FR2830129A1 - Element piezo-electrique - Google Patents

Element piezo-electrique Download PDF

Info

Publication number
FR2830129A1
FR2830129A1 FR0211901A FR0211901A FR2830129A1 FR 2830129 A1 FR2830129 A1 FR 2830129A1 FR 0211901 A FR0211901 A FR 0211901A FR 0211901 A FR0211901 A FR 0211901A FR 2830129 A1 FR2830129 A1 FR 2830129A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
piezoelectric element
layer
piezoelectric
resistance
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR0211901A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2830129B1 (fr
Inventor
Friedrich Boecking
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of FR2830129A1 publication Critical patent/FR2830129A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2830129B1 publication Critical patent/FR2830129B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/871Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

Élément piézo-électrique présentant une structure à plusieurs couches piézo-électriques entre une partie supérieure et une partie inférieure passives, et entre celles-ci des électrodes intérieures recevant une tension électrique. La mise en contact des électrodes intérieures, alternant d'une couche à l'autre avec au moins une électrode extérieure (7, 8) pour chaque polarité, est faite dans la zone dans laquelle la couche voisine respective n'a pas d'électrode intérieure reliée aux côtés extérieurs.Dans la partie supérieure et/ ou inférieure, passives on a une couche résistante (5). Les branchements de la résistance de sortie ainsi formée sont mis en contact avec les électrodes extérieures (7, 8).

Description

Etat de la technique La présente invention concerne un élément piézo-
électrique présentant - une structure à plusieurs couches piézoélectriques entre une partie s supérieure et une partie inférieure passives, et entre celles-ci des élec trodes intérieures recevant une tension électrique, - une mise en contact des électrodes intérieures, alternant d'une couche à l'autre avec au moins une électrode extérieure pour chaque polarité, se faisant dans la zone dans laquelle la couche voisine respective n'a
lO pas d'électrode intérieure relice aux côtés extérieurs.
Il est connu de manière générale d'utiliser l'effet piézo électrique pour réaliser un élément piézo-électrique en une matière ayant une structure cristalline approprice. En appliquant une tension électrique externe, on produit une réaction mécanique dans l'élément piézo électrique. En fonction de la structure cristalline et des domaines d' appli cation de la tension électrique on crce une pression et une traction dans une direction prédétermince. Cet effet extrêmement rapide et réglable de manière précise permet de réaliser des actionneurs piézo-électriques pour constituer des actionneurs, par exemple, pour entraîner les soupapes de o commutation d'injecteurs de carturant dans des systèmes d'injection équipant les véhicules automobiles. Pour cela, on utilise le débattement de l'actionneur piézo-électrique commandé en tension ou en charge électrique pour positionner une soupape de commande réglant elle-même la course d'une aiguille d'inJecteur ou de buse. Un avantage important des action s neurs piézo-électriques réside dans l'obtention de débattements précis et
très rapides associés à des efforts importants.
Comme les intensités des champs électriques nocessaires pour actionner l' actionneur piézo-électrique sont de l' ordre de plusieurs kV/mm, et qu'en général, on souhaite utiliser les tensions électriques moyennes pour la commande, la structure de tels actionneurs piézo électriques ne peut se faire qu'avec des couches de l'ordre de 100 m (c'est-à-dire des actionneurs multicouches). Pour cela, on a les électrodes internes entre les couches; ces électrodes sont appliquces par exemple par un procédé d'impression et des électrodes extérieures reçoivent la ten
3s sion électrique.
Les couches céramiques sont branchées électriquement en parallèle de sorte que la tension de commande est réduite par comparai son à des actionneurs piézo-électriques monolithiques de même longueur et de méme nombre de couches. Un procédé caractéristique pour fabri quer de telles couches consiste à utiliser la technique des films coulés se lon laquelle les différentes couches sont métallisces et sont empilées les
unes sur les autres.
s Selon le document EP 0 844 678 A1, on connait un action neur piézoélectrique avec des électrodes extérieures appliquces sur les côtés à chaque fois opposés du bloc de l'actionneur avec des polarités dif férentes. Dans le cas d'une mise en contact alternce de couche en couche des électrodes intérieures avec les électrodes extérieures latérales, la mise o en contact respective se fait dans la zone dans laquelle il n'y a pas d'élec trode intérieure arrivant sur le côté extérieur de la couche voisine respec tive. Les couches avec les électrodes intérieures coopèrent comme des capacités si bien que pour garantir la décharge électrique de l'ensemble de la capacité on branche en général en parallèle une résis tance de sortie. Celle-ci peut par exemple étre réalisce par un fil résistant prévu au niveau d'un connocteur du dispositif de branchement. Le procé dé de fabrication est alors toutefois relativement compliqué car il faut souder la résistance et elle occupe de la place supplémentaire. En outre, il faut veiller à ce que cette disposition résiste aux contraintes de vibration,
ce qui complique la construction.
Dans la partie supérieure et la partie inférieure de ces ac tionneurs piézo-électriques connus, en général, il n'y a pas d'électrodes intérieures car d'une part il faut un certain chemin d'isolation vers les fa :5 ces frontales pour éviter les courts-cTrcuits vers l'extérieur et d'autre part, on utilise des zones passives pour le branchement électrique des électro
des extérieures.
Avantages de l'invention L'élément piézo-électrique décrit ci-dessus est. comme indi qué, constitué par une structure à plusieurs couches piézoélectriques et entre celles-ci des électrodes intérieures ainsi qu'une mise en contact al ternce de couche à couche des électrodes intérieures, pour étre sollicitée
par une tension électrique.
En d'autres termes, l'invention, concerne un élément piézo électrique du type défini ci-dessus caractérisé en ce que - dans la partie supérieure et/ou inférieure, passives on a une couche résistante, les branchements de la résistance de sortie ainsi formoe
étant mis en contact avec les électrodes extérieures.
Selon un premier mode de réalisation de l'invention, on a avantageusement une construction avec une partie supérieure et une partie inférieure passive avec une couche résistante prévue dans cette partie supérieure et/ ou cette partie inférieure si bien que les branche ments de la résistance de sortie ainsi formoe sont reliés aux électrodes de sortie. Cette couche résistante est obtenue avantageusement par un procédé d'impression sur la partie supérieure et/ou la partie inférieure et ensuite on la calibre; la couche résistante peut être appliquce contre o les électrodes internes actives, de manière interne ou de manière externe
sur la couche de recouvrement. À titre d'exemple, les chemins de la résis-
tance peuvent être placés dans une zone latérale donnant une disposition des chemins à une distance prédéterminée d'un côté des électrodes exté rieures. s De manière préférentielle, la résistance est formoe par un chemin en méandres obtenu par le dogagement découpé d'une couche ré sistante. Les chemins de la résistance sont, par exemple, constitués en CU, AgPd ou AgPt et le dogagement ou découpage se fait de préférence par
un travail au laser.
o La disposition selon l'invention permet de manière simple de réaliser une décharge électrique de la couche d'électrode interne fonc tionnant comme une capacité, par une résistance de sortie relice aux électrodes externes. L'intogration selon l'invention de cette résistance dans l' élément piézo-électrique déplace les moyens de fabrication vers l' élément :5 piézo-électrique ou l'actionneur piézo-électrique. La suppression d'une
mise en contact externe distincte permet une économie de coût.
Selon un second mode de réalisation, en cas de disposition noyée des électrodes internes, on a une couche résistante sur le côté exté
rieur de l'élément piézo-électrique.
Les chemins de la résistance sont situés dans les zones du côté extérieur qui ne sont pas en contact avec les électrodes intérieures et dans ce cas, les branchements de la résistance de sortie ainsi formoe sont
en contact avec les électrodes extérieures.
Dessins la présente invention sera décrite plus en détail à l'aide d'exemples de réalisation d'éléments piézo-électriques représentés dans les dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 est une vue schématique d'un élément piézo-électrique avec des couches piézo-électriques et une partie supérieure et une partie inferieure passive, - la figure 2 montre un premier mode de réalisation de chemins résis tants d'une résistance de sortie, - la figure 3 montre un seconde mode de réalisation de chemins résis tants d'une résistance de sortie dont les zones ont été dogagées par un laser, - la figure 4 est une autre présentation de l'exemple de réalisation de la o figure 3, - la figure 5 est une vue schématique d'un élément piézo-électrique avec des couches piézo-électriques et une partie supérieure et une partie inférieure passive ainsi qu'une résistance dans une couche de recou vrement.
Description des exemples de réalisation
La figure 1 montre comme élément piézo-électrique, un ac tionneur piézoélectrique 1. Celui-ci se compose de manière connue de couches 2 de feuilles piézo-électriques d'une matière à base de quartz avec une structure cristalline appropriée; ainsi en utilisant l'effet piézo o électrique par application d'une tension électrique externe par des électro des extérieures non représentées, aux électrodes intérieures prévues sur la couche en céramique, on produit une réaction mécanique de l'action
neur piézo-électrique 1 suivant son axe longitudinal.
Des électrodes extérieures sont mises en contact avec les électrodes intérieures ayant la même polarité; chaque seconde électrode intérieure est à la même polarité jusqu'à ce que l'on arrive à une face de l' actionneur piézo-électrique 1 pour être alors mise en contact sur l' autre face de l'autre électrode extérieure o on aura l'autre polarité, isolée, avec un certain intervalle. Sur la couche piézo-électrique extérieure 2 dans la direction longitudinale, on aura chaque fois une partie supérieure 3 isolée électriquement et une partie inférieure 4 constituant chacune une zone mécaniquement passive et par lesquelles l' ensemble de l' actionneur piézo
électrique peut être isolé vis-à-vis de l'extérieur.
La figure 1 indique une couche résistante 5 au niveau de la partie inférieure 4; cette couche apparaît plus clairement à la figure 2. On voit ainsi que la couche résistante 5 forme un chemin résistant 6 ayant une structure en méandres, dont les extrémités sont relices aux électrodes extérieures 7, 8 et constituent ainsi la résistance de sortie évoquce dans le
préambule de la description.
La figure 3 montre également que les chemins résistants 6 sont dogagés au laser dans la couche résistante 5; la figure 4 montre le branchement aux électrodes extérieures 7, 8. Les chemins résistants sur
les figures 3, 4 situés ici seulement dans une zone de la surface des cou-
ches piézo-électriques 2; on peut envisager toutes les dispositions géo-
métriques dans la mesure o les valeurs des résistances sont respectées.
La disposition alternative sur la figure 5 montre un élément
o piézo-électrique ayant la couche résistante 5 sur la couche de recouvre-
ment de la partie supérieure 3; la réalisation et le branchement du che-
min résistant 6 se font comme indiqué ci-dessus.

Claims (5)

R E V E N D I C A T I O N S
1 ) Élément piézo-électrique présentant - une structure à plusieurs couches piézo-électriques (2) entre une par tie supérieure et une partie inférieure (3, 4) passives, et entre celles-ci des électrodes intérieures recevant une tension électrique, - une mise en contact des électrodes intérieures, alternant d'une couche à l'autre avec au moins une électrode extérieure (7, 8) pour chaque
polarité, se faisant dans la zone dans laquelle la couche voisine res-
pective n'a pas d'électrode intérieure relice aux côtés extérieurs, to caractérisé en ce que - dans la partie supérieure et/ou inférieure, passives (3, 4) on a une couche résistante (5), les branchements de la résistance de sortie ainsi
formoe étant mis en contact avec les électrodes extérieures (7, 8).
2 ) Élément piézo-électrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche résistante (5) est appliquce par un procédé d' impression sur la
partie supérieure et/ou la partie inférieure (3,4) puis est calibrce.
3 ) Élément piézo-électrique selon la revendication l, caractérisé en ce que - les chemins (6) de la résistance sont placés dans une zone latérale de façon à obtenir une disposition des chemins (6) suivant une distance
prédétermince d'un côté de l'électrode extérieure (8).
4 ) Élément piézo-électrique ayant
- une structure à plusieurs couches piézo-électriques (2) entre une par-
tie supérieure et une partie inférieure (3, 4) passives et entre cellesci des électrodes intérieures recevant une tension électrique, - une mise en contact des électrodes intérieures alternant d'une couche à l'autre avec au moins une électrode extérieure (7, 8) pour chaque polarité, se faisant chaque fois dans la zone dans laquelle la couche
respectivement voisine n'a pas d'électrode intérieure relice au côté ex-
térieur, caractérisé en ce que
- pour une disposition noyée des électrodes intérieures, une couche ré-
sistante est appliquce sur le côté extérieur de l'élément piézoélectrique et les chemins de la résistance sont disposés dans les zones du côté extérieur qui ne sont pas en contact avec les électrodes intérieures et les branchements de la résistance de sortie ainsi formoe sont en con
tact avec les électrodes extérieures.
s ) Élément piézo-électrique selon la revendication 4, caractérisé en ce que - la couche résistante (5) est appliquce par un procédé d'impression sur
le côté extérieur de l'élément piézo-électrique (1) et est ensuite calibrce.
6 ) Élément piézo-électrique selon l'une quelconque des revendications 1
à 5, caractérisé en ce que - la résistance est formoe par des chemins (6) ayant un tracé en méan dres, obtenu par découpage à partir de la couche résistante (5). 7 ) Élément piézo-électrique selon la revendication 6, caractérisé en ce que - les chemins (6) de la résistance sont réalisés en CU, AgPd ou AgPt et le
FR0211901A 2001-09-27 2002-09-26 Element piezo-electrique Expired - Fee Related FR2830129B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10147666A DE10147666B4 (de) 2001-09-27 2001-09-27 Piezoelement und Verfahren zur Herstellung eines Piezoelements

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2830129A1 true FR2830129A1 (fr) 2003-03-28
FR2830129B1 FR2830129B1 (fr) 2006-12-15

Family

ID=7700488

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR0211901A Expired - Fee Related FR2830129B1 (fr) 2001-09-27 2002-09-26 Element piezo-electrique

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6930435B2 (fr)
JP (1) JP4149773B2 (fr)
DE (1) DE10147666B4 (fr)
FR (1) FR2830129B1 (fr)
IT (1) ITMI20022015A1 (fr)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130193810A1 (en) * 2012-01-27 2013-08-01 Tdk Corporation Laminated piezoelectric device

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10260854A1 (de) * 2002-12-23 2004-07-08 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
JP4048967B2 (ja) 2003-02-10 2008-02-20 株式会社デンソー 圧電アクチュエータおよび内燃機関の燃料噴射装置
JP4419732B2 (ja) * 2003-09-02 2010-02-24 株式会社村田製作所 弾性表面波装置およびその製造方法
JP2005117340A (ja) * 2003-10-07 2005-04-28 Fuji Photo Film Co Ltd 移動制御装置及び画像読取装置
JP2005294761A (ja) * 2004-04-05 2005-10-20 Tdk Corp 積層型圧電素子
DE102004018224A1 (de) * 2004-04-15 2005-11-03 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung mit piezoelektrischem Aktor
AT413088B (de) * 2004-07-30 2005-11-15 Theurl Leimholzbau Gmbh Verfahren zum berührungslosen auftrag von dosierten klebstofftröpfchen auf die streifenförmige schmale fläche vom werkstück
JP4679241B2 (ja) * 2005-05-24 2011-04-27 オリンパスメディカルシステムズ株式会社 内視鏡
JP2007104808A (ja) * 2005-10-05 2007-04-19 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置
DE102005057950B4 (de) * 2005-12-05 2020-02-06 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit Ableitwiderstand
WO2007066116A1 (fr) * 2005-12-08 2007-06-14 Delphi Technologies, Inc. Actionneur piezo-electrique
EP1808907A1 (fr) * 2006-01-17 2007-07-18 Delphi Technologies, Inc. Actionneur piézo-électrique
WO2009046736A1 (fr) * 2007-10-08 2009-04-16 Siemens Aktiengesellschaft Cristal piézoélectrique
WO2009069693A1 (fr) * 2007-11-27 2009-06-04 Kyocera Corporation Elément piézoélectrique stratifié et son procédé de fabrication, appareil d'injection et système d'injection de combustible
DE102010055934B4 (de) 2010-12-23 2018-09-06 Epcos Ag Aktuator und Verfahren zu dessen Herstellung
KR102123817B1 (ko) * 2014-12-29 2020-06-19 경북대학교 산학협력단 압력센서를 이용한 심폐소생술 가이드 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0603835A1 (fr) * 1992-12-22 1994-06-29 Nec Corporation Organe d'actionnement piézo-électrique à jauge de contrainte
FR2798009A1 (fr) * 1999-08-25 2001-03-02 Siemens Ag Dispositif de connexion electrique a poser sur des fiches males de raccordement d'un composant electrique
FR2802033A1 (fr) * 1999-12-03 2001-06-08 Bosch Gmbh Robert Procede et dispositif de commande d'un actionneur a l'aide d'un element capacitif

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3565140A (en) * 1968-06-13 1971-02-23 Dms Co Method and apparatus for trimming boards
DE3027583C2 (de) * 1979-07-20 1986-09-04 Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo, Kyoto Piezoelektrisches Bauelement
US4451753A (en) * 1979-09-13 1984-05-29 Toshio Ogawa Piezoelectric device with surface charge shunt
JPS6086880A (ja) * 1983-10-19 1985-05-16 Nec Corp 電歪効果素子
US5165809A (en) * 1990-03-06 1992-11-24 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Piezoelectric actuator and print head using the actuator, having means for increasing durability of laminar piezoelectric driver
US5241861A (en) * 1991-02-08 1993-09-07 Sundstrand Corporation Micromachined rate and acceleration sensor
WO1999025033A1 (fr) * 1997-11-12 1999-05-20 Deka Products Limited Partnership Actionneur piezo-electrique utilisable dans un fluide electrolytique
DE60039156D1 (de) * 1999-11-03 2008-07-24 New Focus Inc Steuerung für einen piezoelektrischen aktor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0603835A1 (fr) * 1992-12-22 1994-06-29 Nec Corporation Organe d'actionnement piézo-électrique à jauge de contrainte
FR2798009A1 (fr) * 1999-08-25 2001-03-02 Siemens Ag Dispositif de connexion electrique a poser sur des fiches males de raccordement d'un composant electrique
FR2802033A1 (fr) * 1999-12-03 2001-06-08 Bosch Gmbh Robert Procede et dispositif de commande d'un actionneur a l'aide d'un element capacitif

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130193810A1 (en) * 2012-01-27 2013-08-01 Tdk Corporation Laminated piezoelectric device
US9123880B2 (en) * 2012-01-27 2015-09-01 Tdk Corporation Laminated piezoelectric actuator

Also Published As

Publication number Publication date
FR2830129B1 (fr) 2006-12-15
DE10147666A1 (de) 2003-04-10
DE10147666B4 (de) 2011-03-10
US20030071328A1 (en) 2003-04-17
US6930435B2 (en) 2005-08-16
JP2003115618A (ja) 2003-04-18
JP4149773B2 (ja) 2008-09-17
ITMI20022015A1 (it) 2003-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2830129A1 (fr) Element piezo-electrique
US7795789B2 (en) Monolithic piezoelectric component comprising a mechanical uncoupling, method for producing same and use thereof
DE10111502A1 (de) Betätigungsvorrichtung
GB2323702A (en) Piezoelectric actuator
WO2000079608A1 (fr) Actionneur piezo-electrique dote d'une electrode exterieure adaptee a la dilatation thermique
WO2009071426A1 (fr) Unité piézoélectrique à contact externe présentant une couche de dépôt chimique en phase vapeur, procédé de fabrication et utilisation de cette unité
JP2005515641A (ja) ピエゾ電気構成素子およびその製造方法
EP1233461A2 (fr) Actionneur multicouche piézocéramique avec une zone transitoire entre la zone active et la zone inactive de tête et de pied
JP5774680B2 (ja) 中間電極層および圧電材料層が交互に配置された積層体を有するアクチュエータの製造工程
EP0162766A1 (fr) Dispositif de stockage à haute tension et à haute énergie et générateur d'impulsions en comportant application
EP1579515B1 (fr) Piézo-actionneur
KR20050032117A (ko) 압전 액추에이터
EP0550435A1 (fr) Bloc de moteur monolithe piezoelectrique.
DE102006001656A1 (de) Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung desselben
CA2250502C (fr) Actionneur amplifie a materiaux actifs
EP1446843A2 (fr) Dispositif de commande d'un actuateur piezo-electrique ultrasonore pilote electroniquement, et son procede de mise en oeuvre
WO2003036668A2 (fr) Micro-condensateur variable (mems) a fort rapport et faible tension d'actionnement
EP1440484A2 (fr) Dispositif de commande d'un actuateur piezo-electrique ultrasonore
JP5583202B2 (ja) 圧電式のアクチュエータおよび燃料噴射弁
EP0246134B1 (fr) Condensateur de précision à ajustement de la capacité nominale
DE102004005944A1 (de) Elektrisches Anschlusselement, elektrisches Bauteil mit dem Anschlusselement und Verwendung des Bauteils
FR2769768A1 (fr) Actionneur amplifie a materiaux piezoelectriques ou electrostrictifs
FR2854285A1 (fr) Dispositif de commande d'actionneur piezo-electrique ultrasonore et son procede de mise en oeuvre
EP1363304B1 (fr) Commutateur à ouverture de type à fils exploses et procédé de fabrication
EP0558391B1 (fr) Procédé de fabrication de condensateurs feuilletés, et condensateur issu d'un tel procédé

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse

Effective date: 20100531