FR2750776A1 - Procede et appareil d'imagerie a une serie de longueurs d'ondes - Google Patents

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David P Squires
Joseph A Wheeler
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Abstract

Un système d'imagerie (10) destiné à former une image sur une surface (21) de substrat à plusieurs longueurs d'ondes d'imagerie comprend un module générateur remplaçable (36) de faisceau, un miroir tournant (34) et un dispositif de commande (26). Le module générateur de faisceau engendre un faisceau d'imagerie en fonction de signaux d'ordres de faisceau. La longueur d'onde du faisceau d'imagerie est l'une de la série de longueurs d'ondes d'imagerie. Le module générateur de faisceau présente en outre le faisceau d'imagerie le long d'un trajet prescrit et le module générateur de faisceau engendre des signaux de longueurs d'ondes indicatifs de la longueur d'onde du faisceau d'imagerie. Le dispositif de commande reçoit les signaux de longueurs d'ondes et engendre les signaux d'ordres de faisceau en fonction des signaux de longueur d'onde. Les signaux de commande de faisceau commandent une génération du faisceau d'imagerie en fonction d'une configuration prescrite pour former une image sur la surface de substrat.

Description

DOMAINE DE L'INVENTION
La présente invention concerne des systèmes d'imagerie en général et, plus particulièrement, des systèmes d'imagerie qui sont susceptibles de former une image à une série de longueurs d'ondes d'imagerie.
REFERENCE A DES DEMANDES APPARENTEES
Une certaine partie des informations contenues ici est décrite et revendiquée dans les demandes de brevet des Etats Unis possédées en commun suivantes: demande de brevet N de série 08/674 763 intitulée "Magnetically Preloaded Air Bearing Motion System For An Imaging Device", c'est-à-dire Dispositif de déplacement à coussin, d'air préchargé magnétiquement, pour dispositif d'imagerie (mandataire Docket N I48-1075); demande de brevet N de série 08/674 439 intitulée "Apparatus And Method For Positioning A Lens To Expand An Optical Beam Of An Imaging System", c'est-à-dire Dispositif et procédé pour le positionnement d'une lentille afin d'étaler un faisceau optique d'un système d'imagerie, (mandataire Docket N I48-1095), et demande de brevet N de série 08/677 343, intitulée "Method And Apparatus For Generating An Optical Beam For use in An Imaging System", c'est-à-dire Procédé et appareil de génération d'un faisceau optique à utiliser dans un système d'imagerie (mandataire Docket N I48-1100),
incorporées ici par référence.
ARRIERE-PLAN TECHNOLOGIQUE DE L'INVENTION
On connaît dans l'art des systèmes d'imagerie tant à structure plane qu'à structure à tambour interne. Ces dispositifs sont utilisés dans les domaines des arts graphiques ainsi que dans la fabrication de cartes de circuits imprimés. Des systèmes d'imagerie plans, comme ceux qui sont décrits et revendiqués dans le brevet des Etats Unis N 4 851 656 qui est incorporé ici par référence, sont des types de systèmes d'imagerie qui comportent une surface plane pour recevoir un substrat. Une tête d'exposition optique est située sur un appareil à portique mobile et est déplacée en réseau au-dessus du substrat pendant l'exposition. Des systèmes à tambours internes comportent en revanche une partie de surface de tambour cylindrique pour recevoir un substrat. Un générateur de faisceau émet un faisceau optique sur un miroir tournant, et le miroir réfléchit le faisceau sur le substrat. Au fur et à mesure que le miroir tourne, le faisceau réfléchi parcourt la surface du substrat à partir d'un bord initial de la surface jusqu'à un bord final de celle-ci, en exposant une séquence de pixels qui forment ensemble une ligne de balayage perpendiculaire à l'axe du tambour. Le miroir tournant est monté sur un chariot qui se déplace dans
une direction perpendiculaire à la ligne de balayage.
Quand le faisceau réfléchi a atteint l'extrémité finale, le chariot se déplace perpendiculairement à la ligne de balayage. Lorsque le faisceau réfléchi recommence au bord initial de la surface, le faisceau parcourt une nouvelle ligne de balayage. De cette manière, le faisceau réfléchi parcourt toute la
superficie de la surface de tambour.
Un photo-traceur à tambour interne actuellement fabriqué par le cessionnaire, Gerber Scientific, Inc., model Crescent 42 inclut un chariot qui comporte deux surfaces orthogonales couplées magnétiquement à un rail rigide qui s'étend le long de l'axe longitudinal du tambour. Le chariot est suspendu au-dessous du rail. Une série de pastilles de friction formées d'une matière polymère est fixée aux surfaces orthogonales du chariot. Les pastilles de friction maintiennent le chariot à une distance prédéterminée du rail. Un moteur du dispositif de rotation et un miroir réfléchissant le faisceau optique vers un support sont montés à la surface inférieure du chariot. Le chariot est entraîné le long du rail par un système d'entraînement qui comprend une vis-mère et un moteur pas-à-pas. Un système d'excitation du moteur alimente le moteur pas-à-pas selon des incréments minimes afin de faire tourner la vis-mère, en provoquant un
déplacement du chariot le long du rail. Le moteur pas-
à-pas est excité en mode à boucle ouverte.
Des supports différents répondent à des faisceaux optiques dont les longueurs d'ondes diffèrent, et utiliser un support particulier dans un processus d'imagerie exige donc un faisceau dont la longueur d'onde soit appropriée pour ce support. Par exemple, Silverlith fabriqué par DuPont répond à une longueur d'onde de 488 nanomètres, N90 fabriqué par Hoechst répond à des longueurs d'ondes tant de 488 nanomètres que de 532 nanomètres et Setprint fabriqué par Agfa répond à des longueurs d'ondes comprises entre 633 nanomètres et 730 nanomètres. De plus, Kodak fabrique une plaque thermique qui répond à une longueur d'onde de 890 nanomètres et Presstech fabrique une plaque thermique qui répond à une longueur d'onde de 1064 nanomètres. Différents supports possèdent des caractéristiques qui sont souhaitables pour des utilisateurs différents et des applications différentes. Les caractéristiques concernées incluent le coût du support, la manière dont le support est traité, une préférence d'un fournisseur de support par rapport à d'autres, une puissance de faisceau nécessaire pour exposer le support et la vitesse à
laquelle le support peut être exposé.
Former une image sur un support de film est une technique connue d'imagerie. Dans certaines applications, le film o l'image est formée, est ensuite amené au contact d'une plaque pour réaliser sur la plaque une copie par contact de l'image. Une imagerie directe sur la plaque est une technologie plus récente qui est avantageuse puisque les étapes d'imagerie sur le film, et de copie de l'image à partir du film sur la plaque, peuvent alors être éliminées. Depuis peu, des processus d'imagerie ont commencé à utiliser des supports qui sont sensibles à des faisceaux thermiques d'imagerie, comme le support décrit précédemment qui répond à des longueurs d'ondes de 870 et 1064 nanomètres. L'utilisation de supports thermiques se développe de plus en plus pour diverses raisons. Utiliser des supports thermiques permet d'effectuer directement une imagerie sur une plaque, ce qui est plus avantageux, comme décrit précédemment, que d'effectuer indirectement une imagerie sur une plaque. Un support thermique n'exige en outre aucun traitement chimique, à la différence d'autres supports, et il peut être exposé à des lumières plus brillantes sans effets dommageables, à la différence d'autres supports qui exigent d'être maniés en chambre sombre. De plus, une imagerie sur un support thermique
produit des images plus nettes.
Malheureusement, la longueur d'onde d'imagerie nécessaire pour former une image sur une plaque peut être différente de la longueur d'onde d'imagerie nécessaire pour former une image sur un film. Comme décrit ci- dessous, des systèmes classiques d'imagerie peuvent former, soit une image sur plaque, soit une image sur film, mais ils ne peuvent pas former tant une image sur plaque qu'une image sur film. Des systèmes classiques d'imagerie sont prévus pour utiliser un faisceau d'une longueur d'onde d'imagerie prescrite. Par exemple, le module générateur de faisceau engendre un faisceau à une certaine longueur d'onde d'imagerie et le miroir de balayage réfléchit sensiblement un faisceau dont la longueur d'onde est celle de l'imagerie. Des composants optiques qui interagissent avec ce faisceau, par exemple le miroir de balayage et des lentilles de focalisation et d'étalement de faisceau, doivent de même être réalisés pour être utilisés avec un faisceau de la longueur d'onde d'imagerie. Des lentilles et miroirs présentent typiquement des propriétés optiques différentes pour des faisceaux de longueurs d'ondes différentes. Des systèmes connus d'imagerie ne peuvent donc former des images que sur des supports qui répondent à la longueur d'onde d'imagerie. Pour former une image à une série de longueurs d'ondes, le fonctionnement de composants optiques, c'est-à-dire de lentilles et miroirs, doit être satisfaisant à la série de
longueurs d'ondes et il faut une série de sources.
En outre, le module générateur de faisceau doit pouvoir engendrer un faisceau de l'une quelconque des longueurs d'ondes de la série. Des dispositifs connus de génération de faisceaux peuvent, soit engendrer un faisceau d'une longueur d'onde unique, soit engendrer un faisceau d'une longueur d'onde comprise dans une plage prescrite. I1 est extrêmement onéreux et difficile de réaliser un module générateur de faisceau qui engendre un faisceau de longueurs d'ondes sélectionnées arbitrairement, et il faut donc prévoir plusieurs modules générateurs de faisceaux dans le système d'imagerie. Cependant, chaque module générateur de faisceau engendre un faisceau qui débute à un point différent: l'emplacement de son module générateur respectif de faisceau. Ainsi, chaque module générateur de faisceau engendre un faisceau qui se propage le long d'un trajet différent de ceux des autres faisceaux. Chacun de ces faisceaux doit être aligné avec les composants optiques du système d'imagerie. Les systèmes d'imagerie classiques ne peuvent donc pas former une image à plusieurs
longueurs d'ondes d'imagerie.
I1 serait avantageux de réaliser un système d'imagerie qui prenne en charge plusieurs longueurs d'ondes d'imagerie. Ce type de système d'imagerie serait plus flexible et son applicabilité en serait élargie, en permettant ainsi au système d'imagerie de servir pour des applications multiples. I1 serait avantageux en outre de réaliser un système d'imagerie qui puisse former des images tant sur une plaque que
sur un film.
Il serait avantageux aussi de réaliser un système d'imagerie qui soit susceptible d'être modifié ultérieurement pour être utilisable dans un processus d'imagerie, parmi plusieurs, pour former des images à de nouvelles longueurs d'ondes d'imagerie. Par exemple, bien qu'un support thermique soit avantageux, il n'est pas aussi largement répandu que des types plus établis de supports d'imagerie. Il serait avantageux de réaliser un système d'imagerie qui pourra être modifié pour former une image sur support thermique, dès lors que les supports thermiques seront devenus plus établis et plus acceptés commercialement. Il serait avantageux également de réaliser un système d'imagerie qui soit modulaire et qui soit facile à adapter à des longueurs d'ondes d'imagerie différentes.
RESUME DE L'INVENTION
C'est donc un but de la présente invention que de réaliser un système d'imagerie susceptible de former une image à chaque longueur d'onde d'une série de
longueurs d'ondes d'imagerie.
C'est un autre but de la présente invention que de réaliser un système d'imagerie qui puisse être modifié pour former des images à de nouvelles
longueurs d'ondes additionnelles.
C'est un autre but de la présente invention que de réaliser un système d'imagerie qui accepte un module quelconque d'une série de modules générateurs de faisceaux, chacun des modules générateurs de faisceaux adaptant le système d'imagerie pour former une image à une longueur d'onde d'une série de
longueurs d'ondes prescrites d'imagerie.
C'est un autre but encore de la présente invention que de réaliser un système d'imagerie qui inclue une série de modules générateurs de faisceaux, chacun des modules générateurs de faisceau permettant au système d'imagerie de former une image à une longueur d'onde d'une série de longueurs d'ondes prescrites. Selon la présente invention, un système d'imagerie destiné à former une image sur une surface de substrat à une série de longueurs d'ondes d'imagerie comprend un module générateur remplaçable de faisceau, un miroir tournant et un dispositif de commande. Le module générateur de faisceau engendre un faisceau d'imagerie en fonction de signaux d'ordres de faisceau. La longueur d'onde du faisceau d'imagerie
est l'une d'une série de longueurs d'ondes d'imagerie.
Le module générateur de faisceau présente en outre le faisceau d'imagerie le long d'un trajet prescrit, et le module générateur de faisceau engendre des signaux de longueurs d'ondes indicatifs de la longueur d'onde
du faisceau d'imagerie.
Le miroir tournant reçoit le faisceau d'imagerie qui s'est propagé le long du trajet prescrit et réfléchit sensiblement le faisceau d'imagerie sur la surface de substrat. Au fur et à mesure que le miroir tourne, il fait avancer le faisceau réfléchi d'imagerie afin qu'il balaie la surface du substrat
dans une direction qui définit une ligne de balayage.
Le miroir de balayage est susceptible de réfléchir sensiblement un faisceau reçu qui est d'une longueur d'onde de la série des longueurs d'ondes d'imagerie. Le dispositif de commande reçoit les signaux de longueurs d'ondes et engendre des signaux d'ordres de
faisceau en fonction des signaux de longueurs d'ondes.
Les signaux d'ordres de faisceau commandent une génération du faisceau d'imagerie en fonction d'une configuration prescrite pour former une image sur la
surface de substrat.
Selon un autre aspect de la présente invention, un système d'imagerie destiné à former une image sur une surface de substrat à une série de longueurs d'ondes d'imagerie est susceptible de recevoir l'un des modules d'une série de modules générateurs remplaçables de faisceau qui engendrent un faisceau d'imagerie en fonction de signaux d'ordres de faisceau. La longueur d'onde du faisceau d'imagerie est l'une de la série des longueurs d'ondes d'imagerie. Le système d'imagerie comprend un appareil de montage ou monture, un miroir tournant et un dispositif de commande. L'appareil de montage fixe un emplacement d'un module de la série des modules générateurs remplaçables de faisceaux d'une manière telle que chaque module générateur remplaçable de faisceau qui est fixé par l'appareil de montage présente le faisceau d'imagerie le long d'un trajet
prescrit.
Le miroir tournant reçoit le faisceau d'imagerie qui s'est propagé le long du trajet prescrit et réfléchit sensiblement le faisceau d'imagerie sur la surface de substrat. Au fur et à mesure que le miroir tourne, ce miroir fait en outre avancer le faisceau réfléchi d'imagerie afin qu'il balaie la surface du substrat dans une direction qui définit une ligne de balayage. Le miroir de balayage est susceptible de réfléchir sensiblement un faisceau reçu qui est d'une longueur d'onde de la série des longueurs d'ondes d'imagerie. Le dispositif de commande reçoit des signaux de longueurs d'ondes indicatifs d'une longueur d'onde du faisceau d'imagerie et engendre en fonction de ceux-ci des signaux d'ordres de faisceau. Les signaux d'ordres de faisceau commandent une génération du faisceau d'imagerie en fonction d'une configuration prescrite
pour former une image sur une surface de substrat.
Selon un autre aspect encore de la présente invention, un système d'imagerie destiné à former une image sur une surface de substrat à une série de longueurs d'ondes d'imagerie comprend un premier module générateur remplaçable de faisceau, un deuxième module générateur remplaçable de faisceau, un appareil combinateur de faisceaux, un miroir tournant, un appareil de sélection de longueur d'onde et un dispositif de commande. Les premier et deuxième modules générateurs de faisceau engendrent un premier et un deuxième faisceaux d'imagerie en fonction de signaux d'ordres de faisceau. Les longueurs d'ondes des premier et deuxième faisceaux d'imagerie sont une première et une deuxième longueurs d'ondes respectivement, qui sont chacune l'une de la série des longueurs d'ondes d'imagerie. Le premier et le deuxième modules générateurs remplaçables de faisceau engendrent en outre des signaux de première et de deuxième longueurs d'ondes, indicatifs chacun de la première et la deuxième longueurs d'ondes. L'appareil combinateur de faisceaux reçoit le premier et le deuxième faisceaux d'imagerie, et les présente le long
d'un trajet prescrit.
Le miroir tournant reçoit le premier et le deuxième faisceaux d'imagerie qui se sont propagés le long du trajet prescrit et réfléchit sensiblement les faisceaux sur la surface de substrat. Au fur et à mesure que le miroir tourne, ce miroir fait aussi avancer les faisceaux réfléchis d'imagerie afin qu'ils balaient la surface du substrat dans une direction qui définit une ligne de balayage. Le miroir de balayage est susceptible de réfléchir sensiblement un faisceau reçu qui est d'une longueur d'onde de la série des
longueurs d'ondes d'imagerie.
L'appareil de sélection de longueur d'onde engendre des signaux de sélection de longueur d'onde indicatifs, soit de la première, soit de la deuxième longueur d'onde. Le dispositif de commande reçoit les signaux de première et de deuxième longueurs d'ondes et engendre en fonction de ceux-ci des signaux d'ordres de faisceau. Les signaux d'ordres de faisceau commandent une génération, soit du premier, soit du deuxième faisceau d'imagerie, en fonction des signaux de sélection de longueur d'onde et en fonction, en outre, d'une configuration prescrite dont l'image doit
être formée sur la surface du substrat.
BREVE DESCRIPTION DES DESSINS
la Fig. 1 est une illustration schématique simplifiée d'une partie d'un tambour interne dans un système d'imagerie réalisé selon la présente invention; la Fig. 2 est une illustration simplifiée qui représente le système de la Fig. 1 en train de balayer un faisceau optique sur une partie d'une surface de substrat; la Fig. 3 est un schéma fonctionnel de composants électroniques d'un module à diode laser; la Fig. 4 est un schéma fonctionnel de composants électroniques d'un module laser; la Fig. 5 est une illustration simplifiée représentant un module générateur de faisceau qui est agencé sur un système d'imagerie; la Fig. 6 est une illustration simplifiée représentant un autre module générateur de faisceau qui est agencé sur un système d'imagerie; la Fig. 7 est une illustration simplifiée représentant deux modules générateurs de faisceaux qui sont agencés sur un système d'imagerie; la Fig. 8 est une illustration simplifiée représentant un système de lentilles de zoom d'un système d'imagerie; la Fig. 9 est une illustration plus détaillée du système de lentilles de zoom de la Fig. 8; et la Fig. 10 est une illustration schématique d'un système de commande de moteur du système d'imagerie de
la Fig. 1.
DESCRIPTION D'UN MODE DE REALISATION PREFERE
Un système d'imagerie réalisé selon la présente invention est susceptible de réaliser des images à plusieurs longueurs d'ondes d'imagerie. Dans le mode de réalisation préféré, un système d'imagerie inclut une série de modules générateurs de faisceau, chaque module générateur de faisceau adapte un système d'imagerie de façon à former une image à une longueur d'onde d'une série de longueurs d'ondes prescrites d'imagerie. Le système d'imagerie est donc susceptible de former une image à une série de longueurs d'ondes
sans modifier les modules générateurs de faisceaux.
Les modules générateurs de faisceaux peuvent être remplacés par d'autres modules générateurs de faisceaux en adaptant le système d'imagerie à un nombre encore plus grand de longueurs d'ondes d'imagerie. Selon un autre mode de réalisation, un système d'imagerie accepte un module quelconque d'une série de modules générateurs de faisceaux. Le remplacement du module générateur de faisceau qui est installé dans le système d'imagerie par un autre module générateur de faisceau modifie la longueur
d'onde du système d'imagerie.
Un système d'imagerie réalisé selon la présente invention est flexible et son niveau technique peut être relevé ultérieurement pour réaliser des images à des longueurs d'ondes différentes en incorporant un nouveau module d'imagerie sans devoir acheter un système complet d'imagerie. Ainsi, un client qui achète un système d'imagerie qui forme des images sur un certain type de support peut changer ensuite le module générateur de faisceau d'imagerie pour réaliser des images sur un type de support différent. Un client qui ne souhaite pas actuellement prendre le risque de former une image sur un nouveau type de support utilise le système d'imagerie avec un module générateur de faisceau qui produit une longueur d'onde plus établie, et il relève ensuite le niveau technique du module générateur de faisceau pour le remplacer par un module à longueur d'onde différente approprié au nouveau type de support. De la même manière, même si un nouveau support est introduit après l'achat du système d'imagerie par un client, un module générateur de faisceau qui engendre un faisceau d'une longueur d'onde appropriée pour le nouveau support peut être ajouté au système d'imagerie. De plus, un système d'imagerie réalisé selon la présente invention est avantageux dans des applications qui exigent de former une image à une longueur d'onde et de filmer à une
autre longueur d'onde.
En se référant maintenant aux Fig. 1 et 2, une partie d'un système d'imagerie 10 à tambour interne inclut un tambour interne 12 comportant une surface 14 qui comprend une partie d'un cylindre. Le tambour interne est fabriqué avec soin et doit maintenir avec une grande précision la géométrie préférée de la surface 14, c'est-à-dire son caractère cylindrique. A cet effet, le tambour interne est une structure robuste, de préférence en aluminium coulé, pourvue d'une série de nervures de renforcement non représentées espacées le long d'un périmètre extérieur. Comme représenté à la Fig. 2, la surface 14 est apte à recevoir un substrat 21. Le substrat 21 peut être, soit une feuille d'aluminium ou de polymère, par exemple un polyester, dont une surface est revêtue d'une émulsion photosensible, soit une feuille de film photosensible. Comme représenté à la Fig. 1, la surface 14 inclut en outre une série d'orifices 16 en communication de fluide avec une série de canaux internes 18 à travers lesquels une source classique de vide et un système associé de collecteurs non représentés engendrent un vide. Le vide maintient le
substrat en place pendant un processus d'exposition.
Des variantes de procédés peuvent être utilisées de façon équivalente pour maintenir le substrat en place, y compris des techniques électrostatiques et
mécaniques de rétention.
Le système d'imagerie 10 inclut également un rail 20 qui porte un chariot 22 pour balayer sur la surface du substrat un faisceau optique réfléchi 24 en réponse à des signaux d'ordres de faisceau reçus d'un dispositif de commande 26. Le chariot inclut un codeur linéaire 28 pour engendrer des signaux indicatifs de la position du chariot au fur et à mesure qu'il se déplace le long du rail, un appareil 30 de balayage rapide qui comprend de préférence un moteur linéaire 32 et un miroir 34 pour recevoir à une surface 35 du miroir un faisceau optique émis par un module générateur 36 de faisceau, par exemple un laser, et pour exposer sur le substrat une série de lignes de balayage 38, comme représenté à la Fig. 2, par rotation du miroir autour d'un axe de rotation 44, typiquement à 24.000 tours par minute. Un codeur rotatif 42 est inclus pour engendrer des signaux indicatifs de la position angulaire de la surface du miroir pendant un balayage. La surface du miroir est de préférence fabriquée de façon à présenter une
courbure parabolique hors axe.
Le moteur linéaire 32, semblable à un moteur fabriqué par Trilogy Systems Corp., constitue le moyen de déplacement du chariot 22 sur la longueur du rail 20. Le moteur linéaire 32 est de préférence un moteur sans balais en courant continu qui comprend un
ensemble de bobine et un ensemble de piste magnétique.
L'ensemble de bobine inclut de préférence une série d'enroulements ou phases non représentés de moteur qui sont commutés par commutation sinusoïdale. La commutation sinusoïdale réalise une uniformité presque parfaite, ce qui signifie que le chariot 22 se déplace à une vitesse commandée qui ne produit aucun ou presque aucun, rebond ou discontinuité dans le déplacement du chariot. Une imagerie d'arts graphiques exige un degré élevé de précision lors du balayage du faisceau d'imagerie sur le support et, il est donc critique que la vitesse de déplacement du chariot 22 sur le rail 20 soit constante. Une discontinuité de déplacement ou une variation de la vitesse du chariot provoque le problème "d'effet de bandes" ou lignes
longitudinales formées dans le substrat 21.
Un système 96 de commande de moteur, représenté schématiquement à la Fig. 10, inclut un dispositif de commande 98, un dispositif de servocommande 100, un servo amplificateur, ou servo-amp, 102 et un codeur linéaire 1034. Le système de commande 96 du moteur envoie des signaux d'excitation aux enroulements du moteur linéaire 106. Le dispositif de commande 98 envoie des signaux d'entrée par un port sériel 108 RS 232 au dispositif de servocommande 100, par exemple un dispositif fabriqué par Delta Tau. Le dispositif de servocommande 100 envoie par un conducteur 110 un signal au servo amplificateur 102 qui envoie ensuite des signaux sinusoïdaux d'excitation par le conducteur 112 à l'ensemble de bobine du moteur linéaire 106. Le codeur linéaire 104 envoie au dispositif de servocommande 100 un signal indicatif de la position du chariot 22 sur le rail 20 afin de fermer la boucle de position et d'asservissement et envoie aussi ce signal au dispositif de commande 98. Le dispositif de commande 98 mémorise la position du chariot 22 et contrôle la position du chariot 22 tandis qu'il se déplace le long du rail 20. Le dispositif de commande lance aussi d'autres fonctions qui dépendent de la position du chariot sur le rail, par exemple démarre et arrêter le moteur, commander la vitesse du moteur, envoyer des signaux de début et de fin de balayage sur
le substrat.
Le codeur linéaire 104 inclut une échelle et une tête de codeur. L'échelle est montée longitudinalement sur le bord inférieur du rail et la tête de codeur est
montée sur le bord de la plaque horizontale du rail.
Dans le mode de réalisation préféré, la résolution de
le codeur est de 0,25 micron.
Dans le fonctionnement du système de commande 96 du moteur, le dispositif de commande 98 envoie un signal au dispositif de servocommande 100 pour exciter le moteur linéaire 106 et déplacer le chariot vers une position initiale prédéterminée à l'une des extrémités du rail 20. Un registre de position du dispositif de commande 98 est ensuite initialisé à des comptes de zéro. Quand le substrat 21 a été fixé à l'intérieur du tambour 12, le chariot 22 reçoit du dispositif de commande l'ordre d'avancer jusqu'à ce que le bord du support soit détecté par un détecteur 114 de bord. Le dispositif de commande 98 mémorise le nombre de comptes entre la position initiale et le bord du substrat 21 et ordonne au moteur linéaire 106 de reculer le chariot 22 d'environ un pouce, c'est-à-dire environ 25,4 mm, à partir du bord du support. Cette distance prédéterminée permet au chariot 22 d'accélérer jusqu'à une vitesse constante avant d'atteindre le bord du substrat. Lorsque le processus de balayage commence, le dispositif de commande 98 excite le moteur linéaire 106 pour déplacer le chariot. Lorsque le dispositif de commande détermine que le chariot 22 a atteint le bord du support, le dispositif de commande envoie un signal de lancement
pour commencer le balayage de l'image sur le support.
Lorsque le chariot 22 s'est déplacé de la distance ordonnée le long du rail 20, le dispositif de commande 98 arrête le chariot et lit sa position. Le dispositif de commande envoie ensuite au chariot l'ordre de ramener rapidement le chariot à la position zéro, àune vitesse prédéterminée.
Comme décrit ci-dessus, dans le mode de réalisation préféré, le système d'imagerie 10 inclut une série de modules générateurs de faisceaux. Deux types de modules générateurs de faisceaux sont décrits ici, bien que l'homme de l'art puisse y substituer d'autres modules générateurs de faisceaux, sans s'écarter du cadre de la présente invention. La Fig. 3 représente un schéma fonctionnel des composants électroniques d'un premier type de module générateur de faisceau, un module 46 à diode laser. De manière connue dans l'art, une diode laser 43 comprend une jonction semi-conductrice p-n qui engendre un faisceau de rayonnement électro-magnétique cohérent, hautement directionnel, sensiblement à longueur d'onde unique, lorsque le courant d'injection dans la diode 43 atteint un niveau de seuil de diode. Lorsque le courant d'injection dans la diode 43 est inférieur au niveau de seuil de la diode, la diode n'émet pas le faisceau laser. Ainsi, commander le courant amené à la diode laser 43 détermine si la diode laser 43 émet un
faisceau laser.
Un excitateur 44 de diode est une interface entre la diode laser 43 et le dispositif de commande 26 et injecte dans la diode 42 un courant qui dépend de signaux d'ordres de faisceau reçus du dispositif de commande 26. Typiquement, le dispositif de commande 26 envoie à la diode un ordre d'être dans l'un des deux états suivants: un état "d'attente", ou "hors service", et un étant "en service". Lorsque le dispositif de commande envoie, à l'excitateur de diode, des signaux de commande de faisceau indicatifs de l'état d'attente, l'excitateur de diode injecte dans la diode un courant qui est inférieur au niveau de seuil de la diode, et la diode n'émet pas de faisceau laser. Lorsque le dispositif de commande envoie à l'excitateur de diode des signaux d'ordres de faisceau indicatifs de l'état en service, l'excitateur de diode injecte dans la diode un courant supérieur au niveau de seuil de la diode, et la diode émet un faisceau laser, de préférence un faisceau laser d'une longueur d'onde de 670 nanomètres. Le dispositif de commande 26 reçoit de l'excitateur 44 de diode, des signaux indicatifs de la longueur d'onde d'un faisceau que le module 46 émet. Comme décrit plus loin, le dispositif de commande 26 a besoin d'une information concernant la longueur d'onde d'un faisceau pour déterminer la manière dont le faisceau interagit avec
des composants optiques du système d'imagerie.
La Fig. 4 représente un schéma fonctionnel des composants électroniques d'un deuxième type de module générateur de faisceau, un module laser 48. Le module laser 48 comprend un modulateur 52 qui commande une unité laser 54 en fonction d'ordres reçus du dispositif de commande 26 par l'intermédiaire d'une ligne sérielle 50. L'unité laser 54 est un dispositif autonome autorégulateur, qui peut être d'un quelconque des nombreux types de dispositifs émetteurs de faisceaux lasers, de préférence un laser infrarouge qui émet un faisceau d'une longueur d'onde de 1,06 micron. Le dispositif de commande 26 envoie, au modulateur, des signaux d'ordres de faisceau qui ordonnent au laser de mettre l'unité laser en service, de mettre l'unité laser hors service, et de régler la puissance de sortie d'un faisceau que l'unité laser 54 émet. Le dispositif de commande 26 reçoit, du module lasser 48, des signaux indicatifs de la longueur
d'onde d'un faisceau que le module 48 émet.
En se référant aux Fig. 5 et 6, un module générateur 56 de faisceau, est agencé sur un système d'imagerie 58 d'une manière telle qu'un faisceau émis par le module générateur 56 de faisceau se propage le long d'un trajet prescrit 60. Si un deuxième module générateur 62 de faisceau remplace, par exemple, le module générateur 56 de faisceau dans le système d'imagerie 58, un faisceau 63 émis par le deuxième module générateur 62 de faisceau se réfléchit sur un miroir 64 contenu à l'intérieur du module générateur 62 de faisceau et se propage lui aussi le long du trajet prescrit 60. De cette manière, remplacer des modules générateurs de faisceaux n'exige aucun nouvel alignement avec composants optiques du système d'imagerie 58, comme le miroir 34. Un nouveau module générateur de faisceau qui est installé dans le système d'imagerie est typiquement non aligné initialement avec le reste du système d'imagerie en raison de variations minimes de tolérance, par exemple dans les dimensions du module ou de l'emplacement précis à partir duquel le faisceau est émis. Le module générateur de faisceau est aligné de façon appropriée en ajustant des composants de montage du module générateur de faisceau, par exemple des broches ou des vis. La Fig. 7 représente deux modules générateurs 66 et 68 de faisceaux qui sont inclus simultanément dans le système d'imagerie 70. Un faisceau 72 émis par le module générateur 66 de faisceau et un autre faisceau 74 émis par le module générateur 68 de faisceau se propagent tous deux le long d'un trajet prescrit 76, bien qu'un seul des faisceaux 72 et 74 soit émis au maximum à un instant quelconque. Un sélecteur de longueur d'onde, par exemple un commutateur à bascule 73, envoie au dispositif de commande un signal qui détermine celui des deux modules générateurs de faisceaux qui est actif et qui émet un faisceau. Les modules 66 et 68 émettent des faisceaux de longueurs d'ondes différentes et de cette manière, la longueur d'onde qui devrait être sélectionnée dépend du support o l'image doit être formée. Puisque le système d'imagerie 70 inclut plus d'un module générateur unique de faisceau, le système d'imagerie 70 doit aussi comprendre un combinateur de faisceaux pour présenter les deux faisceaux 72 et 74 le long du même trajet 76. Dans le mode de réalisation préféré, le combinateur de faisceaux est un miroir 78 dont une surface 79 est revêtue d'une substance qui réfléchit la longueur d'onde du faisceau 72 et qui est
transparente à la longueur d'onde du faisceau 74.
Ainsi, le faisceau 72 est réfléchi à partir de la surface 79 et se propage le long du trajet 76, et le faisceau 74 traverse le miroir 78 et se propage le long du trajet 76. Bien que le combinateur de faisceau soit illustré sous forme de miroir, le combinateur de faisceau peut aussi consister en un prisme, une optique de diffraction, des hologrammes ou un diviseur de faisceau dont la longueur d'onde peut être sélectionnée. En outre, des modules générateurs de faisceaux peuvent être agencés à plusieurs positions sur un système d'imagerie, bien que les exemples des Fig. 5 et 7 ne représentent des modules générateurs de
faisceaux que dans quelques positions.
Puisqu'un système d'imagerie réalisé selon la présente invention forme des images à une série de longueurs d'ondes, des composants optiques du système d'imagerie doivent aussi fonctionner à cette série de longueurs d'ondes. Par exemple, en se référant de nouveau à la Fig. 2, la surface 35 de miroir qui réfléchit un faisceau optique 23 doit réfléchir des faisceaux dont la longueur d'onde est l'une des longueurs d'ondes d'imagerie de la série. La surface de miroir est donc pourvue d'un revêtement qui réfléchit cette série de longueurs d'ondes. Le revêtement est, soit un revêtement "large bande", qui réfléchit toutes les longueurs d'ondes, soit un revêtement qui réfléchit la série des longueurs d'ondes d'imagerie mais ne réfléchit aucune autre longueur d'onde. Le facteur de réflexion du revêtement est de préférence d'au moins 90% pour des faisceaux
de l'une quelconque des longueurs d'ondes de la série.
De manière connue dans l'art, des revêtements réfléchissants peuvent être constitués de nombreuses matières, par exemple des couches multiples d'une matière diélectrique, l'épaisseur et l'indice de réflexion de chaque couche étant tels que la couche réfléchit une longueur d'ondes prescrites ou plusieurs. De même, un revêtement qui comprend des couches multiples d'une matière diélectrique peut réfléchir certaines longueurs d'ondes et laisser
passer d'autres longueurs d'ondes.
De façon connue dans l'art, lorsqu'un faisceau optique à fréquence unique est incident sur une surface réfléchissante, une polarisation d'un faisceau qui est réfléchi à partir de la surface réfléchissante est généralement différente d'une polarisation du faisceau incident sur la surface. La modification de polarisation entre le faisceau incident et le faisceau réfléchi dépend d'un angle d'incidence entre le faisceau incident et la surface. Puisqu'un système d'imagerie réalisé selon la présente invention inclut typiquement un miroir tournant qui fait avancer un faisceau réfléchi transversalement sur un substrat, la polarisation du faisceau réfléchi varie au fur et à mesure que le miroir tourne et que l'angle d'incidence
du faisceau incident sur la surface du miroir varie.
C'est donc une exigence additionnelle du revêtement de miroir que le facteur de réflexion du revêtement ne
varie pas sensiblement lorsque la polarisation change.
On préfère que la variation du facteur de réflexion
soit inférieure à 2% lorsque la polarisation varie.
En se référant aux Fig. 8 et 9, un système d'imagerie 10 du mode de réalisation préféré inclut en outre un système 80 de lentilles de zoom. Le système de lentilles de zoom, décrit de façon plus détaillée dans ce qui suit, inclut une série de lentilles 82, 84, 85 fixées au chariot 22 pour augmenter ou diminuer le diamètre du faisceau optique 23 émis par la source lumineuse. Les lentilles 82, 85 transmettent idéalement, sans les réfléchir, les faisceaux dont la longueur d'onde est l'une des longueurs d'ondes d'imagerie souhaitées. De préférence, le facteur de réflexion des lentilles 82, 84, 85 est inférieur à 0,5% pour des faisceaux de la
série des longueurs d'ondes d'imagerie souhaitées.
L'appareil 30 de balayage rapide et le système 80 de lentilles de zoom sont fixés à la surface orthogonale inférieure 88 du chariot 22. L'appareil 30 de balayage rapide est monté sur le chariot 22 par une paire de sangles 90 à l'extrémité avant 92 du chariot de façon que le miroir 34 soit coaxial avec un axe central z du tambour interne 12. Le système 80 de lentilles de zoom est monté à l'extrémité arrière 94 du chariot 22 et inclut trois lentilles espacées coaxialement 82, 84 et 85 pour étaler le faisceau émis 23 engendré par le module 36, c'est-à- dire augmenter son diamètre. Le système 80 de lentilles de zoom minimise les effets d'une turbulence optique qui affecte de façon défavorable la qualité d'image. Dans le tambour interne, le faisceau émis est exposé à une turbulence d'air tandis qu'il se propage le long de l'axe central z du tambour 12 vers le miroir 34 supporté par le chariot 22. On sait que les effets de la turbulence de l'air sont d'autant plus grands que le diamètre du faisceau d'amenée axiale est plus grand. Pour cette raison, la présente invention envoie un faisceau plus petit, et de dimension fixe, le long de l'axe z du tambour interne 12. Le diamètre typique du faisceau est de 16,4 millimètres, ou mm, pour un système sans système de lentilles de zoom, tandis que le diamètre du faisceau est approximativement de 4 mm pour un système comprenant
un système de lentilles de zoom sur le chariot 22.
Dans le mode de réalisation préféré du système 80 de lentilles de zoom, les caractéristiques des lentilles 82, 84, 85 réalisent un étalement afocal du diamètre du faisceau d'amenée. Le terme "afocal" signifie que le faisceau émis et le faisceau de sortie du système 80 de lentilles de zoom sont tous deux parallèles à l'axe de la lentille. L'homme de l'art reconnaît cependant qu'un type quelconque de lentille à configurations multiples est possible sans s'écarter de l'invention. La première lentille, c'est-à-dire la lentille arrière extrême 82, est fixée fermement au chariot. La seconde et la troisième lentilles 84, 85 sont respectivement fixées au chariot par des couplages magnétiques. Deux coussins d'air à commande indépendante non représentés constituent le moyen de positionner de façon réglable les lentilles 84, 85 afin de faire varier le diamètre et le foyer du faisceau à amenée axiale qui sort du système 80 de
lentilles de zoom.
Un système de lentilles de zoom est spécialement avantageux dans un système d'imagerie qui forme des images à une série de longueurs d'ondes d'imagerie. Le diamètre, à la surface du substrat, d'un faisceau réfléchi qui est avancé pour balayer transversalement une surface de substrat est appelé la dimension de point et dépend de la longueur d'onde du faisceau réfléchi. La résolution du support o est formée l'image est d'autant plus grande que la dimension du point est plus petite. Le diamètre du faisceau qui est incident sur le miroir est appelé diamètre de faisceau. La dimension du point est inversement proportionnelle au diamètre du faisceau ds = 2,44 * 1 * f / d (1) o ds est la dimension du point 1 est la longueur d'onde f est la longueur focale de la lentille
d est le diamètre du faisceau.
Pour deux longueurs d'ondes 11 et 12 d'imagerie et pour deux diamètres d1 et d2 de faisceaux, pour les faisceaux dont les longueurs d'ondes sont 11 et 12 respectivement avant que le faisceau ne traverse le système de lentilles de zoom, il existe, en l'absence de tout étalement par le système de lentilles de zoom, deux dimensions de points ou résolutions r1 et r2. Si un diamètre de faisceau de d1 correspond à une résolution souhaitée ri, le système de lentilles de zoom ne doit pas modifier le diamètre de faisceaux des longueurs d'ondes 11 d'imagerie. En revanche, si les diamètres d1 et d2 sont liés par l'équation suivante: d2 = 0,8 d1 (2) le système réglable de lentilles de zoom doit augmenter le diamètre de faisceau par un facteur de 1/0,8 = 1,25 pour obtenir la résolution souhaitée r1 lorsque la longueur d'onde d'imagerie est 12. Ainsi, le système de position de lentilles effectue une correction quant aux diamètres différents de faisceaux dans des modules générateurs de faisceaux à longueurs d'ondes différentes, en atteignant ainsi une résolution souhaitée, quelle que soit la longueur
d'onde d'imagerie.
Pour mettre en oeuvre cette correction, le dispositif de commande reçoit, d'un module générateur de faisceau, des signaux de longueur d'onde indicatifs de la longueur d'onde d'un faisceau que le module générateur de faisceau émet. Le dispositif de commande engendre, en fonction des signaux de longueur d'onde, des signaux d'ordres de lentilles de zoom qui fixent un niveau approprié d'étalement pour la dimension de point ou résolution souhaitée. De préférence, le dispositif de commande inclut une table à consulter qui décrit, pour une résolution donnée, les diamètres de faisceaux nécessaires pour des longueurs d'ondes différentes, ainsi que des facteurs d'étalement requis pour le système de lentilles de zoom, nécessaires pour ajuster le diamètre du faisceau et atteindre la
résolution souhaitée.
La cadence à laquelle un faisceau est réfléchi par un miroir tournant et est balayé transversalement sur un substrat dépend de la vitesse de rotation du miroir tournant. Puisque la vitesse de rotation du miroir tournant est typiquement fixe, il faut un temps fixe pour que le miroir déplace transversalement le faisceau d'une distance fixe sur le substrat. Si la dimension du faisceau est faible, de nombreux points sont inclus dans cette distance fixe et le faisceau est donc mis en service et hors service de nombreuses fois pendant ce temps fixe pour former une image. En revanche, si la dimension de point est grande, le nombre des points inclus dans cette distance fixe est moindre et le faisceau est donc mis en service et hors service un moindre nombre de fois pendant ce temps fixe. Par conséquent, la dimension de points affecte la cadence à laquelle un faisceau est mis en service et hors service, ce que l'on appelle également la cadence ou fréquence de modulation du faisceau. Le dispositif de commande ajuste donc la cadence de modulation du faisceau en fonction des signaux de longueurs d'ondes reçus du module générateur de
faisceau qui émet le faisceau.

Claims (10)

REVENDICATIONS
1. Système d'imagerie (10) destiné à former une image sur une surface (21) de substrat à une série de longueurs d'ondes d'imagerie, incluant un moyen de commande (26) pour recevoir des signaux de longueurs d'ondes et pour engendrer des signaux d'ordres de faisceau en fonction desdits signaux de longueurs d'ondes, lesdits signaux d'ordres de faisceau commandant une génération d'un faisceau d'imagerie en fonction d'une configuration prescrite pour former une image sur une surface de substrat, et caractérisé par: un module générateur remplaçable (36) de faisceau pour engendrer ledit faisceau d'imagerie en fonction desdits signaux d'ordres de faisceau, la longueur d'onde dudit faisceau d'imagerie étant l'une de la série desdites longueurs d'ondes d'imagerie, ledit module générateur (36) de faisceau étant en outre destiné à présenter ledit faisceau d'imagerie le long d'un trajet prescrit, ledit module générateur de faisceau étant en outre destiné à engendrer des signaux de longueurs d'ondes indicatifs de la longueur d'onde du faisceau d'imagerie; et un miroir tournant (34) pour recevoir ledit faisceau d'imagerie qui s'est propagé le long dudit trajet prescrit et pour réfléchir sensiblement ledit faisceau d'imagerie sur la surface (21) de substrat et faire avancer le faisceau réfléchi d'imagerie au fur et à mesure que ledit miroir tourne, afin qu'il balaie la surface du substrat dans une direction qui définit une ligne de balayage, ledit miroir de balayage étant susceptible de réfléchir sensiblement un faisceau reçu qui est d'une longueur d'onde de la série des
longueurs d'ondes d'imagerie.
2. Système (10) selon la revendication 1, caractérisé en outre par: un moyen de monture (22) pour fixer un emplacement dudit module générateur remplaçable (36) de faisceau de façon que ledit module générateur remplaçable de faisceau présente ledit faisceau d'imagerie le long dudit trajet prescrit; et une lentille de collimation (82) pour recevoir ledit faisceau d'imagerie et pour collimater ledit faisceau d'imagerie avant que ledit miroir tournant
(34) ne reçoive ledit faisceau d'imagerie.
3. Système (10) selon la revendication 1, dans lequel ledit miroir tournant (34) est caractérisé en outre par: une surface (35) de miroir; et un revêtement optique, appliqué sur ladite surface de miroir, qui réfléchit sensiblement un faisceau de l'une quelconque des longueurs d'onde de la série des longueurs d'ondes d'imagerie, ledit revêtement comprenant une série de couches de matière diélectrique.
4. Système (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit miroir tournant (34) n'affecte pas sensiblement la polarisation du faisceau de sorte qu'une polarisation dudit faisceau d'impression, existant avant que ledit miroir tournant ne reçoive ledit faisceau d'imagerie, est sensiblement la même
qu'une polarisation du faisceau d'imagerie réfléchi.
5. Système (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une lentille de zoom (80) pour recevoir ledit faisceau d'imagerie et pour étaler en outre ledit faisceau d'imagerie en fonction de signaux d'ordres de la lentille de zoom; et en ce que ledit dispositif de commande engendre lesdits signaux d'ordres de lentille de zoom
en fonction desdits signaux de longueurs d'ondes.
6. Système d'imagerie (10) destiné à former une image sur une surface (21) de substrat à une série de longueurs d'ondes d'imagerie, le système étant susceptible de recevoir l'un des modules d'une série de modules générateurs remplaçables (36) de faisceau pour engendrer un faisceau d'imagerie en fonction de signaux d'ordres de faisceau, la longueur d'onde dudit faisceau d'imagerie étant l'une de la série des longueurs d'ondes d'imagerie, caractérisé par un moyen de monture (22) pour fixer un emplacement d'un module de la série des modules générateurs remplaçables de faisceaux, ledit emplacement étant tel que chaque module générateur remplaçable de faisceau qui est fixé par ledit moyen de monture présente ledit faisceau d'imagerie le long d'un trajet prescrit; un miroir tournant (34) pour recevoir ledit faisceau d'imagerie qui s'est propagé le long dudit trajet prescrit et pour réfléchir sensiblement ledit faisceau d'imagerie sur la surface (21) de substrat et faire avancer le faisceau réfléchi d'imagerie au fur et à mesure que ledit miroir tourne, afin qu'il balaie la surface du substrat dans une direction qui définit une ligne de balayage, ledit miroir de balayage étant susceptible de réfléchir sensiblement un faisceau reçu qui est d'une longueur d'onde de la série des longueurs d'ondes d'imagerie; et un moyen de commande (26) pour recevoir des signaux de longueurs d'ondes indicatifs d'une longueur d'onde du faisceau d'imagerie, et pour engendrer des signaux d'ordres de faisceau en fonction desdits signaux de longueurs d'ondes, lesdits signaux d'ordres de faisceau commandant la génération dudit faisceau d'imagerie en fonction d'une configuration prescrite afin de former une image sur la surface (21) du substrat.
7. Système d'imagerie (70) destiné à former une image sur une surface (21) de substrat à une série de longueurs d'ondes d'imagerie, caractérisé par un premier module générateur remplaçable (66) de faisceau pour engendrer un premier faisceau d'imagerie (72) en fonction de signaux d'ordres de faisceau, la longueur d'onde dudit premier faisceau d'imagerie étant une première longueur d'onde qui est l'une de la série des longueurs d'ondes d'imagerie, ledit premier module générateur remplaçable de faisceau étant en outre destiné à engendrer des signaux de première longueur d'onde indicatifs de ladite première longueur d'onde; un deuxième module générateur remplaçable (68) de faisceau pour engendrer un deuxième faisceau d'imagerie (74) en fonction de signaux d'ordres de faisceau, la longueur d'onde dudit deuxième faisceau d'imagerie étant une deuxième longueur d'onde qui est l'une de la série des longueurs d'ondes d'imagerie, ledit deuxième module générateur remplaçable de faisceau étant en outre destiné à engendrer des signaux de deuxième longueur d'onde indicatifs de ladite deuxième longueur d'onde; un moyen combinateur (78) de faisceaux pour recevoir ledit premier faisceau d'imagerie et ledit deuxième faisceau d'imagerie, et pour présenter en outre ledit premier faisceau d'imagerie et ledit deuxième faisceau d'imagerie le long d'un trajet prescrit (76); un miroir tournant (34) pour recevoir ledit premier faisceau d'imagerie et ledit deuxième faisceau d'imagerie qui se sont propagés le long dudit trajet prescrit (76) et pour réfléchir sensiblement ledit premier faisceau d'imagerie (72) et ledit deuxième
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faisceau d'imagerie (74) sur la surface (21) de substrat et faire avancer le premier faisceau réfléchi et le deuxième faisceau réfléchi au fur et à mesure que ledit miroir tourne, afin qu'ils balaient la surface du substrat dans une direction qui définit une ligne de balayage, ledit miroir de balayage étant susceptible de réfléchir sensiblement un faisceau reçu qui est d'une longueur d'onde quelconque de la série
des longueurs d'ondes d'imagerie.
un moyen de sélection (73) de longueur d'onde pour engendrer des signaux de sélection de longueur d'onde indicatifs, soit de ladite première longueur d'onde, soit de ladite deuxième longueur d'onde; et un moyen de commande (26) pour recevoir lesdits signaux de première longueur d'onde et lesdits signaux de deuxième longueur d'onde, et pour engendrer lesdits signaux d'ordres de faisceau en fonction desdits signaux de première longueur d'onde et desdits signaux de deuxième longueur d'onde, lesdits signaux d'ordres de faisceau commandant la génération, soit dudit premier faisceau d'imagerie, soit dudit deuxième faisceau d'imagerie, en fonction desdits signaux de sélection de longueur d'onde et en fonction, en outre, d'une configuration prescrite dont l'image doit être
formée sur la surface du substrat.
8. Système (70) selon la revendication 7, caractérisé en outre par un moyen de monture (22) pour fixer un emplacement, soit dudit premier module générateur remplaçable (66) de faisceau, soit dudit deuxième module générateur remplaçable (68) de faisceau, de façon que le premier ou le deuxième module générateur remplaçable de faisceau présente son faisceau
d'imagerie le long dudit trajet prescrit.
9. Système selon la revendication 7, caractérisé en outre en ce que ledit moyen combinateur (78) de faisceaux est un miroir combinateur de faisceaux qui comporte une surface (79), ladite surface du miroir combinateur de faisceaux réfléchissant ledit premier faisceau d'imagerie (72) le long dudit trajet prescrit (76), et ladite surface du miroir combinateur de faisceaux étant transparente pour ledit deuxième faisceau
d'imagerie (74).
10. Système (70) selon la revendication 7, caractérisé en outre par: une lentille de zoom (80) pour recevoir ledit premier faisceau d'imagerie (72) et ledit deuxième faisceau d'imagerie (74) et pour étaler en outre ledit premier faisceau d'imagerie et ledit deuxième faisceau d'imagerie en fonction de signaux d'ordres de lentilles de zoom, et en ce que ledit dispositif de commande (26) engendre des signaux d'ordres de lentille de zoom en fonction desdits signaux de première longueur d'onde
et desdits signaux de deuxième longueur d'onde.
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