique standard L. Dans ce cas, il n'est pas nécessaire de maintenir le capteur dans la condition prédéterminée en utilisant la chambre à température constante. De façon spécifique, la caractéristique standard L est établie sans utiliser la chambre à température constante ou autres. Avant que le capteur 10 ne détecte l'humidité, la caractéristique de capteur est ramenée à la caractéristique standard L. Par exemple, dans un cas où le capteur 10 est monté sur un véhicule automobile, la pellicule sensible à l'humidité 17 est chauffée à environ 100 C pendant 30 minutes en ali- mentant l'élément chauffant 13 par l'intermédiaire de l'élément de commande d'élément chauffant 19, lorsqu'un conducteur ferme l'interrupteur de démarrage 31, tel qu'un contact d'allumage. Par conséquent, la quantité maximale d'humidité dans la pel- licule sensible à l'humidité 17 est ramenée à la limite inférieure ou approximativement la limite inférieure, c'est-à-dire que la caractéristique de capteur est ramenée à la caractéristique standard L. Ainsi, juste après la fermeture de l'inter-rupteur de démarrage 31, la caractéristique de capteur est changée pour devenir la caractéristique standard L, en une courte durée. Par conséquent, le capteur 10 détecte l'humidité sur la base de la caractéristique standard L, qui est réglée initiale- ment. Ainsi, même lorsque la pellicule sensible à l'humidité 17 absorbe l'humidité de façon prélimi- naire, la caractéristique de capteur est ramenée à la caractéristique standard L. La caractéristique de 25 capteur est donc hautement reproductible, ce qui fait que le capteur 10 détecte l'humidité avec une grande exactitude. De façon spécifique, l'influence de l'écart de la caractéristique de capteur par rap-port à la caractéristique initiale M est éliminée. Dans un cas où le conducteur conduit le véhicule à des intervalles fréquents, la pellicule sensible à l'humidité 17 peut être chauffée en mettant sous tension l'élément chauffant, de façon que la 30 caractéristique de capteur soit réglée à la caracté- ristique standard L lorsque l'interrupteur de démar- rage 31 du véhicule est ouvert. Dans ce cas, il n'est pas exigé de préparer le capteur 10 pour dé- tecter immédiatement l'humidité. Par conséquent, la condition de chauffage peut être assouplie. Par exemple, la condition de chauffage est telle que la température de chauffage soit de 65 C, et le temps de chauffage soit d'environ 5 minutes. Selon une variante, la pellicule sensible à l'humidité 17 peut être chauffée à un certain moment autre qu'une opération de fermeture et une opération d'ouverture d'interrupteur de démarrage du véhicule. Par exemple, lorsqu'un intervalle entre l'opération 15 d'ouverture la plus récente et l'opération de ferme- ture suivante ne dépasse pas 6 heures, l'élément chauffant n'est pas mis sous tension, même au moment de la fermeture de l'interrupteur de démarrage 31. Selon une variante, le conducteur ou un pas-20 sager du véhicule peut actionner un interrupteur pour l'élément chauffant 13. Dans ce cas, par exem- ple, le conducteur met en fonction l'élément chauf- fant 13 avant la marche du véhicule, de façon à chauffer la pellicule sensible à l'humidité 17. 25 Selon une variante, l'élément chauffant 13 peut être toujours sous tension, de façon à chauffer la pellicule sensible à l'humidité 17. L'élément chauffant 13 cesse de chauffer la pellicule sensible à l'humidité 17 seulement lorsque l'humidité est dé-30 tectée par le capteur. Ensuite, l'humidité est dé- tectée. Selon une variante, la pellicule sensible à l'humidité 17 peut être chauffée pendant la marche10du véhicule. Dans ce cas, le signal de sortie du capteur d'humidité 10 n'est pas utilisé pour un autre système tel qu'un système de climatisation. Par exemple, la pellicule sensible à l'humidité 17 peut être chauffée pendant la marche du véhicule lorsque la température d'un compartiment de passagers est détectée à une valeur voisine de 40 C par un capteur d'air intérieur, lorsqu'un capteur de rayonnement solaire détecte un niveau de rayonnement solaire égal ou supérieur à une valeur prédéterminée, ou lorsqu'une unité de commande électronique (ECU) dé-termine qu'il n'est pas nécessaire d'utiliser le signal de sortie du capteur d'humidité 10 dans un autre système, dans un cas où de l'information concer- nant les conditions climatiques et/ou la saison est obtenue par un système d'information GPS ou d'autres systèmes de communication. Dans ce cas, l'élément chauffant 13 ne chauffe pas la pellicule sensible à l'humidité 17 jusqu'à ce que le capteur détecte l'humidité. De façon spécifique, la pellicule sensible à l'humidité 17 est chauffée juste avant que le capteur ne détecte l'humidité. La sensibilité du capteur 10 est donc améliorée. Selon une variante, il est possible de faire fonctionner l'élément chauffant 13 sur la base de la température dans l'habitacle du véhicule, la température étant détectée par un capteur de température d'air d'habitacle. Par exemple, en hiver, la température de l'habitacle est par exemple inférieure ou égale à 10 C. Dans une telle condition de faible température et de faible humidité, la caractéristique de capteur ne varie pratiquement pas. Par conséquent, il n'est pas nécessaire de faire fonctionner l'élément chauffant 13. En outre, en été, la température de l'habitacle est par exemple égale ou supérieure à 40 C. Dans ce cas, un système de climatisation fonctionne toujours, ce qui fait qu'il n'est pas nécessaire d'utiliser le signal de sortie du capteur d'humidité 10 pour commander le système de climatisation. Par conséquent, l'élément chauffant 13 est actionné de façon à ramener la caractéristique de capteur à la caractéristique standard. Ainsi, par exemple, l'élément chauffant 13 est actionné et/ou cesse de chauffer la pellicule sensible à l'humidité 17, sur la base de la température de l'habitacle. Par conséquent, du fait que l'élément chauffant 13 est actionné seulement en cas de nécessité, la consommation d'énergie de l'élément chauffant 13 est réduite. Ici, les conditions de température ci-dessus ne sont pas limitées à 10 C et 40 C. Le substrat 11 peut être constitué d'un subs- trat isolant tel qu'un substrat en verre et un subs- trat en résine. Lorsque l'électrode de détection 15 n'est pas érodée ou détériorée par l'environnement, le capteur 10 peut ne pas comporter la pellicule de 25 protection 16. En outre, l'électrode de détection 15 peut ne pas comporter le motif en dents de peigne. Selon une variante, l'électrode de détection 15 peut avoir une structure dans laquelle une paire d'élec- trodes sous forme de plaquettes sont disposées face 30 à face. L'élément chauffant 13 peut ne pas être dis- posé sur la première pellicule isolante 12. Selon une variante, une pellicule isolante peut être for- mée sur une surface arrière du substrat 11, et20 l'élément chauffant 13 est formé sur la face arrière du substrat avec interposition de la pellicule isolante. En outre, l'élément chauffant 13 peut être formé sur la pellicule sensible à l'humidité 17. Le capteur 10 peut avoir une autre structure, à condition que la pellicule sensible à l'humidité 17 soit formée entre les parties en dents de peigne 15a. Dans le capteur 10 ci-dessus, l'humidité absorbée dans la pellicule sensible à l'humidité 17 est évaporée en utilisant l'élément chauffant 13, de façon que la quantité maximale d'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 soit réglée pour être la limite inférieure, ou approximativement la limite inférieure, de la quantité maximale d'humidi- té, qui est prise initialement comme la caractéristique standard. Ainsi, avant la détection de l'humidité, le capteur a la caractéristique standard L avec une re-productibilité élevée. Par conséquence, l'influence d'un écart de la caractéristique de capteur vis-à-vis de la caractéristique initiale M est éliminée. En outre, l'exactitude de détection de l'humidité est améliorée. La caractéristique de capteur est restaurée de façon à être la caractéristique standard L, au moment de la fermeture de l'interrupteur de démar- rage 31 du véhicule. Par conséquent, avant que l'hu- midité dans l'habitacle ne soit détectée, la carac- téristique de capteur est restaurée de façon à être la caractéristique standard L, avec une reproducti- bilité élevée. L'influence de l'écart de la caracté- ristique de capteur vis-à-vis de la caractéristique initiale M est donc éliminée. En outre, l'exactitude de détection de l'humidité est améliorée. Par conséquent, les données d'humidité pour commander divers systèmes du véhicule et pour commander diverses conditions, comme l'humidité dans le véhicule, sont détectées avec exactitude, ce qui fait que le conducteur et les passagers dans le véhicule peuvent occuper le véhicule dans une bonne condition de confort. Du fait que la pellicule sensible à l'humidi- té 17 est constituée de résine de polyimide, l'élément chauffant 13 peut chauffer la pellicule sensible à l'humidité 17 jusqu'à une température relativement élevée. Ceci vient du fait que la résine de polyimide a une forte résistance à la température.

L'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 peut donc être évaporée en un temps relativement court. Du fait que les parties en dents de peigne 15a sont interdigitées, l'aire en regard totale des parties en dents de peigne 15a est maximisée. En outre, la concavité 16a est formée entre les parties en dents de peigne 15a, ce qui fait que le volume de la pellicule sensible à l'humidité 17 disposée entre les parties en dents de peigne 15a devient plus grand. Par conséquent, le changement de capacité en fonction du changement d'humidité est maximisé, ce qui améliore la sensibilité du capteur 10. (Second Mode de Réalisation) La figure 4 montre un capteur d'humidité conforme à un second mode de réalisation. La figure 5 montre une variation de la caractéristique de cap- teur du capteur 10 en fonction de la quantité maxi- male d'humidité dans la pellicule sensible à l'humi- dité 17. Le capteur 10 comprend un élément de fourniture d'humidité 21 pour fournir de l'humidité à la pellicule sensible à l'humidité 17. L'élément de fourniture d'humidité 21 fournit une atmosphère à température élevée et humidité élevée à la pellicule sensible à l'humidité 17, en utilisant un gaz d'émission, qui est retourné vers un compartiment moteur.

Dans ce mode de réalisation, lorsque la caractéristique initiale du capteur 10 est réglée juste après la fabrication du capteur, la quantité maximale initiale d'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 est réglée de façon à être une limite supérieure de la quantité maximale d'humidité, ou à être une valeur proche de la limite supérieure. Ensuite, le signal de sortie du capteur 10 est détecté tout en changeant l'humidité. Par conséquent, la caractéristique de capteur standard H sur la figure 5 est obtenue et mémorisée dans l'élément de sortie 18 sur la base de la relation entre l'humidité et le signal de sortie. Ici, lorsque la pellicule sensible à l'humidité 17 est maintenue dans la condition d'humidité élevée, la moyenne des pores fins dans la pellicule sensible à l'humidité 17 de-vient plus grande, ce qui fait que la quantité d'humidité dans les pores fins est augmentée. Par conséquent, le signal de sortie du capteur 10 est égale-ment augmenté, et la sensibilité vis-à-vis de l'hu-midité est augmentée. La caractéristique de capteur est donc changée pour passer de la caractéristique initiale M à la caractéristique standard H. Par exemple, le capteur 10 est maintenu sous une condition prédéterminée pendant un temps prédéterminé en utilisant une chambre à température cons-tante ou autres. Ici, la condition est par exemple telle que la température soit de 85 C, l'humidité soit égale à 90% d'humidité relative, et le temps prédéterminé soit, par exemple de 200 heures. Dans ce cas, la quantité maximale d'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 devient la limite supérieure ou approximativement la limite supé- rieure. Cette condition est définie comme la condition standard. Ensuite, la caractéristique de capteur standard H est mesurée et réglée sur la base de l'humidité et du signal de sortie du capteur 10. Lorsque la quantité maximale d'humidité dans la pel- licule sensible à l'humidité 17 est la limite supérieure de la quantité maximale d'humidité, la moyenne du diamètre des pores fins dans la pellicule 17 est maximisée, ce qui fait que la caractéristique standard H montre la limite supérieure de sensibili- té vis-à-vis de l'humidité. Par conséquent, la caractéristique standard H est prise comme étant la limite supérieure de la quantité maximale d'humidité. Dans ce cas, lorsque le capteur détecte l'humidité, l'humidité est élimi- née le plus possible avant la détection de l'humidité. La caractéristique de capteur devient la caractéristique standard H. Après ceci, l'humidité est détectée par le capteur 10 avec la caractéristique de capteur standard H. Dans ce cas, l'humidité est détectée avec exactitude et avec une reproductibilité élevée. Dans ces conditions, il est possible d'ajouter de l'humidité dans la pellicule sensible à l'hu- midité 17 en utilisant l'élément de fourniture d'humidité 21 juste après que le capteur 10 a été fabriqué, de façon que la quantité maximale d'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 devienne la limite supérieure, c'est-à-dire que la caractéristique de capteur devienne la caractéristique standard H. Avant que le capteur 10 ne détecte l'humidité, la caractéristique de capteur est ramenée à la caractéristique standard H. Par exemple, dans un cas où le capteur 10 est monté dans un véhicule automobile, de l'humidité est ajoutée dans la pellicule sensible à l'humidité 17 en utilisant l'élément de fourniture d'humidité 21 lorsqu'un conducteur ferme l'interrupteur de démarrage 31, tel qu'un contact d'allumage. Par conséquent, la quantité maximale d'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 est ramenée à la limite supérieure ou approximativement la limite supérieure, c'est-à-dire que la caractéristique de capteur est ramenée à la caractéristique standard H. Par conséquent, juste après la fermeture de l'interrupteur de démarrage 31, la caractéristique de capteur est changée pour devenir la caractéristi- que standard H, en une courte durée. De ce fait, le capteur 10 détecte l'humidité sur la base de la caractéristique standard H, qui est réglée initiale-ment. Par conséquent, même lorsque la pellicule sensible à l'humidité 17 absorbe préalablement l'hu- midité, la caractéristique de capteur est ramenée à la caractéristique standard H. La caractéristique de capteur est donc hautement reproductible, ce qui fait que le capteur 10 détecte l'humidité avec une exactitude élevée. De façon spécifique, l'influence de l'écart de la caractéristique de capteur vis-à-vis de la caractéristique initiale M est éliminée.

En outre, lorsque l'humidité dans l'atmosphère est élevée, l'humidité peut se condenser, ce qui fait qu'une goutte d'eau se forme sur la pellicule sensible à l'humidité 17. Dans ce cas, l'élément de fourniture d'humidité 21 cesse de fournir l'humidité à la pellicule sensible à l'humidité 17, et l'élément chauffant 13 chauffe la pellicule sensible à l'humidité 17 de façon que la goutte d'eau soit éliminée de la pellicule sensible à l'humidité 17. Par conséquent, la caractéristique de capteur est ramenée à la caractéristique standard H de façon que le capteur 10 puisse détecter l'humidité avec exactitude. De l'humidité peut être ajoutée à la pellicule sensible à l'humidité 17 à un certain moment autre qu'une opération de fermeture et une opération d'ouverture d'interrupteur de démarrage. Par exemple, lorsqu'un intervalle entre l'opération d'ouverture d'interrupteur la plus récente et l'opération de fermeture d'interrupteur suivante ne dépasse pas 6 heures, de l'humidité n'est pas ajoutée à la pellicule sensible à l'humidité 17, même au moment de la fermeture de l'interrupteur de démarrage 31. Selon une variante, le conducteur ou un pas-sager du véhicule peut actionner un interrupteur pour l'élément de fourniture d'humidité 21. Dans ce cas, par exemple, le conducteur met en fonction l'élément de fourniture d'humidité 21 de façon que de l'humidité soit ajoutée à la pellicule sensible à l'humidité 17. Dans le capteur 10 ci-dessus, de l'humidité est ajoutée à la pellicule sensible à l'humidité 17 en utilisant l'élément de fourniture d'humidité 21, de façon que la quantité maximale d'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 soit réglée à la limite supérieure ou approximativement la limite supérieure de la quantité maximale d'humidité, qui est prise initialement comme la caractéristique stan- dard. Par conséquent, avant la détection de l'humidité, le capteur a la caractéristique standard H avec une reproductivité élevée. L'influence de l'écart de la caractéristique de capteur vis-à-vis de la caractéristique initiale M est donc éliminée. En outre, l'exactitude de détection de l'humidité est améliorée. (Modifications) L'électrode de détection 15 peut procurer un élément chauffant. Dans ce cas, l'électrode de détection 15 est utilisée non seulement comme l'électrode, mais également comme l'élément chauffant. Par conséquent, il n'est pas nécessaire de former l'élément chauffant 13 et la seconde pellicule isolante 14. Ainsi, un coût de fabrication est réduit et un processus de fabrication est simplifié. Selon une variante, le capteur 10 peut in- clure un ventilateur tel qu'un séchoir pour souffler de l'air chaud sur la pellicule sensible à l'humidi- té 17. Le ventilateur est placé près du capteur 10, de façon à éliminer de l'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17. La quantité maximale d'hu- midité retourne donc à la quantité maximale d'humi- dité standard. Dans ce cas, il n'est pas nécessaire de former l'élément chauffant 13 et le capteur 10. L'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 est éliminée de la pellicule 17 en utilisant un moyen simple tel que le ventilateur. Le capteur 10 peut comporter un magnétron pour générer une onde de haute fréquence ayant par exemple une fréquence de 2, 4 GHz. Le magnétron est placé près de la pellicule sensible à l'humidité 17, de façon à réduire l'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 en faisant résonner la pellicule 17 avec le magnétron. Par conséquent, la caractéristique de capteur est ramenée à la caractéristique de capteur standard L ayant la limite inférieure de la quantité maximale d'humidité, ou une valeur proche de la limite inférieure. Dans ce cas, l'humidité dans la pellicule sensible à l'humidité 17 est éliminée en un temps relativement court, en comparaison avec un cas où l'humidité est éliminée par l'élément chauffant 13. Le capteur 10 peut inclure l'élément chauffant 13 et l'élément de fourniture d'humidité 21. Dans ce cas, les caractéristiques de capteur standards L, H sont obtenues préalablement, et l'utili- sateur tel que le conducteur et/ou le passager du véhicule peut sélectionner la caractéristique de capteur comme la limite supérieure de la quantité maximale d'humidité H, ou la limite inférieure de la quantité maximale d'humidité L. Lorsque la caractéristique de capteur standard est réglée de façon à être la limite inférieure de la quantité maximale d'humidité L, l'écart de la caractéristique de capteur est faible dans un cas où30 le capteur 10 est utilisé dans une condition sèche. Lorsque la caractéristique de capteur standard est réglée de façon à être la limite supérieure de la quantité maximale d'humidité H, l'écart de la caracté-ristique de capteur est faible dans un cas où le capteur 10 est utilisé dans une condition humide. Par conséquent, l'utilisateur du véhicule dé-termine la condition d'environnement du capteur 10, et ensuite l'utilisateur sélectionne la limite infé- rieure de la quantité maximale d'humidité L et l'élément chauffant 13 lorsque le capteur 10 est utilisé dans une condition sèche. En outre, l'utilisateur sélectionne la limite supérieure de la quantité maximale d'humidité H et l'élément de fourni-ture d'humidité 21 lorsque le capteur 10 est utilisé dans une condition humide. Dans le cas ci-dessus, il n'est pas néces- saire de régler préalablement la caractéristique de capteur, ce qui fait que le capteur 10 a une grande 20 généralité d'application. Dans ces conditions, un sélecteur pour sélectionner la caractéristique de capteur peut être dis-posé dans le capteur 10. De façon spécifique, lors-que l'utilisateur introduit un ordre pour sélection- 25 ner la limite inférieure de la quantité maximale d'humidité L, le capteur sélectionne automatiquement l'élément chauffant 13. Lorsque l'utilisateur intro-duit un ordre pour sélectionner la limite supérieure de la quantité maximale d'humidité H, le capteur sé- 30 lectionne automatiquement l'élément de fourniture d'humidité 21. L'élément chauffant 13 et l'élément de fourniture d'humidité 21 procurent un moyen de rétablis- sement, et la pellicule sensible à l'humidité 17 procure un élément sensible à l'humidité. De façon spécifique, l'élément chauffant 13 procure un moyen de chauffage, et l'élément de fourniture d'humidité 21 procure un moyen de fourniture d'humidité. L'exposé ci-dessus a les aspects suivants. Selon un aspect du présent exposé, un capteur d 'humidité comprend : un substrat; une paire d'électrodes disposées sur le substrat d'une manière telle que les électrodes soient séparées l'une de l'autre d 'une distance prédéterminée; un élément sensible à l'humidité disposé entre les électrodes, l'élément sensible à l'humidité ayant une capacité qui peut changer en fonction de l'humidité; et un élément de sortie connecté aux électrodes de façon à détecter une capacité de l'élément sensible à l'humidité et à émettre un signal correspondant à la capacité; et un élément de réglage pour régler une valeur maximale d 'humidité dans l'élément sensible à l'humidité de façon qu'elle soit une valeur maximale d'humidité standard. L'élément sensible à l'humidité est capable d'absorber de l'humidité jusqu'à la valeur maxi-male d'humidité. L'élément de réglage comprend au moins l'un d'un élément pour réduire la quantité maximale d'humidité et d'un élément pour augmenter la quantité maximale d'humidité. Dans le capteur ci-dessus, avant détection de l'humidité, la caractéristique de capteur est rame-née de façon reproductible à la caractéristique standard, de façon que l'exactitude de détection du capteur soit améliorée. Selon une variante, la quantité maximale d'humidité standard peut être une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité, ou approximativement une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité. En outre, l'élément de réglage peut être un élément chauffant pour chauffer l'élément sensi- ble à l'humidité de façon que la quantité maximale d'humidité soit réglée à la valeur maximale d'humidité standard. Dans ce cas, en commandant une condition de chauffage telle qu'un temps de chauffage, on commande la limite inférieure de la quantité maxi- male d'humidité. Par exemple, le temps de chauffage pour atteindre la limite inférieure de la quantité maximale d'humidité est déterminé préalablement. En-suite, l'élément chauffant chauffe la pellicule sensible à l'humidité pendant un temps prédéterminé égal ou supérieur au temps de chauffage déterminé préalablement. Par conséquent, la quantité maximale d'humidité standard devient de façon sûre la limite inférieure de la quantité maximale d'humidité. Selon une variante, la quantité maximale d'humidité standard peut être une limite supérieure de la quantité maximale d'humidité, ou approximativement une limite supérieure de la quantité maximale d'humidité. En outre, l'élément de réglage peut être un élément de fourniture d'humidité pour fournir de l'humidité à l'élément sensible à l'humidité, de façon que la quantité maximale d'humidité soit réglée à la quantité maximale d'humidité standard. Dans ce cas, en commandant une condition de fourniture d'humidité telle qu'un temps de fourniture, on commande la limite supérieure de la quantité maximale d'humidité. Par exemple, le temps de fourniture pour at-teindre la limite supérieure de la quantité maximale d'humidité est déterminé préalablement. Ensuite, l'élément de fourniture d'humidité fournit l'humidité à la pellicule sensible à l'humidité pendant un temps prédéterminé égal ou supérieur au temps de fourniture déterminé préalablement. Par conséquent, la quantité maximale d'humidité standard devient de façon sûre la limite supérieure de la quantité maxi-male d'humidité. Selon une variante, chaque électrode peut avoir une partie en dents de peigne, de façon que les parties en dents de peigne des électrodes soient mutuellement interdigitées. En outre, l'élément de réglage peut être un élément chauffant pour chauffer l'élément sensible à l'humidité de façon que la quantité maximale d'humidité standard soit réglée à une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité, ou approximativement à une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité, et l'élément chauffant a une forme en méandres de façon que la partie en dents de peigne de chaque électrode soit en recouvrement avec la forme en méandres de l'élément chauffant. En outre, l'élément chauffant, l'électrode et l'élément sensible à l'humidité peu-vent être superposés sur le substrat, dans cet ordre. En outre, l'élément de réglage peut être un élément fournissant de l'humidité, pour fournir de l'humidité à l'élément sensible à l'humidité de fa- çon que la quantité maximale d'humidité standard soit réglée à une limite supérieure de la quantité 30 maximale d'humidité, ou approximativement à une li- mite supérieure de la quantité maximale d'humidité, et l'élément de réglage est disposé sur la pellicule sensible à l'humidité. En outre, le capteur peut25 comprendre également un élément chauffant pour chauffer l'élément sensible à l'humidité. L'élément chauffant a une forme en méandres de façon que la partie en dents de peigne de chaque électrode soit en recouvrement avec la forme en méandres de l'élément chauffant, et l'élément chauffant, l'électrode et l'élément sensible à l'humidité sont superposés sur le substrat dans cet ordre. Bien que l'invention ait été décrite en réfé- rence à des modes de réalisation préférés de celle-ci, il faut noter que l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation et structures préférés. L'invention vise à couvrir diverses modifications et des agencements équivalents. De plus, bien qu'on ait décrit les diverses combinaisons et configurations qui sont préférées, d'autres combinaisons et configurations, incluant plus ou moins d'éléments ou seulement un élément unique, entrent également dans l'esprit et le cadre de l'invention.

Claims (14)

REVENDICATIONS

1. Capteur d'humidité, caractérisé en ce qu'il comprend : un substrat (11); une paire d'élec- trodes (15) disposées sur le substrat (11) de manière que les électrodes (15) soient séparées l'une de l'autre d'une distance prédéterminée; un élément sensible à l'humidité (17) disposé entre les électrodes (15), l'élément sensible à l'humidité (17) ayant une capacité qui peut changer en fonction de l'humidité; un élément de sortie (18) connecté aux électrodes (15) afin de détecter une capacité de l'élément sensible à l'humidité (17), et émettant un signal correspondant à la capacité; et un élément de réglage (13, 21) pour régler une quantité maximale d'humidité dans l'élément sensible à l'humidité (17) de façon qu'elle soit une quantité maximale d'humidité standard; et en ce que l'élément sensible à l'humidité (17) est capable d'absorber de l'humidité jusqu'à la quantité maximale d'humidité, et l'élément de réglage (13, 21) comprend au moins un d'un élément (13) pour réduire la quantité maximale d'humidité, et d'un élément (21) pour augmenter la quantité maximale d'humidité.

2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le capteur est monté dans un véhicule automobile; et l'élément de réglage (13, 21) règle la quantité maximale d'humidité de façon qu'elle soit la quantité maximale d'humidité standard au mo- ment de la fermeture d'un interrupteur de démarrage du véhicule.

3. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le capteur est monté dans un véhiculeautomobile; et l'élément de réglage (13, 21) règle la quantité maximale d'humidité de façon qu'elle soit la quantité maximale d'humidité standard, au moment de l'ouverture d'un interrupteur de démarrage du véhicule.

4. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la quantité maximale d'humidité standard est une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité, ou ap- proximativement une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité.

5. Capteur selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'élément (13) pour réduire la quantité maximale d'humidité est un élément chauffant (13) pour chauffer l'élément sensible à l'humidité (17), de façon que la quantité maximale d'humidité soit réglée à la quantité maximale d'humidité standard.

6. Capteur selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 3, caractérisé en ce que la quantité maximale d'humidité standard est une limite supérieure de la quantité maximale d'humidité, ou approximativement une limite supérieure de la quantité maximale d'humidité.

7 Capteur selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'élément (21) pour augmenter la quantité maximale d'humidité est un élément de fourniture d'humidité (21) pour fournir de l'humidité à l'élément sensible à l'humidité (17), de façon que la quantité maximale d'humidité soit réglée à la quantité maximale d'humidité standard.

8. Capteur selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un élémentchauffant (13) pour chauffer l'élément sensible à l'humidité (17).

9. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que l'élément sensible à l'humidité (17) consiste en poly-imide.

10. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que chaque électrode (15) a une partie en dents de peigne (15a), de façon que les parties en dents de peigne (15a) des électrodes (15) soient mutuellement interdigitées.

11. Capteur selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'élément de réglage (13, 21) est un élément chauffant (13) pour chauffer l'élément sensible à l'humidité (17), de façon que la quantité maximale d'humidité standard soit réglée à une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité, ou approximativement à une limite inférieure de la quantité maximale d'humidité; et l'élément chauffant (13) a une forme en méandres de façon que la partie en dents de peigne (15a) de chaque électrode (15) soit en recouvrement avec la forme en méandres de l'élément chauffant (13).

12. Capteur selon la revendication il, caractérisé en ce que l'élément chauffant (13), l'élec- trode (15) et l'élément sensible à l'humidité (17) sont superposés sur le substrat (11) dans cet ordre.

13. Capteur selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'élément de réglage (21) est un élément de fourniture d'humidité (21) pour fournir de l'humidité à l'élément sensible à l'humidité (17), de façon que la quantité maximale d'humidité standard soit réglée à une limite supérieure de la quantité maximale d'humidité, ou approximativement àune limite supérieure de la quantité maximale d'humidité; et l'élément de réglage (21) est disposé sur une pellicule sensible à l'humidité.

14. Capteur selon la revendication 13, carac- térisé en ce qu'il comprend en outre : un élément chauffant (13) pour chauffer l'élément sensible à l'humidité (17); et en ce que l'élément chauffant (13) a une forme en méandres de façon que la partie en dents de peigne (15a) de chaque électrode (15) soit en recouvrement avec la forme en méandres de l'élément chauffant (13), et l'élément chauffant (13), l'électrode (15) et l'élément sensible à l'humidité (17) sont superposés sur le substrat (11), dans cet ordre.